一种单晶硅棒拉制方法、换热装置和单晶硅棒拉制装置

技术领域

本申请属于光伏技术领域，具体涉及一种单晶硅棒拉制方法、换热装置和单晶硅棒拉制装置。

背景技术

近年来，光伏发电作为绿色能源以及人类可持续发展的主要能源的一种，日益受到世界各国的重视并得到大力发展。单晶硅片作为光伏发电的一种基础材料，有着广泛的市场需求。单晶硅片通常由单晶硅棒进行切片处理得到，单晶硅棒则可以由硅料生长拉制而成。

在具体的应用中，单晶硅棒拉制装置内通常设置有换热器。在拉制单晶硅棒的过程中，可以根据工艺需求向换热器内通入冷却水，以带走单晶硅棒的热量，提高晶体的生产速度。通常的，换热器的换热能力越强，晶体的生长速度越大，相应的，单晶硅棒的拉制速度也越高。

现有的技术中，通常采用增大换热器的换热面积，或者，增加换热器内的冷却水流量的方式来提升换热器的换热能力。然而，受单晶硅棒拉制装置炉内空间的限制，换热器的换热面积和冷却水流量的增加幅度都极为有限，极大的限制了换热器的换热能力的增幅，不利于晶体生长速度的提升，影响了单晶硅棒的拉制速度。

发明内容

本申请旨在提供一种单晶硅棒拉制方法和单晶硅棒拉制装置，以解决现有的换热器换热能力有限，影响到单晶硅棒拉制速度的问题。

为了解决上述技术问题，本申请是这样实现的：

第一方面，本申请公开了一种单晶硅棒拉制方法，所述单晶硅棒拉制方法包括：

提供主炉体，所述主炉体内装有坩埚、加热器以及换热器，在所述换热器中通入第一介质，所述坩埚盛放有硅料；

启动所述加热器将所述硅料熔化成硅液，以在所述硅液中执行拉晶操作，并向所述换热器中通入第二介质。

可选地，所述在硅液中执行拉晶操作，并向所述换热器中通入第二介质的步骤，包括：

在所述硅液内执行拉晶操作，在拉晶操作过程中的等径阶段，向所述换热器中通入第二介质。

可选地，所述在拉晶操作过程中的等径阶段，向所述换热器中通入第二介质的步骤，包括：

在拉晶操作过程中的等径阶段，在等径长度达到预设长度的情况下，打开第二介质阀门，以向所述换热器内通入第二介质。

可选地，所述在拉晶操作过程中的等径阶段，在等径长度达到预设长度的情况下，打开第二介质入口阀门，以向所述换热器内通入第二介质的步骤之后，还包括：

打开与所述换热器的出液口连接的回收装置，以通过所述回收装置分别回收所述第一介质和所述第二介质。

可选地，所述回收装置为蒸馏器；

所述打开与所述换热器的出液口连接的回收装置，以通过所述回收装置分别回收所述第一介质和所述第二介质的步骤，包括：

打开与所述换热器的出液口连接的蒸馏器，以通过所述蒸馏器对所述换热器排出的所述第一介质和所述第二介质进行蒸馏分离，得到蒸馏分离后的所述第一介质和所述第二介质。

可选地，所述打开与所述换热器的出液口连接的蒸馏器，以通过所述蒸馏器对所述换热器排出的所述第一介质和所述第二介质进行蒸馏分离，得到蒸馏分离后的所述第一介质和所述第二介质的步骤之后，还包括：

