阻抗测定装置

技术领域

本发明涉及一种具有连接到测定对象的一对源极端子(电流供给端子)以及一对感测端子(电压检测端子)的四线式的(通过四端子法测定阻抗)阻抗测定装置。

背景技术

例如，作为这种阻抗测定装置，已知有下述专利文件1中所公开的各种阻抗测定装置。该阻抗测定装置中的一个阻抗测定装置包括：测定用信号源，该测定用信号源经由Hi侧和Lo侧的信号提供用的各个源极端子来向测定对象(被测定试料)提供交流的测定信号；测定部，该测定部经由Hi侧和Lo侧的信号检测用的各个感测端子来测定由该测定信号在测定对象中产生的电压；第一断线检测单元，该第一断线检测单元用于检测Hi侧的源极端子和Hi侧的感测端子相对于测定对象的连接状态；以及第二断线检测单元，该第二断线检测单元用于检测Lo侧的源极端子和Lo侧的感测端子相对于测定对象的连接状态。此外，第一断线检测单元包括：第一直流恒定电流源，该第一直流恒定电流源用于向包含Hi侧的源极端子和Hi侧的感测端子在内的Hi侧电流路径提供直流恒定电流；以及第一比较器，该第一比较器用于将第一直流恒定电流源的振幅与规定的第一基准电压进行比较，并且输出判定信号。此外，第二断线检测单元包括：第二直流恒定电流源，该第二直流恒定电流源用于向包含Lo侧的源极端子和Lo侧的感测端子在内的Lo侧电流路径提供直流恒定电流；以及第二比较器，该第二比较器用于将第二直流恒定电流源的振幅与规定的第二基准电压进行比较，并且输出判定信号。

此外，其他阻抗测定装置包括：测定用信号源，该测定用信号源经由用于提供Hi侧和Lo侧的信号的各个源极端子来向测定对象(被测定试料)提供交流的测定信号；以及测定部，该测定部经由用于检测Hi侧和Lo侧的信号的各个感测端子来测定由该测定信号在测定对象中产生的电压。此外，在阻抗测定装置中，测定用信号源和测定部分别具有接地被电分离的电源系统，并且测定部包括在Hi侧的感测端子和Lo侧的感测端子之间提供断线检测用的交流恒定电流的断线检测用交流恒定电流源、和通过断线检测用交流恒定电流来对在各个感测端子中产生的电压进行检测的电压检测单元。

根据这些阻抗测定装置中的前一个阻抗测定装置，包括上述结构的第一断线检测装置和第二断线检测装置，由此，即使在测定过程中，也能够进行各个端子的断线检测(检测Hi侧的源极端子和Hi侧的感测端子相对于测定对象的连接状态、以及检测Lo侧的源极端子和Lo侧的感测端子相对于测定对象的连接状态)。此外，根据前一个阻抗测定装置，包括上述结构的断线检测用交流恒定电流源以及电压检测装置，由此，即使在测定过程中，也能够进行各个端子的断线状态(检测Hi侧的感测端子和Lo侧的感测端子相对于测定对象的连接状态)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利特开2006－322821号公报(第7－9页、图1、图4)

发明内容

发明所要解决的技术问题

然而，上述的两个阻抗测定装置中，能够检测作为一对端子整体相对于测定对象的连接状态，但在两个阻抗测定装置中，存在有不能检测该一对端子中的每一个相对于测定对象的连接状态这样的需要改进的问题。

本发明是鉴于上述问题而完成的，其主要目的在于，提供一种阻抗测定装置，该阻抗测定装置能分别对表示Hi侧的源极端子、Hi侧的感测端子、Lo侧的源极端子和Lo侧的感测端子分别相对于测定对象的连接状态进行测定(检测)的接触电阻。

解决技术问题所采用的技术方案

为了达成上述目的，权利要求1记载的阻抗测定装置具备：测定用信号源，该测定用信号源向连接在Hi侧和Lo侧的各个源极端子间的测定对象提供交流测定电流；以及测定部，该测定部经由Hi侧和Lo侧的信号检测用的各个感测端子来测定由所述交流测定电流在所述测定对象中产生的交流电压，并且基于该测定出的交流电压和所述交流测定电流来测定所述测定对象的阻抗，所述测定用信号源的电源系统中的第一接地和所述测定部的电源系统中的第二接地被电分离，所述测定部包括：检查用信号源，该检查用信号源向连接在所述Hi侧的感测端子和与第二接地相连接的所述Lo侧的感测端子之间的所述测定对象提供交流检查电流；第一检测部，该第一检测部连接到所述Hi侧的源极端子，并且以所述第二接地为基准，检测基于在从该Hi侧的源极端子经由所述Lo侧的源极端子到所述第一接地为止的路径中流动的所述交流测定电流在该Hi侧的源极端子中产生的电压，并作为第一检测电压进行输出；第二检测部，该第二检测部连接到所述Lo侧的源极端子，并且以所述第二接地为基准，检测基于所述交流测定电流在该Lo侧的源极端子中产生的电压，并作为第二检测电压进行输出；第三检测部，该第三检测部连接到所述Lo侧的源极端子，并且以所述第二接地为基准，检测基于所述交流检查电流在该Lo侧的源极端子中产生的电压，并作为第三检测电压进行输出；第四检测部，该第四检测部连接到所述Hi侧的感测端子，并且以所述第二接地为基准，检测基于所述交流测定电流在该Hi侧的感测端子中产生的电压，并作为第四检测电压进行输出；第五检测部，该第五检测部连接到所述Hi侧的感测端子，并且以第二接地为基准，检测基于所述交流检查电流在该Hi侧的感测端子中产生的电压，并作为第五检测电压进行输出；以及处理部，该处理部基于所述第一检测电压、所述第二检测电压、所述第三检测电压、所述第四检测电压、所述第五检测电压、所述交流测定电流和所述交流检查电流，来计算所述Hi侧的源极端子、所述Lo侧的源极端子、所述Hi侧的感测端子和所述Lo侧的感测端子中的每个与所述测定对象之间的各个接触电阻及所述阻抗。

