一种单晶炉氩气回收设备

技术领域

本申请涉及氩气回收的领域，尤其是涉及一种单晶炉氩气回收设备。

背景技术

单晶炉是一种在惰性气体（氮气、氦气为主）环境中，用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备。

在直拉法制备单晶硅过程中，为了降低硅原料中的SiO和石墨加热棒等不纯物质对单晶硅生产过程的影响获得完美的单晶硅，通常需要通过惰性气体的流动将因高温而气化的不纯杂质带出。

因此,在单晶硅生产工艺中，单晶硅炉排出的尾气中通常含有大量的氩气。

而近些年来，氩气价格不断攀升，因此降低氩气使用成本是提高企业竞争力的关键所在，并且，从改善低碳环境的角度出发，氩气的回收也是未来发展中一件意义重大的工作。

现有的单晶炉氩气回收设备包括除尘装置、冷却分离装置、吸附装置、除碳装置、脱氧塔、纯化塔。其中除尘装置，用于接收单晶硅炉尾气，除去尾气中的固体杂质；冷却分离装置，与除尘装置的尾气输出口连接，用于将除尘后的尾气冷却，得到不凝气体和冷凝液；吸附装置，与冷却分离装置的不凝气体输出口连接，用于对冷凝得到的不凝气体进行吸附处理；除碳装置，与吸附装置连接，用于将吸附处理后的尾气中的碳源进行氧化；脱氧塔，与除碳装置连接，用于消耗除碳后的气体中氧气；纯化塔，与脱氧塔连接，用于除去脱氧后的气体中的二氧化碳，得到高纯氩气。

其中除尘装置包括罐体和过滤膜，过滤膜设于罐体中部，过滤膜阻挡于单晶炉尾气的移动路径上，过滤膜能够对尾气中的固体颗粒进行过滤。

但是，长时间使用后，过滤膜上的固体颗粒堆积较多，易影响过滤膜的尾气过滤量，从而降低氩气回收的效率。

发明内容

为了减少过滤膜的堵塞，以提高氩气回收效率，本申请提供一种单晶炉氩气回收设备。

本申请提供的一种单晶炉氩气回收设备，采用如下的技术方案：

一种单晶炉氩气回收设备，包括依次连接的除尘装置、冷却分离装置、吸附装置、除碳装置、脱氧塔和纯化塔，所述除尘装置包括呈方形的罐体、过滤膜和颗粒收集机构，罐体的上部设有进气管，罐体的下部设有出气管，过滤膜设于罐体的中部；颗粒收集机构包括第一驱动组件、收放辊和转运膜，所述罐体的外部设有容纳槽体，容纳槽体与所述罐体内部连通，所述容纳槽体用于容纳收放辊，所述转运膜的下表面设有胶粘层，转运膜的上表面设有离型层，转运膜的一端与容纳槽体固定连接，转运膜的另一端缠绕固定于收放辊上；所述第一驱动组件的驱动端与所述收放辊可拆卸连接，所述第一驱动组件用于带动所述收放辊沿过滤膜长度方向往复移动，所述收放辊沿远离容纳槽体方向移动的过程中逐步放卷转运膜，所述收放辊沿朝向容纳槽体方向移动的过程中逐步收卷转运膜。

通过采用上述技术方案，需要对过滤膜上的积聚颗粒进行清理时，第一驱动组件启动，第一驱动组件将容纳槽体内的收放辊带出，同时逐步放卷转运膜，使得转运膜展开至过滤膜的上方，转运膜下表面的胶粘层粘住过滤膜上表面的固体颗粒，然后第一驱动组件带动转运膜和收放辊沿靠近容纳槽体方向移动，以同时将过滤膜上的固体颗粒带走，以减少过滤膜的堵塞，从而确保过滤膜的尾气过滤量。最后将转运膜和收放辊收入容纳槽体内。

可选的，所述容纳槽体与所述罐体可拆卸固定连接，所述转运膜的端部与所述容纳槽体可拆卸固定连接；所述罐体上设有用于启闭所述容纳槽体的槽口的启闭组件。

通过采用上述技术方案，当粘附完固体颗粒之后，可以利用启闭组件，以封闭容纳槽体的槽口，使得罐体内的氩气不会外溢，然后取下容纳槽体、转运膜和收放辊，最后将转运膜从收放辊和容纳槽体上取下，对转运膜上的固体颗粒的分布情况进行观测，如固体颗粒分布均匀，则意味过滤膜的各部位的过滤效果均衡，如固体颗粒分布不均匀，则意味过滤膜的局部过滤失效，则需要及时更换，从而实现对过滤膜的检测和维护。