在预设时长后，关闭所述蒸馏器，以停止对所述换热器排出的所述第一质和所述第二介质进行蒸馏分离。

可选地，所述预设时长为20－60分钟。

可选地，所述预设长度为100－300毫米。

可选地，所述第一介质与所述第二介质的流量比为：9：1－5：5。

可选地，所述第一介质包括冷却水，所述第二介质包括：硝酸、硝酸铵以及氯化铵中的至少一种。

第二方面，本申请公开了一种换热装置，所述换热装置包括换热器以及介质通入机构；其中，

所述换热器上设置有进液口和出液口，所述介质通入机构与所述进液口连接，用于向所述换热器内通入第一介质和/或第二介质。

可选地，所述换热装置还包括回收装置，所述回收装置与所述出液口连接，所述回收装置用于对所述换热器排出的所述第一介质和/或所述第二介质进行蒸馏分离，得到蒸馏分离后的所述第一介质和/或所述第二介质。

可选地，所述换热器、所述进液口以及所述出液口的内壁皆设置有耐腐蚀层。

第三方面，本申请还公开了一种单晶硅棒拉制装置，所述单晶硅棒拉制装置包括：主炉体、坩埚、加热器以及权利要求11至13任一项所述的换热装置；其中，

所述坩埚、所述加热器、所述换热装置设置在所述主炉体内，所述坩埚用于盛放硅料，所述换热装置用于通入第一介质和/或第二介质。

本申请实施例中，在所述硅液中执行拉晶操作的过程中，可以向所述换热器内通入第二介质。通过所述第二介质在所述换热器内的第一介质中的水解可以吸收大量的热量，大幅降低所述换热器的温度，提高所述换热器的换热能力。这样，就可以提高所述单晶硅棒拉制过程中的晶体生长速度，并相应提高所述单晶硅棒的拉制速度。

本发明的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。

附图说明

本发明的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1是本申请实施例所述的一种单晶硅棒拉制方法的步骤流程图；

图2是本申请实施例所述的一种单晶硅棒拉制装置的结构示意图；

图3是本申请实施例所述的另一种单晶硅棒拉制方法的步骤流程图

附图标记：10－主炉体，11－坩埚，12－加热器，13－换热器，131－进液口，132－出液口，14－介质通入机构，15－回收装置，16－水解介质容器，20－单晶硅棒。

具体实施方式

下面将详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

本申请的说明书和权利要求书中的术语“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。此外，说明书以及权利要求中“和/或”表示所连接对象的至少其中之一，字符“/”，一般表示前后关联对象是一种“或”的关系。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

参照图1，示出了本申请实施例所述的一种单晶硅棒拉制方法的步骤流程图，如图1所示，所述单晶硅棒拉制方法具体可以包括以下步骤：

步骤101：提供主炉体，主炉体内装有坩埚、加热器以及换热器，在换热器中通入第一介质，所述坩埚盛放有硅料。

本申请实施例中，可以采用图2所示的单晶硅棒拉制装置进行单晶硅棒的拉制，具体的，图2所示的单晶硅棒拉制装置可以为单晶炉。如图2所示，所述单晶炉具体可以包括：主炉体10、坩埚11、加热器12、换热器13以及介质通入机构14；其中，坩埚11、加热器12、换热器13设置在主炉体10内，坩埚11可以用于盛放硅料。加热器12可以设置在坩埚11的侧面和/或底部，以对坩埚11内的硅料进行加热，将所述硅料熔化成硅液，以便从所述硅液中生长单晶硅棒20。换热器13可以设置在坩埚11的上方并环绕单晶硅棒20设置，换热器13可以用于带走单晶硅棒20的结晶潜热，实现散热的效果，以增加晶体的生长速度，从而提升单晶硅棒20的拉制速度。

在具体的应用中，可以将硅料加入单晶炉内的坩埚11中。坩埚11可以为石英坩埚或者石墨坩埚等，本发明实施例对于坩埚11的具体类型可以不做限定。

如图2所示，换热器13可以包括进液口131和出液口132，进液口131可以用于将冷却介质通入换热器13内，出液口132可以用于将换热器13内的冷却介质排出，通过所述冷却介质在换热器13内的循环，可以实现散热的效果。

本申请实施例中，在开启加热器12之前或者开启加热器12的同时，可以通过进液口131向换热器13内通入第一介质。具体的，所述第一介质可以为实现冷却效果的冷却介质，例如，冷却水等。

