玻璃母材的制造方法

技术领域

本公开涉及玻璃母材的制造方法。

背景技术

已知专利文献1所述的玻璃母材的制造方法。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2011-246310号公报

发明内容

发明所要解决的课题

在专利文献1中记载了使用在原料气体与燃烧气体及助燃气体之间喷出惰性气体的燃烧器来形成玻璃母材的玻璃母材的制造方法。另外，专利文献1中记载的玻璃母材的制造方法记载了：包括利用燃烧器使玻璃微粒沉积在靶部件上的沉积模式和不使玻璃微粒沉积在靶部件上的非沉积模式，在非沉积模式下降低原料气体的流量。

在由燃烧气体和助燃气体形成的火焰中喷出原料气体时，原料气体发生火焰水解反应而生成玻璃微粒，玻璃微粒沉积在靶部件上。但是，在原料气体的流量降低的状态下，从燃烧器喷出的原料气体的流速降低。在该状态下，由于在燃烧器附近发生原料气体的反应，在燃烧器附近生成玻璃微粒而在燃烧器前端附着玻璃微粒，可能无法以所希望的形状形成玻璃母材。

本公开提供即使在制造工序中原料气体的流量有时降低，也能够良好地形成玻璃母材的玻璃母材的制造方法。

用于解决课题的手段

本公开的一个方式涉及的玻璃母材的制造方法

是通过在由燃烧器形成的火焰中喷出原料气体以生成玻璃微粒，并使玻璃微粒沉积在靶部件上的玻璃母材的制造方法，

所述燃烧器具备：

喷出所述原料气体的原料气体口、

以与所述原料气体口邻接并包围所述原料气体口的方式设置的且喷出惰性气体的惰性气体口、以及

设置在所述惰性气体口的周围并喷出燃烧气体和助燃气体的火焰形成口，

所述玻璃母材的制造方法包括：

由作为从所述原料气体口喷出的所述原料气体的流量的第一原料流量、和作为从所述惰性气体口喷出的所述惰性气体的流量的第一惰性气体流量构成的第一流量条件；和

由作为从所述原料气体口喷出的所述原料气体的流量的第二原料流量、和作为从所述惰性气体口喷出的所述惰性气体的流量的第二惰性气体流量构成的第二流量条件，

能够切换第一流量条件和第二流量条件，

所述第一原料流量大于所述第二原料流量，所述第一惰性气体流量小于所述第二惰性气体流量。

发明的效果

根据本公开，可以提供即使在制造工序中原料气体的流量有时降低，也能够良好地形成玻璃母材的玻璃母材的制造方法。

附图说明

[图1]是示出能够使用本公开的实施方式涉及的玻璃母材的制造方法制造玻璃母材的玻璃母材的制造装置的一个例子的示意性构成图。

[图2]是示出玻璃合成用的燃烧器的一个例子的图。

[图3]是示出从燃烧器喷出的各气体的流量条件的一个例子的图。

[图4]是示出玻璃微粒的沉积开始阶段的各气体的流量条件的一个例子的图。

[图5]是示出玻璃母材的制造装置的变形例的示意性构成图。

符号的说明

1、100玻璃母材的制造装置

11靶部件

12保持部

13旋转卡盘

14排气管

15玻璃母材

20、120a～120f燃烧器

21原料气体口

22惰性气体口

23燃烧气体口

24助燃气体口

24a内助燃气体口

24b外助燃气体口

25火焰形成口

26气体供给装置

27、27a、27b、27c、27d流量调节器

27a原料气体流量调节器

27b惰性气体流量调节器

27c燃烧气体流量调节器

27d助燃气体流量调节器

121、122、123、124配管

A1第一原料气体流量

A2第二原料气体流量

B1第一惰性气体流量

B2第二惰性气体流量

C1第一燃烧气体流量

C2第二燃烧气体流量

D1第一助燃气体流量

D2第二助燃气体流量

具体实施方式

(本公开的实施方式的说明)

