一种光刻机改变光束直径的膜片移动机构

技术领域

本发明涉及光刻机技术领域，具体为一种光刻机改变光束直径的膜片移动机构。

背景技术

在集成电路芯片的生产过程中，芯片的设计图形在硅片表面光刻胶上的曝光转印是其中最重要的工序之一，该工序所用的设备称为光刻机。光刻机是集成电路加工过程中最关键的设备。国外早在多年前就已提出下一代光刻的概念，并对极紫外线光刻、电子束投影光刻、离子束投影光刻等技术进行了大量的研究，但由于工艺、生产效率、成本等诸多原因，这些技术目前仍然难以完全实用化。目前占市场主导地位的仍然是深紫外线投影光刻设备。

现如今为了提高光刻机的精度，通常在光刻机的光线传输中设置有膜片，从而对光线的光束大小进行约束，从而提高了光刻机的精度，但是在使用中发现，由于光刻机发射出来的光需要经过膜片穿孔进行缩小，此时光源一直射在膜片的某一个缝隙处，造成膜片高温损坏的问题，使得需要频繁更换膜片，从而提高了生产成本。

发明内容

本发明的目的在于提供一种光刻机改变光束直径的膜片移动机构，解决了背景技术中所提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种光刻机改变光束直径的膜片移动机构，包括支撑板，所述支撑板内部开设有凹槽，所述凹槽内部滑动设置有第一滑块，且第一滑块末端固定设置有角度调节箱，且角度调节箱内部设置有角度调节结构，所述角度调节结构用于调节角度偏移大小，且角度调节箱末端活动设置有横板，所述横板表面开始有滑槽，且滑槽表面滑动设置有第二滑块，且第二滑块表面固定设置有支架，所述支架末端固定设置有夹杆，且夹杆之间卡接设置有膜片；

所述第一滑块底部固定设置有连接板，所述连接板末端连接设置有移位机构，所述移位机构用于对膜片的位置进行移动。

作为本发明的一种优选实施方式，所述凹槽内部设置有第一限位杆，且第一限位杆竖直焊接设置在凹槽底部，且第一限位杆表面贯穿设置有第一滑块，所述凹槽底部开设有条形槽，且条形槽为通孔，且条形槽内壁尺寸与连接板尺寸适配。

作为本发明的一种优选实施方式，所述角度调节结构包括传动杆，且传动杆贯穿设置在角度调节箱内壁，且与角度调节箱连接处卡接设置有密封轴承，所述角度调节箱表面进行倒角处理，所述传动杆末端固定设置有转盘，且转盘表面固定设置有把手，且把手表面进行滚花处理。

作为本发明的一种优选实施方式，所述传动杆表面焊接设置有蜗杆，且蜗杆表面啮合设置有蜗轮，且蜗轮中心轴固定设置有旋转轴，且旋转轴贯穿角度调节箱外壁，且旋转轴末端固定设置有横板。

作为本发明的一种优选实施方式，所述滑槽内部固定设置有第二限位杆，且第二限位杆贯穿表面滑动的第二滑块，所述第二滑块侧壁与滑槽侧壁之间固定设置有复位弹簧，且复位弹簧套接在第二限位杆表面。

作为本发明的一种优选实施方式，所述第二滑块与夹杆之间固定设置有加强筋，且加强筋与夹杆和支架围成一个直角三角形，且夹杆末端活动设置有拉板，所述拉板末端活动设置有第二橡胶垫，且横板中心位置固定设置有第一橡胶垫，所述第一橡胶垫和第二橡胶垫与夹杆表面开设有与膜片尺寸适配的安装槽，且第二橡胶垫末端固定设置有推杆。

作为本发明的一种优选实施方式，所述膜片移动机构包括电动机，所述电动机输出轴末端固定设置有圆盘，且电动机焊接设置在支撑板侧壁，所述圆盘外沿固定设置有凸起，所述凸起表面活动设置有摆杆，所述摆杆尺寸大于圆盘的半径。

作为本发明的一种优选实施方式，所述摆杆末端活动设置有连接杆，且连接杆末端焊接设置有连接板，所述连接杆表面套接设置有限位座，且限位座末端焊接设置在支撑板侧壁，且限位座为n型，且限位座两端分别开设在条形槽两侧。

与现有技术相比，本发明的有益效果如下：

本发明一种光刻机改变光束直径的膜片移动机构，通过设置有膜片移动机构可以对膜片进行移动，减少了膜片单一位置受热造成损害的情况发生，从而减少了后期更换膜片的的此时，减少了后期维护成本，并且由于设置了角度调节结构对膜片的水平角度进行调节，可以应对不同角度雕刻的需求，从而提高了装置的适用性。

附图说明

通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本发明的其它特征、目的和优点将会变得更明显：

图1为本发明一种光刻机改变光束直径的膜片移动机构的三维结构示意图（一）；

图2为本发明一种光刻机改变光束直径的膜片的移动机构的A处放大图；

图3为本发明一种光刻机改变光束直径的膜片的移动机构的B处放大图；

图4为本发明一种光刻机改变光束直径的膜片的角度调节结构内部视图；

图5为本发明一种光刻机改变光束直径的膜片的三维结构示意图（二）。

图中：1、支撑板；2、凹槽；3、第一滑块；4、角度调节箱；5、转盘；6、把手；7、横板；8、第一橡胶垫；9、膜片；10、第二橡胶垫；11、推杆；12、拉板；13、夹杆；14、加强筋；15、支架；16、第二滑块；17、滑槽；18、第二限位杆；19、复位弹簧；20、第一限位杆；21、倒角；22、条形槽；23、连接板；24、连接杆；25、摆杆；26、凸起；27、圆盘；28、电动机；29、限位座；30、传动杆；31、密封轴承；32、蜗杆；33、蜗轮；34、旋转轴。

