一种洁净室新风管道布置及风量定点调节系统

技术领域

本发明涉及空调技术领域，尤其涉及一种洁净室新风管道布置及风量定点调节系统。

背景技术

目前，电子工业厂房洁净室的净化空调系统通常采用新风处理机组MAU+风机过滤器机组FFU+干式冷却器DCC相结合的形式，净化空调系统的大量循环风由风机过滤器机组提供动力，在洁净室、下技术夹层、回风夹道、上技术夹层空间路径上循环流动。新风处理机组MAU用于保证洁净室内的相对湿度和正压值，对室外新鲜空气经过滤、冷却或加热、加湿或除湿等多个功能段组合处理后，送入循环空气流动的路径上，有一种常见布置情况是将新风管道布置在回风夹道空间内，风管末端开口进行送风。电子工业厂房洁净室还存在服务于工艺制程需求的工艺排风系统，工艺排风系统的排风管道有些单独设置在洁净室之外的管道井内，有些则直接设置在洁净室的回风夹道内，空间管理根据管道数量进行排布。

电子工业厂房洁净室的新风处理机组MAU用于保证洁净室内的相对湿度和正压值，在布置新风的送风口时，往往关注的重点是送风量和送风管道尺寸是否足够，对于送风管道和风口送风是否均匀在主观上并不太关注。另外，由于半导体工厂洁净室的工艺设备排风量很大，每平方米达90m

因此，基于上述技术问题，本领域的技术人员亟需研发一种洁净室新风管道布置及风量定点调节系统。

发明内容

本发明的目的是提供一种洁净室新风管道布置及风量定点调节系统，该系统可使新风送风均匀，且可根据工艺设备发热特性，对相应温度控制区域进行定点调节和风量重新平衡分配，达到提高房间温度控制精度和节能减排的目的。

为了实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

本发明的一种洁净室新风管道布置及风量定点调节系统，该系统包括：

洁净室；

与所述洁净室连通、并位于所述洁净室上方的上技术夹层；

与所述洁净室连通、并位于所述洁净室下方的下技术夹层；以及

位于所述洁净室侧面、并与所述上技术夹层和所述下技术夹层均连通的回风夹道；

所述洁净室和所述上技术夹层之间设置有风机过滤器机组，且所述上技术夹层、洁净室、下技术夹层和回风夹道通过所述风机过滤器机组连通、并通过所述风机过滤器机组形成空气的导流以形成空气循环回路；

所述洁净室内布置有多组工艺设备，所述工艺设备的侧面具有操作面；

部分所述工艺设备彼此靠近布置，且部分所述工艺设备间隔布置；

间隔布置的所述工艺设备的操作面相对设置，且间隔布置的所述工艺设备的操作面之间的空间为通道，该通道、以及对应的两台工艺设备和回风夹道之间形成为工艺bay温度控制区域；

该系统还包括：

位于所述回风夹道内的新风管道，且所述新风管道的数量和布置位置与所述工艺bay温度控制区域匹配。

进一步的，所述通道内设置有至少一个温度控制传感器，以通过该温度控制传感器检测对应的区域的温度值。温度控制传感器也可以是温湿度一体的控制传感器。

进一步的，所述回风夹道内布置有：

所述新风管道；

工艺排风管道和其他管线；

新风管道在回风夹道内均匀布置；

每个所述工艺bay温度控制区域至少布置一根所述新风管道。

进一步的，所述新风管道与工艺排风管道及其他管线在平面上均错位布置；

新风管道的送风量留有一定余量；

所述新风管道具有送风口。

进一步的，所述新风管道的侧面和/或端部设置有所述送风口，且所述侧面可以是一个面或多个面。

进一步的，所述新风管道上设置有第一风阀，所述新风管道通过所述第一风阀调节风量；

所述送风口上设置有第二风阀，所述送风口通过所述第二风阀调节风量。

进一步的，所述第一风阀和所述第二风阀均可以为手动风阀、电动风阀或气动风阀。

在上述技术方案中，本发明提供的一种洁净室新风管道布置及风量定点调节系统，具有以下有益效果：

本发明的系统将洁净室的新风管道与工艺设备所在的工艺bay温度控制区域一一对应，均匀布置，新风管道上的送风口搭配气流组织可多面开口，送风管道和排风管道布置在同一回风夹道空间时，在平面上错位排列，使侧送风口能够容易扩散均匀到对应的温度控制区域。

本发明的系统应用于半导体厂房时，半导体厂房的特点是设计时提供的工艺设备布置及发热负荷与实际运行时的工艺设备存在有一定的偏差，所以设计时新风管道与送风口均留有一定的余量，待工艺设备安装及量产后，对相应温度控制区域进行定点调节和风量重新平衡分配，发热量大的控制区域增加新风量，发热量小的控制区域相应减少新风量，从而可有效利用新风的低温送风特性来消除一部分室内发热量，减少或消除新风的加热需求，达到有效利用能源，节能减排的目的。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明实施例提供的一种洁净室新风管道布置及风量定点调节系统的结构示意图；