首先列举本公开的实施方式并进行说明。

本公开的一个方式涉及的玻璃母材的制造方法

(1)是通过在由燃烧器形成的火焰中喷出原料气体以生成玻璃微粒，并使玻璃微粒沉积在靶部件上的玻璃母材的制造方法，

所述燃烧器具备：

喷出所述原料气体的原料气体口、

以与所述原料气体口邻接并包围所述原料气体口的方式设置的且喷出惰性气体的惰性气体口、以及

设置在所述惰性气体口的周围并喷出燃烧气体和助燃气体的火焰形成口，

所述玻璃母材的制造方法包括：

由作为从所述原料气体口喷出的所述原料气体的流量的第一原料流量、和作为从所述惰性气体口喷出的所述惰性气体的流量的第一惰性气体流量构成的第一流量条件；和

由作为从所述原料气体口喷出的所述原料气体的流量的第二原料流量、和作为从所述惰性气体口喷出的所述惰性气体的流量的第二惰性气体流量构成的第二流量条件，

能够切换第一流量条件和第二流量条件，

所述第一原料流量大于所述第二原料流量，所述第一惰性气体流量小于所述第二惰性气体流量。

根据上述制造方法，由于第一原料流量大于第二原料流量，第一惰性气体流量小于第二惰性气体流量，因此当从第一流量条件切换到第二流量条件时，原料气体的流量降低，在原料气体与燃烧气体及助燃气体之间喷出的惰性气体的流量增加。由此，在燃烧器附近，原料气体与燃烧气体及助燃气体难以反应，因此玻璃微粒难以附着在燃烧器自身上，可以良好地形成玻璃母材。

(2)上述(1)的制造方法是通过使所述燃烧器相对于所述靶部件相对地往返运动，从而将玻璃母材形成为长条状的玻璃母材的制造方法，其中，

相对于所述靶部件的中心部，可以在所述第一流量条件下形成玻璃母材，

相对于所述靶部件的端部，可以在所述第二流量条件下形成玻璃母材。

为了良好地形成玻璃母材，优选在靶部件的端部使原料气体的流量比靶部件的中心部低的状态下进行玻璃母材的形成。如上述制造方法那样，通过在靶部件的中心部以第一流量条件形成玻璃母材，在靶部件的端部以第二流量条件形成玻璃母材，从而玻璃微粒难以沉积在燃烧器自身上。

(3)在上述(1)或(2)的制造方法中，在玻璃微粒没有沉积在所述靶部件上的沉积开始阶段，可以在上述第二流量条件下形成玻璃母材。

在玻璃微粒没有沉积在靶部件上的沉积开始阶段，为了提高玻璃微粒的体积密度以得到沉积的玻璃母材的强度，优选减少原料气体的流量。根据上述制造方法，由于在沉积开始阶段以第二流量条件形成玻璃母材，因此即使是在沉积开始阶段减少原料气体的流量的状态下，玻璃微粒也难以附着在燃烧器上。

(4)在上述(1)至(3)中任一项的制造方法中，在所述第二流量条件下，所述惰性气体口中的所述惰性气体的喷出流速可以大于所述原料气体口中的所述原料气体的喷出流速。

当在燃烧器前端附近惰性气体的流速降低时，在原料气体与燃烧气体及助燃气体之间容易发生反应，玻璃微粒容易沉积在燃烧器前端以及已经附着在燃烧器前端的玻璃微粒上。根据上述制造方法，由于在第二流量条件下，惰性气体口中的惰性气体的喷出流速大于原料气体口中的原料气体的喷出流速，因此在口附近在原料气体与燃烧气体及助燃气体之间难以发生反应。

(5)在上述(1)至(4)中任一项的制造方法中，调节向所述燃烧器供给的所述原料气体的流量的流量调节器可以是常开(Normal Open)型。

常开型的流量调节器与常闭(Normal Close)型的流量调节器相比难以在小流量区域进行控制。因此，常开型的流量调节器在小流量区域容易产生流量周期性地升降的波动现象，有时难以保持恒定的流量。根据上述制造方法，即使在通过常开型的流量调节器减小原料气体的流量的情况下，玻璃微粒也难以附着在燃烧器上，因此能够维持良好的玻璃母材的制造状态。

