触控显示面板及其制作方法、显示装置

技术领域

本发明涉及显示技术领域，更具体地，涉及一种触控显示面板及其制作方法、显示装置。

背景技术

触控显示装置可以通过触控电极来检测手指在触控显示装置的显示屏平面内的坐标位置，并根据该坐标位置来进行相应的显示。

目前的触控显示装置中，为了减少寄生电容，提升触控性能，通常采用金属网格作为触控电极。但是，在采用金属网格作为触控电极时，触控显示装置会出现类似摩尔纹的显示不均匀现象。

发明内容

有鉴于此，本发明提供了一种触控显示面板及其制作方法、显示装置，以缓解现有技术中显示不均匀的情况。

本发明提供一种触控显示面板，包括：基板；触控电极，位于基板上；触控电极包括：第一电极线，沿第一方向延伸；第二电极线，沿第二方向延伸，第二方向与第一方向为不同的方向；交叉区，在交叉区，第一电极线与第二电极线交叉；其中，第一电极线与第二电极线中的至少一者在交叉区具有凹陷。

基于同一思想，本发明还提供了一种触控显示面板的制作方法，包括：形成基板；通过光掩膜形成触控电极，其中，触控电极包括：第一电极线，沿第一方向延伸；第二电极线，沿第二方向延伸，第二方向与第一方向为不同的方向；交叉区，在交叉区，第一电极线与第二电极线交叉；其中，第一电极线与第二电极线中的至少一者在交叉区具有凹陷。

基于同一思想，本发明还提供了一种显示装置，该显示装置包括上述触控显示面板。

与现有技术相比，本发明提供的触控显示面板及其制作方法、显示装置，至少实现了如下的有益效果：

本发明中触控显示面板包括基板和位于基板上的触控电极；触控电极包括沿第一方向延伸的第一电极线和沿第二方向延伸的第二电极线，第二方向与第一方向为不同的方向；交叉区，在交叉区，第一电极线与第二电极线交叉；其中，第一电极线与第二电极线中的至少一者在交叉区具有凹陷，可减小第一电极线和第二电极线的交叉区在基板的垂直投影面积，减小其对像素的遮挡，有效提高显示面板的显示效果。

