基板处理装置

本申请主张基于在2021年7月30日提出的日本专利申请2021-126155号的优先权，在此通过引用而并入该申请的全部内容。

技术领域

本发明涉及一种处理基板的基板处理装置。

成为处理的对象的基板例如包括半导体晶片、液晶显示装置以及有机EL(Electroluminescence：电致发光)显示装置等的FPD(Flat Panel Display：平板显示器)用基板、光盘用基板、磁盘用基板、光磁盘用基板、光掩模用基板、陶瓷基板、太阳能电池用基板等。

背景技术

日本专利第6611893号公报所公开的基板液体处理装置包括进行预定的基板处理的处理单元、第一排气管、第二排气管以及排气切换单元。

第一排气管包括供碱性废气流动的单独排气管、供酸性废气流动的单独排气管、以及供有机废气流动的单独排气管。第二排气管将来自处理单元的废气引导至第一排气管的多个单独排气管。

排气切换单元将来自处理单元的废气的流出目的地切换至单独排气管的任一个。排气切换单元包括供来自第二排气管的废气流入的三个切换机构。各切换机构包括作为中空状的箱体的主体部和能够沿主体部的内周面滑动的阀芯。在主体部的内周面形成有废气吸入口以及外部空气吸入口。

在日本专利第6611893号公报所公开的基板液体处理中，通过使阀芯从封堵外部空气吸入口的位置移动至封堵废气吸入口的位置，能够使废气流入至对应的单独排气管，并且通过从封堵废气吸入口的位置移动至封堵外部空气吸入口的位置，能够使外部空气流入至对应的单独排气管。因此，通过在来自处理单元的废气向单独排气管的任一个流入的期间，使外部空气向剩余的单独排气管流入，从而能够抑制流入至各单独排气管的气体的流量的变动。

然而，例如，即使在某切换机构的阀芯封堵了废气吸入口的情况下，有时废气也从该阀芯与主体部的内周面之间的间隙向主体部的内部空间流入。这样，会有无法充分地抑制意料外的废气从废气吸入口向主体部的内部空间流入的情况。

发明内容

本发明的一个实施方式提供一种基板处理装置，包括：腔室，其收纳基板；主配管，其排出上述腔室内的环境气体；多个分支配管，其与上述主配管连接，各分支配管具有供环境气体从上述主配管流入的内部空间；多个上游闸板，其在上述分支配管的每一个中各设置一个，开闭对应的上述分支配管；多个下游闸板，其在上述分支配管的每一个中在比上述上游闸板靠下游侧的位置各设置一个，开闭对应的上述分支配管；上游切换部件，其在各上述内部空间中的比上述上游闸板靠下游侧且比上述下游闸板靠上游侧的上游空间允许来自与上述主配管不同的路径的外部环境气体的流入的状态、以及上述上游空间禁止上述外部环境气体的流入的状态之间切换上述上游空间的状态；以及下游切换部件，其在各上述内部空间中的比上述下游闸板靠下游侧的下游空间允许上述外部环境气体的流入的状态、以及上述下游空间禁止上述外部环境气体的流入的状态之间切换上述下游空间的状态。

根据该装置，通过由上游闸板开闭分支配管，能够切换腔室内的环境气体的排出目的地。详细而言，通过打开多个分支配管中的单一分支配管，关闭其它分支配管，能够将打开的分支配管作为腔室内的环境气体的排出目的地。

通过由与未成为环境气体的排出目的地的分支配管对应的下游切换部件使外部环境气体流入至下游空间，能够朝向对应的分支配管的下游输送外部环境气体。因此，能够防止因由上游闸板关闭分支配管而来自分支配管的环境气体的排出量产生变动的情况。

并且，由于在比上游切换部件靠下游侧的位置设有下游闸板，所以通过在关闭了下游闸板的状态下由上游切换部件使外部环境气体流入至上游空间，能够增大上游空间的压力。因此，能够抑制从腔室排出的环境气体通过上游闸板而流入至意料外的分支配管的情况。进而，在使来自腔室的环境气体流入至多个分支配管中的一个分支配管的期间，能够有效地抑制来自腔室的环境气体流入至其它分支配管。

在本发明的一个实施方式中，上述分支配管在设有上述上游闸板的位置具有在剖视时呈圆形的上游内周面。上述上游闸板包括上游阀芯，该上游阀芯具有沿着上述上游内周面的形状，且通过在上述分支配管内旋转来开闭上述分支配管。

根据该结构，能够利用简单结构的上游闸板来关闭分支配管。在采用了通过使上游阀芯旋转来开闭分支配管的结构的情况下，为了使上游阀芯在分支配管内顺畅地旋转，需要在分支配管的内周面与上游阀芯之间设置间隙。然而，在分支配管的内周面与上游阀芯之间设有间隙的情况下，有从腔室排出的环境气体通过分支配管的上游内周面与上游阀芯之间的间隙而流入至并非排出目的地的分支配管的担忧。

即使在该情况下，若通过在由下游闸板关闭了分支配管的状态下由上游切换部件使外部环境气体流入至上游空间来增大上游空间的压力，则能够抑制环境气体从上游内周面与上游阀芯之间的间隙向上游空间流入。由此，能够有效地抑制环境气体意料外地从腔室向分支配管流入的情况。

在本发明的一个实施方式中，上述分支配管在设有上述下游闸板的位置具有在剖视时呈圆形的下游内周面。上述下游闸板包括下游阀芯，该下游阀芯具有沿着上述下游内周面的形状，且通过在上述分支配管内旋转来开闭上述分支配管。

根据该结构，能够利用简单结构的下游闸板来在比上游闸板靠下游侧的位置关闭分支配管。在采用了通过使下游阀芯旋转来开闭分支配管的结构的情况下，为了使下游阀芯顺畅地在分支配管内旋转，需要在分支配管的内周面与下游阀芯之间设置间隙。

在由上游闸板充分地抑制了从腔室排出的环境气体向分支配管的流入的状态下，通过下游内周面与下游阀芯之间的间隙而流向比下游闸板靠下游侧的位置的环境气体大部分由利用上游切换部件而流入至上游空间的外部环境气体构成。

因此，即使在分支配管的内周面与下游阀芯之间存在间隙的情况下，与上游闸板相比，从腔室排出的环境气体通过该间隙的可能性也较低。因此，能够抑制从腔室排出的环境气体流向比分支配管靠下游侧的位置，并且能够使下游阀芯在分支配管内顺畅地旋转。

在本发明的一个实施方式中，还包括封闭构造，在上述下游阀芯关闭了上述分支配管的状态下，上述封闭构造将上述下游内周面以及上述下游阀芯之间封闭。因此，能够迅速且充分地提高分支配管的上游空间的压力。

在本发明的一个实施方式中，各上述分支配管具有将上述上游空间以及上述分支配管的周围的空间相连的上游开口。上述上游切换部件包括开闭上述上游开口的上游开闭闸板。因此，通过由上游开闭闸板打开上游开口，能够使分支配管的周围的环境气体流入至上游空间，通过由上游开闭闸板关闭上游开口，能够使分支配管的周围的环境气体向上游空间的流入停止。

在本发明的一个实施方式中，上述基板处理装置还包括送风部件，该送风部件设于上述分支配管的外部，经由上述上游开口向上述上游空间送入上述分支配管的周围的环境气体。通过经由上游开口从送风部件向上游空间送入分支配管的周围的环境气体，能够迅速且充分地提高上游空间的压力。

在本发明的一个实施方式中，上述基板处理装置还包括供给配管，该供给配管在比上述上游闸板靠下游侧且比上述下游闸板靠上游侧与上述分支配管连接。而且，上述上游切换部件在经由上述供给配管向上述上游空间供给气体的状态与停止经由上述供给配管向上述上游空间供给气体的状态之间切换上述上游空间的状态。通过经由供给配管向上游空间供给气体，能够迅速且充分地提高上游空间的压力。

在本发明的一个实施方式中，各上述分支配管具有将上述下游空间以及上述分支配管的周围的空间相连的下游开口。而且，上述下游切换部件包括开闭上述下游开口的下游开闭闸板。因此，通过由下游开闭闸板打开下游开口，能够使分支配管的周围的环境气体流入至下游空间，通过由下游开闭闸板关闭下游开口，能够使分支配管的周围的环境气体向下游空间的流入停止。

在本发明的一个实施方式中，各上述分支配管具有将上述上游空间以及上述分支配管的周围的空间相连的上游开口和将上述下游空间以及上述分支配管的周围的空间相连的下游开口。上述上游切换部件包括通过相对于上述分支配管滑动来开闭上述上游开口的上游滑动闸板。上述下游切换部件包括通过相对于上述分支配管滑动来开闭上述下游开口的下游滑动闸板。而且，上述基板处理装置还包括：连结部件，其将上述上游滑动闸板以及上述下游滑动闸板连结；以及滑动驱动机构，其通过驱动上述连结部件来使上述上游滑动闸板以及上述下游滑动闸板滑动。

因此，通过使上游滑动闸板相对于分支配管滑动而打开上游开口，能够使气体从分支配管的外部流入至上游空间。同样，通过使下游滑动闸板相对于分支配管滑动而打开下游开口，能够使气体从分支配管的外部流入至下游空间。

若上游滑动闸板以及下游滑动闸板通过连结部件连结，则能够驱动连结部件而使上游滑动闸板以及下游滑动闸板双方同时相对于分支配管滑动。由此，能够同时开闭上游开口以及下游开口。因此，与使用不同的驱动机构来进行上游滑动闸板的开闭以及下游滑动闸板的开闭的结构相比，能够简化用于使滑动闸板滑动的结构。

在本发明的一个实施方式中，上述基板处理装置还包括：上游开闭速度调整机构，其调整上述上游闸板的开闭速度；下游开闭速度调整机构，其调整上述下游闸板的开闭速度；以及下游流量调整机构，其控制上述下游切换部件的切换动作来调整向上述下游空间流入的上述外部环境气体的流量。

通过调整上游闸板以及下游闸板的开闭速度，能够使从主配管流入至分支配管的环境气体的流量逐渐变化。而且，通过调整向下游空间流入的外部环境气体的流量，能够使从分支配管排出的环境气体的流量逐渐变化。由此，能够抑制来自分支配管的环境气体的排出量的急剧变化。

在本发明的一个实施方式中，上述基板处理装置还包括：多个处理液喷嘴，其朝向上述腔室所收纳的基板喷出种类互不相同的处理液；以及控制器，其被编程为通过控制多个上述上游闸板、多个上述下游闸板、多个上述上游切换部件以及多个上述下游切换部件，根据向上述腔室所收纳的基板供给的处理液的种类来切换从上述主配管排出的环境气体所要流入的上述分支配管。

根据该结构，能够根据向腔室所收纳的基板供给的处理液的种类来切换排出主配管内的环境气体的分支配管。因此，能够使包含适当种类的处理液的气体及雾气的环境气体流入至各分支配管。