此外，权利要求2记载的阻抗测定装置具备：测定用信号源，该测定用信号源向连接在Hi侧和Lo侧的各个源极端子间的测定对象提供交流测定电流；以及测定部，该测定部经由Hi侧和Lo侧的信号检测用的各个感测端子来测定由所述交流测定电流在所述测定对象中产生的交流电压，并且基于该测定出的交流电压和所述交流测定电流来测定所述测定对象的阻抗，所述测定用信号源的电源系统中的第一接地和所述测定部的电源系统中的第二接地被电分离，所述测定部包括：检查用信号源，该检查用信号源向连接在所述Hi侧的感测端子和所述Lo侧的感测端子之间的所述测定对象提供交流检查电流；第一检测部，该第一检测部连接到所述Hi侧和所述Lo侧的各个源极端子，并且以所述第二接地为基准，检测基于所述交流测定电流而在该Hi侧和该Lo侧的各个源极端子间产生的电压，并作为第一检测电压进行输出；第二检测部，该第二检测部连接到所述Lo侧的源极端子和所述Lo侧的感测端子，并且以所述第二接地为基准，检测基于所述交流测定电流在该Lo侧的源极端子和该Lo侧的感测端子之间产生的电压，并作为第二检测电压进行输出；第三检测部，该第三检测部连接到所述Lo侧的源极端子和所述Lo侧的感测端子，并且以所述第二接地为基准，检测基于所述交流检查电流在该Lo侧的源极端子和该Lo侧的感测端子之间产生的电压，并作为第三检测电压进行输出；第四检测部，该第四检测部连接到所述Hi侧和所述Lo侧的各个感测端子，并且以所述第二接地为基准，检测基于所述交流测定电流在该Hi侧和该Lo侧的各个感测端子间产生的电压，并作为第四检测电压进行输出；第五检测部，该第五检测部连接到所述Hi侧和所述Lo侧的各个感测端子，并且以第二接地为基准，检测基于所述交流检查电流在该Hi侧和该Lo侧的各个感测端子间产生的电压，并作为第五检测电压进行输出；和处理部，该处理部基于所述第一检测电压、所述第二检测电压、所述第三检测电压、所述第四检测电压、所述第五检测电压、所述交流测定电流和所述交流检查电流，来计算所述Hi侧的源极端子、所述Lo侧的源极端子、所述Hi侧的感测端子和所述Lo侧的感测端子中的每个与所述测定对象之间的各个接触电阻以及所述阻抗。

此外，权利要求3记载的阻抗测定装置具备：测定用信号源，该测定用信号源向连接在Hi侧和Lo侧的各个源极端子间的测定对象提供交流测定电流；以及测定部，该测定部经由Hi侧和Lo侧的信号检测用的各个感测端子来测定由所述交流测定电流在所述测定对象中产生的交流电压，并且基于该测定出的交流电压和所述交流测定电流来测定所述测定对象的阻抗，所述测定用信号源的电源系统中的第一接地和所述测定部的电源系统中的第二接地被电分离，所述测定部包括：检查用信号源，该检查用信号源向连接在所述Hi侧的感测端子和所述Lo侧的感测端子之间的所述测定对象提供交流检查电流；第一检测部，该第一检测部连接到所述Hi侧和所述Lo侧的各个源极端子，并且以所述第二接地为基准，检测基于所述交流测定电流在该Hi侧和该Lo侧的各个源极端子间产生的电压，并作为第一检测电压进行输出；第二检测部，该第二检测部连接到所述Hi侧的源极端子和所述Hi侧的感测端子，并且以所述第二接地为基准，检测基于所述交流测定电流在该Hi侧的源极端子和该Hi侧的感测端子之间产生的电压，并作为第二检测电压进行输出；第三检测部，该第三检测部连接到所述Hi侧的源极端子和所述Hi侧的感测端子，并且以所述第二接地为基准，检测基于所述交流检查电流在该Hi侧的源极端子和该Hi侧的感测端子之间产生的电压，并作为第三检测电压进行输出；第四检测部，该第四检测部连接到所述Hi侧和所述Lo侧的各个感测端子，并且以所述第二接地为基准，检测基于所述交流测定电流在该Hi侧和该Lo侧的各个感测端子间产生的电压，并作为第四检测电压进行输出；第五检测部，该第五检测部连接到所述Hi侧和所述Lo侧的各个感测端子，并且以第二接地为基准，检测基于所述交流检查电流在该Hi侧和该Lo侧的各个感测端子间产生的电压，并作为第五检测电压进行输出；和处理部，该处理部基于所述第一检测电压、所述第二检测电压、所述第三检测电压、所述第四检测电压、所述第五检测电压、所述交流测定电流和所述交流检查电流，来计算所述Hi侧的源极端子、所述Lo侧的源极端子、所述Hi侧的感测端子和所述Lo侧的感测端子中的每个与所述测定对象之间的各个接触电阻以及所述阻抗。

此外，权利要求4记载的阻抗测定装置，在如权利要求1至3中任一项中记载的阻抗测定装置中，所述交流测定电流的频率与所述交流检查电流的频率被规定为彼此不同的值。

此外，权利要求5记载的阻抗测定装置具备：测定用信号源，该测定用信号源向连接在Hi侧和Lo侧的各个源极端子间的测定对象提供交流测定电流；以及测定部，该测定部经由Hi侧和Lo侧的信号检测用的各个感测端子来测定由所述交流测定电流在所述测定对象中产生的交流电压，并且基于该测定出的交流电压和所述交流测定电流来测定所述测定对象的阻抗，所述测定用信号源的电源系统中的第一接地和所述测定部的电源系统中的第二接地被电分离，所述测定部包括：第一检查用信号源，该第一检查用信号源在所述Hi侧的源极端子和所述Hi侧的感测端子之间提供第一交流检查电流；第二检查用信号源，该第二检查用信号源在所述Lo侧的源极端子和所述Lo侧的感测端子之间提供第二交流检查电流；第一检测部，该第一检测部连接到所述Hi侧的源极端子和所述Hi侧的感测端子，并且以所述第二接地为基准，检测基于所述交流测定电流在该Hi侧的源极端子和该Hi侧的感测端子之间产生的电压，并作为第一检测电压进行输出；第二检测部，该第二检测部连接到所述Hi侧的源极端子和所述Hi侧的感测端子，并且以所述第二接地为基准，检测基于所述第一交流检查电流在该Hi侧的源极端子和该Hi侧的感测端子之间产生的电压，并作为第二检测电压进行输出；第三检测部，该第三检测部连接到所述Lo侧的源极端子和所述Lo侧的感测端子，并且以所述第二接地为基准，检测基于所述交流测定电流在该Lo侧的源极端子和该Lo侧的感测端子之间产生的电压，并作为第三检测电压进行输出；第四检测部，该第四检测部连接到所述Lo侧的源极端子和所述Lo侧的感测端子，并且以所述第二接地为基准，检测基于所述第二交流检查电流在该Lo侧的源极端子和该Lo侧的感测端子之间产生的电压，并作为第四检测电压进行输出；第五检测部，该第五检测部连接到所述Hi侧和所述Lo侧的各个感测端子，并且以所述第二接地为基准，检测基于所述交流测定电流在该Hi侧和该Lo侧的各个感测端子间产生的电压，并作为第五检测电压进行输出；和处理部，该处理部基于所述第一检测电压、所述第二检测电压、所述第三检测电压、所述第四检测电压、所述第五检测电压、所述交流测定电流、所述第一交流检查电流和所述第二交流检查电流，来计算所述Hi侧的源极端子、所述Lo侧的源极端子、所述Hi侧的感测端子和所述Lo侧的感测端子中的每个与所述测定对象之间的各个接触电阻以及所述阻抗。