当然，实施本发明的任一产品不必特定需要同时达到以上所述的所有技术效果。

通过以下参照附图对本发明的示例性实施例的详细描述，本发明的其它特征及其优点将会变得清楚。

附图说明

被结合在说明书中并构成说明书的一部分的附图示出了本发明的实施例，并且连同其说明一起用于解释本发明的原理。

图1是现有技术所述的一种光掩模的平面示意图；

图2是现有技术所述的一种触控电极的局部的图片；

图3是本发明提供的一种触控显示面板的平面示意图；

图4是图3所述触控显示面板的H部的一种放大示意图；

图5是图3所述触控显示面板的H部的另一种放大示意图；

图6是图3所述触控显示面板的H部的又一种放大示意图；

图7是图3所述触控显示面板的H部的又一种放大示意图；

图8是图3所述触控显示面板的H部的又一种放大示意图；

图9是图3所述触控显示面板的H部的又一种放大示意图；

图10是图3所述触控显示面板的H部的又一种放大示意图；

图11是图3所述触控显示面板的H部的又一种放大示意图；

图12是图3所述触控显示面板的H部的又一种放大示意图；

图13是图3所述触控显示面板的H部的又一种放大示意图；

图14是图3所述触控显示面板的H部的又一种放大示意图；

图15是本发明提供的另一种触控显示面板的平面示意图；

图16是图15所述触控显示面板的C部的一种放大示意图；

图17是本发明提供的触控显示面板的一种结构示意图；

图18是本发明提供的一种触控显示面板的制作方法流程图；

图19-图23是图18中触控显示面板制作方法对应的触控显示面板制作过程示意图；

图24是本发明提供的一种光掩模的局部结构示意图；

图25是图24所述的光掩膜中N部的放大示意图；

图26是图3所述触控显示面板的H部的又一种放大示意图；

图27是本发明提供的另一种光掩模的局部结构示意图

图28是图27所述的光掩膜中L部的放大示意图；

图29为本发明提供的一种触控电极的局部的图片

图30是本发明提供的又一种光掩模的局部结构示意图；

图31是本发明提供的一种显示装置的平面示意图。

具体实施方式

现在将参照附图来详细描述本发明的各种示例性实施例。应注意到：除非另外具体说明，否则在这些实施例中阐述的部件和步骤的相对布置、数字表达式和数值不限制本发明的范围。

以下对至少一个示例性实施例的描述实际上仅仅是说明性的，决不作为对本发明及其应用或使用的任何限制。

对于相关领域普通技术人员已知的技术、方法和设备可能不作详细讨论，但在适当情况下，所述技术、方法和设备应当被视为说明书的一部分。

在这里示出和讨论的所有例子中，任何具体值应被解释为仅仅是示例性的，而不是作为限制。因此，示例性实施例的其它例子可以具有不同的值。

应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步讨论。

现有技术中在基板上形成网状结构的触控电极时，首先，在基板的一侧形成金属层，在金属层上均匀涂覆一层光刻胶，紫外线通过光掩膜照射基板上的光刻胶，进行曝光。接着，光刻胶曝光部分被显影液溶解，留下部分图案呈所需形状。参考图1，图1是现有技术中的一种光掩模的平面示意图，光掩模为相互贯连的网状结构。在实际生产过程中，显影液无法实现将光刻胶中所对应的光掩模的交叉角处腐蚀成完整的交叉角，导致腐蚀后的光刻胶的交叉角出现加宽的情况。

接着，将金属层中未被光刻胶覆盖的部分进行刻蚀，由于光刻胶的交叉角出现加宽的情况，因此，被光刻胶覆盖从而未被刻蚀的金属层的交叉角处也会出现加宽的情况。在去除光刻胶后，从而实现在基板的一侧形成网格形状的触控电极，相应的，造成触控电极的交叉区出现加宽的情况。具体的，参考图2，图2是现有技术所述的一种触控电极的局部的图片，采用现有技术所述的光掩模，所制成的触控电极的交叉处出现加宽的情况，从而导致增大其对触控显示面板中像素的遮挡，影响触控显示面板的显示效果。

基于上述研究，本申请提供了一种触控显示面板及其制作方法、显示装置，解决了现有技术中显示不均匀的问题。关于本申请提供的具有上述技术效果的触控显示面板，详细说明如下：

图3是本发明提供的一种触控显示面板的平面示意图，参考图3，本实施例提供一种触控显示面板，包括基板110和触控电极120，触控电极120位于基板110上。基板110可以是刚性基板或柔性基板。当基板110是刚性基板时，基板110可以为玻璃基板。当基板110是柔性基板时，基板110可以是聚酰亚胺(PI)基板。

触控电极120形成于基板110上。

在一些可选的实施例中，触控电极120为金属网格结构。触控电极120的材料为金属，可提高其触控性能，且可提高其弯折性能。示例性的，触控电极120的材料为Cr、Ni、Cu、Al、Ag、Mo、Au、Ti中的一个或多个。触控电极120为由多条触控线形成的网格结构，减小了触控电极120的面积，且减小了触控电极120的电阻，提高了触控灵敏度；且降低了对触控显示面板的显示效果的影响；当在垂直于基板110的方向上，触控电极120包括部分交叠的触控感应电极和触控驱动电极时，有效减小两者之间的交叠面积，具有较小的平板电容值，从而减小寄生电容，提高了触控灵敏度。

当触控电极为互电容触控电极时，触控电极包括触控驱动电极和触控感应电极，触控驱动电极和触控感应电极之间形成电容，当手指触摸时，通过检测发生变化的电容所处的位置，可以相应的确认触控位置。其中，触控驱动电极和触控感应电极之间相互绝缘，触控驱动电极和触控感应电极可以设置于不同膜层，也可以设置于同一膜层。在互容式触控电极中，触控驱动电极和触控感应电极的设置方式可以包括：触控驱动电极和触控感应电极中的一者为金属网格结构，另一者为条状或块状结构；或者，触控驱动电极和触控感应电极均为金属网格结构。

