微镜偏振运动控制方法、装置、校准设备及可读存储介质

技术领域

本发明涉及仪器控制技术领域，尤其涉及一种微镜偏振运动控制方法、装置、校准设备及可读存储介质。

背景技术

微镜工作在谐振频率下，MEMS微镜能够以最小的驱动功率工作在最大振动幅值。由于微镜生产公司给出的产品特性中谐振频率是一个范围，因此在制造工艺上，无法严格生产出具有相同谐振频率的一批产品，不同的产品之间的谐振频率存在误差。当用户需要对微镜进行大批量应用时，需要测试每一个微镜的谐振频率，并且需要在控制系统中更新数据，这一过程非常繁琐且严重影响工作进度。

因此，亟需一种能够自动调整微镜谐振频率的电磁驱动型微镜偏振运动控制方案。

发明内容

为了解决上述技术问题，本申请实施例提供了一种微镜偏振运动控制方法、装置、校准设备及可读存储介质，具体方案如下：

第一方面，本申请实施例提供了一种微镜偏振运动控制方法，所述方法包括：

微镜根据第一幅值和第一驱动频率进行偏振运动，所述第一幅值为预设值，所述第一驱动频率为预设值；

通过光电探测器件获取所述微镜在P个偏振周期的实时偏振运动轨迹信号，所述P为正整数；

对P个偏振周期的实时偏振运动轨迹信号进行分析，得到N个第二驱动频率以及每个第二驱动频率对应的第二幅值，所述N为正整数且N

遍历第二幅值，确定第二幅值最大的第二驱动频率为目标驱动频率，所述微镜在目标驱动频率下进行幅值调整，确定目标幅值；

所述微镜根据所述目标驱动频率和所述目标幅值进行谐振运动。

根据本申请实施例的一种具体实施方式，所述“对P个偏振周期的实时偏振运动轨迹信号进行分析，得到N个第二驱动频率以及每个第二驱动频率对应的第二幅值”，包括：

基于实时偏振运动轨迹信号，得到实时驱动频率以及对应的第一实时幅值；

基于预设增量计算模型调节所述实时驱动频率，直至所述实时驱动频率等于预设频率阈值；

若连续M个偏振周期内的实时驱动频率之间的差值符合预设范围，则将所述实时驱动频率确定为所述第二驱动频率，并将对应所述第二驱动频率的第一实时幅值的平均值确定为所述第二幅值，所述M为正整数且M≤P。

根据本申请实施例的一种具体实施方式，所述预设增量计算模型的计算公式为：

Δu(k)＝(k)-(k-1)

＝

+

其中，Δu(k)为增量，u(k)为当前微镜偏振周期内的驱动控制信号，u(k-1)为前一微镜偏振周期的驱动控制信号，e(k)为当前微镜偏振周期的误差，e(k-1)为前一个微镜偏振周期的误差，e(k-2)为前两个微镜偏振周期的误差，K