此外，权利要求6记载的阻抗测定装置，在如权利要求5记载的阻抗测定装置中，所述交流测定电流的频率与所述第一交流检查电流的频率和所述第二交流检查电流的频率被规定为彼此不同的值。

发明效果

根据权利要求1、2、3记载的阻抗测定装置，测定用信号源用的第一接地和测定部用的第二接地被电分离，并且除了具备用于检测(测定)测定对象的阻抗的检测部以外，还具备用于检测(测定)各个接触电阻的检查用信号源和检测部，从而可以分别测定Hi侧和Lo侧的信号提供用的各个源极端子及Hi侧和Lo侧的信号检测用的各个感测端子与测定对象中的相对应的电极之间的接触电阻。

此外，根据权利要求4记载的阻抗测定装置，通过将交流测定电流的频率和交流检查电流的频率规定为彼此不同的值，可以同时执行从测定信号源向测定对象提供交流测定电流和从检查用信号源向测定对象提供交流检查电流来对测定对象的阻抗和各个接触电阻进行测定，因而可以缩短测定时间。

根据权利要求5记载的阻抗测定装置，测定用信号源用的第一接地和测定部用的第二接地被电分离，并且除了具备用于检测(测定)测定对象的阻抗的检测部以外，还具备用于检测(测定)各个接触电阻的第一检查用信号源、第二检查用信号源和检测部，从而可以分别测定Hi侧和Lo侧的信号提供用的各个源极端子及Hi侧和Lo侧的信号检测用的各个感测端子与测定对象中的相对应的电极之间的接触电阻。

此外，根据权利要求6记载的阻抗测定装置，通过将交流测定电流的频率、第一交流检查电流的频率和第二交流检查电流的频率规定为彼此不同的值，可以同时执行从测定信号源向测定对象提供交流测定电流和从两个检查用信号源向测定对象提供交流检查电流来对测定对象的阻抗和各个接触电阻进行测定，因而可以缩短测定时间。

附图说明

图1是示出阻抗测定装置1A的结构的结构图。

图2是示出阻抗测定装置1B的结构的结构图。

图3是示出阻抗测定装置1C的结构的结构图。

图4是示出阻抗测定装置1D的结构的结构图。

具体实施方式

下面，参照附图对阻抗测定装置的实施方式进行说明。

首先，参照图1，对作为阻抗测定装置的阻抗测定装置1A的结构进行说明。

阻抗测定装置1A构成为，包括Hi侧的源极端子Hc(测定信号提供用的源极端子)、Lo侧的源极端子Lc(测定信号提供用的源极端子)、Hi侧的感测端子Hp(信号检测用的感测端子)、Lo侧的感测端子Lp(信号检测用的感测端子)、测定用信号源2和测定部3A，Hi侧的源极端子Hc和Hi侧的感测端子Hp连接到测定对象DUT的一个电极(例如，经由未图示的测定电缆而进行连接)，并且在Lo侧的源极端子Lc和Lo侧的感测端子Lp连接到测定对象DUT的另一个电极(例如，经由未图示的测定电缆而进行连接)的状态下，能对测定对象DUT的阻抗进行测定。在本例中，作为一个示例，阻抗测定装置1A以电池为测定对象DUT，在Hi侧的源极端子Hc和Hi侧的感测端子Hp连接到作为测定对象DUT的电池的正极，并且Lo侧的源极端子Lc和Lo侧的感测端子Lp连接到电池的负极的状态下，测定作为阻抗的电池的内部电阻Rx。

测定用信号源2将交流测定电流Im(频率f1)提供给连接在Hi侧和Lo侧的各个源极端子Hc、Lc间的测定对象DUT。作为一个示例，测定用信号源2具备交流信号源11、运算放大器12、反馈电阻13、接地电阻14和耦合电容器15。此外，测定用信号源2基于从测定用信号源2用的未图示的电源系统(以下，也称为第一电源系统)提供的直流电压(以第一接地G1的电位为基准的直流电压(直流正电压和直流负电压))来进行动作。

交流信号源11输出具有固定的振幅(已知)和固定的频率f1的交流信号V1(正弦波电压信号)。此外，交流信号源11输出与交流信号V1同步的频率f1的同步信号S

测定部3A包括检查用信号源21、第一检测部22A、第二检测部23A、第三检测部24A、第四检测部25A、第五检测部26A、处理部27以及输出部28，对Hi侧的源极端子Hc与测定对象DUT的正极之间的接触电阻R

检查用信号源21包括交流信号源21a和耦合电容器21b。交流信号源21a在与耦合电容器21b串联连接的状态下连接在感测端子Hp和与第二接地G2相连接的感测端子Lp之间，并且将具有固定的电流值(已知)和固定的频率f2(与频率f1不同的频率)的正弦波恒定电流作为交流检查电流Id提供给测定对象DUT。此外，如后文所述，作为测定部3A用的直流电压的基准的第二接地G2与作为测定用信号源2用的直流电压的基准的第一接地G2被电分离，因此，如图1所示，交流检查电流Id仅流向从交流信号源21a经由耦合电容器21b、感测端子Hp、测定对象DUT以及感测端子Lp返回交流信号源21a的路径。此外，交流信号源21a输出与交流检查电流Id同步的频率f2的同步信号S

第一检测部22A连接到Hi侧的源极端子Hc，以第二接地G2为基准，检测基于从源极端子Hc经由Lo侧的源极端子Lc到第一接地G1为止的路径中流动的交流测定电流Im在源极端子Hc中产生的电压(正弦波电压信号)V

作为一个示例，第一检测部22A被构成为包括耦合电容器31、第一放大器32、第一滤波器(在图1中，标记为第一FL)33、检波电路34以及第二滤波器(在图1中，标记为第二FL)35。