当触控电极为自电容触控电极时，触控电极可以设置为金属网格结构。

图4是图3所述触控显示面板的H部的一种放大示意图，参考图3和图4，触控电极120可包括多个电极线组成的网格结构。具体的，触控电极120包括第一电极线121和第二电极线122，第一电极线121沿第一方向X延伸，第二电极线122沿第二方向Y延伸，第二方向Y与第一方向X为不同的方向，即第一电极线121和第二电极线122彼此交叉。多条第一电极线121和多条第二电极线122彼此交叉，从而触控电极120为网格结构。

第一电极线121与第二电极线122相交叉处位于交叉区A，第一电极线121与第二电极线122中的至少一者在交叉区A具有凹陷130。其中，凹陷130为电极线的一侧侧边M朝向电极线内部凹陷形成的缺口。示例性的，当第一电极线121中具有凹陷130时，即第一电极线121的侧边M在交叉区A朝向第一电极线121内部凹陷形成凹陷130。可选的，凹陷130的线条形状为圆弧状。

电极线(第一电极线和/或第二电极线)中具有凹陷130的部分的线宽小于其正常部分(未设置凹陷的部分)的线宽，其中，电极线的线宽指在垂直于电极线延伸方向的方向上电极线的两个侧边之间的距离。可选的，在垂直于电极线延伸方向的方向上，凹陷130的深度小于电极线中正常部分的线宽的50％。示例性的，参考图1，第一电极线121的正常部分的线宽为2μm，其具有凹陷130的部分线宽大于或者等于1μm、且小于或者等于2μm。

其中，电极线在交叉区的线宽是指在垂直于电极线延伸方向的方向上，交叉区中电极线的两个侧边的延伸线之间的距离。

本发明中，由于触控电极120中第一电极线121与第二电极线122中的至少一者在交叉区A具有凹陷130，因此，可减小第一电极线121和第二电极线122的交叉区A在基板110的垂直投影面积，减小其对像素的遮挡，有效提高显示面板的显示效果。

需要说明的是，本发明中并不限定触控电极中电极线只能是第一电极线或第二电极线，第一电极线与第二电极线的命名只是为了方便对凹陷的设置位置进行说明。

继续参考图3和图4，在一些可选的实施例中，在交叉区A，第一电极线121具有凹陷130，第二电极线122未设置凹陷130。

同时在交叉区中的第一电极线和第二电极线的四个夹角内均设置凹陷的设置方式会造成触控电极的交叉处宽度较小，在交叉区易发生断线的风险，工艺难度较大。而本实施例中，在交叉区A，仅第一电极线121上设有凹陷130，第二电极线122未设置凹陷130，在改善交叉区的宽度较大的问题的基础上，有效减小交叉区A易发生断线的概率，进一步减小工艺难度。

且在本实施例中，在触控电极120中，在交叉区A，仅第一电极线121上设有凹陷130，在减小第一电极线121和第二电极线122的交叉区A对像素遮挡的同时，避免第一电极线121和第二电极线122的交叉区A的面积过小造成的交叉区A电阻过大的问题。

继续参考图4，在一些可选的实施例中，在交叉区A，在垂直于第二方向Y上，第二电极线122的两个侧边的延伸线之间的最小距离为W1，即第二电极线122在垂直于第二方向Y上的最小宽度为W1。

在除交叉区A以外的区域，在垂直于第二方向Y上，第二电极线122的两个侧边之间的间距为W2，第二电极线122在垂直于第二方向Y上的宽度为W2。

其中，W1≥0.9×W2。在一些可选的实施例中，W1≥W2。即第二电极线122中在交叉区A的部分的线宽和第二电极线122中除交叉区A以外的部分的线宽趋于一致，第一电极线121上设置的凹陷130不影响第二电极线122中位于交叉区A的部分的线宽，从而避免第一电极线121上设置的凹陷130造成第一电极线121和第二电极线122的交叉区A的面积过小。

