一种真空用双向密封水路接头

技术领域

本发明主要涉及真空蒸发镀膜的技术领域，具体涉及一种真空用双向密封水路接头。

背景技术

真空镀膜机是在真空条件下利用蒸发、溅射或电弧等方式将镀膜材料沉积到工件表面的装置。

根据申请号为CN202121793547.3的专利文献所提供的一种真空镀膜用双水路接头部件可知，该接头部件采用在密封法兰上独特的进出水孔位置以及水头部进水孔、水头部出水孔位置与水头部进水孔的开口端、水头部出水孔的开口端呈夹角的设计特点，巧妙的解决了两只大流量水头与一只密封法兰之间的连接，在使用中其水气密封非常可靠，在大量使用时节约成本非常可观。该发明适用于真空镀膜用双水路接头部件，解决现有真空镀膜中电子枪大流量、离子源的大流量的冷却水回路只能采用两个独立的法兰水件来完成，造成安装成本增加、安装不方便的问题。

传统的密封接头由于 的限制，在接头组件处不能采用常见的阀门开关形式，通常的做法是要先清空工件架管道内的残余水量，然后才能断开水路接头组件，如果不进行上述操作，大量管道中的残留水流到真空室内，直接影响下个工作周期的抽空时间。

发明内容

本发明主要提供了一种真空用双向密封水路接头用以解决上述背景技术中提出的技术问题。

本发明解决上述技术问题采用的技术方案为：

一种真空用双向密封水路接头，包括流入接头，通过螺母连接于所述流入接头一侧的流出接头，所述流入接头远离所述流出接头一侧连接有流入侧接管，所述流出接头远离所述流入接头一侧连接有流出侧接管；

所述流入接头的进水端连接有第一密封圈，所述流入接头的内部设有与所述第一密封圈相连接的流入侧单向机构；

所述流出接头的出水端连接有流出侧水环，所述流出侧水环的壳体上滑动连接有滑动杆，所述滑动杆的一端外表面连接有第一流出侧封堵盘，所述第一流出侧封堵盘与所述流出侧水环之间设有套设于所述滑动杆外部的第一弹簧，所述滑动杆的另一端贯穿所述流出侧水环连接有第二流出侧封堵盘。

进一步的，所述流入侧单向机构包括设于所述流入接头靠近所述第一密封圈一侧的第一安装槽，设于所述第一安装槽的槽体内、且穿插于所述第一密封圈内部的流入侧封堵件，与所述流入侧封堵件相连接的导向杆，以及安装于所述导向杆远离所述流入侧封堵件一侧外表面的流入侧水环，所述流入侧水环与所述流入侧封堵件之间设有套设于所述导向杆外部的第二第二弹簧，在本发明中，通过流入侧封堵件的阻挡，从而防止水流回流，防止泵及驱动电机反转，保持水路中机械功能正常发挥。

进一步的，所述流入侧封堵件包括安装于所述第一安装槽内部、且套设于所述导向杆外部的支撑环，设于所述支撑环靠近所述流入侧水环一侧的凹槽，以及设于所述凹槽的槽体内、且与所述导向杆的外表面滑动连接的流入侧封堵盘，所述流入侧封堵盘的一侧表面与所述第二第二弹簧相抵接，在本发明中，通过水流推动流入侧封堵盘，以使流入侧封堵盘沿导向杆在流入侧水环上的凹槽槽体内反向滑动，从而利用流入侧封堵盘的滑动封堵其与流入侧水环之间所产生的间隙。

进一步的，所述流入接头与流入侧接管之间通过第一锁紧装置相连接，所述第一锁紧装置包括通过螺纹啮合连接于所述流入接头外表面的螺套，设于所述螺套的内部、且连接于所述流入侧接管外表面的凸环，以及安装于所述螺套的一侧表面、且与所述凸环相抵接的终止环，在本发明中，通过第一安装槽容纳，第一安装槽位于流入接头进水端，从而将第一密封圈和流入侧封堵件锁紧在第一安装槽内，减小第一密封圈和流入侧封堵件之间的间隙，提高水路接头的密封性。