耦合电容器31的一端与源极端子Hc相连接。该耦合电容器31是为了避免测定对象DUT的直流电动势被施加到构成第一放大器32的在后文叙述的运算放大器32a的非反相输入端子的情况而设置的。因此，在测定对象DUT不产生直流电动势时，也能够采用将运算放大器32a的非反相输入端子直接连接至源极端子Hc而不设置耦合电容器31的结构。

第一放大器32包括作为非反相放大器发挥作用的运算放大器32a，该运算放大器32a的非反相输入端子连接到耦合电容器31的另一端，反相输入端子经由输入电阻32b连接到第二接地G2，且反馈电阻32c连接在输出端子和反相输入端子之间。利用该结构，第一放大器32经由耦合电容器31输入在源极端子Hc中产生的交流电压V

第一滤波器33被构成作为主要使与交流测定电流Im的频率f1(也是交流信号V1的频率)相同频率的信号分量通过的窄带通型滤波器。利用该结构，第一滤波器33输入从第一放大器32输出的放大信号，并且去除该放大信号中所包含的通带以外的频率分量(噪声分量)并进行输出。

作为一个示例，检波电路34使用乘法器来构成，通过将从第一滤波器33输出的信号与从交流信号源11输出的同步信号S

在该情况下，由于第一检测电压Vdv1是通过以第二接地G2为基准来检测基于交流测定电流Im在源极端子Hc中产生的电压V

第二检测部23A连接到Lo侧的源极端子Lc，以第二接地G2为基准，检测基于交流测定电流Im在源极端子Lc中产生的电压(正弦波电压信号)V

作为一个示例，第二检测部23A被构成为包括耦合电容器41、第二放大器42、第三滤波器(在图1中，标记为第三FL)43、检波电路44以及第四滤波器(在图1中，标记为第四FL)45。

耦合电容器41的一端与源极端子Lc相连接。该耦合电容器41是为了避免测定对象DUT的直流电动势被施加到构成第二放大器42的在后文叙述的运算放大器42a的非反相输入端子的情况而设置的。因此，在测定对象DUT不产生直流电动势时，也能够采用将运算放大器42a的非反相输入端子直接连接至源极端子Lc而不设置耦合电容器41的结构。

第二放大器42包括作为非反相放大器发挥作用的运算放大器42a，该运算放大器42a的非反相输入端子连接到耦合电容器41的另一端，反相输入端子经由输入电阻42b连接到第二接地G2，并且反馈电阻42c连接在输出端子和反相输入端子之间。利用该结构，第二放大器42经由耦合电容器41输入在源极端子Lc中产生的交流电压V

第三滤波器43被构成作为主要使包含交流测定电流Im的频率f1以及交流检查电流Id的频率f2在内的频带的信号分量通过的窄带通型滤波器。利用该结构，第三滤波器43输入从第二放大器42输出的放大信号，并且去除该放大信号中所包含的通带以外的频率分量(噪声分量)并进行输出。

作为一个示例，检波电路44使用乘法器来构成，通过将从第三滤波器43输出的信号与同步信号S

在该情况下，由于第二检测电压Vdv2是通过以第二接地G2为基准来检测基于交流测定电流Im在源极端子Lc中产生的电压V

第三检测部24A连接到Lo侧的源极端子Lc，以第二接地G2为基准，检测基于交流检查电流Id在源极端子Lc中产生的电压(正弦波电压信号)V

作为一个示例，第三检测部24A被构成为包括耦合电容器41、第二放大器42、第三滤波器43、检波电路54以及第五滤波器(在图1中，标记为第五FL)55。在本示例的第三检测部24A中，作为一个示例，对于耦合电容器41、第二放大器42以及第三滤波器43，采用与第二检测部23A共享的结构，以力图减少构成阻抗测定装置1A的部件数量，但并不限于该结构。例如，虽然没有图示，但是可设置与耦合电容器41、第二放大器42以及第三滤波器43相当的第三检测部24A专用的结构要素，可共享耦合电容器41而设置与第二放大器42以及第三滤波器43相当的第三检测部24A专用的结构要素，也可共享耦合电容器41以及第二放大器42而设置与第三滤波器43相当的第三检测部24A专用的结构要素。

作为一个示例，检波电路54使用乘法器来构成，通过将从第三滤波器43输出的信号与从交流信号源21a输出的同步信号S

在该情况下，由于第三检测电压Vdv3是通过以第二接地G2为基准来检测基于交流检查电流Id在源极端子Lc中产生的电压V

第四检测部25A连接到Hi侧的感测端子Hp，以第二接地G2为基准，检测基于交流测定电流Im在感测端子Hp中产生的电压V

作为一个示例，第四检测部25A被构成为包括耦合电容器61、第三放大器62、第六滤波器(在图1中，标记为第六FL)63、检波电路64以及第七滤波器(在图1中，标记为第七FL)65。

耦合电容器61的一端与感测端子Hp相连接。第三放大器62包括作为非反放大器发挥作用的运算放大器62a，该运算放大器62a的非反相输入端子连接到耦合电容器61的另一端，反相输入端子经由输入电阻62b连接到第二接地G2，并且反馈电阻62c连接在输出端子和反相输入端子之间。利用该结构，第三放大器62经由耦合电容器61输入在感测端子Hp中产生的交流电压V

第六滤波器63被构成作为主要使包含交流测定电流Im的频率f1以及交流检查电流Id的频率f2在内的频带的信号分量通过的窄带通型滤波器。利用该结构，第六滤波器63输入从第三放大器62输出的放大信号，并且去除该放大信号中所包含的通带以外的频率分量(噪声分量)并进行输出。

作为一个示例，检波电路64使用乘法器来构成，通过将从第六滤波器63输出的信号与同步信号S

在该情况下，由于第四检测电压Vdv4是通过以第二接地G2为基准来检测基于交流测定电流Im在感测端子Hp中产生的电压V

第五检测部26A连接到感测端子Hp，以第二接地G2为基准，检测基于交流检查电流Id在感测端子Hp中产生的电压(正弦波电压信号)V

作为一个示例，第五检测部26A被构成为包括耦合电容器61、第三放大器62、第六滤波器63、检波电路74以及第八滤波器(在图1中，标记为第八FL)75。在本示例的第五检测部26A中，作为一个示例，对于耦合电容器61、第三放大器62以及第六滤波器63，采用与第四检测部25A共享的结构，以力图减少构成阻抗测定装置1A的部件数量，但并不限于该结构。例如，虽然没有图示，但是可设置与耦合电容器61、第三放大器62以及第六滤波器63相当的第五检测部26A专用的结构要素，可共享耦合电容器61来设置与第三放大器62以及第六滤波器63相当的第五检测部26A专用的结构要素，也可共享耦合电容器61以及第三放大器62来设置与第六滤波器63相当的第五检测部26A专用的结构要素。

