一种半导体制造用空中自动搬送装置

技术领域

本发明涉及自动搬运装置技术领域，具体为一种半导体制造用空中自动搬送装置。

背景技术

在半导体制造行业中，为了提高成产效率往往通过设置空中自动搬送装置提升半导体加工环节中半导体器件的移动效率。然而目前现有的半导体制造用空中自动搬送装置中的导轨在拐弯处大多需要设置圆弧过渡弯，否则空中移动车无法通过，然而圆弧过渡弯的设置很大程度上限制了空中自动搬送装置的设计灵活性，这也意味着地面生产线的设计也受到很大的限制，同时过多的过渡湾设置也将加大空中自动搬送装置所占用的厂房面积。

因此，亟需一种新型的半导体制造用空中自动搬送装置克服上述缺陷。

发明内容

本发明的目的在于提供一种半导体制造用空中自动搬送装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

一种半导体制造用空中自动搬送装置，包括导轨和移动车，所述导轨包括纵段和横段，所述纵段和横段中设置有通过槽，所述通过槽的底部设置有一对水平设置的支撑板，所述移动车上的滚轮放置在支撑板上，所述移动车包括底板，所述底板的四个拐角处各转动连接有一转轴，所述底板的四个拐角处各设置有一转向装置，所述转向装置与转轴驱动连接，所述转轴的底部固定连接有座盘，所述座盘上固定连接有轮座，所述滚轮转动连接在轮座上，所述轮座上设置有驱动装置，所述驱动装置与滚轮驱动连接，所述底板下方通过一组连接杆固定连接有货箱。

优选的，所述底板拐角处的下端面上固定连接有转轴座，所述转轴转动连接在转轴座上，所述转轴上端伸出底板上端面。

优选的，所述转向装置包括固定连接在底板下端面上的转向电机，所述转向电机的输出端上固定连接有主动齿轮，所述转轴的上端固定连接有从动齿轮，所述从动齿轮与主动齿轮啮合安装。

优选的，两侧的轮座之间转动连接有轮轴，所述滚轮固定连接在轮轴上，所述轮轴的一端伸出轮座的外壁。

优选的，所述驱动装置包括固定连接在一侧轮座外壁上的驱动电机，所述驱动电机的输出轴上固定连接有主动齿轮，所述轮轴伸出轮座外壁的一端固定连接有从动齿轮，所述从动齿轮与主动齿轮啮合安装。

优选的，所述货箱设置有四棱柱状，所述货箱的四周侧壁上各转动连接有一对箱门，所述箱门外壁上固定连接有把手。

优选的，所述箱门采用钢化玻璃材质。

优选的，所述底板的四个拐角处设置圆角。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：本发明中本发明中导轨可设置度转角，无需设置圆弧过渡弯，提升了空中自动搬送装置的设计灵活性，进而扩大了地面生产线的设计的灵活性，同时减少了空中自动搬送装置的占地面积。货箱设置四面设置箱门，方便从各个方向取放半导体器件。箱门采用钢化玻璃材质方便从外部观察货箱中是否装有半导体器件。圆角避免在转向时底板与导轨内壁发生干涉。本发明设计合理，占地空间小，布局灵活性强。

附图说明

图1为一种半导体制造用空中自动搬送装置的结构示意图；

图2为一种半导体制造用空中自动搬送装置中移动车的结构示意图；

图3为图2中K处的局部放大图。

图中：1-导轨，2-纵段，3-横段，4-连接杆，5-通过槽，6-支撑板，7-移动车，8-底板，9-圆角，10-转轴座，11-转轴，12-座盘，13-轮座，14-滚轮，15-转向装置，16-从动齿轮，17-主动齿轮，18-转向电机，19-驱动装置，20-驱动电机，21-轮轴，22-货箱，23-箱门，24-把手。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

