边缘清洗装置及光罩保护装置

技术领域

本公开涉及半导体的技术领域，尤其涉及一种边缘清洗装置及光罩保护装置。

背景技术

当前，光罩是半导体行业制造时必需的一种模具，一般地，为了防止微粒落在图案区上影响曝光成像，在图案区会设置透明保护膜，保护膜贴附在专门的框架上，保护膜框架使用胶固定在光罩上。

目前光罩的清洗区域主要为光罩的玻璃区，而保护膜框架外侧的主体边缘也会落有灰尘微粒，亦需要清洗。

发明内容

以下是对本公开详细描述的主题的概述。本概述并非是为了限制权利要求的保护范围。

为克服相关技术中存在的问题，本公开提供了一种边缘清洗装置及光罩保护装置。

本公开实施例提供了一种边缘清洗装置，所述边缘清洗装置包括：承载平台、清洁机构以及保护机构；承载平台用于支撑目标器件并用于固定所述目标器件于目标位置；清洁机构包括位于所述承载平台上并能够相对所述承载平台滑动的除尘组件，所述除尘组件用于抵接所述目标器件的边缘顶面，所述除尘组件包括用于带动所述除尘组件在所述目标器件的边缘顶面移动的动力端；保护机构包括位于所述承载平台上并用于覆盖所述目标器件的隔离组件，所述隔离组件包括用于带动所述隔离组件靠近或远离所述目标器件的驱动端。

根据本公开的一些实施例，所述承载平台包括机体以及夹持组件，所述夹持组件有多个且阵列分布，所述夹持组件能够相对于所述机体滑动并靠近或远离所述目标位置；所述承载平台还包括设置于所述夹持组件上并能够相对于所述夹持组件移动的固定组件，所述固定组件用于抵紧所述机体并将所述夹持组件抵紧在所述机体上的目标位置。

根据本公开的一些实施例，所述夹持组件包括滑动连接于所述机体上的底座，所述固定组件包括固定连接于所述底座上的固定螺栓以及螺纹连接于所述固定螺栓上的固定螺母，至少部分所述机体实体位于所述底座与所述固定螺母之间。

根据本公开的一些实施例，所述机体上开设有沿竖直方向贯穿所述机体的滑槽，所述固定螺栓穿过所述滑槽。

根据本公开的一些实施例，所述底座上开设有用于至少容纳所述目标器件部分边缘的容置槽。

根据本公开的一些实施例，所述清洁机构还包括位于所述承载平台上并驱动所述除尘组件沿所述目标器件顶面移动的动力组件。

根据本公开的一些实施例，所述除尘组件包括安装杆以及套设于所述安装杆一端的除尘套，所述除尘套用于贴附所述目标器件的边缘顶面；所述动力组件包括固定于所述承载平台上的电机、与电机输出轴同轴固定的丝杆以及固定于所述承载平台上的限位杆，所述限位杆平行于所述丝杆，所述丝杆贯穿所述安装杆并与所述安装杆螺纹连接，所述限位杆平行于所述丝杆设置并贯穿所述安装杆。

根据本公开的一些实施例，所述安装杆上固定有力矩传感器，所述力矩传感器用于获取所述除尘套与所述目标器件之间的接触力矩。

根据本公开的一些实施例，所述保护机构包括与所述承载平台固定连接的驱动组件，所述驱动组件与所述驱动端固定连接，所述驱动组件驱动所述隔离组件靠近或远离所述目标器件。

根据本公开的一些实施例，所述驱动组件包括固定于所述承载平台上的气缸，所述气缸竖直设置且所述气缸的活塞杆与所述隔离组件固定连接。

根据本公开的一些实施例，所述隔离组件包括与所述气缸的活塞杆固定连接的保护罩，所述保护罩的开口竖直向下设置并用于扣设于所述目标器件的上方。

根据本公开的一些实施例，所述保护罩包括用于覆盖所述目标器件上方的顶盖以及用于覆盖所述目标器件侧边的侧板，所述侧板至少有两个且分布于所述顶盖相对的两侧，所述侧板与所述顶盖活动连接，所述侧板上设有用于将所述侧板固定于所述顶盖上的锁紧组件。

