一种微蚀液合成工艺以及循环再生方法

技术领域

本发明属于铜板微蚀技术领域，尤其涉及一种微蚀液合成工艺以及循环再生方法。

背景技术

目前，在电路板制造过程中，为了获得较薄的表层铜，现有的做法是使用硫酸/双氧水体系微蚀液对铜面进行微蚀一定的厚度以达到所需的目标铜层厚度。其反应机理的化学式为：H

发明内容

本发明的目的在于提供一种微蚀液合成工艺以及循环再生方法，旨在解决所述背景技术中现有减铜过程中因氧化剂含量的波动而导致减铜速率的波动以及排污成本高等问题。为实现所述目的，本发明采用的技术方案是：一种微蚀液合成工艺，生产过程包括以下步骤：

步骤1：在混料桶中加入定量水，并开启搅拌机，并根据水量缓慢加入120-180g/L的98％硫酸，并实时监测混合液温度；

步骤2：待混合液温度冷却至常温，根据水量加入80-140g/L硫酸亚铁，将硫酸亚铁搅拌至溶解；

步骤3：待硫酸亚铁溶解完成之后，根据水量加入110-150g/L的硫酸铁，将硫酸铁搅拌至溶解；

步骤4：待硫酸铁溶解完成之后，根据水量加入80-240g/L的硫酸铜，将硫酸铜搅拌至溶解；

步骤5：待硫酸铜溶解完成之后，根据水量加入定量盐酸补充氯离子，氯离子含量为35-55ppm；

步骤6：根据水量加入0.5-1g/L的聚乙二醇，且聚乙二醇的分子量为8000，并继续搅拌30min；

步骤7：分析液体各组合含量，微蚀液达标后打包入库。

更优的是，每升水中98％硫酸的含量为140-160g，硫酸亚铁的含量为120-130g，硫酸铁的含量为115-130g，硫酸铜的含量为200-230g。

本发明还提供一种微蚀液循环再生方法，包括前述的微蚀液，还包括放置微蚀液的微蚀液添加槽、微蚀液再生循环槽以及减铜微蚀槽，微蚀液再生循环槽中设有阴阳电极，微蚀液添加槽通过泵体、流量计、管道向微蚀液再生循环槽输送微蚀液，微蚀液再生循环槽的阳极区域通过泵体、流量计、管道向减铜微蚀槽的一端输送含三价铁的氧化剂；减铜微蚀槽的另一端通过泵体、流量计、管道向微蚀液再生循环槽的阴极区域输送含有二价铜和二价铁的液体。本方案的减铜微蚀槽中微蚀液在减铜过程中的反应机理如下：

Fe

在微蚀液再生循环槽内药水反应机理如下：

阳极：Fe

阴极：Cu

进一步的，微蚀液再生循环槽中的阴极区域还设有铜回收装置。

与现有技术相比，本发明不再使用H

附图说明

图1为本发明实施例1提供的流程示意图；

图2为本发明实施例3提供的原理示意图。

其中，图中各附图标记：

1、微蚀液添加槽；2、微蚀液再生循环槽；3、减铜微蚀槽；4、阳极；5、阴极。

具体实施方式

为了便于理解本发明，下面将参照相关附图对本发明进行更全面地描述。附图中给出了本发明的较佳实施方式。但是，本发明可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施方式。相反地，提供这些实施方式的目的是使对本发明的公开内容理解的更加透彻全面。

下面结合具体实施方式对本专利的技术方案做进一步详细的说明。

实施例1

本申请提出一种微蚀液合成工艺，生产过程包括以下步骤：

步骤1：在混料桶中加入定量水，并开启搅拌机，并根据水量缓慢加入120-180g/L的98％硫酸，并实时监测混合液温度；

步骤2：待混合液温度冷却至常温，根据水量加入80-140g/L硫酸亚铁，将硫酸亚铁搅拌至溶解；

步骤3：待硫酸亚铁溶解完成之后，根据水量加入110-150g/L的硫酸铁，将硫酸铁搅拌至溶解；

步骤4：待硫酸铁溶解完成之后，根据水量加入80-240g/L的硫酸铜，将硫酸铜搅拌至溶解；

步骤5：待硫酸铜溶解完成之后，根据水量加入定量盐酸补充氯离子，氯离子含量为35-55ppm；

步骤6：根据水量加入0.5-1g/L的聚乙二醇，且聚乙二醇的分子量为8000，并继续搅拌30min；

步骤7：分析液体各组合含量，微蚀液达标后打包入库。

在另一方案中，可将上述的成分微调，每升水中98％硫酸的含量为140-160g，硫酸亚铁的含量为120-130g，硫酸铁的含量为115-130g，硫酸铜的含量为200-230g。

该技术方案中无双氧水，减铜液微蚀速率溶液不再受双氧水的含量波动而波动，微蚀过程更加稳定。

实施例2

本发明还提供一种微蚀液循环再生方法，如图2所示，包括前述工艺生产出来的微蚀液，还包括放置微蚀液的微蚀液添加槽1、微蚀液再生循环槽2以及减铜微蚀槽3，微蚀液再生循环槽2中设有阴阳电极。微蚀液添加槽1通过泵体、流量计、管道向微蚀液再生循环槽2输送微蚀液，微蚀液再生循环槽2的阳极4区域通过泵体、流量计、管道向减铜微蚀槽3的一端输送含三价铁的氧化剂；减铜微蚀槽3的另一端通过泵体、流量计、管道向微蚀液再生循环槽2的阴极5区域输送含有二价铜和二价铁的液体。本方案的减铜微蚀槽3中微蚀液在减铜过程中的反应机理如下：

Fe

在微蚀液再生循环槽2内药水反应机理如下：

阳极4：Fe

阴极5：Cu

微蚀液再生循环槽中的阴极5区域还设有铜回收装置，实时回收阴极5区域被还原的金属铜。

为了对本发明的公开内容理解得更加透彻全面，下面结合使用方式进一步讲解其原理。

如图2所示，预先在微蚀液添加槽1、减铜微蚀槽3加入微蚀液，在对铜面进行微蚀过程中，减铜微蚀槽3的Fe

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本发明的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本发明的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施方式的目的，不是旨在于限制本发明。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。

以上实施方式仅用于说明本发明，而并非对本发明的限制，有关技术领域的普通技术人员，在不脱离本发明的精神和范围的情况下，还可以做出各种变化和变型，因此所有等同的技术方案也属于本发明的范畴，本发明的专利保护范围应由权利要求限定。