继续参考图4，在一些可选的实施例中，在交叉区A，仅设有一个凹陷130。具体的，在交叉区A，仅第一电极线121上具有一个凹陷130，在第一方向X上，凹陷130位于第二电极线122的一侧。

图5是图3所述触控显示面板的H部的另一种放大示意图，参考图5，在一些可选的实施例中，在交叉区A，设有两个凹陷130。具体的，在交叉区A，第一电极线121具有两个凹陷130，在第一方向X上，两个凹陷130分别位于第二电极线122的两侧。

继续参考图5，在一些可选的实施例中，在交叉区A，第一电极线121具有两个凹陷130，在第一方向X上，两个凹陷130分别位于第二电极线122的两侧，且两个凹陷130分别位于第一电极线121的相对的两条侧边上。

图6是图3所述触控显示面板的H部的又一种放大示意图，参考图6，在一些可选的实施例中，在交叉区A，第一电极线121具有两个凹陷130，在第一方向X上，两个凹陷130分别位于第二电极线122的两侧，且两个凹陷130均位于第一电极线121的同一侧边上。

图7是图3所述触控显示面板的H部的又一种放大示意图，参考图3和图7，在一些可选的实施例中，在触控电极120中的交叉区A，第一电极线121与第二电极线122均具有凹陷130，可进一步减小第一电极线121和第二电极线122的交叉区A在基板110的垂直投影面积，减小其对像素的遮挡，有效提高显示面板的显示效果。

继续参考图7，在一些可选的实施例中，在交叉区A，设有两个凹陷130，有效减小交叉区A易发生断裂的概率，减小工艺难度。且在减小第一电极线121和第二电极线122的交叉区A对像素遮挡的同时，避免第一电极线121和第二电极线122的交叉区A的面积过小造成的交叉区A电阻过大的问题。

具体的，第一电极线121具有一个凹陷130，在第一方向X上，第一电极线121具有的凹陷130位于第二电极线122的一侧，第二电极线122具有一个凹陷130，在第二方向Y上，第二电极线122具有的凹陷130位于第一电极线121的一侧。

在一些可选的实施例中，一个交叉区A，一条第一电极线121和一条第二电极线122交叉划分出四个夹角。

具体的，图8是图3所述触控显示面板的H部的又一种放大示意图，参考图8，在一些可选的实施例中，第一电极线121和第二电极线122交叉划分出的四个夹角B(包括夹角B1和夹角B2)相等，即第一电极线121的延伸方向和第二电极线122的延伸方向相垂直，第一电极线121和第二电极线122之间的四个夹角B均为90°。

继续参考图7，在一些可选的实施例中，第一电极线121和第二电极线122交叉划分出四个夹角B，四个夹角B包括两个锐角和两个钝角。第一电极线121与第二电极走线122之间交叉形成两个相对设置的第一夹角B1和两个相对设置的第二夹角B2，两个第一夹角B1为钝角，即第一夹角B1在90°-180°内；两个第二夹角B2为锐角，第二夹角B2在0°-90°内。

图9是图3所述触控显示面板的H部的又一种放大示意图，参考图9，第一电极线121与第二电极走线122之间交叉形成两个相对设置的第一夹角B1和两个相对设置的第二夹角B2，对于其中一个夹角B，第一电极线121具有的凹陷130和第二电极线122具有的凹陷130均位于夹角B内。示例性的，对于其中一个夹角B1a，第一电极线121具有的凹陷130和第二电极线122具有的凹陷130均位于该夹角B1a所对应的区域内。

需要说明的是，图9中示例性示出了两个第一夹角B1为钝角，两个第二夹角B2为锐角，第一电极线121具有的凹陷130和第二电极线122具有的凹陷130均位于同一个第一夹角B1内。在一些可选实施例中，参考图10，图10是图3所述触控显示面板的H部的又一种放大示意图，两个第一夹角B1为钝角，两个第二夹角B2为锐角，第一电极线121具有的凹陷130和第二电极线122具有的凹陷130均位于同一个第二夹角B2内。