根据本申请实施例的一种具体实施方式，所述的“通过光电探测器件获取所述微镜在P个偏振周期的实时偏振运动轨迹信号”包括以下内容：

根据光电探测器件得到两路光电感应电流；

基于两路光电感应电流得到所述微镜的偏振角度；

基于连续的偏振角度的变化得到实时偏振运动轨迹信号。

根据本申请实施例的一种具体实施方式，所述的“基于两路光电感应电流得到所述微镜的偏振角度”，包括：

其中，L为光电探测器件的中心点到边缘的长度，I

根据本申请实施例的一种具体实施方式，所述“所述微镜在目标驱动频率下进行幅值调整，确定目标幅值”，包括：

所述微镜基于目标驱动频率下进行偏振，得到对应的第二实时幅值；

基于预设增量计算模型调节所述第二实时幅值，直至所述第二实时幅值等于预设幅值阈值。

根据本申请实施例的一种具体实施方式，所述“所述微镜在目标驱动频率下进行幅值调整，确定目标幅值”，还包括：

定义所述微镜在静止状态下的位置为0度位置；

采集所述微镜基于目标驱动频率和所述目标幅值进行谐振运动的运动数据；

判断所述运动数据的中间值与0度位置是否对应；

若不对应，调整驱动所述微镜进行谐振运动的驱动信号，使得所述运动数据的中间值与0度位置相对应。

第二方面，本申请实施例提供了一种微镜偏振运动控制装置，所述装置包括：

第一驱动模块，用于从微镜根据第一幅值和第一驱动频率进行偏振运动，所述第一幅值为预设值，所述第一驱动频率为预设值；

光电探测模块，用于通过光电探测器件获取所述微镜在P个偏振周期的实时偏振运动轨迹信号，所述P为正整数；

姿态分析模块，用于对P个偏振周期的实时偏振运动轨迹信号进行分析，得到N个第二驱动频率以及每个第二驱动频率对应的第二幅值，所述N为正整数且N

校准模块，用于遍历全部第二幅值，确定最大第二幅值对应的第二驱动频率为目标驱动频率，所述微镜在目标驱动频率下进行幅值调整，确定目标幅值；

第二驱动模块，用于所述微镜根据所述目标驱动频率和所述目标幅值进行谐振运动。

第三方面，本申请实施例提供了一种校准设备，所述校准设备包括处理器和存储器，所述存储器存储有计算机程序，所述计算机程序在所述处理器上运行时执行第一方面及第一方面任一实施方式所述的微镜偏振运动控制方法。

第四方面，本申请实施例提供了一种计算机可读存储介质，所述计算机可读存储介质中存储有计算机程序，所述计算机程序在处理器上运行时执行第一方面及第一方面任一实施方式所述的微镜偏振运动控制方法。

本申请实施例提供了一种微镜偏振运动控制方法、装置、校准设备及可读存储介质，包括：微镜根据第一幅值和第一驱动频率进行偏振运动；通过光电探测器件获取所述微镜的实时偏振运动轨迹信号；对实时偏振运动轨迹信号进行分析，并确定目标驱动频率，在所述目标驱动频率下进行幅值调整，确定目标幅值；所述微镜根据所述目标驱动频率和所述目标幅值进行谐振运动。

本发明能够快速测量微镜的谐振频率，并自动确定每个微镜的谐振频率以及谐振幅值，避免了在工艺生产过程中，需要对每个微镜单独进行测试调试的过程，从而大幅度缩短对微镜产品的测试调试时间，提高了工作效率。

附图说明

为了更清楚地说明本发明的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本发明的某些实施例，因此不应被看作是对本发明保护范围的限定。在各个附图中，类似的构成部分采用类似的编号。

图1示出了本申请实施例提供的一种微镜偏振运动控制方法的方法流程示意图；

图2示出了本申请实施例提供的一种微镜偏振运动控制系统的系统模块示意图；

图3示出了本申请实施例提供的一种微镜偏振运动控制系统的直接数字式频率合成器的结构示意图；

图4示出了本申请实施例提供的一种微镜偏振运动控制装置的装置模块示意图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。

通常在此处附图中描述和示出的本发明实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本发明的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本发明的范围，而是仅仅表示本发明的选定实施例。基于本发明的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

在下文中，可在本发明的各种实施例中使用的术语“包括”、“具有”及其同源词仅意在表示特定特征、数字、步骤、操作、元件、组件或前述项的组合，并且不应被理解为首先排除一个或更多个其它特征、数字、步骤、操作、元件、组件或前述项的组合的存在或增加一个或更多个特征、数字、步骤、操作、元件、组件或前述项的组合的可能性。

此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

除非另有限定，否则在这里使用的所有术语(包括技术术语和科学术语)具有与本发明的各种实施例所属领域普通技术人员通常理解的含义相同的含义。所述术语(诸如在一般使用的词典中限定的术语)将被解释为具有与在相关技术领域中的语境含义相同的含义并且将不被解释为具有理想化的含义或过于正式的含义，除非在本发明的各种实施例中被清楚地限定。