根据本公开的一些实施例，所述侧板滑移连接于所述顶盖上，所述锁紧组件包括固定连接于所述侧板上的锁紧螺栓以及螺纹连接于所述锁紧螺栓上的锁紧螺母，至少部分所述顶盖的实体位于所述锁紧螺母与所述侧板之间。

根据本公开的一些实施例，所述顶盖上开设有沿竖直方向贯穿所述顶盖的移动槽，所述锁紧螺栓贯穿所述移动槽。

本公开实施例的第二方面，提供一种光罩保护装置，所述光罩保护装置包括框架以及固定于所述框架围成区域内的保护膜，所述框架的顶端开设有用于容纳前述的保护机构的底部边缘的容纳槽，前述的所述清洁组件的端部抵接所述框架的外壁。

本公开的实施例提供的技术方案可以包括以下有益效果：通过承载平台对光罩进行支撑固定，使光罩稳定的停留在承载平台上，除尘组件通过抵接主体上未被保护膜覆盖的边缘顶面并往复运动实现对安装于承载平台上的光罩主体边缘进行清理，去除光罩主体边缘顶面的灰尘微粒。在清洁机构工作的过程中，为了降低清洁机构污染覆盖于图案区上方的保护膜的可能，通过保护机构对图案区进行覆盖，即保护膜被隔离组件覆盖，减小了除尘组件在往复运动或除尘动作过程中将水滴、灰尘微粒等溅射至保护膜上的可能，降低了清洁组件污染保护膜导致光罩受损失效的可能。

应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，并不能限制本公开。在阅读并理解了附图和详细描述后，可以明白其他方面。

附图说明

此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本发明的实施例，并与说明书一起用于解释本发明的原理。

图1是根据一示例性实施例示出的光罩结构的示意图。

图2是根据一示例性实施例示出的承载平台结构的示意图。

图3是根据一示例性实施例示出的除尘组件结构的示意图。

图4是根据一示例性实施例示出的固定组件结构的示意图

图5是根据一示例性实施例示出的保护罩结构的示意图。

图6是根据一示例性实施例示出的动力组件结构的示意图。

图7是根据一示例性实施例示出的结构的示意图。

附图标记

1、承载平台；11、机体；111、滑槽；112、燕尾槽；12、夹持组件；121、底座；1211、容置槽；13、固定组件；131、固定螺栓；132、固定螺母；133、定位杆；14、定位孔；2、清洁机构；21、除尘组件；211、除尘套；212、安装杆；213、力矩传感器；22、动力组件；221、电机；2211、楔形块；222、丝杆；223、限位杆；224、支撑块；225、限位螺栓；3、保护机构；31、隔离组件；311、保护罩；3111、顶盖；3112、侧板；312、锁紧组件；3121、锁紧螺栓；3122、锁紧螺母；3123、移动槽；32、驱动组件；321、气缸；33、门型架；4、框架；41、保护膜；42、容纳槽；5、主体；51、玻璃面；52、图案区。

具体实施方式

为使本公开实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本公开实施例中的附图，对公开实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本公开一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本公开中的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本公开保护的范围。需要说明的是，在不冲突的情况下，本公开中的实施例及实施例中的特征可以相互任意组合。

如背景技术所言，当前，光罩是半导体行业制造时必需的一种模具，参照图1，光照包括主体5，主体5的顶面为图案区52，主体5的底面为玻璃面51。一般地，为了防止微粒落在图案区52上影响曝光成像，在图案区52会设置透明保护膜41，保护膜41贴附在专门的框架4上，框架4使用胶固定在光罩上。目前光罩的清洗区域主要为光罩的玻璃面51，而框架4外侧的主体5边缘也会落有灰尘微粒，亦需要清洗。

基于此本公开提供了一种边缘清洗装置及光罩保护装置，通过承载平台对光罩进行支撑固定，使光罩稳定的停留在承载平台上，除尘组件通过抵接主体上未被保护膜覆盖的边缘顶面并往复运动实现对安装于承载平台上的光罩主体边缘进行清理，去除光罩主体边缘顶面的灰尘微粒。在清洁机构工作的过程中，为了降低清洁机构污染覆盖于图案区上方的保护膜的可能，通过保护机构对图案区进行覆盖，即保护膜被隔离组件覆盖，减小了除尘组件在往复运动或除尘动作过程中将水滴、灰尘微粒等溅射至保护膜上的可能，降低了清洁组件污染保护膜导致光罩受损失效的可能。