继续参考图9，在一些可选的实施例中，第一电极线121和第二电极线122交叉划分出四个夹角B，对于其中一个夹角B，第一电极线121具有的凹陷130和第二电极线122具有的凹陷130均位于该夹角B外。示例性的，对于夹角B1b、夹角B2a、夹角B2b，第一电极线121具有的凹陷130和第二电极线122具有的凹陷130均位于夹角B1a内，即位于该夹角B(夹角B1b、夹角B2a、夹角B2b)所对应的区域外。

继续参考图7，在一些可选实施例中，对于其中一个夹角B，第一电极线121具有的凹陷130和第二电极线122具有的凹陷130中的其中一者位于夹角B内，另一者位于夹角B外。示例性的，对于夹角B1a，第一电极线121具有的凹陷130位于夹角B1a内，第二电极线122具有的凹陷130位于夹角B1b内，即第二电极线122具有的凹陷130位于夹角B1a外。

图11是图3所述触控显示面板的H部的又一种放大示意图，参考图11，在一些可选的实施例中，在交叉区A，第一电极线121与第二电极走线122之间交叉形成两个相对设置的第一夹角B1和两个相对设置的第二夹角B2，两个第一夹角B1为钝角，两个第二夹角B2为锐角，第一电极线121具有的凹陷130位于夹角B2a内，第二电极线122具有的凹陷130位于夹角B2b内，即凹陷130均位于锐角的夹角B内。

继续参考图7，在一些可选的实施例中，在交叉区A，第一电极线121与第二电极走线122之间交叉形成两个相对设置的第一夹角B1和两个相对设置的第二夹角B2，两个第一夹角B1为钝角，两个第二夹角B2为锐角，第一电极线121具有的凹陷130位于夹角B1a内，第二电极线122具有的凹陷130位于夹角B1b内，即凹陷130均位于钝角的夹角B内。

图12是图3所述触控显示面板的H部的又一种放大示意图，参考图12，在一些可选的实施例中，在交叉区A，第一电极线121与第二电极走线122之间交叉形成两个相对设置的第一夹角B1和两个相对设置的第二夹角B2，两个第一夹角B1为钝角，两个第二夹角B2为锐角，第一电极线121具有的凹陷130位于夹角B1a内，第二电极线122具有的凹陷130位于夹角B2a内，即一个凹陷130位于锐角的夹角B内，另一个凹陷130位于钝角的夹角B内。

图13是图3所述触控显示面板的H部的又一种放大示意图，参考图13，在一些可选的实施例中，在交叉区A，设有三个凹陷130，在减小第一电极线121和第二电极线122的交叉区A对像素遮挡的同时，避免第一电极线121和第二电极线122的交叉区A的面积过小造成的交叉区A电阻过大、交叉区A易断裂的问题。

具体的，第一电极线121具有两个凹陷130，在第一方向X上，第一电极线121具有的凹陷130位于第二电极线122的两侧，第二电极线122具有一个凹陷130，在第二方向Y上，第二电极线122具有的凹陷130位于第一电极线121的一侧。

需要说明的是，图13中示例性的示出了在交叉区A设置三个凹陷130的一种设置方式，在本发明其他实施例中，在交叉区A设置三个凹陷130还可以采用其他的设置方式，本发明在此不再进行赘述。

继续参考图4，在一些可选的实施例中，在交叉区A，第一电极线121包括分别位于第二电极线122的两侧的第一部分1211和第二部分1212，第二电极线122包括分别位于第一电极线121两侧的第三部分1221和第四部分1222，对于第一部分1211、第二部分1212、第三部分1221和第四部分1222，至少一者，包括凹陷130，且至少一者不具有两个相对设置的凹陷130，避免第一部分1211、第二部分1212、第三部分1221和第四部分1222上均设置两个相对设置的凹陷130，从而有效避免交叉区A易发生断裂的概率，减小工艺难度。