在本发明的一个实施方式中，上述控制器被编程为，在各上述分支配管中，在由上述上游闸板以及上述下游闸板关闭对应的上述分支配管之前，开始由上述上游切换部件进行的上述外部环境气体向上述上游空间的流入以及由上述下游切换部件进行的上述外部环境气体向上述下游空间的流入。因此，能够防止产生分支配管关闭且外部环境气体向下游空间的流入停止的状态。由此能够抑制从分支配管排出的环境气体的流量急剧降低。

在本发明的一个实施方式中，多个上述处理液喷嘴包括朝向上述腔室所收纳的基板喷出药液药液喷嘴、朝向上述腔室所收纳的基板供给冲洗液的冲洗液喷嘴、以及朝向上述腔室所收纳的基板供给有机溶剂的有机溶剂喷嘴。而且，多个上述分支配管具有第一分支配管和第二分支配管，上述第一分支配管在从上述药液喷嘴喷出药液的期间以及从上述冲洗液喷嘴喷出冲洗液的期间排出上述主配管内的环境气体，上述第二分支配管在从上述有机溶剂喷嘴喷出有机溶剂的期间排出上述主配管内的环境气体。

根据该结构，在从药液喷嘴喷出药液的期间以及从冲洗液喷嘴喷出冲洗液的期间，通过第一分支配管排出主配管内的环境气体。因此，包含药液的蒸气的药液环境气体通过主配管以及第一分支配管而排出。

此时，若由上游闸板以及下游闸板关闭第二分支配管，由上游切换部件使外部环境气体流入至第二分支配管的上游空间，则能够抑制药液环境气体向第二分支配管内流入。另外，若由下游切换部件使外部环境气体流入至第二分支配管的下游空间，则能够防止来自第二分支配管的环境气体的排出量产生变动。由此，能够抑制药液环境气体混入到从第二分支配管排出的环境气体中，并且能够抑制从第二分支配管排出的环境气体的排出量的变动。

通过参照附图在下文中说明的实施方式的说明，本发明中的上述或其它目的、特征以及效果会变得更加清楚。

附图说明

图1A是用于说明本发明的第一实施方式的基板处理装置的结构例的俯视图。

图1B是用于说明上述基板处理装置的结构的剖视图。

图2是用于说明上述基板处理装置所具备的处理单元的结构的示意图。

图3是上述处理单元的俯视图。

图4是用于说明上述基板处理装置所具备的排出单元的结构的示意图。

图5A是用于说明上述排出单元所具备的上游闸板的结构的示意图。

图5B是沿着图5A所示的VB-VB线的剖视图。

图6A是用于说明上述排出单元所具备的下游闸板的结构的示意图。

图6B是沿着图6A所示的VIB-VIB线的剖视图。

图7是用于说明上述排出单元所具备的上游滑动闸板以及下游滑动闸板的结构的示意图。

图8是用于说明上述基板处理装置的电气结构的框图。

图9是用于说明上述基板处理装置所进行的基板处理的一例的流程图。

图10是用于说明进行上述基板处理时的上述排出单元的状态的时序图。

图11A是用于说明进行上述基板处理时的上述排出单元的状况的示意图。

图11B是用于说明进行上述基板处理时的上述排出单元的状况的示意图。

图12是示出对进行上述基板处理的药液供给工序时的环境气体的排出状况进行了模拟的结果的表格。

图13A是用于说明变形例的基板处理的时序图。

图13B是用于说明变形例的上述基板处理的时序图。

图14是用于说明第一变形例的排出单元的示意图。

图15是用于说明第二变形例的排出单元的示意图。

图16A是用于说明第三变形例的排出单元的示意图。

图16B是用于说明第三变形例的排出单元的示意图。

图17A是用于说明第四变形例的排出单元的示意图。

图17B是用于说明第四变形例的排出单元的示意图。

图18是用于说明第二实施方式的基板处理装置所具备的处理单元的结构的示意图。

图19是第二实施方式的处理单元的俯视图。

图20是用于说明第二实施方式的基板处理装置所具备的排出单元的结构的示意图。

图21是用于说明第二实施方式的基板处理装置所进行的基板处理的一例的流程图。

图22A是用于说明第二实施方式的进行基板处理时的排出单元的状况的示意图。

图22B是用于说明第二实施方式的进行基板处理时的排出单元的状况的示意图。

图22C是用于说明第二实施方式的进行基板处理时的排出单元的状况的示意图。

具体实施方式

＜第一实施方式的基板处理装置的结构＞

图1A是用于说明本发明的第一实施方式的基板处理装置1的结构例的俯视图。图1B是用于说明基板处理装置1的结构的剖视图。

基板处理装置1是一片一片地处理基板W的单片式的装置。在本实施方式中，基板W具有圆板状。基板W是硅晶片等基板W，具有一对主面。

基板处理装置1包括：多个处理单元2，其分别各包括一个腔室4且处理基板W；多个排出单元5，其从多个腔室4分别排出环境气体；装载端口LP(收纳器保持单元)，其供对由处理单元2处理的多片基板W进行收纳的载体C(收纳器)载置；搬运机器人(第一搬运机器人IR及第二搬运机器人CR)，其在装载端口LP与处理单元2之间搬运基板W；以及控制器3，其对基板处理装置1所具备的各部件进行控制。

第一搬运机器人IR在载体C与第二搬运机器人CR之间搬运基板W。第二搬运机器人CR在第一搬运机器人IR与处理单元2之间搬运基板W。

各搬运机器人例如是包括一对多关节臂部AR和以上下相互分离的方式分别设于一对多关节臂部AR的前端的一对手部H的多关节臂机器人。

多个处理单元2沿由第二搬运机器人CR搬运基板W的搬运路径TR排列在搬运路径TR的两侧，而且，在上下方向上层叠地排列。多个处理单元2例如具有相同的结构。

多个处理单元2形成在俯视时分别配置于水平分离的四个位置的四个处理塔TW。各处理塔TW包括在上下方向上层叠的多个处理单元2。四个处理塔TW在从装载端口LP朝向第二搬运机器人CR延伸的搬运路径TR的两侧分别各配置有两个。

基板处理装置1包括收纳阀以及配管等的多个流体箱6。排出单元5的一部分被收纳于流体箱6。基板处理装置1还包括在俯视时包围多个处理单元2、多个流体箱6、多个排出单元5以及多个搬运机器人的框架7。框架7在俯视时具有大致方形形状。框架7包括下壁7a、上壁7b、以及将下壁7a及上壁7b连结的侧壁7c。

处理单元2包括腔室4和配置在腔室4内的处理杯8，在处理杯8内执行对基板W的处理。腔室4具有收纳基板W的收纳空间。

腔室4包括由第二搬运机器人CR向收纳空间搬入基板W或者从收纳空间搬出基板W的出入口4a(参照下述的图3)和开闭出入口4a的闸门单元4b(参照下述的图3)。

处理单元2能够利用多种处理液对基板W进行处理。作为在腔室4内向基板W供给的处理液，详细内容如下，但可以举出药液、冲洗液、有机溶剂等。

腔室4内(收纳空间内)的环境气体经由排出单元5排出，由废气处理部9进行处理。废气处理部9包括按照从腔室4排出的环境气体的每一种设置的多个排出管道10。

废气处理部9也可以包括对多个排出管道10内进行抽吸的抽吸装置(未图示)。抽吸装置包括设于排出管道10的中途或端部且对多个排出管道10进行抽吸的至少一个抽吸泵等。至少一个抽吸泵可以是与多个排出管道10一对一对应的多个抽吸泵，也可以是从所有排出管道10抽吸废气的一个抽吸泵。废气处理部9在设置基板处理装置1的无尘室或无尘室所附设的设备内设置。废气处理部9也可以为基板处理装置1的一部分。

多个排出单元5例如具有相同的结构。排出单元5包括与处理杯8连接且从腔室4排出环境气体的主配管11、以及与主配管11连接且从主配管11排出环境气体的多个分支配管12。

参照图1B，主配管11具有与处理杯8连接的上游端部11a、以及在俯视时位于腔室4的内侧且与多个分支配管12连接的下游端部11b。详细而言，主配管11包括位于腔室4内的上游主配管11A、与上游主配管11A连接且位于腔室4外(流体箱6)的中游主配管11B、以及与中游主配管11B及多个分支配管12连接且位于比框架7的下壁7a靠下方的下游主配管11C。

多个分支配管12位于比构成处理塔TW的多个腔室4靠下方。多个分支配管12与下游主配管11C连接且位于比框架7的下壁7a靠下方。

参照图1A，多个分支配管12在俯视时位于对应的腔室4的内侧。因此，与多个分支配管12位于对应的腔室4的外侧的情况相比，能够缩短主配管11的长度。多个分支配管12在俯视时在框架7的内侧位于搬运路径TR的外侧。多个分支配管12在俯视时配置于框架7的内侧，由此能够削减基板处理装置1的设置面积。

＜第一实施方式的处理单元的结构＞

图2是用于说明处理单元2的结构的示意图。图3是处理单元2的俯视图。

处理单元2还包括旋转卡盘13，该旋转卡盘13一边将基板W保持为预定的处理姿势，一边使基板W绕旋转轴线A1旋转。旋转轴线A1穿过基板W的中心部，与保持为处理姿势的基板W的各主面正交。处理姿势例如是图2所示的基板W的姿势，且是基板W的主面成为水平面的水平姿势。在处理姿势是水平姿势的情况下，旋转轴线A1铅直地延伸。旋转卡盘13是一边将基板W保持为处理姿势一边使基板W绕旋转轴线A1旋转的旋转保持部件的一例。

旋转卡盘13包括：旋转基座21，其具有沿着水平方向的圆板形状；多个卡盘销20，其在旋转基座21的上方把持基板W且将基板W保持在保持位置；旋转轴22，其与旋转基座21连结且沿铅垂方向延伸；以及旋转驱动机构23，其使旋转轴22绕其中心轴线(旋转轴线A1)旋转。

多个卡盘销20在旋转基座21的周向上空开间隔地配置于旋转基座21的上表面(参照图3)。

旋转驱动机构23例如包括电动马达等促动器。旋转驱动机构23通过使旋转轴22旋转，来使旋转基座21以及多个卡盘销20绕旋转轴线A1旋转。由此，基板W与旋转基座21以及多个卡盘销20一起绕旋转轴线A1旋转。

多个卡盘销20能够在和基板W的周缘部接触来把持基板W的闭合位置与从基板W的周缘部退避的打开位置之间移动。多个卡盘销20通过开闭机构(未图示)而移动。

多个卡盘销20在位于闭合位置时，把持基板W的周缘部将基板W保持为水平。开闭机构例如包括连杆机构和对连杆机构施加驱动力的电动马达或气缸等促动器。

处理杯8承接从旋转卡盘13所保持的基板W飞散的液体。处理杯8包括：多个(在图2的例中为两个)护罩25，其接住从旋转卡盘13所保持的基板W向外方飞散的液体；多个(在图2的例子中为两个)杯26，其分别接住由多个护罩25引导至下方的液体；以及圆筒状的外壁部件27，其包围多个护罩25及多个杯26。主配管11的上游端部11a与外壁部件27连接。