本公开示例性的实施例中提供一种边缘清洗装置及光罩保护装置，如图1所示，图1是根据一示例性实施例示出的光罩结构的示意图；图2是根据一示例性实施例示出的承载平台结构的示意图；图3是根据一示例性实施例示出的除尘组件结构的示意图；图4是根据一示例性实施例示出的固定组件结构的示意图；图5是根据一示例性实施例示出的保护罩结构的示意图；图6是根据一示例性实施例示出的动力组件结构的示意图；图7是根据一示例性实施例示出的结构的示意图。

下文中记载的一些具体实施方式目的在于便于本领域技术人员理解本实施例，本实施例并不以下文中记载的一些具体实施方式为限。

参照图2和图3，本公开一示例性实施例提供的一种边缘清洗装置，边缘清洗装置包括：承载平台1、清洁机构2以及保护机构3；承载平台1用于支撑目标器件并用于固定目标器件于目标位置；清洁机构2包括位于承载平台1上并能够相对承载平台1滑动的除尘组件21，除尘组件21用于抵接目标器件的边缘顶面，除尘组件21包括用于带动除尘组件21在目标器件的边缘顶面移动的动力端；保护机构3包括位于承载平台1上并用于覆盖目标器件的隔离组件31，隔离组件31包括用于带动隔离组件31靠近或远离目标器件的驱动端。

示例性的，参照图2和图3，主体5以及框架4均置于承载平台1顶面的中心区域，除尘组件21有两个，且分别设置于承载平台1顶面上相对的两侧，除尘组件21的位置与主体5上未被保护膜41覆盖的两相对边缘区域对应，且两除尘组件21的侧壁分别抵接主体5上的未被保护膜41覆盖的两相对边缘区域顶面，除尘组件21抵接主体5实体部分位于承载平台1边缘与框架4之间，除尘组件21上的动力端用于连接动力源并驱动除尘组件21沿主体5上未被保护膜41覆盖的边缘区域的长度方向往复运动。承载平台1上固定连接有门型架33，门型架33的两端分别位于承载平台1上相对的两侧，保护机构3固定于门型架33上并通过门型架33使隔离组件31位于门型架33与承载平台1之间，隔离组件31呈内部中空底部开口的盒状，隔离组件31上的驱动端用于连接动力源并驱动盒状的隔离组件31覆盖主体5上被保护膜41覆盖的区域，或驱动盒状的隔离组件31远离主体5并暴露主体5上被保护膜41覆盖的区域。

本实施例中，通过承载平台1对光罩进行支撑固定，使光罩稳定的停留在承载平台1上，除尘组件21通过抵接主体5上未被保护膜41覆盖的边缘顶面并往复运动实现对安装于承载平台1上的光罩主体5边缘进行清理，去除光罩主体5边缘顶面的灰尘微粒。在清洁机构2工作的过程中，为了降低清洁机构2污染覆盖于图案区52上方的保护膜41的可能，通过保护机构3对图案区52进行覆盖，即保护膜41被隔离组件31覆盖，减小了除尘组件21在往复运动或除尘动作过程中将水滴、灰尘微粒等溅射至保护膜41上的可能，降低了清洁组件污染保护膜41导致光罩受损失效的可能。

本公开一示例性实施例中，参照图2和图3，承载平台1包括机体11以及夹持组件12，夹持组件12有多个且阵列分布，夹持组件12能够相对于机体11滑动并靠近或远离目标位置；承载平台1还包括设置于夹持组件12上并能够相对于夹持组件12移动的固定组件13，固定组件13用于抵紧机体11并将夹持组件12抵紧在机体11上的目标位置。

示例性的，参照图2和图3，夹持组件12有四个，四个夹持组件12均沿水平方向滑动连接于机体11上，相邻两夹持组件12的滑移方向互相垂直，且四个夹持组件12的滑移方向呈自机体11的顶面中心位置向外发散的射线状。