作为一个示例，检波电路74使用乘法器来构成，通过将从第六滤波器63输出的信号与从交流信号源21a输出的同步信号S

在该情况下，由于第五检测电压Vdv5是通过以第二接地G2为基准来检测基于交流检查电流Id在感测端子Hp中产生的电压V

作为一个示例，处理部27构成为具有A/D转换器、CPU和存储器(均未图示)，执行阻抗测定处理。在该阻抗测定处理中，处理部27输入第一检测电压Vdv1、第二检测电压Vdv2、第三检测电压Vdv3、第四检测电压Vdv4和第五检测电压Vdv5并计算这些电压值，并且基于这些电压值和交流测定电流Im及交流检查电流Id的已知的各个电流值来计算(测定)内部电阻Rx和各个接触电阻R

作为一个示例，输出部28由显示装置构成，在画面上显示(输出)从处理单元27输出的内部电阻Rx和各个接触电阻R

接着，参照附图来对阻抗测定装置1A的动作进行说明。另外，阻抗测定装置1A通过未图示的四根测定电缆连接到测定对象DUT(电池)。

在阻抗测定装置1A中，测定用信号源2向连接在源极端子Hc和感测端子Hp、源极端子Lc和感测端子Lp之间的测定对象DUT提供交流测定电流Im(频率f1)，测定部3A的检查用信号源21向该测定对象DUT提供交流检查电流Id(频率f2)。

在该状态下，在测定部3A中，第一检测部22A以第二接地G2为基准，检测在源极端子Hc中产生的交流电压V

处理部27基于从各个检测部22A、23A、24A、25A、26A输出的各个检测电压Vdv1、Vdv2、Vdv3、Vdv4、Vdv5执行阻抗测定处理。在该阻抗测定处理中，处理部27首先对各个检测电压Vdv1、Vdv2、Vdv3、Vdv4、Vdv5进行A/D转换，从而转换为表示各个检测电压Vdv1、Vdv2、Vdv3、Vdv4、Vdv5的电压值的电压数据。接着，处理部27基于针对各个检测电压Vdv1、Vdv2、Vdv3、Vdv4、Vdv5的该电压数据，对各个检测电压Vdv1、Vdv2、Vdv3、Vdv4、Vdv5的电压值进行检测。

在该情况下，如上述那样，针对基于交流测定电流Im在源极端子Hc中产生的电压V

然后，处理部27通过将第一检测电压Vdv1的电压值除以交流测定电流Im的已知的电流值来计算串联合成电阻(Rx+R

然后，处理部27通过从所计算出的串联合成电阻(Rx+R

最后，处理部27执行输出处理，以在输出部28上显示所计算出的内部电阻Rx和各个接触电阻R

如此，根据该阻抗测定装置1A，测定用信号源2用的第一接地G1与测定部3A用的第二接地G2被电隔离，并且除了具备用于检测(测定)内部电阻Rx的第四检测部25A以外，还具备用于检测(测定)各个接触电阻R

接着，参照图2来说明作为另一阻抗测定装置的阻抗测定装置1B。另外，对于与阻抗测定装置1A相同的结构，标注相同的标号并省略重复的说明。

阻抗测定装置1B包括各个源极端子Hc、Lc、各个感测端子Hp、Lp、测定用信号源2以及测定部3B，并且构成为在Hi侧的源极端子Hc和Hi侧的感测端子Hp连接到测定对象DUT的一个电极且Lo侧的源极端子Lc和Lo侧的感测端子Lp连接到测定对象DUT的另一个电极的状态下，能够对测定对象DUT的阻抗进行测定。检查用信号源21的交流信号源21a在与耦合电容器21b串联连接的状态下，连接在感测端子Hp与感测端子Lp之间。

测定部3B包括检查用信号源21、第一检测部22B、第二检测部23B、第三检测部24B、第四检测部25B、第五检测部26B、处理部27以及输出部28，并且连同测定对象DUT的内部电阻Rx一起测定各个接触电阻R

第一检测部22B连接到各个源极端子Hc、Lc，以第二接地G2为基准，检测基于交流测定电流Im在源极端子Hc、Lc中产生的电压(正弦波电压信号)V

作为一个示例，第一检测部22B被构成为包括两个耦合电容器31a、31b、第一放大器32、第一滤波器33、检波电路34以及第二滤波器35。第一放大器32包括仪表放大器32f，在该仪表放大器32f的非反相输入端子经由耦合电容器31a连接到源极端子Hc，反相输入端子经由耦合电容器31b连接到源极端子Lc，并且相同电阻值的两个输入电阻器32d、32e串联连接的状态下，该仪表放大器32f连接在非反相输入端子与反相输入端子之间。此外，输入电阻32d、32e的连接点连接至第二接地G2。利用该结构，第一检测部22B的第一放大器32经由耦合电容器31a、31b输入在源极端子Hc、Lc间产生的交流电压V

第一滤波器33去除从第一放大器32输出的放大信号中所包含的通带外的频率分量(噪声分量)并输出，检波电路34通过同步信号S

在该情况下，由于第一检测电压Vdv1是通过以第二接地G2为基准来检测基于交流测定电流Im在各个源极端子Hc、Lc间产生的电压V

第二检测部23B连接到源极端子Lc和感测端子Lp，以第二接地G2为基准，检测基于交流测定电流Im在源极端子Lc和感测端子Lp之间产生的电压(正弦波电压信号)V

作为一个示例，第二检测部23B被构成为包括耦合电容器41a、41b、第二放大器42、第三滤波器43、检波电路44以及第四滤波器45。第二放大器42包括仪表放大器42f，在该仪表放大器42f的非反相输入端子经由耦合电容器41a连接到感测端子Lp，反相输入端子经由耦合电容器41b连接到源极端子Lc，并且相同电阻值的两个输入电阻器42d、42e串联连接的状态下，该仪表放大器42f连接在非反相输入端子与反相输入端子之间。此外，输入电阻42d、42e的连接点连接至第二接地G2。利用该结构，第二检测部23B的第二放大器42经由耦合电容器41a、41b输入在源极端子Lc和感测端子Lp之间产生的交流电压V