步骤102：启动所述加热器将所述硅料熔化成硅液，以在所述硅液中执行拉晶操作，并向所述换热器中通入第二介质。

本申请实施例中，可以采用加热器12对坩埚11进行加热，以熔化坩埚11内的硅料，得到硅液，以在所述硅液中执行拉晶操作。具体地，加热器12可以对应设置于坩埚11的侧壁和/或底部，加热器12的功率也可以根据实际情况进行设定。

具体的，在所述硅液中执行拉晶操作的过程中，可以向换热器12内通过第二介质，以通过所述第二介质在换热器13内的循环带走更多的热量。具体的，所述第二介质可以为冷却效果比所述第一介质冷却效果更好的冷却介质。所述第二介质可以吸收大量的热量，大幅降低换热器13的温度，提高换热器13的换热能力。这样，就可以提高所述单晶硅棒拉制过程中的晶体生长速度，并相应提高单晶硅棒20的拉制速度。

可选地，所述第一介质可以包括冷却水，所述第二介质可以为水解介质，所述第二介质可以包括：硝酸、硝酸铵以及氯化铵中的至少一种。由于冷却水简单易得且成本较低，在所述第一介质为冷却水的情况下，可以显著降低拉晶过程中的成本。由于硝酸、硝酸铵以及氯化铵等水解介质在水解过程中能够吸收大量的热量，大幅降低换热器13的温度，提高换热器13的换热能力。在拉晶阶段通入所述第二介质，可以快速的带走结晶潜热，提高所述单晶硅棒拉制过程中的晶体生长速度，并相应提高所述单晶硅棒的拉制速度。

本申请实施例中，拉晶操作可以包括引晶、放肩、等径等阶段。具体地，所述引晶的操作可以为：将籽晶伸入所述硅液，引出一定长度，直径为3～5mm的细颈，以消除结晶位错。所述放肩的操作可以为：将上述细颈的直径放大到目标直径，当细颈生长至足够长度，并且达到一定的提拉速率，即可降低拉速进行放肩。所述等径的操作具体可为：当晶体基本实现等径生长并达到目标直径时，即可拉制形成单晶硅棒20。

在本申请的一些可选实施例中，在所述硅液内执行拉晶操作时，可以选择在拉晶操作过程中的等径阶段，向换热器13中通入第二介质。在具体的应用中，由于等径阶段释放的热量较多，同时，等径阶段拉晶稳定，因此，在等径操作过程中，可以向换热器13内通入第二介质。通过所述第二介质在换热器13内的冷却水中的水解可以吸收大量的热量，大幅降低换热器13的温度，提高换热器13的换热能力。这样，就可以提高所述单晶硅棒拉制过程中的晶体生长速度，并相应提高单晶硅棒20的拉制速度。

在具体的应用中，换热器13的吸收单晶硅棒20辐射热的效率可以按下式表示：

其中Q为吸收的辐射热量，k为系数，T1和T2分别为单晶硅棒20和换热器13的温度，A是辐射面积，φ为角系数。因此降低换热器13温度可提升辐射热吸收效率。

本申请实施例中，利用某些盐类、酸、碱等水解介质在水解过程中会急剧吸热从而强制冷却容器至极低温度的性质，将这些物质水解在换热器13的冷却水中，可以大幅降低换热器温度，大幅提升换热器13的换热能力，进而提升晶体生长速度，提升所述单晶硅棒20的拉制速度。

试验数据表明，通过在等径过阶段中向换热器13内通入水解介质，可以降低换热器13的温度，换热器13的平均温度可由32℃降至18℃。相应的，晶体生长速度可由1.85mm/min提升至1.98mm/min，晶体的生长速度提升显著，相应的，单晶硅棒20的拉制速度也可以得到显著的提升。