(本公开的实施方式的详细情况)

以下参照附图对本公开的实施方式涉及的玻璃母材的制造方法的具体例进行说明。需要说明的是，本发明不限于这些示例，而是由权利要求书表示，并且意图包括与权利要求书同等的意义以及范围内的所有变更。

图1是示出能够使用本公开的实施方式涉及的玻璃母材的制造方法制造玻璃母材的玻璃母材的制造装置1的一个例子的示意性构成图。如图1所示，玻璃母材的制造装置1具备容纳旋转的靶部件11的反应容器10、和向靶部件11喷附玻璃微粒的玻璃合成用的燃烧器20。

在反应容器10的上壁设有未图示的贯通孔，棒状的靶部件11以沿上下方向插通该贯通孔的方式配置。靶部件11的上端由旋转卡盘13的保持部12保持。旋转卡盘13能够上下移动，并且以使保持部12绕轴旋转的方式构成。旋转卡盘13以将与其高度位置对应的信号发送到本制造装置的控制部(图示省略)的方式构成。另外，在反应容器10中，夹着靶部件11，在与配置有燃烧器20的一侧相反的一侧设置有排气管14。排气管14进行预定量的气体的排气，将没有沉积在靶部件11上而漂浮在反应容器10内的玻璃微粒排除到外部。

燃烧器20例如将H

燃烧器20将生成的玻璃微粒向靶部件11喷出，同时靶部件11一边旋转一边向上下方向往返移动，从而使玻璃微粒沉积在靶部件11中的预定范围的区域。

图2是从气体的喷出侧观察燃烧器20而得的图，即在图1中从玻璃母材15侧观察燃烧器20而得的图。如图2所示，燃烧器20由设置在中心部的原料气体口21、以与原料气体口21邻接并包围原料气体口21的方式设置的惰性气体口22、以及设置在惰性气体口22的周围的火焰形成口25构成。火焰形成口25由以与惰性气体口22邻接并包围惰性气体口22的方式设置的燃烧气体口23和助燃气体口24构成。助燃气体口24由以与燃烧气体口23邻接并包围燃烧气体口23的方式设置的外助燃气体口24b和以包围惰性气体口22的方式配置在燃烧气体口23内的多个(在本例中为8个)内助燃气体口24a构成。需要说明的是，也可以向外助燃气体口24b供给惰性气体以代替助燃气体。

如图1所示，用于向上述各气体口21、22、23、24供给各气体的气体供给装置26经由各自的配管121、122、123、124与燃烧器20连接。另外，在各配管121、122、123、124上设置有用于调节从气体供给装置26向燃烧器20供给的各气体的流量的流量调节器27(27a、27b、27c、27d)。

流量调节器27当中的至少调节供给至原料气体口21的气体流量的原料气体流量调节器27a是在电源断开的状态下成为打开状态的常开型的调节器。流量调节器27根据来自本制造装置的控制部(图示省略)的控制信号控制向燃烧器20供给的各气体的流量。

这样，本公开的实施方式涉及的玻璃母材的制造装置1用于使燃烧器20和绕轴旋转的靶部件11相对地往返移动而在靶部件11上沉积玻璃微粒的OVD法(外部沉积法)。

接下来，参照图3和图1对使用了玻璃母材的制造装置1的玻璃母材15的制造方法进行说明。图3是示出制造玻璃母材15时从燃烧器20的各气体口21、22、23、24喷出的气体流量的变化的图。

如图3所示，对从各气体口21、22、23、24喷出的气体流量设定第一流量条件和第二流量条件。第一流量条件是设定为从原料气体口21喷出的原料气体的流量为第一原料气体流量A1、从惰性气体口22喷出的惰性气体的流量为第一惰性气体流量B1的流量条件。第二流量条件是设定为从原料气体口21喷出的原料气体的流量为第二原料气体流量A2、从惰性气体口22喷出的惰性气体的流量为第二惰性气体流量B2的流量条件。