第三滤波器43去除从第二放大器42输出的放大信号中所包含的通带(包含频率f1、f2在内的频带)以外的频率分量(噪声分量)并输出，检波电路44通过同步信号S

在该情况下，由于第二检测电压Vdv2是通过以第二接地G2为基准来检测基于交流测定电流Im在源极端子Lc与感测端子Lp之间产生的电压V

第三检测部24B连接到源极端子Lc和感测端子Lp，以第二接地G2为基准，检测基于交流测定电流Im在源极端子Lc和感测端子Lp之间产生的电压(正弦波电压信号)V

作为一个示例，第三检测部24B被构成为包括耦合电容器41a、41b、第二放大器42、第三滤波器43、检波电路54以及第五滤波器55。在本示例的第三检测部24B中，作为一个示例，耦合电容器41a、41b、第二放大器42以及第三滤波器43采用与第二检测部23B共享的结构，但是不限于该结构，与上述阻抗测定装置1A相同地，也可设置与耦合电容器41a、41b、第二放大器42和第三滤波器43相当的第三检测部24B专用的结构要素等，能够进行各种变更。

第三检测部24B中，检波电路54通过同步信号S

在该情况下，由于第三检测电压Vdv3是通过以第二接地G2为基准来检测基于交流检查电流Id在源极端子Lc与感测端子Lp之间产生的电压V

第四检测部25B连接到各个感测端子Hp、Lp，以第二接地G2为基准，检测基于交流测定电流Im在感测端子Hp、Lp间产生的电压V

作为一个示例，第四检测部25B被构成为包括耦合电容器61a、61b、第三放大器62、第六滤波器63、检波电路64以及第七滤波器65。第三放大器62包括仪表放大器62f，在该仪表放大器62f的非反相输入端子经由耦合电容器61a连接到感测端子Hp，反相输入端子经由耦合电容器61b连接到感测端子Lp，并且相同电阻值的两个输入电阻器62d、62e串联连接的状态下，该仪表放大器62f连接在非反相输入端子与反相输入端子之间。此外，输入电阻62d、62e的连接点连接至第二接地G2。利用该结构，第四检测部25B的第三放大器62经由耦合电容器61a、61b输入在各个感测端子Hp、Lp间产生的交流电压V

第六滤波器63去除从第三放大器62输出的放大信号中所包含的通带(包含频率f1、f2在内的频带)以外的频率分量(噪声分量)并输出，检波电路64通过同步信号S

在该情况下，由于第四检测电压Vdv4是通过以第二接地G2为基准来检测基于交流测定电流Im在感测端子Hp、Lp中产生的电压V

第五检测部26B连接到各个感测端子Hp、Lp，以第二接地G2为基准，检测基于交流检查电流Id而在感测端子Hp、Lp间产生的电压V

作为一个示例，第五检测部26B被构成为包括耦合电容器61a、61b、第三放大器62、第六滤波器63、检波电路74以及第八滤波器75。在本示例的第五检测部26B中，作为一个示例，耦合电容器61a、61b、第三放大器62以及第六滤波器63采用与第四检测部25B共享的结构，但是不限于该结构，与上述阻抗测定装置1A相同地，也可设置与耦合电容器61a、61b、第三放大器62和第六滤波器63相当的第五检测部26B专用的结构要素等，能够进行各种变更。

第五检测部26B中，检波电路74通过同步信号S

在该情况下，由于第五检测电压Vdv5是通过以第二接地G2为基准来检测基于交流检查电流Id在感测端子Hp、Lp间产生的电压V

接着，参照附图来对阻抗测定装置1B的动作进行说明。

在该阻抗测定装置1B中，在测定用信号源2向测定对象DUT提供交流测定电流Im，且测定部3B的检查用信号源21向测定对象DUT提供交流检查电流Id的状态下，测定部3B中，第一检测部22B以第二接地G2为基准，检测在各个源极端子Hc、Lc间产生的交流电压V

处理部27基于从各个检测部22B、23B、24B、25B、26B输出的各个检测电压Vdv1、Vdv2、Vdv3、Vdv4、Vdv5执行阻抗测定处理。在该阻抗测定处理中，处理部27首先对各个检测电压Vdv1、Vdv2、Vdv3、Vdv4、Vdv5进行A/D转换，从而转换为表示各个检测电压Vdv1、Vdv2、Vdv3、Vdv4、Vdv5的电压值的电压数据。接着，处理部27基于针对各个检测电压Vdv1、Vdv2、Vdv3、Vdv4、Vdv5的电压数据，对各个检测电压Vdv1、Vdv2、Vdv3、Vdv4、Vdv5的电压值进行检测。

在该情况下，如上述那样，针对基于交流测定电流Im在源极端子Hc、Lc间产生的电压V

然后，处理部27通过将第一检测电压Vdv1的电压值除以交流测定电流Im的已知的电流值来计算串联合成电阻(R

接着，处理部27通过从所计算出的串联合成电阻(R

最后，处理部27执行输出处理，以在输出部28上显示所计算出的内部电阻Rx和各个接触电阻R

如此，在该阻抗测定装置1B中，测定用信号源2用的第一接地G1与测定部3B用的第二接地G2被电隔离，并且除了具备用于检测(测定)内部电阻Rx的第四检测部25B以外，还具备用于检测(测定)各个接触电阻R

接着，参照图3来说明作为另一阻抗测定装置的阻抗测定装置1C。另外，对于与阻抗测定装置1B相同的结构，标注相同的标号并省略重复的说明。

阻抗测定装置1C包括各个源极端子Hc、Lc、各个感测端子Hp、Lp、测定用信号源2以及测定部3C，并且构成为在Hi侧的源极端子Hc和Hi侧的感测端子Hp连接到测定对象DUT的一个电极且Lo侧的源极端子Lc和Lo侧的感测端子Lp连接到测定对象DUT的另一个电极的状态下，能够对测定对象DUT的阻抗进行测定。

测定部3C具有与测定部3B相同的结构要素(检查用信号源21、第一检测部22B、第二检测部23B、第三检测部24B、第四检测部25B、第五检测部26B、处理部27以及输出部28)，但仅在第二检测部23B及第三检测部24B连接在源极端子Hc与感测端子Hp之间的结构这一点上，测定部3C与测定部3B不同。

在测定部3C中，构成为第二检测部23B和第三检测部24B以这种方式连接在源极端子Hc与感测端子Hp之间，因而，第二检测部23B以第二接地G2为基准，检测基于在源极端子Hc与感测端子Hp之间产生的交流电压V

在该情况下，第二检测电压Vdc2的电压值为与接触电阻R

对该阻抗测定装置1C的动作进行说明。另外，仅对与阻抗测定装置1B不同的动作进行说明，省略对相同动作的说明。

在阻抗测定处理中，处理部27基于从各个检测部22B、23B、24B、25B、26B输出的各个检测电压Vdv1、Vdv2、Vdv3、Vdv4、Vdv5，检测各个检测电压Vdv1、Vdv2、Vdv3、Vdv4、Vdv5的电压值。