可选的，所述第一驱动组件包括第一伺服电机和摆动杆，所述摆动杆位于所述过滤膜的上方，所述过滤膜呈下凹弧形状，所述摆动杆的上端与所述罐体内壁铰接连接且铰接轴线位于所述过滤膜的曲率中心，所述第一伺服电机用于驱动所述摆动杆摆动；所述收放辊的端部同轴转动有转轴，所述摆动杆的下端固定有半弧块，半弧块的内弧壁设有齿槽，转轴的外周面设有与齿槽相配合的凸齿，且凸齿与半弧块磁吸连接；所述容纳槽体的下槽壁设为供收放辊下滑的倾斜面，所述容纳槽体内设有电磁铁，电磁铁用于磁吸收放辊。

通过采用上述技术方案，常态下，电磁铁吸住收放辊，使得收放辊稳定在容纳槽体内，需要带动收放辊移动时，电磁铁断电，收放辊在重力作用下沿倾斜面下移，通过凸齿和半弧块的磁吸连接，以实现摆动杆的下端与收放辊之间的连接，然后第一伺服电机启动以带动摆动杆进行摆动，摆动杆带动收放辊沿远离容纳槽体方向移动并逐步放卷转运膜。

摆动杆将收放辊移动至容纳槽体内时，电磁铁通电，磁力迫使收放辊移动至容纳槽体的深处，以解除摆动杆和收放辊之间的连接。

可选的，所述罐体的宽度方向相对的两槽壁均设有避让槽，所述过滤膜的边缘贴合固定于避让槽的弧形槽壁上，所述罐体内壁固定有多个沿罐体宽度延伸的钢丝，钢丝抵接于过滤膜的下表面；所述收放辊的端部固定有摩擦滚轮，摩擦滚轮抵接于避让槽的弧形槽壁上；所述摩擦滚轮的直径大于收放辊的直径，当所述转运膜展开时，所述转运膜与过滤膜之间具有间隙。

通过采用上述技术方案，一来，通过摩擦滚轮和避让槽的弧形槽壁之间的摩擦力，使得收放辊在摆动杆的带动下可自转以逐步展开转运膜。

二来，摩擦滚轮的直径大于收放辊的直径，使得转运膜与过滤膜之间具有间隙，并且，转运膜展开时，尾气持续通入罐体内，而转运膜遮挡住过滤膜，尾气压力则施加于转运膜上，使得转运膜向下微形变，即实现转运膜与过滤膜之间的微贴合，以减少转运膜与过滤膜贴合过紧而导致撕拉力度过大造成的过滤膜损伤。

三来，通过设置钢丝，以支撑过滤膜，从而减少过滤膜在尾气压力下的过度形变。

可选的，所述收放辊内部设有空腔，所述空腔的开口沿收放辊径向连通至收放辊外周面，所述空腔内设有收卷辊和用于驱动收卷辊转动的第二驱动组件，所述转运膜的一端缠绕固定于收卷辊上；所述摩擦滚轮与所述转轴转动套设连接，所述摩擦滚轮与转轴之间设有单向轴承，当所述收放辊沿远离所述容纳槽体方向移动时，所述摩擦滚轮与转轴相对转动，当所述收放辊沿朝向所述容纳槽体方向移动时，所述摩擦滚轮与转轴相对固定，且所述空腔的开口沿径向垂直于所述过滤膜的上表面。

通过采用上述技术方案，一来，通过设置单向轴承，使得收放辊沿远离容纳槽体方向移动时，在摩擦力作用下，摩擦滚轮可转动，以带动收放辊转动并展开转运膜。

二来，在收放辊沿朝向容纳槽体方向移动时，单向轴承锁死，摩擦滚轮与转轴相对固定，即该摩擦力将无法使得收放辊转动，收放辊则保持空腔的开口沿径向垂直于过滤膜的上表面，并且在这过程中，第二驱动组件启动，收卷辊转动，收卷辊收卷转运膜，由于空腔的开口沿径向设置，因此被撕拉的转运膜与过滤膜之间的夹角较大，从而能够极大提高撕拉效果和减少过滤膜所受的撕拉损伤。