综上，本申请实施例所述的单晶硅棒拉制装置至少可以包括以下优点：

本申请实施例中，在所述硅液中执行拉晶操作的过程中，可以向所述换热器内通入第二介质。通过所述第二介质在所述换热器内的第一介质中的水解可以吸收大量的热量，大幅降低所述换热器的温度，提高所述换热器的换热能力。这样，就可以提高所述单晶硅棒拉制过程中的晶体生长速度，并相应提高所述单晶硅棒的拉制速度。

参照图3，示出了本申请实施例所述的另一种单晶硅棒拉制方法的步骤流程图，如图3所示，所述单晶硅棒拉制方法具体可以包括以下步骤：

步骤301：提供主炉体，所述主炉体内装有坩埚、加热器以及换热器，在所述换热器内通入第一介质，所述坩埚盛放有硅料。

本步骤与前述实施例中的步骤101相同，具体实施过程可以参照执行，在此不做赘述。

步骤302：启动所述加热器将所述硅料熔化成硅液，以在所述硅液中执行拉晶操作，在拉晶操作过程中的等径阶段，在等径长度达到预设长度的情况下，打开第二介质阀门，以向所述换热器内通入第二介质。

本步骤与前述实施例中的步骤102相同，具体实施过程可以参照执行，在此不做赘述。

如图2所示，介质通入机构14可以与进液口131连接，以从进液口131向换热器13内通入第一介质和/或第二介质。所述第二介质在换热器13的第一介质中水解吸热之后，水解产物可以跟随所述第一介质从出液口132排出至换热器13外。在实际应用中，介质通入机构14内可以设置有第二介质阀门，在所述第二介质阀门打开的情况下，所述介质通入机构14可以通过进液口131向换热器13内通入所述第二介质。在所述第二介质阀门关闭的情况下，介质通入机构14则停止向换热器13内通入所述第二介质。

可选地，所述预设长度为100-1000毫米，即在所述等径长度达到100-1000毫米的情况下，打开所述第二介质阀门，以向换热器13内通入所述第二介质。

在实际应用中，在等径长度达到100-1000毫米的情况下，单晶硅棒20的结晶潜热释放量达到最大且趋于稳定，此时向换热器13内通入第二介质，不仅可以通过所述第二介质的水解吸收大量的热量，提高换热器13的换热能力，还可以避免所述第二介质水解吸收大量热量影响到等径过程中的热场稳定性，提高等径质量，以达到提升拉晶质量的目的。

示例的，可以预设长度可以包括但不局限于100毫米、120毫米、190毫米、260毫米以及300毫米中的任意一种，本申请实施例对于所述预设长度的具体取值不做限定。

在具体的应用中，在等径长度低于100毫米的情况下，由于单晶硅棒20伸入换热器13内的长度较短，此时通入所述第二介质吸收大量的热量，不仅会造成热量的浪费而且还有可能影响到等径过程中的热场稳定性，不利于提升拉晶质量。而在等径长度大于1000毫米的情况下，由于此时单晶硅棒20的长度已经快要接近产品的最终长度，此时再通入所述第二介质，对于拉晶速度和拉晶质量的提升不明显。

可选地，所述第一介质与所述第二介质的流量比为：9:1-5:5，以使得所述第二介质能够在所述第一介质中充分的水解，避免所述第二介质的浪费，同时，又能够充分的吸收等径过程中释放出的结晶潜热，使得晶体生长速度尽可能的提高。

示例地，所述第一介质与所述第二介质的流量比可以包括但不局限于9:1、8:2、6:4以及5:5中的任意一种，本申请实施例对于所述第一介质与所述第二介质的流量比不做具体限定。

在实际应用中，在所述第一介质与所述第二介质的流量比大于9:1的情况下，由于所述第二介质的流量占比太小，所述第二介质水解时带走的热量有限，很难使得换热器13实现快速冷却的效果。在所述第一介质和所述第二介质的流量比小于5:5的情况下，由于所述第二介质的流量占比大于所述第一介质的流量占比，所述第二介质很难得到充分的水解，这样，就很容易造成所述第二介质的浪费，经济效益较差。