在第一流量条件下喷出的第一原料气体流量A1是比在第二流量条件下喷出的第二原料气体流量A2大的流量。在第一流量条件下喷出的第一惰性气体流量B1是比在第二流量条件下喷出的第二惰性气体流量B2小的流量。

另外，当在第二流量条件下比较从惰性气体口22喷出的惰性气体的喷出流速和从原料气体口21喷出的原料气体的喷出流速时，惰性气体的喷出流速大于原料气体的喷出流速。喷出流速是指燃烧器20的各气体口21、22、23、24的出口部的平均流速，是根据各气体口21、22、23、24的流量/截面积计算出的值。

另外，当在第二流量条件下比较从惰性气体口22喷出的第二惰性气体流量B2和从原料气体口21喷出的第二原料气体流量A2时，第二惰性气体流量B2大于第二原料气体流量A2。需要说明的是，当在第一流量条件下比较从原料气体口21喷出的第一原料气体流量A1和从惰性气体口22喷出的第一惰性气体流量B1时，第一原料气体流量A1大于第一惰性气体流量B1。

另外，当将在第二流量条件下从燃烧气体口23喷出的燃烧气体的流量即第二燃烧气体流量C2与在第一流量条件下从燃烧气体口23喷出的燃烧气体的流量即第一燃烧气体流量C1进行比较时，第二燃烧气体流量C2大于第一燃烧气体流量C1。同样地，当将在第二流量条件下从助燃气体口24喷出的助燃气体的流量即第二助燃气体流量D2与在第一流量条件下从助燃气体口24喷出的燃烧气体的流量即第一助燃气体流量D1进行比较时，第二助燃气体流量D2大于第一助燃气体流量D1。需要说明的是，也可以仅使燃烧气体和助燃气体当中的燃烧气体的流量在第二流量条件下增加，助燃气体的流量在第一流量条件和第二流量条件下保持恒定。

[表1]

作为一个例子，如表1所示，原料气体流量可以设定为第一流量条件的流量:第二流量条件的流量＝1:0.5。惰性气体流量可以设定为第一流量条件的流量:第二流量条件的流量＝1:2。燃烧气体流量可以设定为第一流量条件的流量:第二流量条件的流量＝1:1.2。助燃气体流量可以设定为第一流量条件的流量:第二流量条件的流量＝1:1.2。另外，第一流量条件下的原料气体流量、惰性气体流量、燃烧气体流量以及助燃气体流量的总量可以设定为与第二流量条件下的原料气体流量、惰性气体流量、燃烧气体流量以及助燃气体流量的总量不同。

第一流量条件是相对于靶部件11的纵向方向上的中心部喷出玻璃微粒而形成玻璃母材15的有效部的流量条件。有效部是指能够由玻璃母材15制造成为产品的光纤的部分。第二流量条件是相对于靶部件11的纵向方向上的两端部喷出玻璃微粒而形成玻璃母材15的非有效部的流量条件。例如，在图1所示的长条状的玻璃母材15中，从靶部件11的纵向方向上的Y1位置到Y2位置的区域是中心部(有效部)，从Y2位置到Y3位置的区域和从Y1位置到Y4位置的区域是端部(非有效部)。

接着，使图3所示的气体流量的变化对应于利用图1所示的玻璃母材的制造装置1的玻璃母材15的制造并进行说明。图3中从时间t1到时间t2的期间是燃烧器20一边在从靶部件11的Y1位置到Y2位置的区域相对地向上方移动一边沉积玻璃微粒的期间，从时间t3到时间t4的期间是燃烧器20一边在从靶部件11的Y2位置到Y1位置的区域相对地向下方移动一边沉积玻璃微粒的期间。

在玻璃母材15的制造中，旋转卡盘13向控制部发送与旋转卡盘13的高度位置对应的信号。控制部基于来自旋转卡盘13的信号，计算靶部件11中与燃烧器20相对的高度位置(即沉积位置)。需要说明的是，不限于来自旋转卡盘13的信号，控制部也可以基于用于控制旋转卡盘13的信号来计算沉积位置。