可选的，所述罐体内壁固定有多个沿罐体宽度延伸的弹力丝，弹力丝抵接于过滤膜的上表面。

通过采用上述技术方案，一来，通过设置弹力丝，减少转运膜与过滤膜的过度贴合；二来，弹力丝能够对过滤膜的向上位移进行约束，从而减少因撕拉过大而带动过滤膜形变过度的情况发生。

三来，弹力丝具有一定弹性，因此能够对向上形变的过滤膜进行柔性阻挡，从而减少过滤膜的损伤。

可选的，所述转运膜设有多个沿自身长度方向延伸的易撕线，各易撕线将转运膜分隔为多个膜单元；所述空腔的开口边缘处设有多个缺口，所述膜单元的端部一体成型有连接带，连接带绕过所述缺口且缠绕固定于所述收卷辊上；相邻缺口之间设有尖锐切割凸起。

通过采用上述技术方案，当需要对展开状态的转运膜进行收卷时，收卷辊转动，通过拉动连接带，以逐步将转运膜收卷至收卷辊上，该过程中，转运膜上的膜单元绕过缺口，而缺口上的尖锐切割凸起正对易撕线，因此，尖锐切割凸起能够对易撕线进行切割，以划分出多个膜单元，从而一来，则实现多个膜单元的同步撕拉，以减少大贴合面积的撕拉而导致过滤膜的结构受损。

可选的，所述第二驱动组件的驱动端与所述收卷辊之间固定有弹簧。

通过采用上述技术方案，一来，弹簧可以实现第二驱动组件的驱动端与收卷辊之间的弹性连接，使得驱动力可以稳定传递至收卷辊上。

二来，驱动力的传递为线性，因此收卷辊传递至转运膜上的拉紧力较为柔和，能够减少转运膜的突然拉紧而导致撕拉力突变的情况发生。

可选的，所述收卷辊的外周面偏心固定有沿自身长度方向排布的凸出部，相邻凸出部之间的凸出方向相反，所述凸出部用于供所述连接带缠绕固定。

通过采用上述技术方案，通过设置多个不同朝向的凸出部，随着收卷辊的转动，凸出部的方向不同，其对于膜单元的收紧力不同，因此，相邻两个膜单元的其中一个将会受到较大收紧力，另一个则受到较小的收紧力。

膜单元的张拉力度较大，过滤膜的对应部位所受的撕拉力度较大，对应部位的形变量较大。膜单元的张拉力度较小，过滤膜的对应部位所受的撕拉力度较小，对应部位的形变量较小，从而使得过滤膜所受张拉形变位置均匀化。

可选的，所述启闭组件包括第三驱动结构和隔板，所述隔板位于所述罐体的与所述容纳槽体相连通的通口处，所述隔板与所述罐体竖向滑移连接，所述第三驱动结构用于带动所述隔板上下滑移。

通过采用上述技术方案，通过设置隔板的上下滑移，以实现通孔的启闭。

综上所述，本申请包括以下至少一种有益技术效果：

1.通过设置转运膜和第一驱动组件，利用第一驱动组件对转运膜的放卷和移动，使得转运膜展开至过滤膜的上方，转运膜下表面的胶粘层粘住过滤膜上表面的固体颗粒，然后第一驱动组件带动转运膜和收放辊沿靠近容纳槽体方向移动，以同时将过滤膜上的固体颗粒带走，以减少过滤膜的堵塞，从而确保过滤膜的尾气过滤量；并且，利用转运膜的可拆卸，可以取下转运膜，并对转运膜上的固体颗粒的分布情况进行观测，从而实现对过滤膜的检测和维护；

2.通过设置转运膜和过滤膜之间的间隙，并且，利用尾气压力作用，使得转运膜向下微形变，即实现转运膜与过滤膜之间的微贴合，以减少转运膜与过滤膜贴合过紧而导致撕拉力度过大造成的过滤膜损伤；

3.通过设置空腔和收卷辊，以增大被撕拉的转运膜与过滤膜之间的夹角，从而能够极大提高撕拉效果和减少过滤膜所受的撕拉损伤；

4.通过设置易撕线和尖锐切割凸起，收卷辊转动时通过拉动连接带以逐步将转运膜收卷至收卷辊上，尖锐切割凸起能够对易撕线进行切割，从而实现多个膜单元的同步撕拉，进而减少因大贴合面积的撕拉而导致过滤膜的结构受损。