步骤303：打开与所述换热器的出液口连接的回收装置，以通过所述回收装置分别回收所述第一介质和所述第二介质。

如图2所示，所述单晶硅棒拉制装置还可以包括：回收装置15，回收装置15与换热器13的出液口132连接，回收装置15可以用于回收所述第一介质和所述第二介质，以实现所述第一介质和所述第二介质的再次利用，降低拉晶成本并避免所述第一介质和所述第二介质的混合物对环境造成污染。

可选地，回收装置15可以为蒸馏器；所述打开与换热器13的出液口132连接的回收装置15，以通过回收装置15分别回收所述第一介质和所述第二介质的步骤，包括：打开与换热器13的出液口132连接的蒸馏器，以通过所述蒸馏器对换热器13排出的所述第一介质和所述第二介质进行蒸馏分离，得到蒸馏分离后的所述第一介质和所述第二介质。具体的，在介质通入机构14打开的同时，可以打开所述蒸馏器，以通过所述蒸馏器分离换热器13排出的第一介质和第二介质的水解产物。

在实际应用中，通过所述蒸馏器的分离作用，蒸馏后的第一介质可以从所述蒸馏器的底部流出，并通过管道流入换热器13的进液口131，以实现所述第一介质的循环利用。所述蒸馏器的顶部可以与水解介质容器16连接，水解介质容器16则可以与介质通入机构14连接。蒸馏分离后的水解介质产物可以从蒸馏器的顶部流出并进入水解介质容器16。通过在水解介质容器16内的进一步反应，所述第二介质的水解产物得以生成第二介质。所述第二介质可以进入介质通入机构14，并通过介质通入机构14进入换热器13内，以实现所述第二介质的循环利用。这样，通过所述第一介质和所述第二介质的循环利用，不仅可以降低拉晶成本，而且，还可以避免对环境造成污染。

在实际应用中，蒸馏器中设置有加热机构，以通过加热的方式实现所述第一介质和所述第二介质的水解产物的分离。示例的，所述加热机构的加热方式可以包括但不局限于电加热、光热、水浴加热中的任意一种，本申请实施例对于所述加热机构的加热方式不做具体限定。

需要说明的是，在分离冷所述第一介质和所述第二介质的水解产物的过程中，为了避免所述第一介质的蒸发，蒸馏器内的加热温度通常需要小于100摄氏度。例如，在所述第二介质为硝酸的情况下，蒸馏器内的温度可以为80-85摄氏度。

步骤304：在将单晶硅棒提出所述硅液后，关闭所述第二介质阀门，以停止向所述换热器内通入所述第二介质。

本申请实施例中，在将单晶硅棒提出所述硅液后，可以认为单晶硅棒拉制过程已经完成，已经无需提高换热器13的换热能力以提高晶体的生长速度。此时，可以关闭所述第二介质阀门，以停止向换热器13内通入第二介质，达到节约所述第二介质的目的，而且，还可以避免主炉体10内的热量浪费。

步骤305：在预设时长后，关闭蒸馏器，以停止对换热器排出的所述第一介质和所述第二介质进行蒸馏分离。

本申请实施例中，在预设时长后，可以认为所述第一介质和所述第二介质的水解产物已经完全分离，已经没有需要蒸馏分离换热器13排出的所述第一介质和所述第二介质的需求。此时，可以关闭蒸馏器，以停止对换热器13排出的所述第一介质和所述第二介质进行蒸馏分离，达到节约能量的目的。

可选地，所述预设时长为20-60分钟。通常的，在关闭所述第二介质阀门20-60分钟之后，可以所述第一介质和所述第二介质的水解产物已经完全分离，已经没有需要蒸馏分离换热器13排出的所述第一介质和所述第二介质的需求。此时关闭蒸馏器可以实现最优的节能效果。