如图1所示，在利用玻璃母材的制造装置1的玻璃母材15的制造中，当前的燃烧器20位于靶部件11的纵向方向上的中央位置，燃烧器20处于相对地向上方向移动(靶部件11相对于燃烧器20向下方移动)的状态。

在该状态下，基于沉积位置是Y1与Y2之间的位置，控制部以使得从流量调节器27a、27b、27c、27d分别向气体口21、22、23、24供给的各气体的流量成为第一流量条件的气体流量的方式进行控制。

接着，在预定时间后(时间t2)，当沉积位置到达上方向移动中的Y2位置时，控制部以使得从流量调节器27a、27b、27c、27d分别向气体口21、22、23、24供给的各气体的流量成为第二流量条件的气体流量的方式进行控制。由此，相对于靶部件11的纵向方向上的从Y1位置到Y2位置的中心部，第一流量条件的气体从气体口21、22、23、24喷出而沉积玻璃微粒，并且在Y2位置处将从气体口21、22、23、24喷出的气体流量切换为第二流量条件。

接着，在燃烧器20的位置到达Y3位置时，旋转卡盘13使靶部件11的移动方向反转，以燃烧器20沿着靶部件11相对地向下方向移动(靶部件11相对于燃烧器20向上方移动)的方式进行控制。

接着，在预定时间后(时间t3)，当燃烧器20的沉积位置到达下方向移动中的Y2位置时，控制部以使得从流量调节器27a、27b、27c、27d分别向气体口21、22、23、24供给的各气体的流量成为第一流量条件的气体流量的方式进行控制。

这样，在作为靶部件11的纵向方向的上方侧端部的Y3位置附近，第二流量条件的气体从气体口21、22、23、24喷出而沉积玻璃微粒。另外，在Y2位置处从气体口21、22、23、24喷出的气体流量在第一流量条件与第二流量条件之间切换。

接着，在预定时间后(时间t4)，当燃烧器20的沉积位置到达下方向移动中的Y1位置时，控制部以使得从流量调节器27a、27b、27c、27d分别向气体口21、22、23、24供给的各气体的流量成为第二流量条件的气体流量的方式进行控制。由此，相对于靶部件11的纵向方向上的从Y2位置到Y1位置的中心部，第一流量条件的气体从气体口21、22、23、24喷出而沉积玻璃微粒，并且在Y1位置处将从气体口21、22、23、24喷出的气体流量切换为第二流量条件。

接着，当燃烧器20的位置到达Y4位置时，旋转卡盘13使靶部件11的移动方向反转，以燃烧器20沿着靶部件11相对地向上方向移动的方式进行控制。

接着，在预定时间后(时间t5)，当燃烧器20的沉积位置到达上方向移动中的Y1位置时，控制部以使得从流量调节器27a、27b、27c、27d分别向气体口21、22、23、24供给的各气体的流量成为第一流量条件的气体流量的方式进行控制。

这样，在靶部件11的纵向方向的下方侧端部Y4位置附近，第二流量条件的气体从气体口21、22、23、24喷出而沉积玻璃微粒。另外，在Y1位置处从气体口21、22、23、24喷出的气体流量在第一流量条件与第二流量条件之间切换。

通过重复这些基于第一流量条件和第二流量条件的一系列处理工序，在中心部通过第一流量条件形成相同直径的玻璃母材，并且在上下两端部通过第二流量条件形成越到端部直径越小的玻璃母材。

接着，参照图4对在玻璃母材15的制造过程中开始对靶部件11沉积玻璃微粒的沉积开始阶段中的气体的流量条件进行说明。图4是示出在沉积开始阶段从燃烧器20的各气体口21、22、23、24喷出的气体流量的变化的图。

如图4所示，在开始对靶部件11沉积玻璃微粒的沉积开始阶段、即未对靶部件11沉积玻璃微粒的预定期间(时间t01～时间t02)中，从气体口21、22、23、24喷出第二流量条件的气体并在靶部件11上沉积玻璃微粒。预定期间例如是指直到靶部件11的表面被玻璃微粒几乎没有间隙地均匀沉积的状态为止的期间。即，在沉积开始阶段，不仅在靶部件11的纵向方向上的从下端的Y4位置到上端的Y3位置的区域即端部，在中心部也以第二流量条件形成玻璃母材15。如上所述，在第二流量条件下，惰性气体的第二惰性气体流量B2设定为比原料气体的第二原料气体流量A2大。