在一些可选的实施例中，对于设置凹陷130的电极线，在垂直于电极线延伸方向的方向上，与凹陷130相对的侧边为直线。

继续参考图4，在交叉区A，第一电极线121上设有凹陷130，在垂直于第一电极线121延伸方向的方向上，与凹陷130相对的侧边为直线。

在一些可选的实施例中，对于设置凹陷130的电极线，在垂直于电极线延伸方向的方向上，与凹陷130相对的侧边为曲线，曲线的凹陷方向与凹陷130的凹陷方向相同。

图14是图3所述触控显示面板的H部的又一种放大示意图，参考图14，第一电极线121和第二电极线122为弯曲形状，从而，在交叉区A，第一电极线121上设有凹陷130，在垂直于第一电极线121延伸方向的方向上，与凹陷130相对的侧边为曲线。

图15是本发明提供的另一种触控显示面板的平面示意图，图16是图15所述触控显示面板的C部的一种放大示意图，参考图15和图16，在一些可选的实施例中，在交叉区A，第一电极线121包括分别位于第二电极线122的两侧的第一部分1211和第二部分1212，第一部分1211截止于第二电极线122的第一位置D1，第二部分1212截止于第二电极线122的第二位置D2，第一位置D1与第二位置D2为不同的位置，交叉区A中，位于第一位置D1的交叉点和位于第二位置D2的交叉点分开设置，凹槽130可设置于交叉区A中位于第一位置D1的交叉点处和位于第二位置D2的交叉点处。

示例性的，参考图16，第一部分1211上具有凹槽130，且第一部分1211的凹槽130位于第一部分1211和第二电极线122的交叉处，第二部分1212上具有凹槽130，且第二部分1212的凹槽130位于第二部分1212和第二电极线122的交叉处。需要说明的是，图16示例性的示出了凹槽130的一种设置方式，在本发明其他实施例中，凹槽130还可以设置于第二电极线122中，或只设置于第二电极线122，本发明在此不再进行赘述。

在一些可选的实施例中，触控显示面板包括显示面板200，显示面板200包括多个像素210，通过像素210发光来实现显示面板200的显示，显示面板200中多个像素210呈阵列排布，像素210的最大尺寸为d2，实例性的，当像素210为矩形时，像素210的最大尺寸为其对角线的距离。

金属网格结构的触控电极120会遮挡部分像素210，影响触控显示面板的显示效果，且由于交叉区A的面积较大，对触控显示面板的显示效果的影响较大。在交叉区A，位于第一位置D1的交叉点和位于第二位置D2的交叉点分开设置，从而避免交叉区A对某一像素210的遮挡面积较大，影响显示效果。且第一位置D1与第二位置D2之间的距离为d1，其中，d1>d2，进一步避免交叉区A中位于第一位置D1的交叉点和位于第二位置D2的交叉点在显示面板200的垂直投影与同一个像素210交叠，避免交叉区A中位于第一位置D1的交叉点和位于第二位置D2的交叉点同时遮挡同一个像素210，从而提高触控显示面板的显示效果。

图17是本发明提供的触控显示面板的一种结构示意图，参考图17，在一些可选的实施例中，触控显示面板包括显示面板200，显示面板200包括衬底基板220、在衬底基板220的一侧依次形成的阵列层220和发光层，发光层包括多个像素210。阵列层220包括与用于驱动像素210发光的像素驱动电路相关的各功能膜层，像素驱动电路可包括薄膜晶体管、存储电容以及本领域技术人员可知的其他电路元件。示例性的，以薄膜晶体管为例，阵列层可包括有源层、栅极绝缘层、栅极层、层间绝缘层、源漏极层以及本领域技术人员可知的其他膜层。发光层中形成多个像素210，像素210用于发光，以显示待显示画面。

触控显示面板包括触控层100，触控层100包括基板110、在基板110的一侧依次形成的缓冲层140、触控电极120b、绝缘层150、触控电极120a和保护层160。需要说明的是，图17中示例性的示出了互电容触控模式中触控层100的结构，在本发明其他实施例中，触控层的结构还可以采用自电容触控模式，此时，触控层包括基板、在基板的一侧依次形成的缓冲层、触控电极和保护层，本发明在此不再进行赘述。