具体实施方式

为使本发明实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本发明。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

请参阅图1-5，本发明提供一种技术方案：一种光刻机改变光束直径的膜片移动机构，包括支撑板1，支撑板1内部开设有凹槽2，凹槽2内部滑动设置有第一滑块3，且第一滑块3末端固定设置有角度调节箱4，且角度调节箱4内部设置有角度调节结构，角度调节结构用于调节角度偏移大小，且角度调节箱4末端活动设置有横板7，横板7表面开始有滑槽17，且滑槽17表面滑动设置有第二滑块16，且第二滑块16表面固定设置有支架15，支架15末端固定设置有夹杆13，且夹杆13之间卡接设置有膜片9，通过夹杆13可以对此时的膜片9进行夹持。

第一滑块3底部固定设置有连接板23，连接板23末端连接设置有移位，移位机构用于对膜片9的位置进行移动。

请参阅图1-5，在具体实施方式中，凹槽2内部设置有第一限位杆20，且第一限位杆20竖直焊接设置在凹槽2底部，且第一限位杆20表面贯穿设置有第一滑块3，凹槽2底部开设有条形槽22，且条形槽22为通孔，且条形槽22内壁尺寸与连接板23尺寸适配。角度调节结构包括传动杆30，且传动杆30贯穿设置在角度调节箱4内壁，且与角度调节箱4连接处卡接设置有密封轴承31，角度调节箱4表面进行倒角处理，传动杆30末端固定设置有转盘5，且转盘5表面固定设置有把手6，且把手6表面进行滚花处理，通过把手方便对转盘5进行旋转，且滚花处理提高了装置表面的摩擦力，提高了转动的安全性 。

请参阅图1-5，在本实施例中，传动杆30表面焊接设置有蜗杆32，且蜗杆32表面啮合设置有蜗轮33，且蜗轮33中心轴固定设置有旋转轴34，且旋转轴34贯穿角度调节箱4外壁，且旋转轴34末端固定设置有横板7。滑槽17内部固定设置有第二限位杆18，且第二限位杆18贯穿表面滑动的第二滑块16，第二滑块16侧壁与滑槽17侧壁之间固定设置有复位弹簧19，且复位弹簧19套接在第二限位杆18表面，而蜗轮33蜗杆32结构具有一定的自锁性，可以保证膜片9移动到一定角度之后，此时可以保持稳定性状态。

请参阅图1-5，在本实施例中，第二滑块16与夹杆13之间固定设置有加强筋14，且加强筋14与夹杆13和支架15围成一个直角三角形，且夹杆13末端活动设置有拉板12，拉板12末端活动设置有第二橡胶垫10，且横板7中心位置固定设置有第一橡胶垫8，第一橡胶垫8和第二橡胶垫10与夹杆13表面开设有与膜片9尺寸适配的安装槽，且第二橡胶垫10末端固定设置有推杆11。膜片移动机构包括电动机28，电动机28输出轴末端固定设置有圆盘27，且电动机28焊接设置在支撑板1侧壁，圆盘27外沿固定设置有凸起26，凸起26表面活动设置有摆杆25，摆杆25尺寸大于圆盘27的半径。摆杆25末端活动设置有连接杆24，且连接杆24末端焊接设置有连接板23，连接杆24表面套接设置有限位座29，且限位座29末端焊接设置在支撑板1侧壁，且限位座29为n型，且限位座29两端分别开设在条形槽22两侧，复位弹簧19将会推动此时的夹杆13开始相对运动，对膜片9进行夹持，接着由于夹杆13相对运动，且拉板12开始偏移，最终使得第二橡胶垫10和第一橡胶垫8相当运动，最终使得对膜片9水平平面进行固定。

需要说明的是，本发明为一种光刻机改变光束直径的膜片移动机构，各个件均为通用标准件或本领域技术人员知晓的部件，其结构和原理都为本技术人员均可通过技术手册得知或通过常规实验方法获知。

工作原理：当需要使用该装置的时候，首先对膜片9进行安装，且首先通过双手将推杆11向外移动，且此时拉板12开始开始移动，且拉板12末端将会抵住两端的夹杆13开始向外移动，且此时夹杆13之间的间距变大，且此时放入此时的膜片9，当膜片9安装在夹杆13内部的时候，此时松开推杆11，此时夹杆13将不会收到外力的影响，且此时的复位弹簧19处于压缩状态，此时复位弹簧19将会推动此时的夹杆13开始相对运动，对膜片9进行夹持，接着由于夹杆13相对运动，且拉板12开始偏移，最终使得第二橡胶垫10和第一橡胶垫8相当运动，最终使得对膜片9水平平面进行固定。

接着如果需要对膜片9的角度进行调节，首先操作者需要手动转动此时的把手6，通过把手6可以带动此时的转盘5进行一定角度的旋转，且转盘5旋转完毕之后，此时内部的蜗杆32将会旋转，通过蜗杆32带动此时蜗轮33进行旋转，而蜗轮33与横板7同轴连接，此时横板7角度发生变化，而此时横板7位置将会开始变化，从而达到对膜片9角度调节的作用，而蜗轮33蜗杆32结构具有一定的自锁性，可以保证膜片9移动到一定角度之后，此时可以保持稳定性状态。

当开始启动电动机28，此时电动机28带动此时的输出轴开始旋转，而圆盘27此时开始旋转，并且此时圆盘27旋转旋转将会带动此时摆杆25位置发生变化，拉动连接杆24进行运动，且受到限位座29的影响，此时连接杆24做上下往复运动，且连接杆24通过连接板23连接到膜片9，此时膜片9开始上下移动，最终达到对膜片移动的作用。