多个护罩25通过护罩升降驱动机构(未图示)而分别升降。护罩升降驱动机构例如包括驱动各护罩25使之升降的电动马达或气缸等促动器。

处理杯8的结构不限定于图2所示的结构。例如，设于处理杯8的护罩25的数量可以为一个，也可以为三个以上。设于处理杯8的杯26的数量可以为一个，也可以为三个以上。

排出单元5包括开闭主配管11的主配管闸板28。主配管闸板28是变更形成于配管内的空间或配管的开口的开口率来对在配管内流动的流体的流量进行调整的调整阀。以下说明的各闸板也相同。

主配管闸板28例如是旋转式的闸板、即蝶阀。主配管闸板28不限定于蝶阀，构成为能够调整主配管11内的流体的流量且能够开闭主配管11即可。

蝶阀包括具有沿着配管的内周面的形状的阀芯和使阀芯在配管内旋转的阀芯旋转轴。

在主配管闸板28是蝶阀的情况下，主配管闸板28包括具有沿着主配管11的内周面的形状的阀芯28a和使阀芯28a在主配管11内旋转的阀芯旋转轴28b。阀芯旋转轴28b可以构成为通过马达、气缸等促动器而旋转，也可以构成为通过手动而旋转。

在该实施方式中，主配管闸板28设于上游主配管11A，但主配管闸板28的位置不限定于此。即，主配管闸板28可以设于中游主配管11B，也可以设于下游主配管11C(亦参照图1B)。

处理单元2也可以包括配置于腔室4的上壁的送风单元29。送风单元29例如是一边清洁腔室4的外部空气一边将其送至腔室4内的FFU(风扇过滤单元)。通过送风单元29的作用来促进环境气体从腔室4向排出单元5的排出、即腔室4的排气。

处理单元2包括至少能够沿水平方向移动的多个移动喷嘴。多个移动喷嘴还包括：第一移动喷嘴31，其朝向旋转卡盘13所保持的基板W的上表面(上侧的主面)选择性地喷出药液的连续流及冲洗液的连续流；以及第二移动喷嘴32，其朝向旋转卡盘13所保持的基板W的上表面喷出有机溶剂的连续流。

第一移动喷嘴31是药液喷嘴的一例，也是冲洗液喷嘴的一例。第二移动喷嘴32是有机溶剂喷嘴的一例。第一移动喷嘴31以及第二移动喷嘴32均是处理液喷嘴的一例。即，处理单元2包括朝向腔室4所收纳的基板W喷出种类互不相同的处理液的多个处理液喷嘴。

第一移动喷嘴31以及第二移动喷嘴32通过多个喷嘴移动机构(第一喷嘴移动机构35以及第二喷嘴移动机构36)而分别沿水平方向移动。

各喷嘴移动机构能够使对应的喷嘴在中央位置与退避位置之间移动。中央位置是喷嘴与基板W的上表面的中央区域对置的位置。基板W的上表面的中央区域是指基板W的上表面中包括旋转中心(中央部)和旋转中心的周围的部分在内的区域。退避位置是喷嘴不与基板W的上表面对置的位置，且是处理杯8的外侧的位置。

各喷嘴移动机构包括支撑对应的喷嘴的臂部(第一臂部35a及第二臂部36a)和使对应的臂部沿水平方向移动的臂部移动机构(第一臂部移动机构35b及第二臂部移动机构36b)。各臂部移动机构包括电动马达、气缸等促动器。

与该实施方式不同，第一移动喷嘴31以及第二移动喷嘴32也可以构成为通过共用的喷嘴移动机构而一体移动。各移动喷嘴可以是如图3所示地绕预定的转动轴线转动的转动式喷嘴，也可以与图3所示的例子不同，是直线性地沿对应的臂部延伸的方向移动的直动式喷嘴。

第一移动喷嘴31以及第二移动喷嘴32也可以构成为也能够沿铅垂方向移动。

从第一移动喷嘴31喷出的药液例如含有过氧化氢溶液(H

氢氟酸、稀氢氟酸、缓冲氢氟酸、盐酸、HPM液、SPM液被分类为酸性药液。氨水、APM液、TMAH液被分类为碱性药液。

药液也可以为含有过氧化氢溶液、氢氟酸、稀氢氟酸、缓冲氢氟酸、盐酸、HPM液、SPM液中的至少一种的液体。并且，药液也可以为含有氨水、APM液、TMAH液中的至少一种的液体。

从第一移动喷嘴31喷出的冲洗液例如是DIW(去离子水)等水。但是，冲洗液不限定于DIW。冲洗液不限定于DIW，是含有DIW、碳酸水、电解离子水、稀释浓度(例如为1ppm以上且100ppm以下)的盐酸水、稀释浓度(例如为1ppm以上且100ppm以下)的氨水、还原水(氢水)中的至少一种的液体。

第一移动喷嘴31与向第一移动喷嘴31引导流体的共用配管40连接。在共用配管40连接有向共用配管40供给药液的药液配管41和向共用配管40供给冲洗液的冲洗液配管42。共用配管40也可以经由混合阀(未图示)而与药液配管41以及冲洗液配管42连接。

在共用配管40设有开闭共用配管40的共用阀50。在药液配管41设有开闭药液配管41的药液阀51。在冲洗液配管42设有开闭冲洗液配管42的冲洗液阀52。

虽未图示，但共用阀50包括在内部设有阀座的阀体、开闭阀座的阀芯、以及使阀芯在打开位置与关闭位置之间移动的促动器。其它阀也具有相同的结构。

若药液阀51以及共用阀50打开，则从第一移动喷嘴31喷出药液的连续流。若冲洗液阀52以及共用阀50打开，则从第一移动喷嘴31喷出冲洗液的连续流。

从第二移动喷嘴32喷出的有机溶剂例如是异丙醇(IPA)，但不限定于此。

作为从第二移动喷嘴32喷出的有机溶剂，能够举出乙醇(EtOH)、异丙醇等醇类、乙二醇单甲醚、乙二醇单乙醚等乙二醇单烷基醚类、乙二醇单甲醚醋酸酯、乙二醇单乙醚醋酸酯等乙二醇单烷基醚醋酸酯类、丙二醇单甲醚(PGME)、丙二醇单乙醚(PGEE)等丙二醇单烷基醚类、乳酸甲酯、乳酸乙酯(EL)等乳酸酯类、甲苯、二甲苯等芳香族烃类、甲乙酮、2-庚酮、环己酮等酮类等。并且，作为以溶媒的方式在亲水性成膜液中含有的有机溶剂，也能够使用丙二醇单甲醚乙酸酯(PGMEA)。上述有机溶剂能够单独或者混合两种以上来使用。

在第二移动喷嘴32连接有向第二移动喷嘴32供给有机溶剂的有机溶剂配管43。在有机溶剂配管43设有开闭有机溶剂配管43的有机溶剂阀53。若有机溶剂阀53打开，则从第二移动喷嘴32喷出有机溶剂的连续流。

被供给至基板W的上表面的处理液从基板W的周缘部飞散而由处理杯8承接。由处理杯8承接了的处理液通过排液配管(未图示)回收或废弃。

根据被供给至基板W的上表面的处理液的种类，从腔室4排出的环境气体所含有的物质变化。详细而言，当向基板W的上表面供给药液时，从腔室4排出的环境气体(药液环境气体)含有药液的蒸气及雾气。当向基板W的上表面供给有机溶剂时，从腔室4排出的环境气体(有机溶剂环境气体)含有有机溶剂的蒸气及雾气。在下述的基板处理(参照下述的图9)中，在药液之后向基板W供给冲洗液。因此，在开始向基板W的上表面供给冲洗液后直到经过一定时间为止，从腔室4排出的环境气体是药液环境气体。

也会有从腔室4排出的药液环境气体不含有药液的雾气的情况。同样也会有从腔室4排出的有机溶剂环境气体不含有有机溶剂的雾气的情况。

＜第一实施方式的排出单元的结构＞

图4是用于说明排出单元5的结构的示意图。以下，着眼于多个排出单元5中的一个进行说明。在第一实施方式中，对在各排出单元5分别各设有两个分支配管12的例子进行说明。

两个分支配管12包括排出药液环境气体的第一分支配管12A和排出有机溶剂环境气体的第二分支配管12B。各分支配管12具有与主配管11的下游端部11b连接的上游端和与对应的排出管道10连接的下游端。各分支配管12具有能够使来自主配管11的环境气体流入的内部空间62。

排出管道10设为数量与分支配管12的数量相同，向对应的排出管道10排出各分支配管12内的环境气体。将与第一分支配管12A连接的排出管道10称作第一排出管道10A，将与第二分支配管12B连接的排出管道10称作第二排出管道10B。

各分支配管12可以整体与主配管11一体形成，也可以整体与主配管11分体形成而与主配管11机械式地接合。在该实施方式中，分支配管12包括与主配管11一体形成的一体形成部分14和通过螺纹件等接合部件(未图示)而与一体形成部分14机械式地接合的分体形成部分15。分体形成部分15通过利用螺纹件等接合部件(未图示)将多个配管部件机械式地接合来形成。

排出单元5包括多个上游闸板60、多个下游闸板61、多个上游滑动闸板65以及多个下游滑动闸板66。

上游闸板60在各分支配管12分别各设有一个。各上游闸板60开闭对应的分支配管12。详细而言，上游闸板60对由对应的分支配管12的内部空间62构成的流路进行开闭。通过由上游闸板60关闭分支配管12，来禁止环境气体从比上游闸板60靠上游侧的位置向比上游闸板60靠下游侧的位置流入。上游闸板60例如是蝶阀。

有时将多个上游闸板60中的设于第一分支配管12A的上游闸板60称作第一上游闸板60A，将设于第二分支配管12B的上游闸板60称作第二上游闸板60B。

下游闸板61在各分支配管12分别各设有一个。各下游闸板61在对应的分支配管12中位于比上游闸板60靠下游侧的位置。各下游闸板61开闭对应的分支配管12。详细而言，下游闸板61对由分支配管12的内部空间62构成的分支流路进行开闭。通过由下游闸板61关闭分支配管12，来禁止环境气体从比下游闸板61靠上游侧的位置向比下游闸板61靠下游侧的位置流入。下游闸板61例如是蝶阀。

有时将多个下游闸板61中的设于第一分支配管12A的下游闸板61称作第一下游闸板61A，将设于第二分支配管12B的下游闸板61称作第二下游闸板61B。

内部空间62包括比上游闸板60靠下游侧且比下游闸板61靠上游侧的上游空间63和比下游闸板61靠下游侧的下游空间64。各分支配管12具有将上游空间63与分支配管12的周围的空间(分支配管12的外部)相连(连接)的上游开口63a、以及将下游空间64与分支配管12的周围的空间(分支配管12的外部)相连(连接)的下游开口64a。