微机电系统(Micro Electro-Mechanical Systems，简称MEMS)是一种尺寸在厘米级以下的微电子机械系统，从集成化的角度来看，所述MEMS是集微型结构、微型传感器以及信号处理和控制电路于一体的微型系统或器件。

MEMS微镜是指微机电装置及利用微机电装置控制的微光学器件的整体结构，通过有规律的高频振动实现对光束的反射、衍射等控制行为，其具有集成度高、体积微小、功耗低、响应速度快等特点，可用于光的成像、扫描等应用。

MEMS微镜(以下简称“微镜”)在工作过程中会受到系统阻尼、力矩变化和外界环境变化的影响，所以在相同的驱动功率下，当驱动角频接近系统无阻尼的固有角频率时，微镜的振幅会突然增大；当驱动角频率等于系统无阻尼的固有角频率时，微镜的振幅最大，该现象称为谐振现象。发生谐振时系统的振动频率称为谐振频率。

现有的微镜产品的谐振频率在工艺上存在误差，导致每一个微镜的实际谐振频率均有差别，无法严格生产出具有相同谐振频率的一批产品。因此，生产企业只能给出对应批次微镜的谐振频率在一定的区间范围内。若需要使得微镜处于谐振状态时，还需要通过手动测试的方法，在上述区间中确定属于该微镜的谐振频率。因此，就现有技术而言，若要确保同一批次的微镜都处于谐振状态，需要对该批次的每个微镜逐个进行测试，导致生产周期被严重拉长，生产效率无法快速提升。

本实施例提供的偏振运动控制方法，为一种能够自适应调节电磁驱动型微镜的谐振频率的控制方法，本实施例提供的方法，能够自动确定每个微镜的谐振频率以及谐振幅值，从而避免了对每个微镜进行测试调试的过程，大幅度缩短整体的测试调试时间，提高了工作效率。

参考图1，为本申请实施例提供的一种微镜偏振运动控制方法的方法流程示意图，本申请实施例提供的偏振运动控制方法，如图1所示，所述方法包括：

步骤S101，微镜根据第一幅值和第一驱动频率进行偏振运动，所述第一幅值为预设值，所述第一驱动频率为预设值；

具体地，本实施例提供的偏振运动方法可以应用于一种偏振运动控制器，所述偏振运动控制器用于控制电磁驱动型微镜，所述电磁驱动型微镜的镜面背光端设置有光电探测器件。

具体地，所述偏振运动控制器和所述光电探测器件可以集成为一种偏振运动控制系统，在本实施例提出的校准设备上配置所述偏振运动控制系统。

所述电磁驱动型微镜包括驱动线圈、微镜等具体结构，本实施例对所述电磁驱动型微镜的结构不作限定，可以根据实际应用场景选择合适的微镜。

具体地，所述偏振运动控制器可以为一种现场可编程逻辑门阵列(FieldProgrammable Gate Array，简称FPGA)控制器，如图2所示，所述FPGA控制器可以包括频率调节模块、驱动信号发生器、增量式自校准控制模块、信号频谱分析模块、信号幅值分析模块和角度位置解算模块。

其中，所述驱动信号发生器可以为直接数字式频率合成器(Direct DigitalSynthesis，简称DDS)。

在具体实施时，从外部存储器写入第一幅值和第一频率控制字至所述频率调节模块，所述频率调节模块根据所述第一频率控制字生成对应的第一驱动频率。

所述频率调节模块将所述第一幅值和所述第一驱动频率发送至所述增量式自校准控制模块，所述增量式自校准控制模块根据预设增量计算模型对所述第一幅值和所述第一驱动频率进行校准后，将所述第一幅值和所述第一驱动频率写入所述DDS中，以使DDS进行整合计算，生成第一驱动信号。