触控显示面板还包括贴合层300，触控层100和显示面板200分别单独制作，示例性的，可复用显示面板200中的薄膜封装层作为触控层100中基板110，然后将制作完毕的触控层100和显示面板200通过贴合层300相贴合，从而基板110与触控电极120作为一个整体通过贴合层300与显示面板200贴合。触控层100和显示面板200相贴合时，触控层100贴附于显示面板200的出光面，且触控层100中基板110远离触控电极120的一侧与显示面板200相贴合，以减轻显示面板200中的电极与触控电极120的耦合。

可选的，图17中触控电极120a为触控驱动电极，触控电极120b为触控感应电极，或，触控电极120a为触控感应电极，触控电极120b为触控驱动电极。

需要说明的是，在本发明其他实施例中，触控电极120也可以直接制作于显示面板200中，也可以复用显示面板200中电极作为触控电极，无需另外通过贴合的方式将触控电极120形成于显示面板200上，本发明在此不再进行赘述。

关于本申请提供的具有上述技术效果的触控显示面板的制作方法，详细说明如下：

图18是本发明提供的一种触控显示面板的制作方法流程图，图19-图23是图18中触控显示面板制作方法对应的触控显示面板制作过程示意图，参考图18-图23，本实施例提供一种触控显示面板的制作方法，包括：

S1、形成基板。

参考图17，基板110可以是刚性基板，刚性基板例如可以为玻璃基板。基板110也可以是柔性基板，柔性基板例如可以为聚酰亚胺基板。

S2、通过光掩膜形成触控电极。

具体的，参考图18，在基板110的一侧形成金属层123，在金属层123上均匀涂覆一层光刻胶124，紫外线通过光掩膜400照射基板110上的光刻胶124，进行曝光。

参考图19，光刻胶124曝光部分被显影液溶解，留下部分图案呈所需形状。

参考图20，将金属层123中未被光刻胶124覆盖的部分进行刻蚀。

参考图21，去除光刻胶，从而实现在基板110的一侧形成触控电极120。

继续参考图1和图2，采用本发明提供的触控显示面板的制作方法所制成的触控显示面板中，触控电极120包括：第一电极线121和第二电极线122，第一电极线121沿第一方向X延伸，第二电极线122沿第二方向Y延伸，第二方向Y与第一方向X为不同的方向，即第一电极线121和第二电极线122彼此交叉，由于第一电极线121与第二电极线122彼此交叉，因此，第一电极线121与第二电极线122相交叉处形成交叉区A，触控电极120包括交叉区A，第一电极线121与第二电极线122中的至少一者在交叉区A具有凹陷130，可减小第一电极线121和第二电极线122的交叉区A在基板110的垂直投影面积，减小其对像素的遮挡，有效提高显示面板的显示效果。

图24是本发明提供的一种光掩模的局部结构示意图，图25是图24所述的光掩膜中N部的放大示意图，参考图24和图25，在一些可选的实施例中，光掩模包括第一子部410和第二子部420，第一子部410沿第一方向X延伸，第二子部420沿第二方向Y延伸。图26是图3所述触控显示面板的H部的又一种放大示意图，参考图24-26，第一子部410用于对应形成第一电极线121，第二子部420用于对应形成第二电极线122。

在一些可选实施例中，光掩模还包括透明基板440，第一子部410和第二子部420可形成于透明基板440的一侧，第一子部410和第二子部420采用遮光材料制成。

本发明中，光掩模中第一子部410在与第二子部420交叉处断开，即第一子部410在与第二子部420交叉处和第二子部420之间至少存在一个间隔430，间隔430与通过该光掩模所形成的触控电极120所对应处(第一电极线121与第二电极线122的交叉区A)不会出现加宽的情况。

