掌桥专利:专业的专利平台
掌桥专利
首页

溅射装置、薄膜制造方法

文献发布时间:2023-06-19 11:39:06


溅射装置、薄膜制造方法
相关技术
  • 溅射靶、溅射靶的制造方法、钛酸钡薄膜的制造方法和薄膜电容器的制造方法
  • 薄膜晶体管及薄膜晶体管基板及它们的制造方法及使用了它们的液晶显示装置及相关的装置及方法以及溅射靶及使用它成膜的透明导电膜及透明电极及相关的装置及方法
技术分类

06120113002883