具体地，所述第一幅值和所述第一驱动频率为用户启动所述电磁驱动式微镜所提前设置的初始幅值和初始驱动频率，其中，所述第一幅值可以设置为用户需要的理想驱动幅值，所述第一驱动频率可以设置为所述电磁驱动型微镜产品的谐振频率范围的最小值。

所述第一幅值和所述第一驱动频率的具体数值根据所述电磁驱动型微镜的产品特性决定，本实施例对此不作限定。

如图2所示，所述第一驱动信号为所述驱动信号发生器根据所述第一幅值和所述第一驱动频率产生连续的数字信号。

所述第一驱动信号通过数/模转换电路将所述连续的数字信号转换为连续的模拟信号，再通过功率放大电路增大所述模拟信号功率，以使所述模拟信号符合驱动电磁驱动型微镜的需求。

经过放大的连续模拟信号输入到电磁驱动型微镜的驱动线圈，将产生连续均匀变化的磁场，通过磁场特性驱动微镜做连续均匀的垂直偏振运动。

步骤S102，通过光电探测器件获取所述微镜在P个偏振周期的实时偏振运动轨迹信号，所述P为正整数；

具体地，控制所述电磁驱动型微镜开始进行偏振运动后，通过设置于所述电磁驱动型微镜的背光面的光电探测器件采集微镜反射的光信号。

所述光电探测器件(Position Sensitive Detector，简称PSD)可以为一个光斑位置传感器，用于将所述微镜反射的光信号转换为两路电信号。

具体的，如图2所示，所述光斑位置传感器将所述光信号转换为电信号后，通过前置运算放大电路放大所述电信号，再通过模/数转换电路将电信号转换为数字信号，以传输至所述偏振运动控制器中，对所述数字信号进行偏振运动轨迹分析。

所述实时偏振运动轨迹信号包括第一电信号和第二电信号。

在具体实施过程中，至少获取所述微镜在P个偏振周期的实时偏振运动轨迹信号，其中，P的数量可以根据实际应用场景进行自适应设置，本实施例对此不作具体限定。

根据本申请实施例的一种具体实施方式，所述的“通过光电探测器件获取所述微镜在P个偏振周期的实时偏振运动轨迹信号”包括以下内容：

根据光电探测器件得到两路光电感应电流；

基于两路光电感应电流得到所述微镜的偏振角度；

基于连续的偏振角度的变化得到实时偏振运动轨迹信号。

在具体实施例中，所述角度位置解算模块根据PSD工作原理，结合所述第一电信号的电流值和所述第二电信号的电流值计算所述电磁驱动型微镜的偏振角度，具体计算公式如下：

其中，电磁驱动型微镜的镜片垂直放置于PSD的中心点上方，R

步骤S103，对P个偏振周期的实时偏振运动轨迹信号进行分析，得到N个第二驱动频率以及每个第二驱动频率对应的第二幅值，所述N为正整数且N

在具体实施例中，所述偏振运动控制器根据所述第一电信号和所述第二电信号对所述电磁驱动型微镜的镜片进行姿态分析，以得到微镜的角度变换轨迹，从而可以根据角度变换轨迹中连续变换的角度值计算得到相应的第二驱动频率和第二幅值。

具体地，第二驱动频率以及每个第二驱动频率对应的第二幅值均需要至少两个偏振周期的实时偏振运动轨迹信号计算得到。

根据本申请实施例的一种具体实施方式，所述“对P个偏振周期的实时偏振运动轨迹信号进行分析，得到N个第二驱动频率以及每个第二驱动频率对应的第二幅值”，包括：

基于实时偏振运动轨迹信号，得到实时驱动频率以及对应的第一实时幅值；

基于预设增量计算模型调节所述实时驱动频率，直至所述实时驱动频率等于预设频率阈值；

若连续M个偏振周期内的实时驱动频率之间的差值符合预设范围，则将所述实时驱动频率确定为所述第二驱动频率，并将对应所述第二驱动频率的第一实时幅值的平均值确定为所述第二幅值，所述M为正整数且M≤P。