上游空间63经由上游开口63a而与分支配管12的周围的空间连通。下游空间64经由下游开口64a而与分支配管12的周围的空间连通。

有时将多个分支配管12的内部空间62中的第一分支配管12A的内部空间62称作第一内部空间62A，将第二分支配管12B的内部空间62称作第二内部空间62B。

上游滑动闸板65构成为，打开上游开口63a而使分支配管12的周围的环境气体流入至上游空间63，或者关闭上游开口63a而使分支配管12的周围的环境气体向上游空间63的流入停止。

下游滑动闸板66构成为，打开下游开口64a而使分支配管12的周围的环境气体流入至下游空间64，或者关闭下游开口64a而使分支配管12的周围的环境气体向下游空间64的流入停止。

在该实施方式中，有时将分支配管12的周围的环境气体称作外部环境气体。外部环境气体是指从与主配管11不同的路径流入至上游空间63的环境气体。上游滑动闸板65是开闭上游开口63a的上游开闭闸板的一例。下游滑动闸板66是开闭下游开口64a的下游开闭闸板的一例。

有时将多个上游滑动闸板65中的设于第一分支配管12A的上游滑动闸板65称作第一上游滑动闸板65A，将设于第二分支配管12B的上游滑动闸板65称作第二上游滑动闸板65B。

有时将多个下游滑动闸板66中的设于第一分支配管12A的下游滑动闸板66称作第一下游滑动闸板66A，将设于第二分支配管12B的下游滑动闸板66称作第二下游滑动闸板66B。在由滑动闸板开闭的开口呈狭缝状的情况下，滑动闸板也称作狭缝闸板。

通过由上游闸板60开闭分支配管12，能够切换腔室4内的环境气体的排出目的地。详细而言，如图4所示，通过打开一方的分支配管12(例如第一分支配管12A)，关闭另一方的分支配管12(例如第二分支配管12B)，能够将一方的分支配管12作为腔室4内的环境气体的排出目的地。并且，通过由下游闸板61关闭分支配管12，能够抑制来自主配管11的环境气体向未成为排出目的地的分支配管12流入。

通过由与未成为环境气体的排出目的地的分支配管12对应的下游滑动闸板66使外部环境气体流入至下游空间64，能够朝向对应的分支配管12的下游输送外部环境气体。因此，能够防止因由上游闸板60关闭分支配管12而来自分支配管12的环境气体的排出量产生变动的情况。

图5A是用于说明上游闸板60的结构的示意图。图5B是沿着图5A所示的VB-VB线的剖视图。

分支配管12在设有上游闸板60的位置具有上游筒状部70。上游筒状部70具有在剖视时呈圆形的上游内周面70a。上游闸板60包括具有沿着上游内周面70a的形状即圆板状的上游阀芯71和使上游阀芯71在分支配管12内旋转的上游阀芯旋转机构72。

上游阀芯旋转机构72包括将旋转力传递至上游阀芯71的上游旋转轴73、以及与上游旋转轴73同轴地配置于相对于上游阀芯71而与上游旋转轴73相反的一侧且将上游阀芯71支撑为能够旋转的上游支撑轴74。

上游阀芯71与上游旋转轴73以及上游支撑轴74一起绕作为上游旋转轴73的中心轴线的上游旋转轴线A2旋转。上游旋转轴线A2与作为上游阀芯71的中心轴线的上游阀芯中心轴线A3正交。上游阀芯71通过在分支配管12内绕上游旋转轴线A2旋转，来开闭分支配管12。在上游闸板60(上游阀芯71)关闭分支配管12的状态下，上游阀芯71的上游阀芯中心轴线A3与上游内周面70a的中心轴线一致。在上游闸板60(上游阀芯71)关闭分支配管12的状态下，在上游阀芯71与上游内周面70a之间存在上游间隙75。

排出单元5还包括驱动上游闸板60而使上游闸板60开闭分支配管12的上游闸板驱动机构67。上游闸板驱动机构67经由上游旋转轴73驱动上游阀芯71，能够使上游阀芯71在上游阀芯71关闭分支配管12的关闭位置与上游阀芯71打开分支配管12的打开位置之间移动。上游闸板驱动机构67例如包括电动马达或气缸等促动器。

通过采用蝶阀作为上游闸板60，能够用简单的结构来关闭分支配管12。通过在分支配管12的上游内周面70a与上游阀芯71之间设置间隙(上游间隙75)，能够使上游阀芯71在分支配管12内顺畅地旋转。

图6A是用于说明下游闸板61的结构的示意图。图6B是沿着图6A所示的VIB-VIB线的剖视图。

分支配管12在设有下游闸板61的位置具有下游筒状部80。下游筒状部80具有在剖视时呈圆形的下游内周面80a。下游闸板61包括具有沿着下游内周面80a的形状即圆板状的下游阀芯81和使下游阀芯81在分支配管12内旋转的下游阀芯旋转机构82。

下游阀芯旋转机构82包括将旋转力传递至下游阀芯81的下游旋转轴83、以及与下游旋转轴83同轴地配置于相对于下游阀芯81而与下游旋转轴83相反的一侧且将下游阀芯81支撑为能够旋转的下游支撑轴84。

下游阀芯81与下游旋转轴83以及下游支撑轴84一起绕作为下游旋转轴83的中心轴线的下游旋转轴线A4旋转。下游旋转轴线A4与作为下游阀芯81的中心轴线的下游阀芯中心轴线A5正交。下游阀芯81通过在分支配管12内绕下游旋转轴线A4旋转，来开闭分支配管12。

在下游闸板61(下游阀芯81)关闭分支配管12的状态下，下游阀芯81的下游阀芯中心轴线A5与下游内周面80a的中心轴线一致。在下游闸板61(下游阀芯81)关闭分支配管12的状态下，在下游阀芯81与下游内周面80a之间存在下游间隙85。

排出单元5还包括驱动下游闸板61而使下游闸板61开闭分支配管12的下游闸板驱动机构68。下游闸板驱动机构68经由下游旋转轴83驱动下游闸板61，能够使下游闸板61在下游闸板61关闭分支配管12的关闭位置与下游闸板61打开分支配管12的打开位置之间移动。下游闸板驱动机构68例如包括电动马达或气缸等促动器。

通过采用蝶阀作为下游闸板61，能够用简单的结构来关闭分支配管12。通过在分支配管12的下游内周面80a与下游阀芯81之间设置间隙(下游间隙85)，能够使下游阀芯81在分支配管12内顺畅地旋转。

排出单元5包括在下游阀芯81关闭分支配管12的状态下将下游内周面80a以及下游阀芯81之间封闭的封闭构造86。封闭构造86例如是以非接触的方式将下游内周面80a与下游阀芯81之间封闭的迷宫密封构造。迷宫密封构造是两个部件以稍微在彼此的表面之间设有间隙的状态凹凸卡合的构造。凹凸卡合是指凹部与凸部嵌合。因此，下游闸板61与上游闸板60相比封闭性较高，从而与上游闸板60相比能够有效地抑制环境气体的通过。

通过设置封闭构造86，能够在分支配管12的下游内周面80a与下游阀芯81之间设置间隙(下游间隙85)以便能够使下游阀芯81顺畅地旋转，并且能够进一步抑制环境气体通过下游闸板61。

封闭构造86包括：多个阀芯密封部件88，其具有沿下游阀芯81的周向延伸的大致半圆弧状且设于下游阀芯81的周缘部；以及多个配管密封部件87，其具有沿下游内周面80a的周向延伸的大致半圆弧状且设于下游内周面80a。

在下游阀芯81位于关闭位置的状态下，多个配管密封部件87与多个阀芯密封部件88分别以非接触的方式凹凸卡合。

各阀芯密封部件88的在下游阀芯81的周向上的一端部在与下游旋转轴83之间隔开间隔，各阀芯密封部件88的在下游阀芯81的周向上的另一端部在与下游支撑轴84之间隔开间隔。

多个阀芯密封部件88包括第一阀芯密封部件88A和第二阀芯密封部件88B。第一阀芯密封部件88A设于下游阀芯81的一对圆形状面中的一方。第二阀芯密封部件88B设于下游阀芯81的一对圆形状面中的另一方。第一阀芯密封部件88A以及第二阀芯密封部件88B具有若使第一阀芯密封部件88A以及第二阀芯密封部件88B的一方绕下游旋转轴线A4旋转180度，则相互重合的旋转对称的形状。

各配管密封部件87的在下游内周面80a的周向上的一端部在与下游旋转轴83之间隔开间隔，各配管密封部件87的在下游内周面80a的周向上的另一端部在与下游支撑轴84之间隔开间隔。

多个配管密封部件87包括：第一配管密封部件87A，其在下游阀芯81位于关闭位置的状态下与第一阀芯密封部件88A在下游内周面80a的轴向上对置；以及第二配管密封部件87B，其在下游阀芯81位于关闭位置的状态下与第二阀芯密封部件88B在下游内周面80a的轴向上对置。

第一配管密封部件87A以及第二配管密封部件87B具有若使第一配管密封部件87A以及第二配管密封部件87B的一方绕下游旋转轴线A4旋转180度，则相互重合的旋转对称的形状。因此，能够通过使下游阀芯81向绕下游旋转轴线A4的一方侧旋转来将下游阀芯81配置于关闭位置，并且能够通过使下游阀芯81向绕下游旋转轴线A4的另一方侧旋转来将下游阀芯81配置于打开位置。

即，通过简单的旋转动作，能够切换至分支配管12的下游内周面80a与下游阀芯81之间由封闭构造86封闭的状态，或者能够切换至分支配管12的下游内周面80a与下游阀芯81之间未封闭的状态。

封闭构造86也可以与图6A及图6B所示的构造不同，成为多个阀芯密封部件88与多个配管密封部件87分别接触的接触型的封闭构造86。

图7是用于说明上游滑动闸板65以及下游滑动闸板66的结构的示意图。

各分支配管12包括位于比上游筒状部70靠下游侧且比下游筒状部80靠上游侧的在剖视时呈方形的上游箱型部89、以及位于比下游筒状部80靠下游侧的下游箱型部90。上游开口63a贯通上游箱型部89的平坦的壁部，下游开口64a贯通下游箱型部90的平坦的壁部。在该实施方式中，由上游箱型部89、下游箱型部90以及上游筒状部70构成了单一配管部件。

上游滑动闸板65通过相对于分支配管12滑动来开闭上游开口63a。下游滑动闸板66通过相对于分支配管12滑动来开闭下游开口64a。

排出单元5还包括：连结部件91，其将上游滑动闸板65及下游滑动闸板66连结；以及滑动驱动机构92(参照图4)，其通过驱动连结部件91，使上游滑动闸板65以及下游滑动闸板66滑动。滑动驱动机构92例如包括气缸或电动马达等促动器。

