一种适用于机台配套的晶圆快速检测方法、系统及介质

技术领域

本发明涉及晶圆外观检测技术领域，更具体地，涉及一种适用于机台配套的晶圆快速检测方法、系统及介质。

背景技术

目前，晶圆外观检测已实现了机构软件通过移动载台，对几十万颗的晶粒使用相机飞拍，把拍摄的图片从机构软件拷贝到检测软件，检测软件使用晶圆检测算法进行检测，对每个晶粒的质量进行分类，输出每个晶粒的检测结果。

然而，现有技术中需要对大量的晶粒进行拍照检测，生成的图片量非常大，普通的磁盘读写方式会消耗大量的时间，晶圆的检测效率亟待进一步提升。

现有技术中晶粒的数量一般可达几十万颗，需要把每个晶粒的检测结果一并显示并处理，计算量非常大，显示界面容易出现卡顿现象。

当检测机构出现问题时，需要停止机构软件的拍照取像，由于机构软件一般是标准产品，极难实现定制，检测软件无法和机构软件建立通信，这就需要人工来停止、开启或暂停机构软件的运行，且机构软件和检测软件不在同一个主机上，操作非常不便。

发明内容

针对现有技术的至少一个缺陷或改进需求，本发明提供了一种适用于机台配套的晶圆快速检测方法、系统及介质，用以解决晶圆检测中晶粒图片的读写速度有待进一步提升的技术问题。

