一种探针尖端打磨机及打磨方法

技术领域

本发明涉及探针打磨技术领域，具体涉及一种探针尖端打磨机及打磨方法。

背景技术

集成电路(Integrated Circuit，IC)，也称微芯片、晶片或芯片，是一种把电路(包括半导体设备，也包括被动组件等)小型化的方式，并时常制造在半导体晶圆表面。

随着半导体行业的发展，集成电路芯片的厚度越做越薄，芯片的加工和检测精度越来越高。由于芯片自身形状较小，故在对芯片进行检测的探针需要进行加工打磨，才可以达到芯片检测的要求，而现有的探针材质多以铜为主，采用车床或其他磨削方式加工，加工完在镀金防止氧化和提高导电性，但是以铜为材质的探针在使用过程中可能会造成检测出芯片的曲线与实际失真，为防止探针检测失真，采用18k金为材料制作探针，而以18k仅为材料制作的探针材质较软，若采用车床等传统方法进行加工，成品率及效率较低，还会造成一定程度的浪费。

发明内容

因此，本发明提供一种探针尖端打磨机及打磨方法。

为解决上述技术问题，本发明提供了一种探针尖端打磨机，包括：

机体，机体上设有上料仓、上料夹爪、旋转夹头及砂轮；

所述上料夹爪滑动安装在所述机体上，所述旋转夹头滑动安装在所述机体上，且所述上料夹爪的滑动方向朝向所述旋转夹头，所述旋转夹头的滑动方向朝向所述砂轮，所述上料夹爪适于夹取探针至旋转夹头位置处，所述旋转夹头适于带动探针至砂轮处进行研磨；

检测装置，设于所述机体上，所述检测装置适于检测探针的研磨状态。

可选地，所述上料仓内设有顶料机构，所述顶料机构适于将探针顶出。

可选地，还包括有磨针移动导轨，所述旋转夹头滑动安装在所述磨针移动导轨上。

可选地，所述检测装置为视觉检测镜头。

可选地，还包括有适于收纳研磨后的探针的收料仓，安装在所述机体上。

可选地，还包括有卸料夹爪，安装在所述机体上，所述卸料夹爪适于夹取研磨后的探针。

可选地，所述砂轮通过转轴转动安装在所述机体上。

可选地，所述转轴在所述机体上的倾斜角度可调。

还提供了打磨方法，包括上述的探针尖端打磨机，还包括以下步骤：

上料夹爪夹取一根探针至砂轮处进行研磨，通过检测装置检测研磨后的探针是否合格，若未合格则继续进行研磨，合格后则转移走。

可选地，还包括若检测探针研磨不合格，调整砂轮角度的步骤。

本发明技术方案，具有如下优点：

1.本发明提供的探针尖端打磨机，通过上料夹爪将探针夹取至砂轮位置进行研磨，通过检测装置检测探针研磨状况，能够更好的完成对探针的研磨，保证探针尖端的研磨精度，提高探针成品率及效率。

2.本发明提供的探针尖端打磨机，在上料仓内设有顶料机构，顶料机构可以将探针从上料仓中顶起，供上料夹爪进行夹取，避免上料夹爪伸入至一堆探针里面进行夹取。

3.本发明提供的探针尖端打磨机，在机体上设有磨针移动导轨，旋转夹头滑动安装在磨针移动导轨上，旋转夹头在磨针移动导轨上进行滑动时，可以有探针在砂轮位置进行研磨的研磨状态及探针远离砂轮的检测状态。

附图说明

为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明实施例提供的探针尖端打磨机的结构示意图。

附图标记说明：

1、机体；2、磨针移动导轨；3、旋转夹头；4、砂轮；5、上料仓；6、上料夹爪；7、卸料夹爪；8、滑轨；9、检测装置；10、收料仓。

具体实施方式

下面将结合附图对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

此外，下面所描述的本发明不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。

实施例1

本实施例提供了探针尖端打磨机的一种具体的实施方式，如图1所示，机体1上设有上料仓5、上料夹爪6、旋转夹头3和砂轮4。上料夹爪6将探针夹取后转移至旋转夹头3上，旋转夹头3携带探针移动至砂轮4位置处进行研磨，研磨后的探针通过检测装置9检测研磨状况。具体的，上料夹爪6和旋转夹头3均滑动安装在机体1上，其中，上料夹爪6的滑动方向朝向旋转夹头3，旋转夹头3的滑动方向朝向砂轮4，使得上料夹爪6夹取到探针后可以将探针输送至旋转夹头3位置处，而旋转夹头3接收到上料夹爪6输送的探针后，旋转夹头3会携带探针移动砂轮4位置处对探针进行打磨。