上游滑动闸板65通过滑动驱动机构92而移动至关闭上游开口63a的闭锁位置、打开上游开口63a的敞开位置、以及上述两个位置之间的位置。上游滑动闸板65例如沿设于上游开口63a的缘部的导向件移动。

通过使上游滑动闸板65相对于分支配管12滑动而打开上游开口63a，能够使外部环境气体从分支配管12的外部流入至上游空间63。若为滑动式的闸板，则不需要将用于使外部环境气体流入至上游空间63的配管等与分支配管12连接，从而能够简化结构。

上游滑动闸板65能够在上游空间63允许外部环境气体的流入的流入允许状态以及上游空间63禁止外部环境气体的流入的流入禁止状态之间切换上游空间63的状态。因此，上游滑动闸板65是上游切换部件的一例。

“在流入允许状态以及流入禁止状态之间切换上游空间63的状态”是指，能够从流入允许状态向流入禁止状态切换上游空间63的状态，而且能够从流入禁止状态向流入允许状态切换上游空间63的状态。

下游滑动闸板66通过滑动驱动机构92而移动至关闭下游开口64a的闭锁位置、打开下游开口64a的敞开位置、以及上述两个位置之间的位置。下游滑动闸板66例如沿设于下游开口64a的缘部的导向件移动。

通过使下游滑动闸板66相对于分支配管12滑动而打开下游开口64a，能够使外部环境气体从分支配管12的外部流入至下游空间64。若为滑动式的闸板，则不需要将用于使外部环境气体流入至下游空间64的配管等与分支配管12连接，从而能够简化结构。

下游滑动闸板66能够在下游空间64允许外部环境气体的流入的流入允许状态以及下游空间64禁止外部环境气体的流入的流入禁止状态之间切换下游空间64的状态。因此，下游滑动闸板66是下游切换部件的一例。

“在流入允许状态以及流入禁止状态之间切换下游空间64的状态”是指，能够从流入允许状态向流入禁止状态切换下游空间64的状态，而且能够从流入禁止状态向流入允许状态切换下游空间64的状态。

根据第一实施方式的排出单元5，在比上游滑动闸板65靠下游侧的位置设有下游闸板61。因此，通过由上游滑动闸板65打开上游开口63a而使外部环境气体流入至上游空间63，能够使上游空间63的压力增大。分支配管12的周围的气压可以与上游空间63的气压相等，也可以比上游空间63的气压高或低。

详细而言，通过使上游空间63的压力比主配管11内的空间的压力高，能够抑制环境气体从上游内周面70a与上游阀芯71之间的上游间隙75向上游空间63流入。由此，能够有效地抑制来自腔室4的环境气体向并非来自腔室4的环境气体的排出目的地的分支配管12流入。将上游空间63的压力比主配管11内的空间的压力高的状态称作正压状态。因此，上游滑动闸板65也称作气压闸板。

此外，环境气体也可以从上游空间63朝向主配管11逆流，逆流的环境气体向作为排出目的地的分支配管12流入。由于逆流的环境气体基本上由外部环境气体构成，所以即使流入至作为排出目的地的分支配管12，也基本上不对排出管道10造成影响。

通过使上游空间63的压力增大，能够抑制从腔室4排出的环境气体流入至意料外的分支配管12。因此，在使环境气体从腔室4流入至多个分支配管12中的一个分支配管12的期间，能够有效地抑制来自腔室4的环境气体流入至其它分支配管12。

另外，根据第一实施方式的排出单元5，在从腔室4排出的环境气体向分支配管12的流入由上游闸板60充分地抑制了的状态下，通过下游间隙85而流向比下游闸板61靠下游侧的位置的环境气体大部分由经由上游开口63a而流入至上游空间63的外部环境气体构成。

因此，即使在分支配管12的内周面与下游阀芯81之间存在下游间隙85的情况下，与上游闸板60相比，从腔室4排出的环境气体通过下游间隙85的可能性也较低。其结果，能够抑制从腔室4排出的环境气体流向比分支配管12靠下游侧的位置，并且能够使下游阀芯81在分支配管12内顺畅地旋转。

并且，根据第一实施方式的排出单元5，在下游阀芯81关闭分支配管12的状态下，下游内周面80a以及下游阀芯81之间由封闭构造86封闭。因此，能够迅速且充分地提高分支配管12的上游空间63的压力。

另外，下游阀芯81位于比下游滑动闸板66靠上游侧。因此，即使在由上游闸板60以及下游闸板61关闭分支配管12的状态下，也能够向排出管道10送入外部环境气体。

另外，根据第一实施方式的排出单元5，上游滑动闸板65以及下游滑动闸板66通过连结部件91连结。因此，能够驱动连结部件91使上游滑动闸板65以及下游滑动闸板66双方相对于分支配管12同时滑动。由此，能够同时开闭上游开口63a以及下游开口64a。因此，与使用不同的驱动机构来进行上游滑动闸板65的开闭以及下游滑动闸板66的开闭的结构相比，能够简化用于使滑动闸板滑动的结构。

图8是用于说明与基板处理装置1的控制相关的构成例的框图。控制器3具备微型计算机，按照预定的控制程序对基板处理装置1所具备的控制对象进行控制。

具体而言，控制器3包括处理器3A(CPU)和存储有控制程序的存储器3B。控制器3构成为，处理器3A通过执行控制程序，来执行用于基板处理的各种控制。

尤其是，控制器3被编程为对第一搬运机器人IR、第二搬运机器人CR、旋转驱动机构23、第一喷嘴移动机构35、第二喷嘴移动机构36、上游闸板驱动机构67、下游闸板驱动机构68、滑动驱动机构92、共用阀50、药液阀51、冲洗液阀52、有机溶剂阀53等进行控制。

通过由控制器3控制阀，对来自对应的喷嘴的流体的喷出的执行及停止、来自对应的喷嘴的流体的喷出流量进行控制。通过由控制器3控制上游闸板驱动机构67，能够控制上游闸板60的开闭。通过由控制器3控制下游闸板驱动机构68，能够开闭下游闸板61的开闭。通过由控制器3控制滑动驱动机构92，能够控制上游滑动闸板65以及下游滑动闸板66的开闭。

通过由控制器3控制基板处理装置1所具备的各部件来执行以下所示的各工序。换言之，控制器3被编程为执行以下所示的各工序。

另外，图8中示出代表性的部件，但并不意味着未图示的部件不受控制器3的控制，控制器3能够适当地控制基板处理装置1所具备的各部件。图8中，还一并地记载了在下述的各变形例以及第二实施方式中说明的部件，这些部件也由控制器3控制。

＜基板处理的一例＞

图9是用于说明由基板处理装置1执行的基板处理的一例的流程图。图9中，主要示出了通过由控制器3执行程序而实现的处理。

在基板处理装置1所进行的基板处理中，例如，如图9所示，依次执行基板搬入工序(步骤S1)、药液供给工序(步骤S2)、冲洗液供给工序(步骤S3)、有机溶剂供给工序(步骤S4)、旋转烘干工序(步骤S5)以及基板搬出工序(步骤S6)。以下，主要参照图2、图3以及图9对基板处理的详细内容进行说明。

首先，未处理的基板W由第二搬运机器人CR(参照图1A)搬入至处理单元2，并传送至旋转卡盘13(基板搬入工序：步骤S1)。由此，基板W由旋转卡盘13水平地保持(基板保持工序)。在基板W被旋转卡盘13保持的状态下，旋转驱动机构23开始基板W的旋转(基板旋转工序)。基板W持续由旋转卡盘13保持直到旋转烘干工序(步骤S5)结束为止。

在第二搬运机器人CR退避至处理单元2外之后，执行向基板W的上表面供给药液的药液供给工序(步骤S2)。具体而言，第一喷嘴移动机构35使第一移动喷嘴31移动而使第一移动喷嘴31与基板W的上表面对置。通过在该状态下打开共用阀50以及药液阀51，来从第一移动喷嘴31朝向基板W的上表面喷出(供给)药液的连续流(药液喷出工序、药液供给工序)。由此，利用药液对基板W的上表面进行处理。

在药液供给工序(步骤S2)之后，执行向基板W的上表面供给冲洗液的冲洗液供给工序(步骤S3)。具体而言，一边维持第一移动喷嘴31与基板W的上表面对置且共用阀50打开的状态，一边关闭药液阀51而打开冲洗液阀52。由此，停止从第一移动喷嘴31喷出药液。另外，从第一移动喷嘴31朝向基板W的上表面喷出(供给)冲洗液的连续流(冲洗液喷出工序、冲洗液供给工序)。由此，基板W的上表面的药液与冲洗液一起向基板W外排出，对基板W的上表面进行清洗。

在冲洗液供给工序(步骤S3)之后，执行向基板W的上表面供给有机溶剂的有机溶剂供给工序(步骤S4)。具体而言，停止从第一移动喷嘴31喷出冲洗液，而且使第一移动喷嘴31退避。然后，由第二喷嘴移动机构36使第二移动喷嘴32与基板W的上表面对置并打开有机溶剂阀53。由此，从第二移动喷嘴32朝向基板W的上表面喷出(供给)有机溶剂的连续流(有机溶剂喷出工序、有机溶剂供给工序)。由此，由有机溶剂置换基板W的上表面的冲洗液。

在基板处理中使用的有机溶剂优选挥发性比冲洗液的挥发性高。这样一来，通过用有机溶剂置换冲洗液，能够在之后的旋转烘干工序中使基板W良好地干燥。在基板处理中使用的有机溶剂优选表面张力比冲洗液的表面张力低。这样一来，在基板W的上表面形成有凹凸图案的情况下，能够降低在使基板W的上表面干燥时作用于凹凸图案的表面张力，从而能够抑制凹凸图案的塌陷。

接着，执行使基板W高速旋转来使基板W的上表面干燥的旋转烘干工序(步骤S5)。具体而言，关闭有机溶剂阀53而停止向基板W的上表面供给有机溶剂。

然后，旋转驱动机构23加速基板W的旋转，使基板W高速旋转(例如1500rpm)。由此，对附着于基板W的处理液(主要是有机溶剂)作用较大的离心力，从而处理液被甩到基板W的周围。

在旋转烘干工序(步骤S5)之后，旋转驱动机构23使基板W的旋转停止。之后，第二搬运机器人CR进入处理单元2，从旋转卡盘13接收处理完毕的基板W，并向处理单元2外搬出(基板搬出工序：步骤S6)。

该基板W从第二搬运机器人CR向第一搬运机器人IR传送，并由第一搬运机器人IR收纳于载体C。在从处理单元2搬出处理完毕的基板W后，由第二搬运机器人CR将下一个未处理的基板W搬入至处理单元2，开始对该基板W进行基板处理。

＜基板处理中的排出单元的状况＞

接下来，对基板处理中的排出单元5的状况进行说明。图10是用于说明进行基板处理时的排出单元5的状态的时序图。图11A及图11B是用于说明进行基板处理时的排出单元5的状况的示意图。