需要说明的是，所述预设时长可以根据冷却水的流量、换热器13的大小等因素确定。例如，所述预设时长可以为20分钟、21分钟、24分钟或者25分钟等，本申请实施例对于所述预设时长不做具体限定。

在实际应用中，在所述预设时长小于20分钟的情况下，由于时间太短，此时，有可能所述第二介质或者第二介质的水解产物未与所述第一介质完全分离，此时关闭所述蒸馏器，则无法实现所述第一介质和所述第二介质的水解产物的循环利用，而且，还会对环境造成污染。而在所述预设时长大于60分钟的情况下，由于所述第二介质或者第二介质的水解产物早已与所述第一介质完全分离，此时再关闭所述蒸馏器，会造成所述蒸馏器工作时的能源浪费。

本申请实施例还提供了一种换热装置，所述换热装置包括图2所示的换热器13以及介质通入机构14；其中，换热器13上设置有进液口131和出液口132，介质通入机构14与进液口131连接，用于向换热器13内通入第一介质和/或第二介质。

具体的，在开启加热器12之前或者开启加热器12的同时，介质通入机构14向可以通入进液口131向换热器13内通入第一介质。在拉晶阶段，介质通入机构14向可以通入进液口131向换热器13内通入第二介质。

可选地，所述第一介质可以包括冷却水，所述第二介质可以为水解介质，所述第二介质可以包括：硝酸、硝酸铵以及氯化铵中的至少一种。由于冷却水简单易得且成本较低，在所述第一介质为冷却水的情况下，可以显著降低拉晶过程中的成本。由于硝酸、硝酸铵以及氯化铵等水解介质在水解过程中能够吸收大量的热量，大幅降低换热器13的温度，提高换热器13的换热能力。在拉晶阶段通入所述第二介质，可以快速的带走结晶潜热，提高所述单晶硅棒拉制过程中的晶体生长速度，并相应提高所述单晶硅棒的拉制速度。

可选地，所述换热装置还包括回收装置15，回收装置15与出液口132连接，回收装置15可以用于对换热器13排出的所述第一介质和/或所述第二介质进行蒸馏分离，得到蒸馏分离后的所述第一介质和/或所述第二介质，以实现所述第一介质和所述第二介质的再次利用，降低拉晶成本并避免所述第一介质和所述第二介质的混合物对环境造成污染。

可选地，所述换热器、所述进液口以及所述出液口的内壁皆设置有耐腐蚀层。所述耐腐蚀层可以用于避免所述第二介质以及第二介质的水解产物腐蚀换热器13、进液口131以及出液口132，以提高换热器13的使用寿命。

示例的，所述耐腐蚀层的材料可以为聚四氟乙烯等，本申请实施例对于所述耐腐蚀层的材料不做具体限定。

本申请实施例还提供了一种图2所示的单晶硅棒拉制装置，如图2所示，所述硅棒拉制装置具体可以包括：主炉体10、坩埚11、加热器12以及上述任一实施例所述的换热装置；其中，坩埚11、加热器12、所述换热装置设置在主炉体10内，坩埚10用于盛放硅料，所述换热装置可以用于通入第一介质和/或第二介质。

本申请实施例中，在所述硅液中执行拉晶操作的过程中，可以向所述换热装置的换热器13内通入第二介质。通过所述第二介质在换热器13内的第一介质中的水解可以吸收大量的热量，大幅降低换热器13的温度，提高换热器13的换热能力。这样，就可以提高所述单晶硅棒拉制过程中的晶体生长速度，并相应提高所述单晶硅棒的拉制速度。

需要说明的是，本申请实施例中，所述换热装置的结构与上述任一实施例中的换热装置的结构相同，其有益效果也类似，在此不做赘述。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示意性实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

尽管已经示出和描述了本发明的实施例，本领域的普通技术人员可以理解：在不脱离本发明的原理和宗旨的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由权利要求及其等同物限定。