为实现上述目的，按照本发明的第一个方面，提供了一种适用于机台配套的晶圆快速检测方法，包括步骤：

配置检测软件服务器的内存条的虚拟磁盘；

接收检测软件发送的心跳包，实时监控机构软件给晶圆拍照后存放晶粒图片的文件夹的图片变化情况；

有新的图片生成，则将所述新的图片拷贝到所述虚拟磁盘；

待所述晶圆所有的晶粒图片拷贝完成后，则使用所述检测软件对所述晶圆所有的晶粒图片进行缺陷检测并输出检测结果。

进一步地，所述输出检测结果具体为：

将所述晶圆的多个晶粒的检测结果使用多线程机制分区绘制在多个图片上；

将所述多个图片合并成一个大图并显示。

进一步地，所述晶圆快速检测方法还包括步骤：

将合并后的所述大图进行局部放大，查看相应的晶粒检测结果和晶粒坐标，并且一并查看对应的晶粒图片。

进一步地，所述接收检测软件发送的心跳包后还包括步骤：

在一定的时间间隔内没有收到所述心跳包，则协议停止所述机构软件。

进一步地，所述协议停止所述机构软件具体包括步骤：

通过预先保存的所述机构软件的停止按钮的图片去截取所述机构软件的屏幕；

通过相关算法查找到所述机构软件的停止按钮的位置；

给所述机构软件的停止按钮的位置发送鼠标点击事件，停止所述机构软件的运行。

进一步地，在所述停止所述机构软件的运行后还包括步骤：

再次启动所述机构软件，对所述晶圆进行飞拍，将拍摄到的晶粒图片存放到指定的所述文件夹，供所述检测软件拷贝。

按照本发明的第二个方面，还提供了一种适用于机台配套的晶圆快速检测系统，包括:检测软件服务器、机构软件和守护进程软件服务器以及显示操作装置；

所述检测软件服务器包括检测软件模块，所述检测软件模块包括文件夹监控图片拷贝单元、检测算法单元、晶圆结果显示单元和心跳发送单元；

所述文件夹监控图片拷贝单元用于实时监控机构软件给晶圆拍照后存放晶粒图片的文件夹的图片变化情况，将新生成的图片拷贝到所述检测软件服务器的虚拟磁盘；

所述检测算法单元用于对所述晶粒图片进行缺陷检测；

所述晶圆结果显示单元用于显示所述晶粒图片的缺陷检测结果；

所述心跳发送单元用于发送心跳包；

所述机构软件和守护进程软件服务器包括机构软件模块和守护进程软件模块；

所述机构软件模块配合系统外部的所述机台对所述晶圆进行飞拍；

所述守护进程软件模块包括心跳接收单元；所述心跳接收单元用于接收所述心跳包；

所述显示操作装置用于展示晶圆检测过程中的各种图片和检测结果。

进一步地，所述守护进程软件模块还包括图像按钮位置定位单元；

所述图像按钮位置定位单元用于通过预先保存的机构软件的停止按钮的图片去截取所述机构软件的屏幕，通过相关算法查找到所述机构软件的停止按钮的位置，并发送鼠标点击事件，停止所述机构软件的运行。

按照本发明的第三个方面，还提供了一种存储介质，其存储有可由访问认证设备执行的计算机程序，当所述计算机程序在访问认证设备上运行时，使得所述访问认证设备执行上述任一项所述方法的步骤。

总体而言，通过本发明所构思的以上技术方案与现有技术相比，能够取得下列有益效果：

(1)本发明的检测方法引入了对图片生成文件夹变化的监控机制，在有新的图片生成时，立即从机构软件主机拷贝到检测软件主机，并采用内存虚拟硬盘的方式，从而加快了图片的读写速度，读写速度比固态硬盘还快30倍左右，大幅度地减少了图片的读写时间，降低了整个晶圆的缺陷检测时间，提升了晶圆外观检测的效率。

(2)本发明的检测方法引入了多线程绘制与合成机制，采用了多线程技术把晶粒结果分区绘制到多个图片上，然后把多个分区图片合并到一个大图，再把大图显示到显示屏界面，这样就实现了所有晶粒结果组合后的同时显示，尽可能地避免了把每个晶粒的检测结果一并显示并处理而造成的显示界面卡顿的现象。同时，对图片移动放大可以精确地看到每个晶粒的检测结果，双击晶粒可以显示晶粒对应的飞拍图片，提高了检测结果的查看便捷性及效率。

(3)本发明的检测方法通过守护进程实时监控检测软件的状态，当检测软件出现异常时立即通过协议自动停止机构软件的运行，实现了异常就停机的自动化，避免了人工停机的操作，从而节约了人力成本。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例中所需使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明实施例提供的一种适用于机台配套的晶圆快速检测方法的流程示意图；

图2为本发明实施例提供的一种适用于机台配套的晶圆快速检测系统的硬件连接示意图；

图3为本发明实施例提供的一种适用于机台配套的晶圆快速检测系统的软件功能模块结构示意图。

具体实施方式

为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。此外，下面所描述的本发明各个实施方式中所涉及到的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互组合。

术语“包括”和“具有”以及它们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含。例如包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备没有限定于已列出的步骤或单元，而是可选地还包括没有列出的步骤或单元，或可选地还包括对于这些过程、方法、产品或设备固有的其他步骤或单元。

如图1所示，在一个实施例中，一种适用于机台配套的晶圆快速检测方法，包括步骤S1-S4：

S1、配置检测软件服务器的内存条的虚拟磁盘。

开始运行程序前先配置好内存虚拟磁盘，内存虚拟磁盘采用第三方工具软件，把内存条中的部分空间虚拟出一个磁盘，和本地磁盘C、D盘一样使用。磁盘的大小受到内存条大小限制，根据图片总量分配磁盘大小。

更具体的，检测软件把部分内存映射成虚拟磁盘Z，检测软件把Z盘设置为共享盘，机构软件把共享盘映射为本地磁盘Y，机构软件从相机取像后把图片存放在Y盘，检测软件从共享盘Z读取图片，速度是固态硬盘30倍左右，大大缩短了检测时间。

