低温泵清洗

技术领域

本发明涉及清洗技术领域，具体为低温泵清洗。

背景技术

低温泵作为超大腔室快速建立低真空的精密设备，广泛应用于镀膜及蒸镀类工艺腔室。低温泵在使用过程中会附着PI胶，当低温泵的膜层达到一定厚度时需进行清理才能继续使用。现主流洗净技术采用液洗加机械抛光方法，但是易出现膜层清洗不彻底或刮花表面耐腐蚀镀层的问题。

发明内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本发明提供了低温泵清洗，具备对膜层彻底进行清洗的优点，解决了目前主流洗净技术采用液洗加机械抛光方法，但是易出现膜层清洗不彻底或刮花表面耐腐蚀镀层的问题的问题，降低低温泵后续使用的局部腐蚀现象。

(二)技术方案

为实现对膜层彻底进行清洗的目的，本发明提供如下技术方案：低温泵清洗，包括以下步骤：

S1：将纯NMP溶液、正丁醇、乙二醇乙醚按体积比为6:3:1的比例配置药水；

S2：使用配置药水对低温泵进行超声波清洗2小时以上；

S3：纯水漂洗5分钟，去除低温泵上残留的配置药水；

S4：使用压缩空气吹干，紫外灯检查表面残膜情况；

S5：汽水枪清洗低温泵表面后，然后再次重复S2-S4步骤；

S6：使用丙酮擦拭低温泵表面去除颗粒。

优选的，所述S1步骤中，纯NMP溶液为工业级纯NMP溶液，通过真空搅拌机对配置药水的原料进行搅拌，搅拌速度为2300转/分钟，搅拌时间为10分钟。

优选的，所述S2步骤中，将低温泵放入超声波槽，加入配置药水淹没低温泵，将配置药水加热至60℃再进行超声波清洗。

优选的，所述S3步骤中，通过纯水槽对取出的低温泵进行漂洗。

优选的，所述S4步骤中，压缩空气以45°倾斜角度对低温泵的表面以一个方向进行吹干。

优选的，所述S5步骤中，重复步骤为1次。

优选的，所述S6步骤中，使用棉球蘸取丙酮对低温泵表面进行擦拭，擦拭后的棉球丢弃，不反复蘸取丙酮。

(三)有益效果

与现有技术相比，本发明提供了低温泵清洗，具备以下有益效果：

该低温泵清洗，工业级纯NMP溶液、正丁醇能溶解低温泵表面有机膜层，乙二醇乙醚作为表面活性剂，超声清洗促进药水溶解绝大部分膜层；经过第一次药液超声清洗后残留的膜层，使用汽水枪清洗可减弱膜层与基体间的结合力，再次药液超声即可去除，低温泵表面膜层去除率达到99.9％，不使用机械抛光方法，避免了低温泵表面耐腐蚀镀层的损伤。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

低温泵清洗，包括以下步骤：

S1：将工业级纯NMP溶液、正丁醇、乙二醇乙醚按体积比为6:3:1的比例混合，通过真空搅拌机对混合的原料进行搅拌，搅拌速度为2300转/分钟，搅拌时间为10分钟，配置药水；

S2：将低温泵放入超声波槽，加入配置药水淹没低温泵，将配置药水加热至60℃再进行超声波清洗，超声波清洗2小时以上；

S3：将取出的低温泵放入纯水槽中漂洗5分钟，去除低温泵上残留的配置药水；

S4：使用压缩空气吹干表面水分，压缩空气以45°倾斜角度对低温泵的表面以一个方向进行吹干，使得低温泵表面上的水朝一个方向流动，防止低温泵表面上的水珠被风吹乱动，提高了吹干效果，再使用紫外灯检查表面残膜情况；

S5：汽水枪清洗低温泵表面后，然后再次重复S2-S4步骤，重复步骤为1次；

S6：使用丙酮擦拭低温泵表面去除颗粒，擦拭后的棉球丢弃，不反复蘸取丙酮装。

该低温泵清洗，工业级纯NMP溶液、正丁醇能溶解低温泵表面有机膜层，乙二醇乙醚作为表面活性剂，超声清洗促进药水溶解绝大部分膜层；经过第一次药液超声清洗后残留的膜层，使用汽水枪清洗可减弱膜层与基体间的结合力，再次药液超声即可去除，低温泵表面膜层去除率达到99.9％，不使用机械抛光方法，避免了低温泵表面耐腐蚀镀层的损伤。

需要说明的是，术语“包括”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。