本实施例中，通过滑移夹持组件12，使四个夹持组件12均向主体5的顶面中心方向移动，能够将目标器件稳定地固定在目标位置，例如可以通过四个夹持组件12分别抵紧目标器件上的四处侧壁，已实现目标器件的固定；再通过固定组件13将抵接有目标器件的夹持组件12抵紧在当前位置的机体11上，减小夹持组件12在主体5情节过程中移动的可能。由于除尘组件21的侧壁抵接主体5的顶面边缘，且除尘组件21工作时需要在主体5顶面边缘往复运动，以清除主体5顶面边缘的灰尘微粒，因此通过夹持组件12将光罩固定于机体11上的目标位置，并通过固定组件13将夹持组件12固定于机体11上，能够降低除尘组件21工作过程中目标器件移动导致除尘组件21的除尘效果降低以及隔离组件31的隔离效果降低甚至失效可能。

本公开一示例性实施例中，参照图2和图3，夹持组件12包括滑动连接于机体11上的底座121，固定组件13包括固定连接于底座121上的固定螺栓131以及螺纹连接于固定螺栓131上的固定螺母132，至少部分机体11实体位于底座121与固定螺母132之间。

示例性的，参照图2和图3，底座121位于机体11上，固定螺栓131的一端固定连接于底座121的底面，另一端贯穿机体11伸至机体11下方，固定螺母132螺纹连接于机体11下方的固定螺栓131上。

本实施例中，底座121移动并将目标器件固定在机体11上的目标位置后，拧紧固定螺母132，使得固定螺母132抵紧在机体11的底面，同步的，底座121的底面会抵紧机体11的顶面，通过增大底座121与机体11之间的摩擦力减小底座121相对于机体11移动的可能，实现底座121位置的固定，进而减小除尘组件21工作过程中目标器件移动导致除尘组件21的除尘效果降低以及隔离组件31的隔离效果降低甚至失效可能。

应理解，上述的固定组件13包括固定连接于底座121上的固定螺栓131以及螺纹连接于固定螺栓131上的固定螺母132仅为一个具体实施方式，在其他实施例，固定组件13还可以是其他形式。例如：参照图4，固定组件13为活动连接于底座121上的定位杆133，机体11顶面开设有多个与定位杆133是配的定位孔14，定位孔14有多组且每一底座121均有一组定位孔14对应，同一组内的定位孔14沿底座121的滑移方向分布，通过将定位孔14插入定位孔14内实现底座121的固定，本实施例，定位杆133沿竖直方向插接于底座121上并将底座121贯穿。

本公开一示例性实施例中，参照图2和图3，机体11上开设有沿竖直方向贯穿机体11的滑槽111，固定螺栓131穿过滑槽111。

示例性的，滑槽111有四个，底座121位于滑槽111上方且每一底座121均与一滑槽111对应，相邻两滑槽111的长度方向互相垂直，且四个滑槽111的长度方向呈自机体11的顶面中心位置向外发散的射线状，固定螺栓131贯穿滑槽111并甚至滑槽111下方之外，固定螺栓131的侧壁与滑槽111的内壁抵接。

本实施例中，底座121移动时，固定螺栓131在滑槽111内部并沿滑槽111的长度方向移动，通过固定螺栓131和滑槽111限定底座121的滑移方向以及最大滑移范围。

本公开一示例性实施例中，参照图2和图3，底座121上开设有用于至少容纳目标器件部分边缘的容置槽1211。

示例性的，底座121呈正方体状，容置槽1211于底座121的顶面尖角处向下延伸，并延伸至底座121的底面尖角上方，形成位于底座121上半区域位于边角处的一缺口，光罩主体5呈长方体状，容置槽1211用于容纳光罩主体5的尖角，光罩主体5的四个尖角分别置于四个底座121上的四个容置槽1211内部，并被四个底座121共同支撑夹持。

本实施例中，开设于正方体的底座121边角位置处的容置槽1211能够容纳长方体的光罩主体5的尖角，即底座121能够同时抵接光罩主体5上相邻的两个侧壁，四个底座121之间的共同作用增强了对光罩主体5的夹持效果，同时能够对光罩主体5提供稳定的支撑，使得光罩主体5能够稳定地停留在机体11上的目标位置，减小除尘组件21工作过程中目标器件移动导致除尘组件21的除尘效果降低以及隔离组件31的隔离效果降低甚至失效可能。