附图说明

图1是实施例1的整体设备的运行框图。

图2是实施例1的罐体的剖视图。

图3是实施例1的罐体的局部示意图。

图4是实施例1的罐体的另一方向的剖视图。

图5是实施例1的转运膜的局部剖视图。

图6是图4中A处的局部放大图。

图7是实施例1的用于体现过滤膜与转运膜之间的微间隙的示意图。

图8是实施例1的用于体现摆动杆与收放辊之间的配合关系的示意图。

图9是实施例2的收放辊的剖视图。

图10是实施例2的收放辊的局部剖视图。

图11是实施例3的过滤膜与转运膜之间配合的示意图。

图12是实施例4的转运膜的俯视图。

图13是实施例4的收放辊的局部剖视图。

图14是实施例5的收卷辊的剖视图。

图15是实施例5的收卷辊的局部正视图。

附图标记说明：1、罐体；2、过滤膜；3、转运膜；5、第一驱动组件；6、收放辊；7、容纳槽体；8、第二驱动组件；11、进气管；12、出气管；13、避让槽；14、通口；21、钢丝；22、弹力丝；31、胶粘层；32、离型层；33、易撕线；35、膜单元；36、连接带；51、摆动杆；511、半弧块；512、齿槽；52、第一伺服电机；60、空腔；61、转轴；611、凸齿；62、摩擦滚轮；63、收卷辊；631、凸出部；64、弹簧；65、缺口；66、尖锐切割凸起；71、电磁铁；72、夹块；73、隔板；74、第三驱动结构；81、第二伺服电机；82、第一齿轮；83、第二齿轮。

具体实施方式

以下结合附图1-15对本申请作进一步详细说明。

实施例1

参照图1，公开一种单晶炉氩气回收设备。单晶炉氩气回收设备包括依次连接的除尘装置、冷却分离装置、吸附装置、除碳装置、脱氧塔和纯化塔。单晶炉的尾气进入除尘装置中，除去固体颗粒，然后进入冷却分离装置中进行冷却，分离出不凝气体和冷凝液，不凝气体中主要含有氩气、甲烷、氧气等，以得到粗氩气。吸附装置用于对冷凝得到的不凝气体进行吸附处理，以将粗氩气中的杂质吸附除掉。除碳装置用于将吸附处理后的尾气中的碳源进行氧化，以催化为二氧化碳，而脱氧塔则用于消耗除碳后的气体中的氧气。最后通入至纯化塔中，利用二氧化碳吸附剂，除去脱氧后的气体中的二氧化碳，得到高纯氩气。高纯氩气可通入单晶炉中，以实现回收循环利用。

如图2所示，除尘装置包括呈方形的罐体1、过滤膜2和颗粒收集机构，罐体1的上部设有进气管11，罐体1的下部设有出气管12，进气管11用于与单晶炉的尾气排放管连接，出气管12用于与后续的冷却分离装置连接。

如图3、图4所示，过滤膜2位于罐体1的中部，罐体1的宽度方向相对的两槽壁均设有避让槽13，避让槽13的下槽壁呈弧形状，过滤膜2的边缘贴合固定于避让槽13的弧形槽壁上，使得过滤膜2呈下凹弧形状。

并且，罐体1内壁固定有多个沿罐体1宽度延伸的钢丝21，钢丝21抵接于过滤膜2的下表面，钢丝21用于对过滤膜2进行支撑，以减少过滤膜2因尾气压力而向下形变的情况发生。

如图2所示，颗粒收集机构包括第一驱动组件5、收放辊6和转运膜3，罐体1的外部设有容纳槽体7，容纳槽体7通过螺栓与罐体1可拆卸密封固定连接，并且，容纳槽体7的槽口通过罐体1上开设的通口14与罐体1内腔连通。容纳槽体7的下槽壁设为倾斜面，并且容纳槽体7内设有电磁铁71。

同时，罐体1上设有用于启闭通口14的启闭组件，具体为，启闭组件包括第三驱动结构74和隔板73，隔板73位于通口14处，隔板73与罐体1竖向滑移连接，第三驱动机构为气缸且安装于罐体1壁上，第三驱动结构74的驱动端与隔板73固定连接，以带动隔板73上下滑移，从而完成通口14的启闭。