具体地，在计算得到P个偏振周期的偏振角度数据后，所述信号频谱分析模块接收连续变化的偏振角度数据，并采用内部封装的FFT(快速傅里叶变换)IP核，根据连续变化的偏振角度数据解算出对应的角度变化频率，所述角度变化频率即所述实时驱动频率。

所述信号幅值分析模块接收连续变化的偏振角度数据，并对解析出的偏振角度数据进行轮询比较，确定出固定时长内的偏振角度最大值和偏振角度最小值，计算偏振角度最大值和偏振角度最小值的差值得出峰-峰值，即所述第一实时幅值。

在实际应用过程中，若此时的轮询比较方式，为固定窗口模式下的轮询比较，即两次比较过程中，参与比较的连续的偏振周期之间，偏振周期不发生重合的情况下，M*N≤P。下面举例进行说明，对20个偏振周期的实时偏振运动轨迹信号进行分析，假设为M

若此时的轮询比较方式，为滑动窗口模式的轮询比较，即两次比较过程中，参与比较的连续的偏振周期之间，偏振周期可以重合的情况下，M

本实施例对所述轮询比较的方式不作具体限定，可根据实际应用场景进行自适应选择。

在获取所述实时驱动频率和所述第一实时幅值后，所述增量式自校准控制模块开始根据预设增量计算模型对所述第一实时幅值和所述实时驱动频率进行增量调节。

通过预设增量计算模型计算实时驱动频率的增量，具体地，根据检测到的实时驱动频率与所述频率调节模块内设置的预设频率阈值之间的差值实时调节DDS频率控制字的大小，保证实时频率稳定保持在预设频率阈值。

当检测到连续M个偏振周期内，增量式自校准控制模块中的实时驱动频率之间的差值为0时，频率调节模块保存当前实时驱动频率，并将当前实时驱动频率对应的平均幅值保存下来。所述当前实时驱动频率即所述第二驱动频率，所述对应的平均幅值即对应所述第二驱动频率的第二幅值。

在具体实施过程中，每保存一次第二驱动频率和第二幅值，所述增量式自校准控制模块根据预设增量计算模型计算出的增量，增加所述预设频率阈值，以继续增加所述实时驱动频率，直至实时频率达到所述电磁驱动型微镜产品的谐振频率范围最大值。

根据本申请实施例的一种具体实施方式，所述偏振运动控制器用于与外部存储器通信连接，所述外部存储器用于存储所述第一驱动频率、所述第一幅值、所述实时驱动频率、所述第一实时幅值、所述第二驱动频率以及所述第二幅值。