S2、接收检测软件发送的心跳包，实时监控机构软件给晶圆拍照后存放晶粒图片的文件夹的图片变化情况。

启动检测软件，发送心跳包给守护进程，实时监控机构软件给晶圆拍照存放图片的文件夹。

S3、如果上述文件夹中有新的图片生成，则将所述新的图片立即拷贝到所述虚拟磁盘。

S4、等待所述晶圆所有的晶粒图片拷贝完成后，则开始使用所述检测软件的晶圆检测算法对所述晶圆所有的晶粒图片进行缺陷检测并输出检测结果。

本实施例的检测方法引入了对图片生成文件夹变化的监控机制，在有新的图片生成时，立即从机构软件主机拷贝到检测软件主机，并采用内存虚拟硬盘的方式，从而加快了图片的读写速度，读写速度比固态硬盘还快30倍左右，大幅度地减少了图片的读写时间，降低了整个晶圆的缺陷检测时间，提升了晶圆外观检测的效率。

优选的，输出检测结果具体为：把晶粒的检测结果使用多线程机制绘制在多个图片上，然后再合并成一个大图，再将大图显示到显示屏界面上，可以移动、放大显示晶粒检测结果、晶粒坐标，双击晶粒可以显示晶粒由相机拍摄的不同画面的小图。

晶圆的大量晶粒检测结果的显示采用多线程分多个图片存放，再合成大图，加快了显示速度，晶粒移动放大定位时界面很流畅，不会出现几十万颗晶粒同时显示而导致界面卡顿的问题，双击晶粒可以显示由相机拍摄的多个画面的小图并进行对比，不用通过晶粒的位置查找对应的图片，更方便地验证了检测结果的准确性，提高了工作效率。

优选的，所述接收检测软件发送的心跳包后还包括步骤：

启动守护进程，通过UDP协议接收检测软件发送的心跳包，如果在一定的时间间隔内没有收到心跳包，则说明检测软件出现故障，则通过协议自动停止机构软件的运行。

更具体的，通过预先保存的所述机构软件的停止按钮的图片去截取所述机构软件的屏幕；通过相关算法查找到所述机构软件的停止按钮的位置；给所述机构软件的停止按钮的位置发送鼠标点击事件，停止所述机构软件的运行。

本实施例的检测方法通过守护进程实时监控检测软件的状态，当检测软件出现异常时立即通过协议自动停止机构软件的运行，实现了异常就停机的自动化，避免了人工停机的操作，从而节约了人力成本。

在停止所述机构软件的运行后，再次启动所述机构软件，对所述晶圆继续进行飞拍，将拍摄到的晶粒图片继续存放到指定的所述文件夹，供所述检测软件继续拷贝，继续循环上述步骤，直至检测软件再一次出现异常。

在一个实施例中，一种适用于机台配套的晶圆快速检测系统，包括:检测软件服务器、机构软件和守护进程软件服务器、交换机以及显示操作装置，其硬件连接示意图如图2所示。

检测系统的软件功能模块结构示意图如图3所示，检测软件服务器包括检测软件模块，所述检测软件模块包括文件夹监控图片拷贝单元、检测算法单元、晶圆结果显示单元和心跳发送单元。

所述文件夹监控图片拷贝单元用于实时监控机构软件给晶圆拍照后存放晶粒图片的文件夹的图片变化情况，将新生成的图片拷贝到所述检测软件服务器的虚拟磁盘。

所述检测算法单元用于对所述晶粒图片进行缺陷检测。

所述晶圆结果显示单元用于显示所述晶粒图片的缺陷检测结果。

所述心跳发送单元用于发送心跳包。

所述机构软件和守护进程软件服务器同时包括了机构软件模块和守护进程软件模块这两大功能模块。

所述机构软件模块配合系统外部的所述移动机台对所述晶圆进行飞拍。

所述守护进程软件模块包括心跳接收单元，所述心跳接收单元用于接收所述心跳包。

所述显示操作装置包括计算机显示器和必要的键鼠，所述显示操作装置主要用于展示晶圆检测过程中的各种图片和检测结果。

优选的，所述守护进程软件模块还包括图像按钮位置定位单元；所述图像按钮位置定位单元用于通过预先保存的机构软件的停止按钮的图片去截取所述机构软件的屏幕，通过相关算法查找到所述机构软件的停止按钮的位置，并发送鼠标点击事件，停止所述机构软件的运行。