进一步的，所述流出接头与流出侧接管之间通过第二锁紧装置相连接，所述第二锁紧装置与所述第一锁紧装置的结构相同，在本发明中，通过与第一锁紧装置结构相同的第二锁紧装置，将流出侧水环锁紧在流出接头内。

进一步的，所述流出接头靠近所述流入接头的一侧表面以及所述流入接头靠近所述流出接头的一端外表面均嵌入有第二密封圈，在本发明中，通过流出接头与流出接头之间通过第二密封圈减小间隙，提高水路接头的密封性。

进一步的，所述流入侧水环的内环表面安装有多个引流叶片，多个所述引流叶片环绕所述导向杆阵列设置，在本发明中，经过流入侧水环的水流通过呈圆形阵列设置的引流叶片的引导，从而引导水流在流入接头内进行均流流动。

进一步的，所述流出侧水环的壳体上设有多个供水流通过的通孔。

进一步的，所述第二流出侧封堵盘靠近所述流出侧水环的一侧表面安装有多个导流叶片，所述导流叶片与所述通孔相插接，在本发明中，通过流出侧水环的水流通过第二流出侧封堵盘上的导流叶片的引导在流出接头内进行均流流动。

进一步的，所述流出侧水环的外表面套设有第三密封圈，所述第三密封圈安装于所述流出接头的内部，在本发明中，通过第三密封圈的设置，减小第三密封圈与流出侧水环之间的间隙，提高水路接头的密封性。

与现有技术相比，本发明的有益效果为：

其一，本发明密封住水路接头两侧的水，防止管道中的水流入真空室内，造成下个工作循环抽真空困难的问题，具体为：通过流入接头和流出接头内部的液体配合第二第二弹簧推动流入侧封堵盘，利用流入侧封堵盘的滑动封堵其与流入侧水环之间所产生的间隙，防止液体流出，于此同时，通过第一弹簧推动第一流出侧封堵盘，利用第二流出侧封堵盘封堵流出侧水环的开口，通过在流入接头和流出接头相互远离的一端设置密封，以密封住水路接头两侧的水，防止管道中的水流入真空室内，造成下个工作循环抽真空困难的问题。

其二，本发明经过流入侧水环的水流通过呈圆形阵列设置的引流叶片的引导，从而引导水流在流入接头内进行均流流动，通过流出侧水环的水流通过第二流出侧封堵盘上的导流叶片的引导在流出接头内进行均流流动。

以下将结合附图与具体的实施例对本发明进行详细的解释说明。

附图说明

图1为本发明的结构示意图；

图2为图1中A区结构放大图；

图3为本发明的分解图；

图4为本发明流入侧接管的剖视图；

图5为本发明流入侧封堵件的结构示意图；

图6为本发明第二流出侧封堵盘的结构示意图；

图7为本发明流出接头的结构示意图；

图8为本发明的右视图。

图中：10、流入接头；11、第一密封圈；12、流入侧单向机构；121、第一安装槽；122、流入侧封堵件；1221、支撑环；1222、凹槽；1223、流入侧封堵盘；123、导向杆；124、流入侧水环；125、第二弹簧；126、引流叶片；20、流出接头；21、流出侧水环；211、通孔；212、第三密封圈；22、滑动杆；23、第一流出侧封堵盘；24、第二流出侧封堵盘；241、导流叶片；25、第一弹簧；30、流入侧接管；40、流出侧接管；50、第一锁紧装置；51、螺套；52、凸环；53、终止环；60、第二锁紧装置。

具体实施方式

为了便于理解本发明，下面将参照相关附图对本发明进行更加全面的描述，附图中给出了本发明的若干实施例，但是本发明可以通过不同的形式来实现，并不限于文本所描述的实施例，相反的，提供这些实施例是为了使对本发明公开的内容更加透彻全面。