在该情况下，如上述那样，针对基于交流测定电流Im在源极端子Hc、Lc间产生的电压V

然后，处理部27通过将第一检测电压Vdv1的电压值除以交流测定电流Im的已知的电流值来计算串联合成电阻(R

接着，处理部27通过从所计算出的串联合成电阻(R

最后，处理部27执行输出处理，以在输出部28上显示所计算出的内部电阻Rx和各个接触电阻R

如此，在该阻抗测定装置1C中，测定用信号源2用的第一接地G1与测定部3C用的第二接地G2被电隔离，并且除了具备用于检测(测定)内部电阻Rx的第四检测部25B以外，还具备用于检测(测定)各个接触电阻R

接着，参照图4来说明作为另一个阻抗测定装置的阻抗测定装置1D。另外，对于与上述的阻抗测定装置1A、1B相同的结构，标注相同的标号并省略重复的说明。

阻抗测定装置1D包括各个源极端子Hc、Lc、各个感测端子Hp、Lp、测定用信号源2以及测定部3D，并且构成为在Hi侧的源极端子Hc和Hi侧的感测端子Hp连接到测定对象DUT的一个电极且Lo侧的源极端子Lc和Lo侧的感测端子Lp连接到测定对象DUT的另一个电极的状态下，能够对测定对象DUT的阻抗进行测定。

测定部3D包括第一检查用信号源211、第二检查用信号源212、第一检测部22D、第二检测部23D、第三检测部24D、第四检测部25D、第五检测部26D、处理部27以及输出部28，并且连同测定对象DUT的内部电阻Rx一起测定各个接触电阻R

第一检查用信号源211包括交流信号源21a和耦合电容器21b，构成为与检查用信号源21相同。交流信号源21a在与耦合电容器21b串联连接的状态下连接在源极端子Hc和感测端子Hp之间，并且将具有固定的电流值(已知)和固定的频率f2的正弦波恒定电流作为第一交流检查电流Id1提供至源极端子Hc与感测端子Hp间。此外，交流信号源21a输出与第一交流检查电流Id1同步的频率f2的同步信号S

第二检查用信号源212包括交流信号源212a和耦合电容器212b。交流信号源212a在与耦合电容器212b串联连接的状态下连接在源极端子Lc和感测端子Lp间，并且将具有固定的电流值(已知)和固定的频率f3(与频率f1、f2不同的频率)的正弦波恒定电流作为第二交流检查电流Id2提供至源极端子Lc与感测端子Lp间。此外，交流信号源212a输出与第二交流检查电流Id2同步的频率f3的同步信号S

第二检测部22D连接到源极端子Hc和感测端子Hp，以第二接地G2为基准，检测基于交流测定电流Im在源极端子Hc和感测端子Hp之间产生的电压(正弦波电压信号)V

作为一个示例，第一检测部22D被构成为包括耦合电容器41a、41b、第二放大器42、第三滤波器43、检波电路44以及第四滤波器45，构成为与上述的第二检测部23B相同。另外，耦合电容器41a连接在仪表放大器42f的非反相输入端子与源极端子Hc之间，耦合电容器41b连接在仪表放大器42f的反相输入端子与感测端子Hp之间。

在该情况下，由于从第四滤波器45输出的第一检测电压Vdv1是通过以第二接地G2为基准来检测基于交流测定电流Im在源极端子Hc与感测端子Hp之间产生的电压V

第二检测部23D连接到源极端子Hc和感测端子Hp，以第二接地G2为基准，检测基于第一交流检查电流Id1在源极端子Hc和感测端子Hp之间产生的电压(正弦波电压信号)V

作为一个示例，第二检测部23D被构成为包括耦合电容器41a、41b、第二放大器42、第三滤波器43、检波电路54以及第五滤波器55，构成为与上述的第三检测部24B相同。在本示例的第二检测部23D中，作为一个示例，耦合电容器41a、41b、第二放大器42以及第三滤波器43采用与第一检测部22D共享的结构，但是不限于该结构，与上述阻抗测定装置1B相同地，也可设置与耦合电容器41a、41b、第二放大器42和第三滤波器43相当的第三检测部24B专用的结构要素等，能够进行各种变更。

在该情况下，由于从第五滤波器55输出的第二检测电压Vdv2是通过以第二接地G2为基准来检测基于第一交流检查电流Id1在源极端子Hc与感测端子Hp之间产生的电压V

第三检测部24D连接到源极端子Lc和感测端子Lp，以第二接地G2为基准，检测基于交流测定电流Im在源极端子Lc和感测端子Lp之间产生的电压(正弦波电压信号)V

作为一个示例，第三检测部24D被构成为包括耦合电容器81a、81b、第四放大器82、第九滤波器(在图4中，标记为第九FL)83、检波电路84以及第十滤波器(在图4中，标记为第十FL)85。第四放大器82包括仪表放大器82f，在该仪表放大器82f的非反相输入端子经由耦合电容器81a连接到感测端子Lp，反相输入端子经由耦合电容器81b连接到源极端子Lc，并且相同电阻值的两个输入电阻器82d、82e串联连接的状态下，该仪表放大器82f连接在非反相输入端子与反相输入端子之间。此外，输入电阻82d、82e的连接点连接至第二接地G2。利用该结构，第三检测部24D的第四放大器82经由耦合电容器81a、81b输入在源极端子Lc和感测端子Lp之间产生的交流电压V

第九滤波器83去除从第四放大器82输出的放大信号中所包含的通带(包含频率f1、f3在内的频带)以外的频率分量(噪声分量)并输出，检波电路84通过同步信号S

在该情况下，由于第三检测电压Vdv3是通过以第二接地G2为基准来检测基于交流测定电流Im在源极端子Lc与感测端子Lp之间产生的电压V

第四检测部25D连接到源极端子Lc和感测端子Lp，以第二接地G2为基准，检测基于第二交流测定电流Id2在源极端子Lc和感测端子Lp之间产生的电压(正弦波电压信号)V

作为一个示例，第四检测部25D被构成为包括耦合电容器81a、81b、第四放大器82、第九滤波器83、检波电路94以及第十一滤波器(在图4中，标记为第十一FL)95。在本示例的第四检测部25D中，作为一个示例，耦合电容器81a、81b、第四放大器82以及第九滤波器83采用与第三检测部24D共享的结构，但是不限于该结构，与上述阻抗测定装置1A相同地，也可设置与耦合电容器81a、81b、第四放大器82和第九滤波器83相当的第四检测部25D专用的结构要素等，能够进行各种变更。