在具体实施例中，所述频率调节模块每产生一次第二驱动频率和第二幅值，就将所述第二驱动频率和所述第二幅值存储在所述外部存储器中。

所述外部存储器可以为任意类型的存储器，本实施例对此不作限定。

步骤S104，遍历第二幅值，确定第二幅值最大的第二驱动频率为目标驱动频率，控制所述微镜在目标驱动频率下进行幅值调整，确定目标幅值；

在具体实施例中，所述频率调节模块根据外部存储器中存储的全部第二驱动频率和第二幅值，确定出对应第二幅值最大的目标驱动频率，以作为电磁驱动型微镜的谐振频率。

并在使用所述目标驱动频率作为DDS频率控制字的情况下，对第二实时幅值进行增量式幅值调整，以得到第二实时幅值的极值，将所述第二实时幅值的极值作为所述目标幅值。

本实施例通过目标驱动频率和目标幅值的确定，能够实现自动调整电磁驱动型微镜的谐振频率和谐振幅值，且实现迅速，抗干扰能力强。

在具体实施过程中，所述频率调节模块通过轮询所述外部存储器的方式确定所述电磁驱动型微镜的目标驱动频率。

根据本申请实施例的一种具体实施方式，所述“控制所述微镜在目标驱动频率下进行幅值调整，确定目标幅值”，包括：

控制所述微镜基于目标驱动频率下进行偏振，得到对应的第二实时幅值；

基于预设增量计算模型调节所述第二实时幅值，直至所述第二实时幅值等于预设幅值阈值。

在具体实施过程中，在检测到所述频率调节模块的当前输出频率为目标驱动频率，且输出稳定无误差时，开始执行对第二实时幅值的调节步骤。

具体地，如图3所示，所述DDS的具体结构还包括频率寄存器、DDS相位累加器、DDS波形数据表模块、幅值调整模块、差值寄存器和幅值寄存器等。

所述DDS波形数据表模块根据所述目标驱动频率生成相应的中间驱动信号，并基于所述预设增量计算模型计算每一次第二实时幅值的增量，进行多次第二实时幅值的增量调整，最终得到符合实际应用需求的目标幅值。

具体地，所述目标幅值可以为预设幅值允许范围内的最大值。

具体地，所述预设幅值阈值的幅值正负值差值为0。

根据本申请实施例的一种具体实施方式，所述预设增量计算模型的计算公式为：

Δu(k)＝(k)-(k-1)

＝

+

其中，Δu(k)为增量，u(k)为当前微镜偏振周期内的驱动控制信号，u(k-1)为前一微镜偏振周期的驱动控制信号，e(k)为当前微镜偏振周期的误差，e(k-1)为前一个微镜偏振周期的误差，e(k-2)为前两个微镜偏振周期的误差，K

步骤S105，控制所述微镜根据所述目标驱动频率和所述目标幅值进行谐振运动。

根据本申请实施例的一种具体实施方式，所述“微镜根据所述目标驱动频率和所述目标幅值进行谐振运动”，还包括：

定义所述微镜在静止状态下的位置为0度位置；

采集所述微镜基于目标驱动频率和所述目标幅值进行谐振运动的运动数据；

判断所述运动数据的中间值与0度位置是否对应；

若不对应，调整所述目标幅值，使得所述运动数据的中间值与0度位置相对应。

在具体实施例中，以微镜不发生振动时的位置作为0度位置，通过计算幅值正负值的差值判断所述微镜是否处于振动角度不对称状态，若目标幅值的幅值正负值差值不等于0，则说明所述微镜处于振动角度不对称状态，此时可以根据目标幅值的幅值正负值差值大小，调整DDS驱动信号的零点位置偏移大小，使微镜进行偏振运动的上下振动角度对称。

在具体实施例中，如图3所示，经过增量式自校准模块校准过的幅值控制信号、频率控制信号、正负幅值差值信号分别进入DDS模块的寄存器缓存，频率寄存器的输出信号进入DDS相位累加器，累加后生成相位码读取DDS波形数据表，产生初级波形信号，初级波形信号在幅值调整模块根据幅值控制字和正负幅值差值的大小调节幅值大小和对称性，生成输出的波形信号。

本实施例提出的偏振运动控制方法，通过设置增量式自校准模块的方式，实现对电磁驱动型微镜的谐振频率和谐振幅值进行自动确定及自动调整，在工艺生产过程中，无需人工辅助，自动确定每一电磁驱动型微镜铲平的谐振频率及谐振幅值，从而有效提升了工艺生产的生产效率。另外，本实施例提出的偏振运动控制方法还能够将每一电磁驱动型微镜产品的谐振频率和谐振幅值均自动调整至可允许范围内的最大值，从而使得用户在使用电磁驱动型微镜产品时，无需进一步进行谐振测试，就可以按照电磁驱动型微镜产品的标准谐振频率和谐振幅值进行控制，有效提高了电磁驱动型微镜产品的使用效率。