进一步的，参考图4、图24和图25，通过调整间隔430的距离，使得第一电极线121在交叉区A具有凹陷130。

图24中示例性的示出了光掩模中第一子部410在与第二子部420交叉处断开，在一些可选的实施例中，第二子部420在与第一子部410交叉处和第一子部410之间至少存在一个间隔430，间隔430与通过该光掩模所形成的触控电极120所对应处(第一电极线121与第二电极线122的交叉区A)不会出现加宽的情况，进一步的，使得第二电极线122在交叉区A具有凹陷130。

需要说明的是，间隔430的距离需小于曝光极限，使得通过该光掩模所形成的触控电极120的交叉区A不会出现断裂的情况。示例性的，间隔430的距离小于2μm。

需要说明的是，图24中示例性的示出了，光掩模中第一子部410在与第二子部420交叉处和第二子部420之间存在一个间隔430，使得第一电极线在交叉区具有一个凹陷。

图27是本发明提供的另一种光掩模的局部结构示意图，图28是图27所述的光掩膜中L部的放大示意图，参考图27和图28，在一些可选的实施例中，光掩模中第一子部410在与第二子部420交叉处和第二子部420之间存在两个间隔430，且两个间隔430位于第一子部410与第二子部420交叉处第二子部420的两端，相应的，使得第一电极线在交叉区具有两个凹陷。具体的，参考图6，使用本实施例提供的光掩模所制成的触控电极的交叉区A具有两个凹陷130。另可参考图29，图29为本发明提供的一种触控电极的局部的图片。

图30是本发明提供的又一种光掩模的局部结构示意图，在一些可选实施例中，第一子部410在与第二子部420交叉处的宽度为m1，第一子部410的常规段的宽度为m2，m2＞m1，即将第一子部410在与第二子部420交叉处的宽度减小，同理，第二子部420在与第一子部410交叉处的宽度为m3，第二子部420的常规段的宽度为m4，m4＞m3，即将第二子部420在与第一子部410交叉处的宽度减小，参考图26，通过该光掩模所形成的触控电极所对应处(第一电极线121与第二电极线122的交叉区A)不会出现加宽的情况。在一些可选实施例中，m2和m4相等，m1和m3相等。

图30示意了第一子部410，与第二子部420的交叉处，通过两侧均收窄，形成宽度为m1的部分。可选地，还可以将第一子部410，与第二子部420交叉处，通过其中一侧收窄，形成宽度减小的部分。类似地，第二子部420可以通过单侧收窄的方式形成宽度减小的部分。

在一些可选实施例中，请参考图31，图31是本发明提供的一种显示装置的平面示意图，本实施例提供的显示装置1000，包括本发明上述实施例提供的触控显示面板000。图31实施例仅以手机为例，对显示装置1000进行说明，可以理解的是，本发明实施例提供的显示装置1000还可以是电脑、电视、车载显示装置等其他具有显示功能的显示装置1000，本发明对此不作具体限制。本发明实施例提供的显示装置1000，具有本发明实施例提供的触控显示面板000的有益效果，具体可以参考上述各实施例对于触控显示面板000的具体说明，本实施例在此不再赘述。

通过上述实施例可知，本发明提供的触控显示面板及其制作方法、显示装置，至少实现了如下的有益效果：

本发明中触控显示面板包括基板和位于基板上的触控电极；触控电极包括沿第一方向延伸的第一电极线和沿第二方向延伸的第二电极线，第二方向与第一方向为不同的方向；交叉区，在交叉区，第一电极线与第二电极线交叉；其中，第一电极线与第二电极线中的至少一者在交叉区具有凹陷，可减小第一电极线和第二电极线的交叉区在基板的垂直投影面积，减小其对像素的遮挡，有效提高显示面板的显示效果。

虽然已经通过例子对本发明的一些特定实施例进行了详细说明，但是本领域的技术人员应该理解，以上例子仅是为了进行说明，而不是为了限制本发明的范围。本领域的技术人员应该理解，可在不脱离本发明的范围和精神的情况下，对以上实施例进行修改。本发明的范围由所附权利要求来限定。