第四检测部25D中，检波电路94通过同步信号S

在该情况下，由于第四检测电压Vdv4是通过以第二接地G2为基准来检测基于第二交流检查电流Id2在源极端子Lc与感测端子Lp之间产生的电压V

第五检测部26D连接到各个感测端子Hp、Lp，以第二接地G2为基准，检测基于交流测定电流Im在感测端子Hp、Lp间产生的电压(正弦波电压信号)V

作为一个示例，第五检测部26D被构成为包括两个耦合电容器31a、31b、第一放大器32、第一滤波器33、检波电路34以及第二滤波器35，构成为与上述的第一检测部22B相同。另外，耦合电容器31a连接在仪表放大器32f的非反相输入端子与感测端子Hp之间，耦合电容器31b连接在仪表放大器32f的反相输入端子与感测端子Lp之间。

在该情况下，由于从第二滤波器35输出的第五检测电压Vdv5是通过以第二接地G2为基准来检测基于交流测定电流Im在感测端子Hp、Lp中产生的电压V

接着，参照附图来对阻抗测定装置1D的动作进行说明。

在该阻抗测定装置1D中，在测定用信号源2将交流测定电流Im提供到测定对象DUT，测定部3D的第一检查用信号源211将第一交流检查电流Id1提供到源极端子Hc与感测端子Hp之间，并且第二检查用信号源212将第二交流检查电流Id2提供到源极端子Lc与感测端子Lp之间的状态下，在测定部3D中，第一检测部22D以第二接地G2为基准来检测在源极端子Hc和感测端子Hp之间产生的交流电压V

处理部27基于从各个检测部22D、23D、24D、25D、26D输出的各个检测电压Vdv1、Vdv2、Vdv3、Vdv4、Vdv5执行阻抗测定处理。在该阻抗测定处理中，处理部27首先对各个检测电压Vdv1、Vdv2、Vdv3、Vdv4、Vdv5进行A/D转换，从而转换为表示各个检测电压Vdv1、Vdv2、Vdv3、Vdv4、Vdv5的电压值的电压数据。接着，处理部27基于针对各个检测电压Vdv1、Vdv2、Vdv3、Vdv4、Vdv5的电压数据，对各个检测电压Vdv1、Vdv2、Vdv3、Vdv4、Vdv5的电压值进行检测。

在该情况下，如上述那样地，针对基于交流测定电流Im在源极端子Hc和感测端子Hp间产生的电压V

然后，处理部27通过将第一检测电压Vdv1的电压值除以交流测定电流Im的已知的电流值来计算接触电阻R

然后，处理部27通过从所计算出的串联合成电阻(R

最后，处理部27执行输出处理，以在输出部28上显示所计算出的内部电阻Rx和各个接触电阻R

如此，在该阻抗测定装置1D中，测定用信号源2用的第一接地G1与测定部3D用的第二接地G2被电隔离，并且除了具备用于检测(测定)内部电阻Rx的第五检测部26D以外，还具备用于检测(测定)各个接触电阻R

另外，上述阻抗测定装置1A、1B、1C中，同时进行从测定用信号源2向测定对象DUT提供交流测定电流Im、以及从检查用信号源21向测定对象DUT提供交流检查电流Id，第一检测部22A(22B)、第二检测部23A(23B)、第三检测部24A(24B)、第四检测部25A(25B)及第五检测部26A(26B)采用将交流测定电流Im的频率f1以及交流检查电流Id的频率f2规定为不同频率的结构，以使得能够同时输出对应的检测电压Vdv1、Vdv2、Vdv3、Vdv4、Vdv5(其结果为，使得能缩短测定时间)，或者在阻抗测定装置1D中，同时执行从测定用信号源2向测定对象DUT提供交流测定电流Im、从第一检查用信号源211向源极端子Hc和感测端子Hp间提供第一交流检查电流Id1、以及从第二检查用信号源212向源极端子Lc和感测端子Lp间提供第二交流检查电流Id2，第一检测部22D、第二检测部23D、第三检测部24D、第四检测部25D及第五检测部26D采用将交流测定电流Im的频率f1以及两个交流检查电流Id1、Id2的各个频率f2、f3规定为彼此不同的频率的结构，以使得能够同时输出对应的检测电压Vdv1、Vdv2、Vdv3、Vdv4、Vdv5(其结果为，使得能缩短测定时间)，但是不限于该结构。

例如，在阻抗测定装置1A、1B、1C中，使检测电压Vdv1、Vdv2、Vdv4的输出定时(处理部27中的获取定时)与检测电压Vdv3、Vdv5的输出定时(处理部27中的获取定时)错开，从而也能将交流测定电流Im的频率f1和交流检查电流Id的频率f2规定为相同的频率。

此外，在阻抗测定装置1D中，各个交流检查电流Id1、Id2的电流环路不重叠，因此也能够构成为将交流检查电流Id1、Id2的频率f2、f3规定为相同的频率。此外，在阻抗测定装置1D中，使检测电压Vdv1、Vdv3、Vdv5的输出定时(处理部27中的获取定时)与检测电压Vdv2、Vdv4的输出定时(处理部27中的获取定时)错开，从而也能够构成为将交流测定电流Im的频率f1和交流检查电流Id1、Id2的各个频率f2、f3规定为相同的频率。

工业上的实用性

根据本发明，可以分别测定用于提供Hi侧和Lo侧的信号的各个源极端子、以及用于检测Hi侧和Lo侧的信号的各个感测端子与测定对象中的对应的电极之间的接触电阻(即，能够分别检测各个源极端子和各个感测端子与测定对象中的对应电极之间的接触状态)。因此，本发明可以广泛地应用于具有连接到测定对象的一对源极端子和一对感测端子的四线式的阻抗测定装置(通过四端子法测定阻抗的阻抗测定装置)。

标号说明

1A、1B、1C、1D阻抗测定装置

2测定用信号源

3A、3B、3C、3D测定部

21、211、212检查用信号源

22A、22B、22D第一检测部

23A、23B、23D第二检测部

24A、24B、24D第三检测部

25A、25B、25D第四检测部

26A、26B、26D第五检测部

27处理部

DUT测定对象

G1第一接地

G2第二接地

Hc、Lc源极端子

Hp、Lp感测端子

Id、Id1、Id2交流检查电流

Im交流测定电流

R

Rx内部电阻

Vdv1第一检测电压

Vdv2第二检测电压

Vdv3第三检测电压

Vdv4第四检测电压

Vdv5第五检测电压。