需要说明的是，当元件被称为“固设于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上也可以存在居中的元件，当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件，本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本发明的技术领域的技术人员通常理解的含义相同，本文中在本发明的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本发明，本文所使用的术语“及／或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。

实施例，请参照附图1-8，一种真空用双向密封水路接头，包括流入接头10，通过螺母连接于所述流入接头10一侧的流出接头20，所述流入接头10远离所述流出接头20一侧连接有流入侧接管30，所述流出接头20远离所述流入接头10一侧连接有流出侧接管40；

所述流入接头10的进水端连接有第一密封圈11，所述流入接头10的内部设有与所述第一密封圈11相连接的流入侧单向机构12；

所述流出接头20的出水端连接有流出侧水环21，所述流出侧水环21的壳体上滑动连接有滑动杆22，所述滑动杆22的一端外表面连接有第一流出侧封堵盘23，所述第一流出侧封堵盘23与所述流出侧水环21之间设有套设于所述滑动杆22外部的第一弹簧25，所述滑动杆22的另一端贯穿所述流出侧水环21连接有第二流出侧封堵盘24。

具体的，请着重参照附图1和3，所述流入侧单向机构12包括设于所述流入接头10靠近所述第一密封圈11一侧的第一安装槽121，设于所述第一安装槽121的槽体内、且穿插于所述第一密封圈11内部的流入侧封堵件122，与所述流入侧封堵件122相连接的导向杆123，以及安装于所述导向杆123远离所述流入侧封堵件122一侧外表面的流入侧水环124，所述流入侧水环124与所述流入侧封堵件122之间设有套设于所述导向杆123外部的第二第二弹簧125；

所述流入侧封堵件122包括安装于所述第一安装槽121内部、且套设于所述导向杆123外部的支撑环1221，设于所述支撑环1221靠近所述流入侧水环124一侧的凹槽1222，以及设于所述凹槽1222的槽体内、且与所述导向杆123的外表面滑动连接的流入侧封堵盘1223，所述流入侧封堵盘1223的一侧表面与所述第二第二弹簧125相抵接；

需要说明的是，在本实施例中，通过第一安装槽121容纳第一密封圈11和流入侧封堵件122，水流穿过流入侧封堵件122后通过流入侧水环124上的孔体进入到流出接头20内部，形成水流的通路，且当水流回流时，通过流入侧封堵件122的阻挡，从而防止水流回流，防止泵及驱动电机反转，保持水路中机械功能正常发挥；

进一步的，当水流经过流入侧封堵件122时，通过水流推动流入侧封堵盘1223，以使流入侧封堵盘1223沿导向杆123在流入侧水环124上的凹槽1222槽体内滑动，此时，水流通过流入侧封堵盘1223因滑动而与流入侧水环124之间所产生的间隙进入到流出接头20内部，形成水流的通路；

当水流回流时，通过水流推动流入侧封堵盘1223，以使流入侧封堵盘1223沿导向杆123在流入侧水环124上的凹槽1222槽体内反向滑动，从而利用流入侧封堵盘1223的滑动封堵其与流入侧水环124之间所产生的间隙。

具体的，请着重参照附图1和3，所述流入接头10与流入侧接管30之间通过第一锁紧装置50相连接，所述第一锁紧装置50包括通过螺纹啮合连接于所述流入接头10外表面的螺套51，设于所述螺套51的内部、且连接于所述流入侧接管30外表面的凸环52，以及安装于所述螺套51的一侧表面、且与所述凸环52相抵接的终止环53；

所述流出接头20与流出侧接管40之间通过第二锁紧装置60相连接，所述第二锁紧装置60与所述第一锁紧装置50的结构相同；

需要说明的是，在本实施例中，通过螺套51在流入接头10外表面的转动，以带动螺套51上的凸环52沿螺旋线前进，通过凸环52推动终止环53，以使与终止环53相连接的流入侧接管30压在流入接头10上，完成流入接头10与流入侧接管30之间的对接与锁紧，且由于第一密封圈11和流入侧封堵件122通过第一安装槽121容纳，第一安装槽121位于流入接头10进水端，从而将第一密封圈11和流入侧封堵件122锁紧在第一安装槽121内，减小第一密封圈11和流入侧封堵件122之间的间隙，提高水路接头的密封性；