本公开一示例性实施例中，参照图5，清洁机构2还包括位于承载平台1上并驱动除尘组件21沿目标器件顶面移动的动力组件22。

示例性的，动力组件22固定连接于机体11上，动力组件22与除尘组件21连接并用于驱动除尘组件21在水平方向沿直线往复运动。

本实施例中，参照图3和图5，除尘组件21具有动力端，动力端与动力组件22连接，通过动力组件22为除尘组件21提供动力，使除尘组件21能够在贴附于主体5上未被保护膜41覆盖的边缘顶面的同时沿该边缘顶面的长度方向往复运动，以清除主体5上未被保护膜41覆盖的边缘顶面上的灰尘微粒，相较于人力驱动除尘组件21执行除尘动作，通过动力组件22驱动除尘组件21能够使除尘动作具有更高的一致性和稳定性，在动力组件22和除尘组件21的各项参数确定的前提下，每次除尘动作之后所达到的除尘效果更加接近预期的除尘效果。

本公开一示例性实施例中，参照图3和图5，除尘组件21包括安装杆212以及套设于安装杆212一端的除尘套211，除尘套211用于贴附目标器件的边缘顶面；动力组件22包括固定于承载平台1上的电机221、与电机221输出轴同轴固定的丝杆222以及固定于承载平台1上的限位杆223，限位杆223平行于丝杆222，丝杆222贯穿安装杆212并与安装杆212螺纹连接，限位杆223平行于丝杆222设置并贯穿安装杆212。

示例性的，除尘套211为无尘布弯折卷曲并固定连接处后形成的套筒结构，除尘套211将安装杆212的一端的侧壁覆盖，安装杆212作为除尘组件21的动力端与动力组件22连接。电机221固定连接于机体11顶面一侧，机体11顶面另一侧与电极位置对应处还固定连接有支撑块224，丝杆222以及限位杆223均伸入支撑块224内，并与支撑块224转动连接。

本实施例中，需要对光罩主体5上未被保护膜41覆盖的边缘顶面清洁时，启动电极，电极带动丝杆222转动，由于丝杆222与安装杆212螺纹连接，且安装杆212上插接有用于纤维的限位杆223，所以安装杆212会沿丝杆222长度方向滑动，即套设于安装杆212上的除尘套211开始擦拭光罩主体5上未被保护膜41覆盖的边缘顶面，随着电机221正传和翻转，除尘套211在光罩主体5上未被保护膜41覆盖的边缘顶面上往复移动反复擦拭，最终完成除尘动作。

应理解，上述的动力组件22包括固定于承载平台1上的电机221、与电机221输出轴同轴固定的丝杆222以及固定于承载平台1上的限位杆223仅为一个具体实施方式，在其他实施例中，动力组件22还可以是固定连接于机体11上的液压缸，液压缸的活塞杆与安装杆212固定连接且垂直于安装杆212设置，通过液压缸的活塞杆伸出或收回控制除尘组件21沿光罩主体5上未被保护膜41覆盖的边缘顶面的长度方向往复运动，执行除尘动作。

本公开一示例性实施例中，参照图5和图6，安装杆212上固定有力矩传感器213，力矩传感器213用于获取除尘套211与目标器件之间的接触力矩。

示例性的，力矩传感器213固定于安装杆212正对框架4的端部，并被除尘套211包覆(图5和图6中均为表示力矩传感器213位置为露出状态)，力矩传感器213的工作部竖直向下设置并与除尘套211接触。

本实施例中，通过力矩传感器213的信号能够获知除尘套211对光罩主体5上未被保护膜41覆盖的边缘顶面的抵紧程度，可以以此为参考调节除尘套211的厚度，以改变除尘套211对光罩主体5上未被保护膜41覆盖的边缘顶面的抵紧程度，减小除尘套211对光罩主体5压力过大损坏光罩主体5，或除尘套211对光罩主体5压力过小导致不能达到预期清洗效果的可能。

本公开一示例性实施例中，参照图2，保护机构3包括与承载平台1固定连接的驱动组件32，驱动组件32与驱动端固定连接，驱动组件32驱动隔离组件31靠近或远离目标器件。

示例性的，驱动组件32固定连接于门型架33上，且驱动组件32的动力输出端竖直向下设置并与隔离组件31的驱动端固定连接，驱动组件32工作时带动隔离组件31向下方的光罩主体5移动，或带动隔离组件31向上移动远离光罩主体5。

