一种低温泵用双层一级屏蔽挡板

技术领域

本发明涉及低温泵技术领域，尤其涉及一种低温泵用双层一级屏蔽挡板。

背景技术

低温泵是利用低温表面(零下200～260℃)对气体分子进行冷凝、吸附和捕集，从而实现超高真空环境的一种真空获得设备，它具有抽气速率快、气体容量大、极限真空度高、抽气界面无运动部件以及清洁无油等优点，广泛应用于半导体行业。GB/T 3163-2007《真空技术术语》标准规定真空区域的划分超高真空为<10

目前，一级屏蔽挡板屏蔽热辐射的效果不理想，无法在满足低温泵抽速的情况下，最大程度地减少热辐射对低温泵温度的影响。

发明内容

鉴于目前存在的上述不足，本发明提供一种低温泵用双层一级屏蔽挡板，在满足抽速的情况下，能更好地屏蔽机台做工艺时的热辐射，以减少热辐射对低温泵温度的影响，结构简单，易于制造加工，成本低。

为达到上述目的，本发明的实施例采用如下技术方案：

一种低温泵用双层一级屏蔽挡板，包括连接筒、第一挡板、第二挡板，所述第一挡板、第二挡板设于连接筒内，第一挡板、第二挡板分别固定在连接筒两端，所述第一挡板上设有第一进气孔，所述第二挡板上设有第二进气孔，气体分子依次从第一进气孔、连接筒、第二进气孔进入低温泵内。

依照本发明的一个方面，所述连接筒内设有空腔，所述第一挡板、第二挡板都固定在空腔内。

依照本发明的一个方面，所述连接筒固定在低温泵上。

依照本发明的一个方面，所述第一挡板上设有连接孔，所述第二挡板上设有安装孔，所述连接孔和安装孔对准使用。

依照本发明的一个方面，所述连接孔和安装孔都有四个，连接孔在第一挡板四周均布，安装孔在第二挡板四周均布。

依照本发明的一个方面，所述第一挡板、第二挡板材质都采用紫铜，表面镀镍。

依照本发明的一个方面，所述连接筒呈空心圆筒状，所述第一挡板、第二挡板都呈圆板状，二者直径一致且平行设置，所述第一进气孔、第二进气孔都为圆孔。

依照本发明的一个方面，所述第一进气孔在第一挡板上填充阵列，所述第二进气孔在第二挡板上填充阵列。

本发明实施的优点：通过两组进气孔的设置，能满足低温泵的抽速调节；通过两组挡板的设置，能更好地屏蔽机台做工艺时的热辐射，以减少热辐射对低温泵温度的影响；通过将两组挡板采用紫铜、表面镀镍，能使得屏蔽热辐射的效果更好；通过将两组挡板采用激光切割工艺制成，能使得制造简便、加工时间短、成本低。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明的立体结构示意图；

图2为本发明的主视图；

图3为本发明的左视图；

图4为本发明的后视图；

图5为本发明所述的第一挡板的立体结构示意图；

图6为本发明所述的第一挡板的主视图；

图7为本发明所述的第二挡板的立体结构示意图；

图8为本发明所述的第二挡板的主视图。

图中序号所对应的名称如下：

1、第一挡板；11、第一进气孔；12、连接孔；2、第二挡板；21、第二进气孔；22、安装孔；3、连接筒；31、空腔。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

如图1-图8所示，一种低温泵用双层一级屏蔽挡板，安装在低温泵内腔体一侧，双层一级屏蔽挡板包括连接筒3、第一挡板1、第二挡板2。所述第一挡板1、第二挡板2设于连接筒3内，所述第一挡板1固定在连接筒3前端(进气端)，所述第二挡板2固定在连接筒3后端(出气端)，第一挡板1、第二挡板2相对前后平行设置。所述第一挡板1上填充阵列有若干第一进气孔11，所述第二挡板2上填充阵列有若干第二进气孔21，两组进气孔都为圆孔；所述第一挡板1上还设有连接孔12，有四个、在第一挡板1四周均布，所述第二挡板2上还设有安装孔22，有四个、在第二挡板2四周均布；连接孔12、安装孔22为一大一小的圆孔，二者前后对准使用。所述连接筒3呈空心圆筒状，内部设有空腔31，连接筒3固定在低温泵上；所述第一挡板1、第二挡板2都固定在空腔31内。外界的气体分子先从第一进气孔11进入空腔31内，再经过空腔31从第二进气孔21进入低温泵的腔体内。

在实际应用中，上述的固定方式任意，可通过粘结剂固定，或采用焊接，或采用螺栓、销类紧固件固定等等。在固定安装前，第一进气孔11和第二进气孔21可不正对同轴心安装，即满足低温泵的抽速调节。

在实际应用中，低温泵腔体内固定有80K屏蔽筒，呈空心圆柱筒状；安装时，将第二挡板2上的安装孔22与80K屏蔽筒上的孔洞对准，再将第一挡板1上的连接孔12与安装孔22对准(此时若干第一进气孔11和若干第二进气孔21不正对同轴心)，再采用螺栓依次穿过连接孔12、安装孔22、80K屏蔽筒上的孔洞进行固定安装。

在实际应用中，第一挡板1、第二挡板2材质都采用紫铜，表面镀镍；如此，屏蔽机台做工艺时的热辐射效果更好。

在实际应用中，第一挡板1、第二挡板2都呈圆板状，二者直径一致，二者的直径与连接筒3的内径适配。第一挡板1和第二挡板2关于连接筒3中间面对称设置。通过两组挡板的双层设置，能更好地屏蔽机台做工艺时的热辐射，以减少热辐射对低温泵温度的影响。

在实际应用中，两组进气孔的直径可一致，可通过改变进气孔的直径和数量来满足低温泵的抽速调节。

在实际应用中，两组挡板采用激光切割工艺制成，制造简便、加工时间短、成本低；连接筒3可由钢板卷圆机加工而成。

本发明实施的优点：通过两组进气孔的设置，能满足低温泵的抽速调节；通过两组挡板的设置，能更好地屏蔽机台做工艺时的热辐射，以减少热辐射对低温泵温度的影响；通过将两组挡板采用紫铜、表面镀镍，能使得屏蔽热辐射的效果更好；通过将两组挡板采用激光切割工艺制成，能使得制造简便、加工时间短、成本低。

以上所述，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本领域技术的技术人员在本发明公开的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。