本实施例中，在上料仓5内设有顶料机构，顶料机构可以将上料仓5内的探针顶出，且每次都只会顶出一根探针供上料夹爪6进行夹取，避免上料夹爪6伸入至上料仓5内。具体的，顶料机构包括在料仓，料仓内可以盛放探针，在料仓内设有可以上下移动的顶料推板，顶料推板顶端开设有V型槽，V型槽内只能容纳一根探针，并且V型槽的根部开有真空吸附孔，真空吸附孔连通有抽真空装置，如真空泵等，可以通过抽真空的操作将位于V型槽内的探针进行吸附，防止顶料推板在上升过程中探针脱落。具体的，顶料推板可以通过气缸驱动进行上下移动。具体的，在顶料推板将探针推至上料夹爪6位置处时，抽真空装置关闭，停止V形槽对探针的吸附，使上料夹爪6能够将探针取走。

本实施例中，在机体1上还设有磨针移动导轨2，旋转夹头3滑动安装在磨针移动导轨2上，旋转夹头3在磨针移动滑轨8上进行滑动时，可以在探针研磨状态及检测状态之间进行切换，当旋转夹头3带着探针靠近砂轮4进行研磨时，探针处于研磨状态；当旋转夹头3带着探针远离砂轮4时，探针处于检测状态，并且可以用检测装置9对探针进行检测，以便查看探针的研磨效果。

具体的，检测装置9为视觉检测镜头，可以对探针进行视觉检测，并将图像传输至显示屏幕及后台，对探针研磨情况进行检测。

本实施例中，在机体1上还安装有用于收纳经过研磨后的探针的收料仓10，经检测装置9检测后合格的探针通过卸料夹爪7将探针转移至收料仓10内。

具体的，卸料夹爪7安装在机体1上，在机体1上设有滑轨8上料夹爪6和卸料夹爪7均滑动安装在滑轨8上，上料夹爪6在滑轨8上滑动时，可以将上料仓5内的探针移动至旋转夹头3位置处，以供旋转夹头3夹取探针；在上料夹爪6移动至旋转夹头3位置处时，卸料夹爪7先将旋转夹头3上已经研磨好的探针取走，在将上料夹爪6上的探针转移至旋转夹头3上，再通过卸料夹爪7将研磨后的探针转移至收料仓10内。具体的，滑轨8可以是电机或电缸驱动，也可以直线电机，只要能够驱动上料夹爪6和卸料夹爪7在滑轨8上移动即可。

作为可替换的实施方式，上料夹爪6和卸料夹爪7可以同步移动，也可以分别单独移动。

本实施例中，砂轮4通过转轴转动安装在机体1上，并且转轴在机体1上的倾斜角度可以调节，转轴可以通过齿轮结构安装在机体1上，通过齿轮结构可以实现转轴倾斜角度的调节。

实施例2

本实施例提供了打磨方法的一种具体的实施方式，采用实施例1中的探针尖端打磨机进行实施，还包括以下步骤，上料夹爪6夹取一根探针至旋转夹头3位置处，旋转夹头3接收探针后，携带探针移动至砂轮4处进行研磨，经研磨后的探针在旋转夹头3的带动下返回检测位置，通过检测装置9对探针研磨情况进行检测，检测合格后由卸料夹爪7将探针转移至收料仓10内；若不合格在旋转夹头3再次携带探针移动至砂轮4位置处进行研磨，直至探针经检测装置9检测合格后，由卸料夹爪7将探针转移至收料仓10内。

本实施例中，还包括在发现探针研磨不合格，则调整砂轮4角度的步骤，以便保证对探针尖端的研磨良好。

显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本发明创造的保护范围之中。