如图10所示，在执行药液供给工序(步骤S2)以及冲洗液供给工序(步骤S3)的期间，第一上游闸板60A以及第一下游闸板61A打开，第一上游滑动闸板65A以及第一下游滑动闸板66A关闭。另一方面，第二上游闸板60B以及第二下游闸板61B关闭，第二上游滑动闸板65B以及第二下游滑动闸板66B打开。

因此，如图11A所示，来自腔室4的药液环境气体经由主配管11向第一分支配管12A流入。流入至第一分支配管12A的环境气体从第一分支配管12A向第一排出管道10A排出。

第二分支配管12B的周围的环境气体(外部环境气体)经由上游开口63a流入至第二分支配管12B的上游空间63。由此，第二分支配管12B的上游空间63的压力增大，能够抑制药液环境气体向第二分支配管12B(严格来说是向第二内部空间62B)流入。因此，能够抑制药液环境气体混入到从第二分支配管12B排出的环境气体中。

另一方面，第二分支配管12B的周围的环境气体(外部环境气体)经由下游开口64a流入至第二分支配管12B的下游空间64。因此，即使在抑制了药液环境气体从主配管11向第二分支配管12B流入的状态下，也能够充分地增大向第二排出管道10B排出的环境气体的流量。

将第一分支配管12A排出来自主配管11的环境气体、第二分支配管12B排出外部环境气体的状态称作“药液环境气体排出状态”。在图10所示的例子中，从基板搬入工序(步骤S1)的开始时到冲洗液供给工序(步骤S3)的结束时为止(例如冲洗液的喷出停止时为止)，持续药液环境气体排出状态。

如图10所示，在冲洗液供给工序(步骤S3)之后，当开始有机溶剂供给工序(步骤S4)时，第一上游闸板60A以及第一下游闸板61A关闭，第一上游滑动闸板65A以及第一下游滑动闸板66A打开。另一方面，第二上游闸板60B以及第二下游闸板61B打开，第二上游滑动闸板65B以及第二下游滑动闸板66B关闭。

因此，如图11B所示，来自腔室4的有机溶剂环境气体经由主配管11向第二分支配管12B流入。流入至第二分支配管12B的有机溶剂环境气体从第二分支配管12B向第二排出管道10B排出。

第一分支配管12A的周围的环境气体经由上游开口63a流入至第一分支配管12A的上游空间63。由此，第一分支配管12A的上游空间63的压力增大，能够抑制有机溶剂环境气体向第一分支配管12A(严格来说是向第一内部空间62A)流入。因此，能够抑制有机溶剂环境气体混入到从第一分支配管12A排出的环境气体中。

另一方面，第一分支配管12A的周围的环境气体(外部环境气体)经由下游开口64a流入至第一分支配管12A的下游空间64。因此，即使在抑制了有机溶剂环境气体从主配管11向第一分支配管12A流入的状态下，也能够充分地增大向第一排出管道10A排出的环境气体的流量。

将第二分支配管12B排出来自主配管11的环境气体、第一分支配管12A排出外部环境气体的状态称作“有机溶剂环境气体排出状态”。在图10所示的例子中，从有机溶剂供给工序(步骤S4)的开始时(例如从有机溶剂的喷出开始时)到开始对下一个基板W进行基板搬入工序(步骤S1)为止，持续有机溶剂环境气体排出状态。

如上所述，根据本实施方式，控制器3被编程为：通过控制多个上游闸板60、多个下游闸板61、多个上游滑动闸板65以及多个下游滑动闸板66，根据处理液的种类来切换从主配管11排出的环境气体所要流入的分支配管12。因此，能够使包含适当种类的处理液的气体及雾气的环境气体流入至各分支配管12。

＜排气的模拟结果＞

图12是示出对进行基板处理的药液供给工序(步骤S2)时的环境气体的排出状况进行了模拟的结果的表格。

在该模拟中，算出从第一分支配管12A排出作为药液环境气体的一例的氨气环境气体时的各分支配管12内的环境气体的流量。在主配管11中流动的氨气环境气体的总流量为3m

在参考例以及实施例中，都得到了氨气环境气体的大半部分流入至第一分支配管12A的结果。然而，在参考例中，氨气环境气体的一部分(相当于氨气环境气体整体中的7.43％的环境气体)流入至第二分支配管12B，但在实施例中，得到了氨气环境气体未流入至第二分支配管12B的结果。

详细而言，得到了如下结果：通过第二上游闸板60B后的环境气体的流量为－0.293m

因此，通过设置封闭构造86以及第二下游闸板61B来提高上游空间63内的压力，得到了能够防止氨气环境气体向第二分支配管12B流入的结果。

＜变形例的基板处理＞

图13A及图13B是用于说明变形例的基板处理的时序图。在变形例的基板处理中，一边使闸板的开度逐渐变化一边进行各闸板的开闭动作。

在图13A所示的变形例的基板处理中，在停止冲洗液的供给之前(在执行冲洗液供给工序(步骤S3)的过程中)，开始打开第二上游滑动闸板65B以及第二下游滑动闸板66B的动作和关闭第二上游闸板60B以及第二下游闸板61B的动作。

具体而言，首先，开始打开第二上游闸板60B以及第二下游闸板61B的动作。由此，第二分支配管12B缓慢地打开。在第二上游闸板60B以及第二下游闸板61B完全打开之前，开始关闭第二上游滑动闸板65B以及第二下游滑动闸板66B的操作。由此，第二分支配管12B的上游开口63a以及下游开口64a缓慢地关闭。在上游开口63a以及下游开口64a完全关闭时，停止向基板W供给冲洗液，开始有机溶剂供给工序(步骤S4)。

在图13B所示的变形例的基板处理中，在开始药液的供给之前(对之前的基板W执行基板搬出工序(步骤S7)的过程中)，开始关闭第二上游闸板60B以及第二下游闸板61B的动作和打开第二上游滑动闸板65B以及第二下游滑动闸板66B的动作。

具体而言，首先，开始打开第二上游滑动闸板65B以及第二下游滑动闸板66B的动作。由此，第二分支配管12B的上游开口63a以及下游开口64a缓慢地打开。在第二上游滑动闸板65B以及第二下游滑动闸板66B完全打开之前，开始关闭第二上游闸板60B以及第二下游闸板61B的动作。由此，第二分支配管12B缓慢地关闭。在第二分支配管12B完全打开之后，向处理单元2搬入基板W，开始向基板W的上表面供给药液。

虽未图示，但在第一分支配管12A中也能够进行相同的动作。在执行冲洗液供给工序(步骤S3)的过程中，在开始关闭第一上游闸板60A以及第一下游闸板61A的动作之前，开始打开第一上游滑动闸板65A以及第一下游滑动闸板66A的动作。在执行基板搬出工序(步骤S7)的过程中，在开始关闭第一上游滑动闸板65A以及第一下游滑动闸板66A的动作之前，开始打开第一上游闸板60A以及第一下游闸板61A的动作。

这样，在变形例的基板处理中，在各分支配管12中，在由上游闸板60以及下游闸板61关闭分支配管12之前，开始向上游空间63以及下游空间64流入外部环境气体。

这样一来，能够抑制上游闸板60、下游闸板61、上游滑动闸板65以及下游滑动闸板66成为关闭的状态。由此，能够抑制因上游闸板60、下游闸板61、上游滑动闸板65以及下游滑动闸板66关闭而导致环境气体向下游空间64的流入显著降低的情况。

同样，在停止向上游空间63以及下游空间64流入外部环境气体之前，通过由上游闸板60以及下游闸板61打开分支配管12，也能够抑制环境气体向下游空间64的流入显著降低。

并且，如该变形例所述，通过使各闸板的开度逐渐变化，能够抑制流入至下游空间64的环境气体的流量的急剧变化。

并且，如图13A中双点划线所示，即使在使各闸板的开度急剧变化的情况下，通过在停止向上游空间63以及下游空间64流入外部环境气体之前，由上游闸板60以及下游闸板61打开分支配管12，从而也能够抑制环境气体向下游空间64的流入显著降低。

同样，如图13B中双点划线所示，即使在使各闸板的开度急剧变化的情况下，只要在上游闸板60以及下游闸板61关闭之前开始向上游空间63以及下游空间64流入外部环境气体，就能够抑制环境气体向下游空间64的流入显著降低。

＜变形例的排出单元＞

接下来，参照图14～图17B对第一变形例～第四变形例的排出单元5进行说明。

图14是用于说明第一变形例的排出单元5的示意图。

第一变形例的排出单元5还包括分别调整多个上游闸板60的开闭速度的多个上游开闭速度调整机构93和分别调整多个下游闸板61的开闭速度的多个下游开闭速度调整机构94。

在上游闸板驱动机构67包括气缸的情况下，上游开闭速度调整机构93包括通过控制向气缸供给的空气的量来调整气缸的动作速度的气压控制式的调整机构。在上游闸板驱动机构67包括电动马达的情况下，上游开闭速度调整机构93包括对电动马达的旋转速度进行反馈控制的电压控制式的调整机构。下游开闭速度调整机构94与上游开闭速度调整机构93相同，包括气压控制式的调整机构或电压控制式的调整机构。

第一变形例的排出单元5还包括流量调整机构95，该流量调整机构95对上游滑动闸板65以及下游滑动闸板66的开闭动作进行控制，来对向上游空间63以及下游空间64流入的环境气体的流量进行调整。

在滑动驱动机构92包括气缸的情况下，流量调整机构95包括通过控制向气缸供给的空气的量来调整气缸的动作速度的气压控制式的调整机构。在滑动驱动机构92包括电动马达的情况下，流量调整机构95包括对电动马达的旋转速度进行反馈控制的电压控制式的调整机构。

流量调整机构95是调整向下游空间64流入的环境气体的流量的下游流量调整机构的一例，也是调整向上游空间63流入的环境气体的流量的上游流量调整机构的一例。

通过调整上游闸板60以及下游闸板61的开闭速度，能够使从主配管11流入至分支配管12的环境气体的流量逐渐变化。然后，通过调整向下游空间64流入的外部环境气体的流量，能够使从分支配管12排出的环境气体的流量逐渐变化。由此，能够抑制来自分支配管12的环境气体的排出量的急剧变化。因此，在图14所示的第一变形例的排出单元5的情况下，能够容易地实现图13所示的变形例的基板处理。

图15是用于说明第二变形例的排出单元5的示意图。

第二变形例的排出单元5包括测定主配管11内的压力的主配管压力计96和分别测定多个分支配管12内的上游空间63的压力的多个分支配管压力计97。

通过由主配管压力计96测定主配管11内的压力，能够检测来自腔室4的环境气体的排出是否正常进行。即，能够检测主配管11的排气异常(排出异常)。

若预先准备且掌握了为了抑制环境气体从主配管11向上游空间63流入而需要的上游空间63的压力，则通过由分支配管压力计97测定分支配管12的上游空间63的压力，就能够检测上游开口63a是否适当地打开。