图2为本发明实施例提供的一种洁净室新风管道布置及风量定点调节系统的剖视图。

附图标记说明：

1、洁净室；2、回风夹道；3、工艺设备；4、工艺bay温度控制区域；

101、上技术夹层；102、下技术夹层；103、风机过滤器机组；

201、新风管道；202、工艺排风管道；203、其他管线；204、送风口；205、第一风阀；206、第二风阀；

301、操作面；

401、通道。

具体实施方式

为了使本领域的技术人员更好地理解本发明的技术方案，下面将结合附图对本发明作进一步的详细介绍。

参见图1至图2所示；

本实施例公开了一种洁净室新风管道布置及风量定点调节系统，该系统包括：

洁净室1；

与洁净室1连通、并位于洁净室1上方的上技术夹层101；

与洁净室1连通、并位于洁净室1下方的下技术夹层102；以及

位于洁净室1侧面、并与上技术夹层101和下技术夹层102均连通的回风夹道2；

洁净室1和上技术夹层101之间设置有风机过滤器机组103，且上技术夹层101、洁净室1、下技术夹层102和回风夹道2通过风机过滤器机组103连通、并通过风机过滤器机组103形成空气的导流以形成空气循环回路；

洁净室1内布置有多组工艺设备3，工艺设备3的侧面具有操作面301；

部分工艺设备3彼此靠近布置，且部分工艺设备3间隔布置；

间隔布置的工艺设备3的操作面301相对设置，且间隔布置的工艺设备3的操作面301之间的空间为通道401，该通道401、以及对应的两台工艺设备3和回风夹道2之间形成为工艺bay温度控制区域4；

该系统还包括：

位于回风夹道2内的新风管道201，且新风管道201的数量和布置位置与工艺bay温度控制区域4匹配。

具体的，本实施例公开了一种新风管道布置及风量定点调节系统，其从布置空间上划分主要分为洁净室1、上技术夹层101、下技术夹层102、回风夹道2；本实施例的洁净室1上方与上技术夹层101连通、下方与下技术夹层102连通，并且上技术夹层101和下技术夹层102与回风夹道2连通，并利用上述的风机过滤器机组103实现四个区域的连通，通过风机过滤器机组103能够提供空气流动的动力，以形成空气循环回路。

其次，本实施例的通道401内设置有至少一个温度控制传感器，以通过该温度控制传感器检测对应的区域的温度值。温度控制传感器也可以是温湿度一体的控制传感器。

作为进一步的说明，在洁净室1内布置多组工艺设备3，本实施例的两组工艺设备3的操作面301面对面进行布置，操作面301之间形成通道401，该通道401和对应的两组工艺设备3所在位置与回风夹道2之间空间为工艺设备所在的工艺bay温度控制区域4，温度控制传感器设置在通道401的某处或某几处，即至少需要在通道401内布置一个温度控制传感器，以通过该温度控制传感器检测对应的工艺设备所在的工艺bay温度控制区域4的温度值。

优选的，本实施例的回风夹道2内布置有：

新风管道201；

工艺排风管道202和其他管线203；

新风管道201在回风夹道2内均匀布置；

每个工艺bay温度控制区域4至少布置一根新风管道201。

为了实现风量的定点调节，本实施例针对每个工艺bay温度控制区域4至少布置一个新风管道201，保证新风管道201能够有序和均匀布置的前提下，根据温度控制传感器的检测温度情况，实现对应工艺bay温度控制区域4的风量定点调节。

优选的，本实施例的新风管道201与工艺排风管道202及其他管线203在平面上均错位布置；

新风管道201的送风量留有一定余量；

新风管道201具有送风口204。

作为进一步的说明，本实施例的新风管道201与工艺排风管道202和其他管线203采用平面上错位布置的形式，能够减少新风管道201、尤其是新风管道201的送风口204前方的障碍物，避免障碍物影响送风。

而更为优选的是，本实施例的新风管道201的侧面和/或端部设置有送风口204，侧面可以是一个面或多个面。本实施例的新风管道201端部的侧面、端部均可以设置送风口204，采用不同方位的送风口204的送风的组合，能够满足各种送风要求。并结合上述对新风管道201和周围管线(均可视为障碍物)的错位布置形式，保证送风口204前侧没有遮挡物，送风可以扩散均匀，每根新风管道201和送风口204的送风量留有一定的余量。

最后，为了调节风量，本实施例的新风管道201上设置有第一风阀205，新风管道201通过第一风阀205调节风量；同理，本实施例的送风口204上设置有第二风阀206，送风口204通过第二风阀206调节风量。

作为拓展的实施方式，本实施例的第一风阀205和第二风阀206均可以为手动风阀、电动风阀或气动风阀。

在上述技术方案中，本发明提供的一种洁净室新风管道布置及风量定点调节系统，具有以下有益效果：

本发明的系统将洁净室的新风管道201与工艺设备3所在的工艺bay温度控制区域4一一对应，均匀布置，新风管道201上的送风口204搭配气流组织可多面开口，送风管道和排风管道布置在同一回风夹道2空间时，在平面上错位排列，使侧送风口204能够容易扩散均匀到对应的温度控制区域。

本发明的系统应用于半导体厂房时，半导体厂房的特点是设计时提供的工艺设备3布置及发热负荷与实际运行时的工艺设备存在有一定的偏差，所以设计时新风管道201与送风口204均留有一定的余量，待工艺设备安装及量产后，对相应温度控制区域进行定点调节和风量重新平衡分配，发热量大的控制区域增加新风量，发热量小的控制区域相应减少新风量，从而可有效利用新风的低温送风特性来消除一部分室内发热量，减少或消除新风的加热需求，达到有效利用能源，节能减排的目的。

以上只通过说明的方式描述了本发明的某些示范性实施例，毋庸置疑，对于本领域的普通技术人员，在不偏离本发明的精神和范围的情况下，可以用各种不同的方式对所描述的实施例进行修正。因此，上述附图和描述在本质上是说明性的，不应理解为对本发明权利要求保护范围的限制。