本实施例中，较于人力驱动隔离组件31执行隔离动作，通过驱动组件32驱动隔离组件31能够使每次的隔离动作具有更高的一致性和稳定性，在驱动组件32和隔离组件31的各项参数确定的前提下，每次控制隔离组件31向下移动并将光罩主体5覆盖的过程都更加接近预期效果，使得光罩主体5上被保护膜41覆盖的区域能够稳定被隔离组件31覆盖，减小在除尘过程中受到污染的可能。

本公开一示例性实施例中，参照图2，驱动组件32包括固定于承载平台1上的气缸321，气缸321竖直设置且气缸321的活塞杆与隔离组件31固定连接。

示例性的，气缸321的缸体于门型架33固定连接，气缸321的活塞杆竖直向下设置，并与隔离组件31的驱动端固定连接。

本公开一示例性实施例中，参照图2和图3，隔离组件31包括与气缸321的活塞杆固定连接的保护罩311，保护罩311的开口竖直向下设置并用于扣设于目标器件的上方。

示例性的，保护罩311的呈中内部中空且底端开口的盒状，保护罩311的顶面中心位置形成隔离组件31的驱动端，气缸321的活塞杆的底端固定连接于保护罩311的顶面中心位置处。

本实施例中，要光罩主体5上未被保护膜41覆盖的边缘顶面进行除尘时，先控制气缸321伸出活塞杆，保护罩311随伸缩杆的伸长而向下移动，最终覆盖于光罩主体5上方并将保护膜41覆盖。随后即可开始除尘动作。除尘完毕后，控制气缸321收缩活塞杆，保护罩311随活塞杆的收缩而向上移动，远离光罩主体5，光罩主体5被暴露出来。

本公开一示例性实施例中，参照图2，保护罩311包括用于覆盖目标器件上方的顶盖3111以及用于覆盖目标器件侧边的侧板3112，侧板3112至少有两个且分布于顶盖3111相对的两侧，侧板3112与顶盖3111活动连接，侧板3112上设有用于将侧板3112固定于顶盖3111上的锁紧组件312。

示例性的，参照图2和图3，顶盖3111水平设置，侧板3112竖直设置，侧板3112有两个且分布于顶盖3111底面相对的两侧，每一侧板3112均有一除尘组件21与其位置对应共同位于框架4的同一侧，侧板3112滑动连接于顶盖3111上，侧板3112的滑动方向沿安装杆212的长度方向设置，锁紧组件312与侧板3112固定连接并与顶盖3111可拆卸连接。

本实施例中，光罩主体5根据不同类型和作用具有不同的尺寸，即保护膜41覆盖区域的尺寸不同。侧板3112与顶盖3111滑动连接能够使得两侧板3112相向运动或背向运动，进而调节两侧板3112之间的最短直线距离，即调节用于覆盖在保护膜41上方的区域宽度，使两侧板3112之间的用于覆盖在保护膜41上方的区域宽度与保护的宽度一致，达到充分暴露光罩主体5上未被保护膜41覆盖的边缘顶面并充分覆盖保护膜41的目的。锁紧组件312能够将调整后的侧板3112固定在当前位置处，减小侧板3112在被驱动组件32驱动移动过程中或除尘过程中产生位移导致覆盖区域改变，以至于不能达到预期隔离效果、侵占待除尘的光罩主体5边缘顶面甚至损伤保护膜41的可能。

本公开一示例性实施例中，参照图6，侧板3112滑移连接于顶盖3111上，锁紧组件312包括固定连接于侧板3112上的锁紧螺栓3121以及螺纹连接于锁紧螺栓3121上的锁紧螺母3122，至少部分顶盖3111的实体位于锁紧螺母3122与侧板3112之间。

示例性的，参照图3和图6，锁紧螺栓3121的一端固定连接于侧板3112的顶面，另一端贯穿顶盖3111伸至顶盖3111上方，锁紧螺母3122螺纹连接于顶盖3111上方的锁紧螺栓3121上。