本发明的一个实施例还提供一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，该程序被处理器执行时实现上述任一项方法的步骤。其中，计算机可读存储介质可以包括但不限于任何类型的盘，包括软盘、光盘、DVD、CD-ROM、微型驱动器以及磁光盘、ROM、RAM、EPROM、EEPROM、DRAM、VRAM、闪速存储器设备、磁卡或光卡、纳米系统(包括分子存储器IC)，或适合于存储指令和/或数据的任何类型的媒介或设备。

需要说明的是，对于前述的各方法实施例，为了简单描述，故将其都表述为一系列的动作组合，但是本领域技术人员应该知悉，本发明并不受所描述的动作顺序的限制，因为依据本发明，某些步骤可以采用其他顺序或者同时进行。其次，本领域技术人员也应该知悉，说明书中所描述的实施例均属于优选实施例，所涉及的动作和模块并不一定是本发明所必须的。

在上述实施例中，对各个实施例的描述都各有侧重，某个实施例中没有详述的部分，可以参见其他实施例的相关描述。

在本发明所提供的几个实施例中，应该理解到，所揭露的装置，可通过其它的方式实现。例如，以上所描述的装置实施例仅仅是示意性的，例如所述单元的划分，仅仅为一种逻辑功能划分，实际实现时可以有另外的划分方式，例如多个单元或组件可以结合或者可以集成到另一个系统，或一些特征可以忽略，或不执行。另一点，所显示或讨论的相互之间的耦合或直接耦合或通信连接可以是通过一些服务接口，装置或单元的间接耦合或通信连接，可以是电性或其它的形式。

所述作为分离部件说明的单元可以是或者也可以不是物理上分开的，作为单元显示的部件可以是或者也可以不是物理单元，即可以位于一个地方，或者也可以分布到多个网络单元上。可以根据实际的需要选择其中的部分或者全部单元来实现本实施例方案的目的。

另外，在本发明各个实施例中的各功能单元可以集成在一个处理单元中，也可以是各个单元单独物理存在，也可以两个或两个以上单元集成在一个单元中。上述集成的单元既可以采用硬件的形式实现，也可以采用软件功能单元的形式实现。

所述集成的单元如果以软件功能单元的形式实现并作为独立的产品销售或使用时，可以存储在一个计算机可读取存储器中。基于这样的理解，本发明的技术方案本质上或者说对现有技术做出贡献的部分或者该技术方案的全部或部分可以以软件产品的形式体现出来，该计算机软件产品存储在一个存储器中，包括若干指令用以使得一台计算机设备(可为个人计算机、服务器或者网络设备等)执行本发明各个实施例所述方法的全部或部分步骤。而前述的存储器包括：U盘、只读存储器(Read-Only Memory，ROM)、随机存取存储器(Random Access Memory，RAM)、移动硬盘、磁碟或者光盘等各种可以存储程序代码的介质。

以上所述者，仅为本公开的示例性实施例，不能以此限定本公开的范围。即但凡依本公开教导所作的等效变化与修饰，皆仍属本公开涵盖的范围内。本领域技术人员在考虑说明书及实践这里的公开后，将容易想到本公开的其他实施方案。本发明旨在涵盖本公开的任何变型、用途或者适应性变化，这些变型、用途或者适应性变化遵循本公开的一般性原理并包括本公开未记载的本技术领域中的公知常识或惯用技术手段。说明书和实施例仅被视为示例性的，本公开的范围和精神由权利要求限定。

以上实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

本领域的技术人员容易理解，以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。