且本实施例提出的偏振运动控制方法，能够保证镜片偏振轨迹的对称性，响应速度快，抗干扰性强，能够最大程度的节省电磁驱动型微镜的使用能耗。

参考图4，为本申请实施例提供的一种偏振运动控制装置400的装置模块示意图，本申请实施例提供的偏振运动控制装置400，应用于偏振运动控制器，所述偏振运动控制器用于控制电磁驱动型微镜，所述电磁驱动型微镜的镜面背光端设置有光电探测器件，如图4所示，所述偏振运动控制装置400包括：

第一驱动模块401，用于从控制微镜根据第一幅值和第一驱动频率进行偏振运动，所述第一幅值为预设值，所述第一驱动频率为预设值；

光电探测模块402，用于通过光电探测器件获取所述微镜在P个偏振周期的实时偏振运动轨迹信号，所述P为正整数；

姿态分析模块403，用于对P个偏振周期的实时偏振运动轨迹信号进行分析，得到N个第二驱动频率以及每个第二驱动频率对应的第二幅值，所述N为正整数且N

校准模块404，用于遍历全部第二幅值，确定最大第二幅值对应的第二驱动频率为目标驱动频率，控制所述微镜在目标驱动频率下进行幅值调整，确定目标幅值；

第二驱动模块405，用于控制所述微镜根据所述目标驱动频率和所述目标幅值进行谐振运动。

另外，本申请实施例还提供了一种校准设备，所述校准设备包括处理器和存储器，所述存储器存储有计算机程序，所述计算机程序在所述处理器上运行时执行前述实施例中的偏振运动控制方法。

本申请实施例提供了一种计算机可读存储介质，所述计算机可读存储介质中存储有计算机程序，所述计算机程序在处理器上运行时执行前述实施例中的偏振运动控制方法。

另外，上述实施例中提到的偏置控制装置、校准设备及计算机可读存储介质的具体实施过程，可以参见上述方法实施例的具体实施过程，在此不再一一赘述。

在本申请所提供的几个实施例中，应该理解到，所揭露的装置和方法，也可以通过其它的方式实现。以上所描述的装置实施例仅仅是示意性的，例如，附图中的流程图和结构图显示了根据本发明的多个实施例的装置、方法和计算机程序产品的可能实现的体系架构、功能和操作。在这点上，流程图或框图中的每个方框可以代表一个模块、程序段或代码的一部分，所述模块、程序段或代码的一部分包含一个或多个用于实现规定的逻辑功能的可执行指令。也应当注意，在作为替换的实现方式中，方框中所标注的功能也可以以不同于附图中所标注的顺序发生。例如，两个连续的方框实际上可以基本并行地执行，它们有时也可以按相反的顺序执行，这依所涉及的功能而定。也要注意的是，结构图和/或流程图中的每个方框、以及结构图和/或流程图中的方框的组合，可以用执行规定的功能或动作的专用的基于硬件的系统来实现，或者可以用专用硬件与计算机指令的组合来实现。

另外，在本发明各个实施例中的各功能模块或单元可以集成在一起形成一个独立的部分，也可以是各个模块单独存在，也可以两个或更多个模块集成形成一个独立的部分。

所述功能如果以软件功能模块的形式实现并作为独立的产品销售或使用时，可以存储在一个计算机可读取存储介质中。基于这样的理解，本发明的技术方案本质上或者说对现有技术做出贡献的部分或者该技术方案的部分可以以软件产品的形式体现出来，该计算机软件产品存储在一个存储介质中，包括若干指令用以使得一台计算机设备(可以是智能手机、个人计算机、服务器、或者网络设备等)执行本发明各个实施例所述方法的全部或部分步骤。而前述的存储介质包括：U盘、移动硬盘、只读存储器(ROM，Read-Only Memory)、随机存取存储器(RAM，Random Access Memory)、磁碟或者光盘等各种可以存储程序代码的介质。

以上所述，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。