本实施例中，侧板3112移动并与另一侧板3112围成预期区域后，拧紧锁紧螺母3122，使得锁紧螺母3122抵紧在顶盖3111的顶面，同步的，侧板3112顶面会抵紧顶盖3111的底面，通过增大侧板3112与顶盖3111之间的摩擦力减小侧板3112相对与顶盖3111移动的可能，实现侧板3112位置的固定，进而减小驱动组件32和除尘组件21工作过程中侧板3112移动导致除尘组件21的除尘效果降低以及隔离组件31的隔离效果降低甚至失效可能。

本公开一示例性实施例中，参照图3和图6，顶盖3111上开设有沿竖直方向贯穿顶盖3111的移动槽3123，锁紧螺栓3121贯穿移动槽3123。

示例性的，移动槽3123有四个，每一侧板3112对应两个分设于侧板3112两端的移动槽3123，移动槽3123之间互相平行，锁紧螺栓3121贯穿移动槽3123并甚至移动槽3123上方之外，锁紧螺栓3121的侧壁与移动槽3123的内壁抵接。

本实施例中，侧板3112移动时，锁紧螺栓3121在移动槽3123内部并沿移动槽3123的长度方向移动，通过锁紧螺栓3121和移动槽3123限定侧板3112的滑移方向以及最大滑移范围。

本公开一示例性实施例中，参照图5和图7，清洁机构2滑动连接于承载平台1上。

示例性的，参照图5和图7，机体11上与电机221位置对应处开设有沿安装杆212长度方向设置的燕尾槽112，电机221的底部固定连接有与燕尾槽112形状适配的楔形块2211，楔形块2211位于燕尾槽112内部。楔形块2211上螺纹连接有限位螺栓225，限位螺栓225沿竖直方向贯穿楔形块2211，限位螺栓225的头部位于燕尾槽112外部，限位螺栓225的螺纹尾端能够抵接燕尾槽112的内壁。

本实施例中，光罩主体5根据不同类型和作用具有不同的尺寸，即保护膜41覆盖区域的尺寸不同。保护罩311的底端开口尺寸可以通过滑动两侧板3112实现调整，以适用于不同尺寸的光罩主体5，通过拧动限位螺栓225，使限位螺栓225的螺纹尾端脱离燕尾槽112的内壁，能够沿燕尾槽112长度方向自由滑动电机221，即沿安装杆212的长度方向自由移动除尘组件21，达到改变调节除尘组件21的位置，减小除尘组件21与框架4之间产生干涉无法执行除尘动作，或者除尘组件21与框架4之间间隙过大不能全面除尘的可能。

本公开实施例的第二方面，提供一种光罩保护装置，参照图6，光罩保护装置包括框架4以及固定于框架4围成区域内的保护膜41，框架4的顶端开设有用于容纳前述的保护机构3的底部边缘的容纳槽42，前述的清洁组件的端部抵接框架4的外壁。

示例性的，框架4呈方框状水平设置，保护膜41为透明膜，保护膜41的形状与框架4适配且保护膜41的边缘粘接于框架4的顶面。容纳槽42自框架4顶面向框架4内部延伸，且容纳槽42的形状与侧板3112的底端形状适配。

本实施例中，通过调整两相对的侧板3112之间的距离，使得保护罩311向下移动过程中侧板3112底端能够插接在框架4顶端的容纳槽42中，达到减小保护罩311对光罩主体5边缘的覆盖面积的目的，使得除尘组件21能够全面的对光罩主体5边缘顶面进行除尘。通过容纳槽42为保护罩311提供限位和支撑，能够进一步提高保护罩311对光罩主体5的隔离效果，减小保护罩311在除尘过程中产生位移导致覆盖区域改变，以至于不能达到预期隔离效果、侵占待除尘的光罩主体5边缘顶面甚至损伤保护膜41的可能。

本实施例中，本领域技术人员在考虑说明书及实践这里公开的发明后，将容易想到本公开的其它实施方案。本公开旨在涵盖本公开的任何变型、用途或者适应性变化，这些变型、用途或者适应性变化遵循本公开的一般性原理并包括本公开未公开的本技术领域中的公知常识或惯用技术手段。说明书和实施例仅被视为示例性的，本公开的真正范围和精神由权利要求指出。

应当理解的是，本公开并不局限于上面已经描述并在附图中示出的精确结构，并且可以在不脱离其范围进行各种修改和改变。本公开的范围仅由所附的权利要求来限制。