如图5、图8所示，转运膜3的下表面设有胶粘层31，转运膜3的上表面设有离型层32，转运膜3的一端与容纳槽体7可拆卸固定连接，具体为，容纳槽体7上设有夹块72，夹块72通过螺栓固定于容纳槽体7上，夹块72则通过夹持的方式夹住转运膜3的端部；转运膜3的另一端则缠绕固定于收放辊6上。

常态下时，收放辊6和转运膜3均位于容纳槽体7内，过滤膜2处于过滤尾气的状态。

第一驱动组件5用于带动收放辊6沿过滤膜2长度方向往复移动，收放辊6沿远离容纳槽体7方向移动的过程中逐步放卷转运膜3，以使得转运膜3展开至过滤膜2的上方，转运膜3下表面的胶粘层31粘住过滤膜2上表面的固体颗粒，然后第一驱动组件5带动转运膜3和收放辊6沿靠近容纳槽体7方向移动，以同时将过滤膜2上的固体颗粒带走，以减少过滤膜2的堵塞，从而确保过滤膜2的尾气过滤量。最后利用第一驱动组件5的反向带动以将转运膜3和收放辊6再次收入容纳槽体7内。

具体为，如图4、图6、图7所示，第一驱动组件5包括第一伺服电机52和摆动杆51，摆动杆51位于过滤膜2的上方，摆动杆51的上端与罐体1内壁铰接连接且铰接轴线位于过滤膜2的曲率中心，第一伺服电机52安装于罐体1的外壁上，第一伺服电机52用于驱动摆动杆51摆动。

收放辊6沿罐体1宽度方向延伸设置，收放辊6的端部同轴转动有转轴61，并且，收放辊6的端部固定有摩擦滚轮62，摩擦滚轮62转动套设于转轴61上，摩擦滚轮62抵接于避让槽13的弧形槽壁上，即当收放辊6弧形移动时，摩擦滚轮62与避让槽13的弧形槽壁之间的摩擦力将会带动收放辊6自转。

并且，摩擦滚轮62的直径大于收放辊6的直径，以使得收放辊6高于过滤膜2，因此，当转运膜3展开时，转运膜3与过滤膜2之间具有间隙。

如图8所示，摆动杆51的下端固定有半弧块511，半弧块511可以为电磁铁或者为永磁块，半弧块511的内弧壁设有齿槽512，转轴61的外周面设有与齿槽512相配合的凸齿611。

常态下时，电磁铁71吸住收放辊6，使得收放辊6稳定在容纳槽体7内，隔板73封闭住通口14。

需要对过滤膜2上的固体颗粒进行去除时，隔板73开启通口14，电磁铁71断电，收放辊6在重力作用下沿倾斜面下移，此时摆杆的下端位于通口14处，即收放辊6移动至摆杆下端处，此时，凸齿611和半弧块511进行磁吸连接，以及通过凸齿611与齿槽512的配合，以实现摆动杆51的下端与收放辊6之间的连接，然后第一伺服电机52启动以带动摆动杆51进行摆动，摆动杆51带动收放辊6沿远离容纳槽体7方向移动，同时，由于摩擦滚轮62的摩擦力，收放辊6发生自转，以逐步放卷转运膜3，直至转运膜3完全展开至过滤膜2的正上方。

该过程中，尾气持续通入罐体1内，尾气压力施加于转运膜3上，使得转运膜3向下微形变，即实现转运膜3与过滤膜2之间的微贴合，以粘附住过滤膜2上的固体颗粒。

然后，第一伺服电机52带动摆动杆51摆动，以带动收放辊6沿朝向容纳槽体7方向移动，同时，由于摩擦滚轮62的摩擦力，收放辊6发生自转，以逐步收卷转运膜3，直至收放辊6位于容纳槽体7内，然后电磁铁71通电以迫使收放辊6脱离摆动杆51，隔板73下移封闭通口14，从而完成颗粒取出，从而确保过滤膜2的尾气过滤量，进而提高氩气回收效率。

其次，从罐体1上取下容纳槽体7、转运膜3和收放辊6，最后将转运膜3从收放辊6和容纳槽体7上取下，对转运膜3上的固体颗粒的分布情况进行观测，根据固体颗粒的分布均匀性以判断过滤膜2的过滤效果保持度，从而实现对过滤膜2的检测和维护。

