一种真空配管连接部紧固装置

技术领域

本发明涉及半导体技术领域，具体是一种真空配管连接部紧固装置。

背景技术

真空管道(Vacuum Line，即真空配管)的连接部分泄漏(Leak)及损坏(Broken)，是泵损坏/晶圆失效(Pump Damage/Wafer Fail)及非定期PM的原因。于是，通过变化连接部结构的设计来改善拧紧的问题；此外，设计还为了确认是否正常拧紧。

在使用真空的半导体工厂中，为改善泵(Pumping)的真空配管的连接部分的问题，要打破以往的固定方法，设计得不一样。半导体设备中，使用真空配管时，要对相互连接的夹具(Clamp)的组装失败进行事先防止。

夹具固定方式中，如果组装失败的话，因工艺反应后会产生烟气(FUME)而引起密封圈(SealingO-ring)腐蚀问题。此外，为了维持真空，检查夹具是否正常拧紧比较困难。

因此，如何更便捷拧紧及确认是否正常，是一个重要的技术研发方向。

发明内容

为克服现有技术的不足，本发明提供了一种真空配管连接部紧固装置，解决现有技术存在的拧紧操作困难、拧紧检测困难等问题。

本发明解决上述问题所采用的技术方案是：

一种真空配管连接部紧固装置，包括螺旋件、套设于两段真空配管的连接部外的密封圈、套设于两段真空配管的连接部外的紧固环，所述紧固环上设有与所述螺旋件配合的螺纹通孔，所述密封圈设于两段真空配管的连接部与所述紧固环之间。

作为一种优选的技术方案，所述螺旋件掘进方向上设有贯穿的穿透通孔。

作为一种优选的技术方案，所述螺旋件包括依次连接的帽部、杆部，所述杆部外设有外螺纹，所述帽部设有帽腔，所述穿透通孔穿设所述帽腔及所述杆部。

作为一种优选的技术方案，所述穿透通孔为圆柱形孔。

作为一种优选的技术方案，还包括连接杆、检测件、套设于真空配管外的阻挡件，所述连接杆从所述穿透通孔穿设而过，所述检测件、所述阻挡件分别设于所述穿透通孔的两端外，所述检测件靠近所述帽腔的一端与所述连接杆连接。

作为一种优选的技术方案，所述检测件为电子式传感器。

作为一种优选的技术方案，所述阻挡件为环形阻挡件。

作为一种优选的技术方案，所述螺旋件为螺栓、螺柱或螺钉。

作为一种优选的技术方案，所述螺纹通孔的数量为2个及以上。

作为一种优选的技术方案，所述螺纹通孔的数量为4个，2个螺纹通孔至所述紧固环圆心的距离相等，相邻两个螺纹通孔之间的间距相等。

本发明相比于现有技术，具有以下有益效果：

(1)本发明便于拧紧，以防止真空配管的连接部泄漏。相比较于现有技术，本发明集安装与拧紧一体，结构简单，操作便捷，而且便于通过人工简单的目测等方法即可实时查看是否拧紧，不需要额外借助检测仪器，也不需要拆卸；本发明很好地解决了现有技术存在的拧紧操作困难、拧紧检测困难等问题；