进一步的，通过与第一锁紧装置50结构相同的第二锁紧装置60，将流出侧水环21锁紧在流出接头20内。

具体的，请着重参照附图1、2和3，所述流出接头20靠近所述流入接头10的一侧表面以及所述流入接头10靠近所述流出接头20的一端外表面均嵌入有第二密封圈13；

所述流入侧水环124的内环表面安装有多个引流叶片126，多个所述引流叶片126环绕所述导向杆123阵列设置；

所述流出侧水环21的壳体上设有多个供水流通过的通孔211；

所述第二流出侧封堵盘24靠近所述流出侧水环21的一侧表面安装有多个导流叶片241，所述导流叶片241与所述通孔211相插接；

所述流出侧水环21的外表面套设有第三密封圈212，所述第三密封圈212安装于所述流出接头20的内部；

需要说明的是，在本实施例中，通过流出接头20与流出接头20之间通过第二密封圈13减小间隙，提高水路接头的密封性；

进一步的，经过流入侧水环124的水流通过呈圆形阵列设置的引流叶片126的引导，从而引导水流在流入接头10内进行均流流动；

进一步的，通过流出侧水环21的水流通过第二流出侧封堵盘24上的导流叶片241的引导在流出接头20内进行均流流动；

进一步的，通过第三密封圈212的设置，减小第三密封圈212与流出侧水环21之间的间隙，提高水路接头的密封性。

本发明的具体操作方式如下：

需要通过水路接头流通水流时，与流入侧接管30对接的波纹管内水流经过流入侧接管30进入流入接头10，水流穿过流入侧封堵件122后通过流入侧水环124上的孔体进入到流出接头20内部，形成水流的通路，且当水流回流时，通过流入侧封堵件122的阻挡，从而防止水流回流，防止泵及驱动电机反转，保持水路中机械功能正常发挥；

经过流入接头10的水流进入到流出接头20的内部，通过水流推开第一流出侧封堵盘23，于此同时，由于第一流出侧封堵盘23与第二流出侧封堵盘24分别安装于滑动杆22两端，第二流出侧封堵盘24通过其平移形成其与流出侧水环21之间的间隙，以使水流通过流出侧水环21上的孔体，并借由该间隙排出；

由于流入接头10与流入侧接管30之间通过第一锁紧装置50中的螺套51相连接，流出接头20与流出侧接管40之间通过第二锁紧装置60中的螺套51相连接，从而利用螺套51的拆卸，方便水路接头与水路之间的断开；

水路接头与水路断开时，通过流入接头10和流出接头20内部的液体配合第二第二弹簧125推动流入侧封堵盘1223，以使流入侧封堵盘1223沿导向杆123在流入侧水环124上的凹槽1222槽体内反向滑动，从而利用流入侧封堵盘1223的滑动封堵其与流入侧水环124之间所产生的间隙，防止液体流出，于此同时，通过第一弹簧25推动第一流出侧封堵盘23，由于第一流出侧封堵盘23与第二流出侧封堵盘24分别安装于滑动杆22两端，从而利用第二流出侧封堵盘24封堵流出侧水环21的开口，通过在流入接头10和流出接头20相互远离的一端设置密封，以密封住水路接头两侧的水，防止管道中的水流入真空室内，造成下个工作循环抽真空困难的问题。

上述结合附图对本发明进行了示例性描述，显然本发明具体实现并不受上述方式的限制，只要采用了本发明的方法构思和技术方案进行的这种非实质改进，或未经改进将本发明的构思和技术方案直接应用于其他场合的，均在本发明的保护范围之内。