但是，在通过在由燃烧气体和助燃气体形成的火焰中喷出原料气体来生成玻璃微粒而在靶部件上沉积玻璃微粒时，当处于原料气体的流量降低了的状态时，从燃烧器喷出的原料气体的流速降低。在该状态下，当原料气体的反应在燃烧器附近发生时，在燃烧器附近生成玻璃微粒而在燃烧器前端附着玻璃微粒，可能无法良好地形成玻璃母材。例如，在降低原料气体的流量时，有时越过(overshoot)目标流量，从低于目标流量的流量逐渐接近目标流量。在越过目标流量而降低的状态下，特别是在燃烧器附近原料气体与燃烧气体及助燃气体容易反应，生成的玻璃微粒有时附着在燃烧器自身上。

与此相对，根据本实施方式的玻璃母材15的制造方法，第一流量条件的第一原料气体流量A1设定为比第二流量条件的第二原料气体流量A2大，第一流量条件的第一惰性气体流量B1设定为比第二流量条件的第二惰性气体流量B2小。因此，当将从燃烧器20喷出的气体的流量从第一流量条件切换为第二流量条件时，原料气体的流量从第一原料气体流量A1下降到第二原料气体流量A2，在原料气体与燃烧气体及助燃气体之间喷出的惰性气体的流量从第一惰性气体流量B1增加到第二惰性气体流量B2。由此，在燃烧器20附近，原料气体与燃烧气体及助燃气体难以反应，因此即使原料气体的流量降低，玻璃微粒也难以附着在燃烧器20自身上，能够良好地形成玻璃母材15。

另外，在玻璃母材的制造方法中，为了良好地形成玻璃母材，优选在靶部件的端部以使原料气体的流量比靶部件的中心部低的状态进行玻璃母材的形成。与此相对，在本实施方式的玻璃母材15的制造方法中，在靶部件11的从Y1位置到Y2位置的中心部，以第一流量条件的第一原料气体流量A1形成玻璃母材15，在靶部件11的从Y2位置到Y3位置的上方侧端部和从Y1位置到Y4位置的下方侧端部，以第二流量条件的第二原料气体流量A2形成玻璃母材15。由此，能够在良好地形成玻璃母材15的同时，难以在燃烧器20自身上沉积玻璃微粒。

根据本实施方式的玻璃母材15的制造方法，在玻璃微粒没有沉积在靶部件11上的沉积开始阶段，从燃烧器20的气体口21、22、23、24喷出第二流量条件的气体，从而在靶部件11上沉积玻璃微粒。在没有沉积玻璃微粒的沉积开始阶段，优选提高沉积在靶部件11上的玻璃微粒的体积密度以提高玻璃微粒沉积体(玻璃母材15)的强度。并且，为了提高玻璃微粒的体积密度，优选减少原料气体的流量。根据上述制造方法，由于在沉积开始阶段，原料气体在作为第二原料气体流量A2的第二流量条件下形成玻璃母材15，因此能够提高玻璃微粒的体积密度，并且即使在沉积开始阶段处于减少原料气体流量的状态，玻璃微粒也难以附着在燃烧器20上。

在本实施方式的玻璃母材15的制造方法中，在第二流量条件下，惰性气体口22中的惰性气体的喷出流速大于原料气体口21中的原料气体的喷出流速。当在燃烧器20的前端附近降低惰性气体的流速时，在原料气体与燃烧气体及助燃气体之间容易发生反应，玻璃微粒容易沉积在燃烧器20的前端和已经附着在燃烧器20的前端的玻璃微粒上。根据上述制造方法，由于在第二流量条件下，惰性气体口22中的惰性气体的喷出流速大于原料气体口21中的原料气体的喷出流速，因此即使原料气体的流量降低，也难以引起口附近的原料气体与燃烧气体及助燃气体的反应，从而玻璃微粒难以附着在燃烧器20上。