图16A是用于说明第三变形例的排出单元5的示意图。图16B是用于说明第三变形例的排出单元5的示意图。

第三变形例的排出单元5还包括：上游保护部件98，其覆盖上游开口63a以及上游滑动闸板65；送风部件100，其经由上游保护部件98被分支配管12支撑，并经由上游开口63a向分支配管12内送入气体；以及下游保护部件99，其覆盖下游开口64a以及下游滑动闸板66。

上游保护部件98具有允许环境气体的通过的多个上游贯通孔98a。下游保护部件99具有允许环境气体的通过的多个下游贯通孔99a。

送风部件100例如包括送风风扇，但只要是能够经由上游开口63a向上游空间63送入气体的结构即可，也可以不是送风风扇。第三变形例的排出单元5还包括驱动送风部件100的送风部件驱动机构101。若送风部件100是送风风扇，则送风部件驱动机构101例如包括使送风风扇旋转的电动马达。

通过在打开了上游开口63a的状态下从送风部件100向上游空间63送入分支配管12的周围的环境气体(外部环境气体)，能够迅速且充分地提高上游空间63的压力。

图17A是用于说明第四变形例的排出单元5的示意图。图17B是用于说明第四变形例的排出单元5的示意图。

在第四变形例的排出单元5中，与图4所示的排出单元5不同，未设置上游开口63a以及上游滑动闸板65。取而代之地，第四变形例的分支配管12在比上游闸板60靠下游侧且比下游闸板61靠上游侧的位置具有贯通分支配管12的供给孔63b。

而且，第四变形例的排出单元5还包括供给配管102，该供给配管102在比上游闸板60靠下游侧且比下游闸板61靠上游侧的位置与分支配管12连接，经由供给孔63b向分支配管12供给气体。

经由供给配管102被供给至分支配管12的气体例如是氮气等惰性气体、空气等的任一种。

第四变形例的排出单元5还包括设于供给配管102且开闭供给配管102的供给阀103。严格地说，供给阀103对由供给配管102内的空间构成的供给流路进行开闭。供给阀103是在经由供给配管102向上游空间63供给气体的供给状态与停止经由供给配管102向上游空间63供给气体的供给停止状态之间切换上游空间63的状态的供给切换部件的一例。通过经由供给配管102向上游空间63供给气体，能够迅速且充分地提高上游空间63的压力。并且，若经由供给配管102向上游空间63供给气体，则容易细致地调整向上游空间63供给的气体的成分、流量。

在供给配管102安装有向供给配管102输送气体的压缩机等供给装置105。供给装置105可以构成基板处理装置1的一部分，也可以在设置基板处理装置1的无尘室或无尘室所附设的设备内设置。

来自供给配管102的气体(环境气体)是来自与主配管11不同的路径的外部环境气体的一例。因此，供给阀103是上游切换部件的一例。

此外，“在供给状态以及供给停止状态之间切换上游空间63的状态”是指能够从供给状态向供给停止状态切换上游空间63的状态，并且能够从供给停止状态向供给状态切换上游空间63的状态。

第四变形例的排出单元5还包括覆盖下游开口64a以及下游滑动闸板66的下游保护部件99。在下游保护部件99具有允许环境气体的通过的多个下游贯通孔99a。排出单元5还包括使下游滑动闸板66相对于分支配管12滑动的下游滑动驱动机构104。

＜第二实施方式的处理单元的结构＞

图18是用于说明第二实施方式的基板处理装置1A所具备的处理单元2的结构的示意图。图19是第二实施方式的处理单元2的俯视图。

第二实施方式的处理单元2与第一实施方式的处理单元2的主要不同点在于：第二实施方式的处理单元2还包括第三移动喷嘴33，该第三移动喷嘴33朝向旋转卡盘13所保持的基板W的上表面选择性地喷出药液的连续流以及冲洗液的连续流。第三移动喷嘴33是药液喷嘴的一例，也是冲洗液喷嘴的一例。第三移动喷嘴33也是处理液喷嘴的一例。

从第三移动喷嘴33喷出的药液的例子与作为从第一移动喷嘴31喷出的药液的例子而列举的药液的例子相同。从第三移动喷嘴33喷出的冲洗液的例子与作为从第一移动喷嘴31喷出的冲洗液的例子而列举的冲洗液的例子相同。

从第三移动喷嘴33喷出的药液有时种类与从第一移动喷嘴31喷出的药液的种类不同。以下，对从第一移动喷嘴31喷出的药液为氢氟酸等酸性药液、从第三移动喷嘴33喷出的药液为APM液等碱性药液的例子进行说明。

第三移动喷嘴33通过第三喷嘴移动机构37而沿水平方向移动。第三喷嘴移动机构37能够使第三移动喷嘴33在中央位置与退避位置之间移动。第三喷嘴移动机构37具有与其它喷嘴移动机构相同的结构。即，第三喷嘴移动机构37包括支撑第三移动喷嘴33的第三臂部37a和使第三臂部37a沿水平方向移动的第三臂部移动机构37b。

在第二实施方式中，处理单元2包括第一共用配管40A、第一药液配管41A、第一冲洗液配管42A、第一共用阀50A以及第一冲洗液阀52A。第一共用配管40A、第一药液配管41A、第一冲洗液配管42A、第一共用阀50A以及第一冲洗液阀52A的结构与图2所示的第一实施方式的共用配管40、药液配管41、冲洗液配管42、共用阀50、药液阀51以及冲洗液阀52的结构分别相同。

第三移动喷嘴33与向第三移动喷嘴33引导流体的第二共用配管40B连接。在第二共用配管40B连接有向第二共用配管40B供给药液的第二药液配管41B和向第二共用配管40B供给冲洗液的第二冲洗液配管42B。第二共用配管40B也可以经由混合阀(未图示)而与第二药液配管41B以及第二冲洗液配管42B连接。

在第二共用配管40B设有开闭第二共用配管40B的第二共用阀50B。在第二药液配管41B设有开闭第二药液配管41B的第二药液阀51B。在第二冲洗液配管42B设有开闭第二冲洗液配管42B的第二冲洗液阀52B。

＜第二实施方式的排出单元的结构＞

图20是用于说明第二实施方式的基板处理装置1A所具备的排出单元5的结构的示意图。第二实施方式的排出单元5与第一实施方式的排出单元5(参照图4)的主要不同点在于：在第二实施方式的排出单元5设有三个分支配管12。

即，第二实施方式的排出单元5除了第一分支配管12A以及第二分支配管12B之外，还包括第三分支配管12C。第三分支配管12C具有与第一分支配管12A相同的结构。

详细而言，第三分支配管12C具有与主配管11的下游端部11b连接的上游端和与对应的排出管道10连接的下游端。第三分支配管12C具有能够使来自主配管11的环境气体流入的内部空间62。有时将第三分支配管12C的内部空间62称作第三内部空间62C，将与第三分支配管12C连接的排出管道10称作第三排出管道10C。

在第三分支配管12C，与其它分支配管12相同地设有上游闸板60、下游闸板61、上游滑动闸板65以及下游滑动闸板66。设于第三分支配管12C的上游闸板60、下游闸板61、上游滑动闸板65以及下游滑动闸板66也分别称作第三上游闸板60C、第三下游闸板61C、第三上游滑动闸板65C以及第三下游滑动闸板66C。

＜第二实施方式的基板处理的一例＞

图21是用于说明由第二实施方式的基板处理装置1A执行的基板处理的一例的流程图。图21中主要示出了通过由控制器3(参照图8)执行程序而实现的处理。

在第二实施方式的基板处理装置1A所进行的基板处理中，例如，如图21所示，依次执行基板搬入工序(步骤S1)、第一药液供给工序(步骤S10)、第一冲洗液供给工序(步骤S11)、第二药液供给工序(步骤S12)、第二冲洗液供给工序(步骤S13)、有机溶剂供给工序(步骤S4)、旋转烘干工序(步骤S5)以及基板搬出工序(步骤S6)。

以下，以与图9所示的第一实施方式的基板处理的不同点为中心进行说明。

在第二实施方式的基板处理中，在第二搬运机器人CR退避到处理单元2外之后，执行向基板W的上表面供给氢氟酸等酸性药液的第一药液供给工序(步骤S10)。具体而言，第一喷嘴移动机构35使第一移动喷嘴31移动而使第一移动喷嘴31与基板W的上表面对置。通过在该状态下打开第一共用阀50A以及第一药液阀51A，来从第一移动喷嘴31朝向基板W的上表面喷出(供给)氢氟酸等酸性药液的连续流(第一药液喷出工序、第一药液供给工序)。由此，利用酸性药液对基板W的上表面进行处理。

在第一药液供给工序(步骤S10)之后，执行向基板W的上表面供给冲洗液的第一冲洗液供给工序(步骤S11)。具体而言，一边维持第一移动喷嘴31与基板W的上表面对置且共用阀50打开的状态，一边关闭第一药液阀51A而打开第一冲洗液阀52A。由此，停止从第一移动喷嘴31喷出酸性药液。另外，从第一移动喷嘴31朝向基板W的上表面喷出(供给)冲洗液的连续流(第一冲洗液喷出工序、第一冲洗液供给工序)。由此，基板W的上表面的酸性药液与冲洗液一起向基板W外排出，对基板W的上表面进行清洗。

在第一冲洗液供给工序(步骤S11)之后，执行向基板W的上表面供给APM液等碱性药液的第二药液供给工序(步骤S12)。具体而言，停止从第一移动喷嘴31喷出冲洗液，使第一移动喷嘴31退避。然后，由第三喷嘴移动机构37使第三移动喷嘴33移动而使第三移动喷嘴33与基板W的上表面对置。通过在该状态下打开第二共用阀50B以及第二药液阀51B，来从第三移动喷嘴33朝向基板W的上表面喷出(供给)碱性药液的连续流(第二药液喷出工序、第二药液供给工序)。由此，利用碱性药液对基板W的上表面进行处理。

在第二药液供给工序(步骤S12)之后，执行向基板W的上表面供给冲洗液的第二冲洗液供给工序(步骤S13)。具体而言，一边维持第三移动喷嘴33与基板W的上表面对置且第二共用阀50B打开的状态，一边关闭第二药液阀51B而打开第二冲洗液阀52B。由此，停止从第三移动喷嘴33喷出碱性药液。另外，从第三移动喷嘴33朝向基板W的上表面喷出(供给)冲洗液的连续流(第二冲洗液喷出工序、第二冲洗液供给工序)。由此，基板W的上表面的碱性药液与冲洗液一起向基板W外排出，对基板W的上表面进行清洗。