请参阅图1～3，本发明提供一种技术方案：

一种半导体制造用空中自动搬送装置，包括导轨1和移动车7，所述导轨1包括纵段2和横段3，所述纵段2和横段3中设置有通过槽5，所述通过槽5的底部设置有一对水平设置的支撑板6，所述移动车7上的滚轮14放置在支撑板6上，所述移动车7包括底板8，所述底板8的四个拐角处各转动连接有一转轴11，所述底板8的四个拐角处各设置有一转向装置15，所述转向装置15与转轴11驱动连接，所述转轴11的底部固定连接有座盘12，所述座盘12上固定连接有轮座13，所述滚轮14转动连接在轮座13上，所述轮座13上设置有驱动装置19，所述驱动装置19与滚轮14驱动连接，所述底板8下方通过一组连接杆4固定连接有货箱22。

本发明中货箱22用于防止半导体器件，驱动装置19驱动底板8及货箱在导轨1中移动，当需要从纵段2向横段3转向或横段3向纵段2转移时转动装置15驱动转轴11和滚轮14转动90度，转向过程中会一侧滚轮14会经历一段悬空时间，此时另外三个滚轮14位于支撑板6上足以保持底板8的平衡。

可优选地，所述底板8拐角处的下端面上固定连接有转轴座10，所述转轴11转动连接在转轴座10上，所述转轴11上端伸出底板8上端面。

可优选地，所述转向装置15包括固定连接在底板8下端面上的转向电机18，所述转向电机18的输出端上固定连接有主动齿轮17，所述转轴11的上端固定连接有从动齿轮16，所述从动齿轮16与主动齿轮17啮合安装。

一个转向装置15控制一个转轴11转向，转向电机18通过齿轮传动驱动转轴11转动。

可优选地，两侧的轮座13之间转动连接有轮轴21，所述滚轮14固定连接在轮轴21上，所述轮轴21的一端伸出轮座13的外壁。

可优选地，所述驱动装置19包括固定连接在一侧轮座13外壁上的驱动电机20，所述驱动电机20的输出轴上固定连接有主动齿轮17，所述轮轴21伸出轮座13外壁的一端固定连接有从动齿轮16，所述从动齿轮16与主动齿轮17啮合安装。

一个驱动装置19驱动一个滚轮14转动，驱动电机20通过齿轮传动驱动滚轮14转动。

可优选地，所述货箱22设置有四棱柱状，所述货箱22的四周侧壁上各转动连接有一对箱门23，所述箱门23外壁上固定连接有把手24。

货箱22设置四面设置箱门23，方便从各个方向取放半导体器件。

可优选地，所述箱门23采用钢化玻璃材质。

箱门23采用钢化玻璃材质方便从外部观察货箱22中是否装有半导体器件。

可优选地，所述底板8的四个拐角处设置圆角9。

圆角9避免在转向时底板8与导轨1内壁发生干涉。

本发明的工作原理是：本发明中货箱22用于防止半导体器件，驱动装置19驱动底板8及货箱在导轨1中移动，当需要从纵段2向横段3转向或横段3向纵段2转移时转动装置15驱动转轴11和滚轮14转动90度，转向过程中会一侧滚轮14会经历一段悬空时间，此时另外三个滚轮14位于支撑板6上足以保持底板8的平衡。一个转向装置15控制一个转轴11转向，转向电机18通过齿轮传动驱动转轴11转动。一个驱动装置19驱动一个滚轮14转动，驱动电机20通过齿轮传动驱动滚轮14转动。货箱22设置四面设置箱门23，方便从各个方向取放半导体器件。箱门23采用钢化玻璃材质方便从外部观察货箱22中是否装有半导体器件。圆角9避免在转向时底板8与导轨1内壁发生干涉。本发明中导轨可设置90度转角，无需设置圆弧过渡弯，提升了空中自动搬送装置的设计灵活性，进而扩大了地面生产线的设计的灵活性，同时减少了空中自动搬送装置的占地面积。

对于本领域技术人员而言，显然本发明不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本发明。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。