实施例2

实施例2与实施例1的不同之处在于，如图9、图10所示，收放辊6内部设有空腔60，空腔60的开口沿收放辊6径向连通至收放辊6外周面。

空腔60内设有收卷辊63和用于驱动收卷辊63转动的第二驱动组件8，收卷辊63的一端与收放辊6同轴转动连接，收卷辊63的另一端固定有弹簧64，弹簧64的另一端固定有第一齿轮82，第二驱动组件8包括第二伺服电机81，第二伺服电机81安装于空腔60中，第二伺服电机81的输出端固定有第二齿轮83，第二齿轮83与第一齿轮82啮合。

转运膜3的一端穿过空腔60的开口并缠绕固定于收卷辊63上。

摩擦滚轮62与转轴61之间设有单向轴承（图中未示出），当收放辊6沿远离容纳槽体7方向移动时，单向轴承无约束，摩擦滚轮62与转轴61可相对转动，而在摩擦力作用下，摩擦滚轮62可转动，以带动收放辊6转动并展开转运膜3。

当收放辊6沿朝向容纳槽体7方向移动时，单向轴承锁死，摩擦滚轮62与转轴61相对固定，即该摩擦力将无法使得收放辊6转动，使得收放辊6沿朝向容纳槽体7方向移动的过程中，空腔60的开口保持径向垂直于过滤膜2的上表面的状态，与此同时，第二驱动组件8启动，收卷辊63转动，收卷辊63收卷转运膜3，此时，转运膜3的撕拉角度较大，从而能够极大提高撕拉分离效果和减少过滤膜2所受的撕拉损伤。

实施例3

实施例3与实施例2的不同之处在于，如图11所示，罐体1内壁固定有多个沿罐体1宽度延伸的弹力丝22，各弹力丝22与钢丝21一一对应，弹力丝22位于钢丝21的正上方，且弹力丝22抵接于过滤膜2的上表面。

如此一来，弹力丝22能够减少转运膜3与过滤膜2的过度贴合的情况发生，并且，弹力丝22能够对过滤膜2的向上位移进行约束，从而减少因撕拉过大而带动过滤膜2形变过度的情况发生。

实施例4

实施例4与实施例2的不同之处在于，如图12所示，转运膜3设有多个沿自身长度方向延伸的易撕线33，各易撕线33将转运膜3均匀分隔为多个膜单元35，并且，膜单元35的端部一体成型有连接带36。

如图13所示，空腔60的开口边缘处设有多个缺口65，缺口65与连接带36一一对应，连接带36绕过缺口65并缠绕固定于收卷辊63上，并且，相邻缺口65之间固定有尖锐切割凸起66，尖锐切割凸起66正对易撕线33。

当需要对展开状态的转运膜3进行收卷时，收卷辊63转动，通过拉动连接带36，以逐步将转运膜3收卷至收卷辊63上，该过程中，尖锐切割凸起66对易撕线33进行切割，以划分出多个膜单元35，即收卷辊63的收卷力均匀施加于多个膜单元35上，而膜单元35对于过滤膜2的撕拉作用力是独立的，因此能够减少过滤膜2所受的撕拉单位面积，进而减少大贴合面积的撕拉而导致过滤膜2的结构受损，以确保过滤效果的稳定性。

实施例5

实施例5与实施例4的不同之处在于，如图14、图15所示，收卷辊63的外周面偏心固定有多个凸出部631，凸出部631的表面为圆弧状，各凸出部631沿收卷辊63长度方向紧密排布，而相邻凸出部631之间的凸出方向相反，凸出部631用于供连接带36缠绕固定。

随着收卷辊63的转动，由于凸出部631的方向不同，膜单元35被张拉的长度亦不同，即不同膜单元35的张拉力度不同，呈现相隔两个的膜单元35张拉力度较大，而中间的膜单元35张拉力度较小的情况。

相应的，膜单元35的张拉力度较大，过滤膜2的对应部位所受的撕拉力度较大，对应部位的形变量较大。而膜单元35的张拉力度较小时，过滤膜2的对应部位所受的撕拉力度较小，对应部位的形变量较小，即该对应部位的可形变余量较大，该大形变余量用于补偿过滤膜2的相邻部位的大形变需求，从而使得过滤膜2所受张拉形变位置均匀化，从而减少过滤膜2因张拉形变部位过于集中而导致受损的情况发生。

以上均为本申请的较佳实施例，并非依此限制本申请的保护范围，故：凡依本申请的结构、形状、原理所做的等效变化，均应涵盖于本申请的保护范围之内。