在第二冲洗液供给工序(步骤S13)之后，执行有机溶剂供给工序(步骤S4)、旋转烘干工序(步骤S5)以及基板搬出工序(步骤S6)。

＜第二实施方式的基板处理中的排出单元的状况＞

接下来，对第二实施方式的基板处理中的排出单元5的状况进行说明。图22A～图22C是用于说明进行基板处理时的排出单元5的状况的示意图。

在执行第一药液供给工序(步骤S10)以及第一冲洗液供给工序(步骤S11)的期间，如图22A所示，第一上游闸板60A以及第一下游闸板61A打开，第一上游滑动闸板65A以及第一下游滑动闸板66A关闭。另一方面，第二上游闸板60B、第二下游闸板61B、第三上游闸板60C以及第三下游闸板61C关闭，第二上游滑动闸板65B、第二下游滑动闸板66B、第三上游滑动闸板65C以及第三下游滑动闸板66C打开。

因此，来自腔室4的酸性环境气体经由主配管11向第一分支配管12A流入。流入至第一分支配管12A的酸性环境气体从第一分支配管12A向第一排出管道10A排出。另一方面，外部环境气体向第二分支配管12B的上游空间63以及下游空间64流入。同样，外部环境气体也向第三分支配管12C的上游空间63以及下游空间64流入。因此，能够抑制来自第二分支配管12B以及第三分支配管12C的环境气体的排出量的急剧变化，并且能够抑制酸性环境气体混入到从第二分支配管12B以及第三分支配管12C排出的环境气体中。

在第一冲洗液供给工序(步骤S11)之后，当开始第二药液供给工序(步骤S12)时，如图22B所示，第一上游闸板60A以及第一下游闸板61A关闭，第一上游滑动闸板65A以及第一下游滑动闸板66A打开。另一方面，第三上游闸板60C以及第三下游闸板61C打开，第三上游滑动闸板65C以及第三下游滑动闸板66C关闭。第二上游闸板60B以及第二上游闸板60B维持在关闭的状态，第二上游滑动闸板65B以及第二下游滑动闸板66B维持在打开的状态。

因此，来自腔室4的碱性环境气体经由主配管11向第三分支配管12C流入。流入至第三分支配管12C的碱性环境气体从第三分支配管12C向第三排出管道10C排出。另一方面，外部环境气体向第一分支配管12A的上游空间63以及下游空间64流入。同样，外部环境气体也向第二分支配管12B的上游空间63以及下游空间64流入。因此，能够抑制来自第一分支配管12A以及第二分支配管12B的环境气体的排出量的急剧变化，并且能够抑制碱性环境气体混入到从第一分支配管12A以及第二分支配管12B排出的环境气体中。

在第二冲洗液供给工序(步骤S13)之后，当开始有机溶剂供给工序(步骤S4)时，如图22C所示，第三上游闸板60C以及第三下游闸板61C关闭，第三上游滑动闸板65C以及第三下游滑动闸板66C打开。另一方面，第二上游闸板60B以及第二下游闸板61B打开，第二上游滑动闸板65B以及第二下游滑动闸板66B关闭。第一上游闸板60A以及第一上游闸板60A维持在关闭的状态，第一上游滑动闸板65A以及第一下游滑动闸板66A维持在打开的状态。

因此，来自腔室4的有机溶剂环境气体经由主配管11向第二分支配管12B流入。流入至第二分支配管12B的有机溶剂环境气体从第二分支配管12B向第二排出管道10B排出。另一方面，外部环境气体向第一分支配管12A的上游空间63以及下游空间64流入。同样，外部环境气体也向第三分支配管12C的上游空间63以及下游空间64流入。因此，能够维持来自第一分支配管12A以及第三分支配管12C的环境气体的排出量，并且能够抑制有机溶剂环境气体混入到从第一分支配管12A以及第三分支配管12C排出的环境气体中。

根据第二实施方式，起到与第一实施方式相同的效果。

在第二实施方式的基板处理装置1A的基板处理中，也可以与图21所示的基板处理不同，在第一药液供给工序中向基板W的上表面供给碱性药液，在第二药液供给工序中向基板W的上表面供给酸性药液。并且，也能够由第二实施方式的基板处理装置1A执行图13A及图13B所示的变形例的基板处理。

在第二实施方式中，也能够与第一实施方式相同地应用与排出单元5相关的变形例(图14～图17B所示的变形例)。

＜其它实施方式＞

本发明并不限定于以上说明的实施方式，还能够以其它方式实施。

在上述的各实施方式中，对分支配管12为两个或三个的例子进行了说明，但分支配管12的数量也可以为四个以上。

也能够与上述的各实施方式不同，使用蝶阀作为上游切换部件。例如，能够如第三变形例的排出单元5那样，设置供给配管102，且在供给配管102内设置作为上游切换部件的蝶阀。

并且，也可以与上述的实施方式不同，设置经由下游开口64a向下游空间64送入外部环境气体的下游送风部件(未图示)。并且，也可以与上述的各实施方式不同，不设置下游开口64a，而在比下游闸板61靠下游侧的位置设置与分支配管12连接的供给配管(下游供给配管)。在该情况下，例如设置下游供给阀(未图示)作为下游切换部件，该下游供给阀在经由下游供给配管向下游空间64供给气体的状态与停止经由下游供给配管向下游空间64供给气体的状态之间切换下游空间64的状态。在设置下游供给配管的情况下，也能够使用蝶阀作为下游切换部件。

在上述的各实施方式中，主配管11的上游端部11a与处理杯8的外壁部件27连接。主配管11的结构只要是将腔室4与多个分支配管12连接的结构即可。例如，主配管11的上游端部11a也可以与护罩25或杯26连接。

并且，主配管11的上游端部11a也可以与腔室4的侧壁7c连接。在该情况下，主配管11由与腔室4的侧壁7c连接且位于腔室4外(流体箱6)的上游主配管和与上游主配管连接且位于比框架7的下壁7a靠下方的下游主配管构成。

也可以代替上游滑动闸板65，将通过滑动以外的动作来开闭上游开口63a的闸板用作上游开闭闸板。例如，作为上游开闭闸板，也可以设置以向分支配管12的外表面接近或者从分支配管12的外表面离开的方式移动的闸板。并且，作为上游开闭闸板，也可以设置通过绕固定于分支配管12的转动轴转动来开闭上游开口63a的转动式的闸板。

同样，也可以代替下游滑动闸板66，将通过滑动以外的动作来开闭下游开口64a的闸板用作下游开闭闸板。

设于多个分支配管12的各闸板无需具有相同的结构。例如，也可以为，与第一分支配管12A对应的各闸板的结构是图4所示的结构，与第二分支配管12B对应的各闸板的结构是图16A及图16B所示的结构。并且，也可以为，与第一分支配管12A对应的各闸板的结构是图4所示的结构，与第二分支配管12B对应的各闸板的结构是图17A及图17B所示的结构。即，在各分支配管12中，能够自由地组合上述闸板的结构。

设于图14所示的第一变形例的排出单元5的上游开闭速度调整机构93、下游开闭速度调整机构94以及流量调整机构95能够与闸板的种类无关地设置。例如，流量调整机构95并不限定于对上游滑动闸板65及下游滑动闸板66的开闭动作进行控制，也可以对滑动闸板以外的闸板的开闭动作进行控制。即，流量调整机构95只要控制上游切换部件及下游切换部件的切换动作即可。

并且，图7所示的滑动驱动机构92通过驱动连结部件91，来使上游滑动闸板65以及下游滑动闸板66相对于分支配管12滑动。然而，也可以不设置连结部件91，而是设置使上游滑动闸板65以及下游滑动闸板66相对于分支配管12分别滑动的驱动机构。

在第一实施方式中，与下游闸板61不同，在上游闸板60未设置封闭构造86，但也可以设置将上游内周面70a以及上游阀芯71之间封闭的封闭构造86。

第一上游闸板60A以及第二上游闸板60B在药液环境气体排出状态下暴露在药液环境气体中。因此，有药液的结晶附着于上述上游闸板60的情况。因此，在上游闸板60设有封闭构造86的情况下，有因药液的结晶而阻碍上游阀芯71的旋转的担忧。从而优选不在上游闸板60设置封闭构造86。

在上述的各实施方式中，在下游闸板61设有封闭构造86，但在上述的各实施方式中，也可以不设置封闭构造86。

第一上游闸板60A以及第二上游闸板60B在药液环境气体向主配管11流入时暴露在药液环境气体中，在有机溶剂环境气体向主配管11流入时暴露在有机溶剂环境气体中。因此，与第一上游闸板60A以及第二上游闸板60B相比，第一下游闸板61A以及第二下游闸板61B暴露在药液环境气体和有机溶剂环境气体中的时间较短。

因此，药液的结晶难以附着于第一下游闸板61A以及第二下游闸板61B。进而，即使在设有封闭构造86的情况下，也能够抑制因药液结晶的附着而阻碍下游阀芯81的旋转的情况，能够迅速且充分地提高分支配管12的上游空间63的压力。从而优选在第一下游闸板61A以及第二下游闸板61B设有封闭构造86。

另外，与第三变形例不同，排出单元5也可以构成为，未设置送风部件100，而是包括：上游保护部件98，其覆盖上游开口63a以及上游滑动闸板65；以及下游保护部件99，其经由上游保护部件98被分支配管12支撑，并覆盖下游开口64a以及下游滑动闸板66。

在上述的各实施方式中，旋转卡盘13是利用多个卡盘销20把持基板W的周缘的把持式的旋转卡盘13，但旋转卡盘13不限定于把持式的旋转卡盘13。例如，旋转卡盘13也可以为使基板W吸附于旋转基座21的真空吸附式的旋转卡盘13。

在上述的各实施方式中，构成为从多个移动喷嘴喷出处理液。然而，也可以与上述的实施方式不同，从水平方向的位置固定的固定喷嘴喷出处理液，也可以构成为从单一喷嘴喷出所有处理液。

在上述的各实施方式中，控制器3控制基板处理装置1整体。然而，控制基板处理装置1的各部件的控制器3也可以分散于多个部位。

此外，在上述的实施方式中，使用了“沿着”、“水平”、“铅垂”这样的表现，但不需要严格地为“沿着”、“水平”、“铅垂”。即，上述各表现允许制造精度、设置精度等的偏差。

并且，有时示意性地用方框示出各结构，但各方框的形状、大小以及位置关系并不表示各结构的形状、大小以及位置关系。

第一移动喷嘴31是处理液喷嘴、药液喷嘴以及冲洗液喷嘴的一例。第二移动喷嘴32是处理液喷嘴以及有机溶剂喷嘴的一例。第三移动喷嘴33是处理液喷嘴、药液喷嘴以及冲洗液喷嘴的一例。上游滑动闸板65是上游切换部件以及上游开闭闸板的一例。下游滑动闸板66是下游切换部件以及下游开闭闸板的一例。流量调整机构95是下游流量调整机构的一例。供给阀103是上游切换部件的一例。

对本发明的实施方式进行了详细说明，但这些只不过是为了明确本发明的技术内容而使用的具体例，本发明不应被解释为限定于这些具体例，本发明的主旨以及范围仅由权利要求书限定。