一种单向阀及具有该单向阀的真空设备

技术领域

本发明涉及真空设备技术领域，具体涉及一种单向阀及具有该单向阀的真空设备。

背景技术

在某些特殊工况中，需要工艺气体有条件的单向流动。一般采用真空设备或压缩设备，如罗茨鼓风机、罗茨压缩机、罗茨真空泵等。上述设备在工作时，当前级气体压力异常增大，罗茨转子会卡死或功耗超警戒值停机。常见的解决方案是：通过调节罗茨的转速来改变压缩率。但是现有方法的控制逻辑复杂，不能实现第一时间应对突发工况。

发明内容

因此，本发明要解决的技术问题在于克服现有技术中的真空设备，不能第一时间应对突发工况的缺陷，从而提供一种单向阀及具有该单向阀的真空设备。

为了解决上述技术问题，本发明提供一种单向阀，用于连接在真空设备的壳体上，包括：阀体，所述阀体沿轴向依次设有进气口和出气口；

所述阀体内设有阀芯，所述阀芯上连接有弹性件，所述弹性件具有驱动所述阀芯对所述阀体内的气体通道进行封闭的弹性力；

所述阀芯在所述气体通道内朝向所述进气口的方向设置，所述阀芯具有克服所述弹性件的弹性力朝向所述出气口的方向进行移动的开启位置。

作为优选方案，所述进气口设置在所述阀体的侧壁上。

作为优选方案，所述出气口设置在所述阀体的侧壁上。

作为优选方案，所述出气口在所述阀体的侧壁上具有对称设置的两个。

作为优选方案，所述阀体上具有法兰件，所述法兰件用于与真空设备的壳体连接。

作为优选方案，所述阀体的外壁上，在所述法兰件与所述进气口之间，套设有至少一个密封圈。

作为优选方案，所述阀体的外壁上，在所述进气口和所述出气口之间，套设有至少一个密封圈。

作为优选方案，所述阀芯上具有导向杆；

所述阀体内可拆卸地设置有导套，所述导套内具有导向孔，所述导向杆与所述导向孔间隙配合；

所述导套内可拆卸地连接有衬套，所述导向杆可滑动地插入在所述衬套内。

本发明还提供一种真空设备，包括：壳体，所述壳体内具有高压腔和低压腔，所述壳体内还具有连通所述高压腔和所述低压腔的安装通道，所述安装通道内设置有上述方案中任一项所述的单向阀，所述单向阀能够从所述高压腔朝向所述低压腔进行导通。

作为优选方案，所述壳体上在所述安装通道的外端设有用于连接法兰件的孔结构。

本发明技术方案，具有如下优点：

1.本发明提供的单向阀，沿轴向依次设有进气口和出气口，当安装在真空设备上后，可用于连通真空设备的高压腔和低压腔，并且在阀体内设置的阀芯通过弹性件保持在封闭状态，当真空设备的高压腔的压力过高时，可推动阀芯克服弹性件的弹性力朝向开启位置移动，从而使部分气体通过单向阀的气体通道回流到低压腔，以实现第一时间应对真空设备的突发工况。

2.本发明提供的单向阀，在壳体内通过导套和衬套，使阀芯的导向杆能够保持在长时间的低摩擦滑动，以避免阀芯卡死。

3.本发明提供的真空设备，在壳体内高压腔和低压腔之间，设置上述任一方案的单向阀，因此具有上述任一项所述的优点，在真空设备的前级气体压力异常增大时，通过机械方式实现第一时间的进行应对。

附图说明

为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明的实施例中提供的真空设备的主视剖视图。

图2为图1中单向阀的立体图。

图3为图2中单向阀的仰视角度立体图。

图4为单向阀的仰视图

图5为单向阀的主视剖视图。

图6为单向阀的爆炸图。

附图标记说明：

1、壳体；2、高压腔；3、低压腔；4、单向阀；5、阀体；6、进气口；7、出气口；8、阀芯；9、弹性件；10、法兰件；11、密封圈；12、导向杆；13、导套；14、衬套；15、卡簧；16、法兰孔。

具体实施方式

下面将结合附图对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

此外，下面所描述的本发明不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。

本实施例提供一种真空设备的具体实施方式，如图1所示，包括:壳体1，所述壳体1内具有高压腔2和低压腔3，工作时，将工艺气体从低压腔3朝向高压腔2进行压缩。所述壳体1上具有连通所述高压腔2和所述低压腔3的安装通道，所述安装通道内用于安装单向阀4，所述安装通道与所述单向阀4的外形相匹配，所述单向阀4能够从所述高压腔2朝向所述低压腔3进行导通。具体的，所述壳体1上在所述安装通道的外端设有用于连接法兰件10的孔结构，所述单向阀4通过法兰连接在所述壳体1上。

本实施例提供的真空设备，当真空设备的高压腔2的压力过高时，工艺气体可推动单向阀4的阀芯8，使阀芯8克服弹性件9的弹性力朝向开启位置移动，从而使部分工艺气体通过单向阀4的气体通道回流到低压腔3，以实现第一时间应对真空设备的突发工况

如图2-6所示，所述单向阀4包括：阀体5，所述阀体5沿轴向依次设有进气口6和出气口7，所述进气口6和所述出气口7均设置在所述阀体5的侧壁上，并且所述进气口6和所述出气口7的朝向相互垂直。其中，所述出气口7在所述阀体5的侧壁上具有对称设置的两个。

所述阀体5内设有阀芯8，所述阀芯8上连接有弹性件9，所述弹性件9具有驱动所述阀芯8对所述阀体5内的气体通道进行封闭的弹性力。

所述阀芯8在所述气体通道内朝向所述进气口6的方向设置，所述阀芯8具有克服所述弹性件9的弹性力朝向所述出气口7的方向进行移动的开启位置。

所述阀体5上具有法兰件10，所述法兰件10用于与真空设备的壳体1连接。

所述阀体5的外壁上，在所述法兰件10与所述进气口6之间，套设有一个密封圈11。所述阀体5的外壁上，在所述进气口6和所述出气口7之间，套设有一个密封圈11。

如图5、图6所示，所述阀芯8上具有导向杆12；所述阀体5内可拆卸地设置有导套13，所述导套13内具有导向孔，所述导向杆12与所述导向孔间隙配合；所述导套13内可拆卸地连接有衬套14，所述导向杆12可滑动地插入在所述衬套14内。其中，衬套14优选为：青铜或聚四氟乙烯(PTFE)复合材料，以最大限度降低滑动摩擦，防止卡死。

如图4所述，所述阀体5内，将导套13插入到阀体5内后，通过卡簧15将导套13可拆卸地固定设置。所述阀体5上用于与真空设备的壳体1安装的法兰件10的法兰孔16，与阀体5中心的距离L1和L2不等，可有防止单向阀4的方向装错。

需要说明的是，所述导套13、阀芯8和阀体5，可使用硅溶胶铸造工艺，最大限度减少机加工余量和机加工去除重量；材质为铸钢或铸铁，铸造后退火去应力；机加工：导套13和阀芯8的精加工使用车床，阀体5的大部分使用车床，安装孔使用铣床加工。

本实施例提供的单向阀4，还具有以下优点：开启时流量大，开启压力可调(调节弹性件9的弹力)，可从设备外部安装。

显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本发明的保护范围之中。