在本实施方式的玻璃母材15的制造方法中，调节向燃烧器20供给的原料气体的流量的原料气体流量调节器27a(流量调节器27当中的一个)是常开型。常开型的流量调节器与常闭型相比难以在小流量区域进行控制。因此，常开型的流量调节器在小流量区域容易产生流量周期性地升降的波动现象，有时难以保持恒定的流量。根据上述制造方法，由于即使在通过常开型的流量调节器使来自原料气体口21的原料气体的流量变小的情况下，也能使来自惰性气体口22的惰性气体的流量变大，因此能够使玻璃微粒难以附着在燃烧器20上，能够维持良好的玻璃母材15的制造状态。

根据本实施方式的玻璃母材15的制造方法，在第二流量条件下第二燃烧气体流量C2大于第一燃烧气体流量C1，第二助燃气体流量D2大于第一助燃气体流量D1。这样，通过在靶部件11的端部减少原料气体的流量，并且增加燃烧气体及助燃气体的流量，能够增加所沉积的玻璃微粒的体积密度。由此，能够抑制玻璃母材15的端部的裂纹产生(烟炱体(soot)裂纹)。

(变形例)

在上述例子中，对利用具备1个燃烧器的OVD法制造玻璃母材15的情况进行了说明，但是不限于此。本发明涉及的玻璃母材的制造方法例如也可以如图5所示，使用具备由多个(例如6个)燃烧器120a、120b、120c、120d、120e、120f构成的燃烧器列的玻璃母材制造装置100。靶部件11一边绕轴旋转，一边如箭头Q所示相对于各燃烧器120a、120b、120c、120d、120e、120f相对地上下往返移动。往返移动的范围比图1所示的例子小。制造装置100可以实施以下的玻璃母材的制造方法：以使由各燃烧器120a、120b、120c、120d、120e、120f生成的玻璃微粒分别覆盖靶部件11的纵向方向的一部分的方式进行沉积，且利用相邻的燃烧器使沉积玻璃微粒的范围连续而形成一个玻璃微粒沉积体。需要说明的是，虽然省略了图示，但是在各燃烧器120a、120b、120c、120d、120e、120f上分别连接有气体口21～24。另外，在图5所示的制造装置100中，对于具有与图1的制造装置1相同的功能的部件标注相同的符号。

在图5所示的制造装置100的情况下，将从配置在上下方向的燃烧器列的两端的燃烧器120a和120f喷出的各气体的流量切换为第一流量条件和第二流量条件。与此相对，从燃烧器120b、120c、120d、120e喷出的各气体的流量维持第一流量条件。在靶部件11相对于燃烧器列相对地下降的图5的状态下，将从燃烧器120a喷出的各气体的流量切换为第一流量条件，从燃烧器120f喷出的各气体的流量切换为第二流量条件。由此，能够在靶部件11的中心部以第一流量条件形成玻璃母材15，在靶部件11的端部以第二流量条件形成玻璃母材15。在该变形例中，也与图1至图4所示的实施方式同样地，玻璃微粒难以沉积在燃烧器自身上。

在该变形例中，在沉积开始阶段，对于所有的燃烧器120a、120b、120c、120d、120e、120f，可以在第二流量条件下形成玻璃母材15。

以上，参照特定的实施方式对本发明进行了详细地说明，但是对于本领域的技术人员显而易见的是，在不脱离本发明的精神和范围的情况下可以进行各种变更和修改。另外，上述说明的构成部件的数量、位置、形状等不限于上述实施方式，可以变更为对于实施本发明合适的数量、位置、形状等。

例如，在本实施方式中，靶部件沿着上下方向配置，但是即使在靶部件沿着水平方向配置的情况下，也能够应用本公开中说明的制造方法。

另外，在本实施方式中，也可以通过使燃烧器而不是靶部件沿着上下方向移动来沉积玻璃微粒。在这种情况下，也可以应用本发明的制造方法。