(2)本发明穿透通孔的设置，更有利于通过穿透通孔目测实时查看是否拧紧；也有利于增加检测辅助装置以检测拧紧状态；

(3)本发明便于制作；而且，帽腔还有利于容纳帽部，以避免外界损伤；

(4)本发明检测件可通过连接杆与阻挡件的相对位置及是否接触判断拧紧状态，这样的检测结构不必增加太多部件，即可实现便捷化、智能化的检测；

(5)本发明电子式传感器检测灵敏度高，精度高；

(6)本发明便于更紧密地套设在真空配管外，安装固定效果较好，也更有利于检测的可靠性和准确性；

(7)本发明使得螺旋件可选种类较多，使用场景较广；

(8)本发明有利于受力均匀，有利于防止拧紧操作时的损伤、弯曲真空配管，使得安装效果更好。

附图说明

图1为本发明用于紧固真空配管的结构示意图；

图2为真空配管、紧固环、密封圈的相对位置关系示意图(图1的俯视方向)；

图3为本发明拧紧检测的状态图之一(连接前，即Joint前)；

图4为本发明拧紧检测的状态图之二(连接正常后，即Joint正常后)。

附图中标记及相应的零部件名称：1、真空配管，2、紧固环，3、螺纹通孔，4、螺旋件，5、密封圈，7、阻挡件，8、连接杆，9、检测件，41、帽部，42、杆部，43、外螺纹，44、帽腔，45、穿透通孔。

具体实施方式

下面结合实施例及附图，对本发明作进一步的详细说明，但本发明的实施方式不限于此。

实施例1

如图1至图4所示，一种真空配管连接部紧固装置，包括螺旋件4、套设于两段真空配管的连接部外的密封圈5、套设于两段真空配管的连接部外的紧固环2，所述紧固环2上设有与所述螺旋件配合的螺纹通孔3，所述密封圈5设于两段真空配管的连接部与所述紧固环2之间。

使用时，将螺旋件4穿设进入螺纹通孔3，然后进行拧紧操作。螺旋件4(无需Nut)提供夹持力给紧固环2、密封圈5，从而便于拧紧，以防止真空配管的连接部泄漏。相比较于现有技术，本发明集安装与拧紧一体，结构简单，操作便捷，而且便于通过人工简单的目测等方法即可实时查看是否拧紧，不需要额外借助检测仪器，也不需要拆卸。本发明很好地解决了现有技术存在的拧紧操作困难、拧紧检测困难等问题。

作为一种优选的技术方案，所述螺旋件4掘进方向上设有贯穿的穿透通孔45。

穿透通孔45的设置，更有利于通过穿透通孔45目测实时查看是否拧紧；也有利于增加检测辅助装置以检测拧紧状态。

作为一种优选的技术方案，所述螺旋件4包括依次连接的帽部41、杆部42，所述杆部42外设有外螺纹43，所述帽部41设有帽腔44，所述穿透通孔45穿设所述帽腔44及所述杆部42。

这样的结构便于制作；而且，帽腔44还有利于容纳帽部41，以避免外界损伤。

作为一种优选的技术方案，所述穿透通孔45为圆柱形孔。

这更加便于制作加工。

作为一种优选的技术方案，还包括连接杆8、检测件9、套设于真空配管外的阻挡件7，所述连接杆8从所述穿透通孔45穿设而过，所述检测件9、所述阻挡件7分别设于所述穿透通孔45的两端外，所述检测件9靠近所述帽腔44的一端与所述连接杆8连接。

使用时，检测件9可通过连接杆8与阻挡件7的相对位置及是否接触判断拧紧状态，这样的检测结构不必增加太多部件，即可实现便捷化、智能化的检测。

作为一种优选的技术方案，所述检测件9为电子式传感器。

电子式传感器检测灵敏度高，精度高。

作为一种优选的技术方案，所述阻挡件7为环形阻挡件。

这便于更紧密地套设在真空配管外，安装固定效果较好，也更有利于检测的可靠性和准确性。

作为一种优选的技术方案，所述螺旋件4为螺栓、螺柱或螺钉。

这使得螺旋件4可选种类较多，使用场景较广。

作为一种优选的技术方案，所述螺纹通孔3的数量为2个及以上。

作为一种优选的技术方案，所述螺纹通孔3的数量为4个，4个螺纹通孔3至所述紧固环2圆心的距离相等，相邻两个螺纹通孔3之间的间距相等。

这有利于受力均匀，有利于防止拧紧操作时的损伤、弯曲真空配管，使得安装效果更好。

实施例2

如图1至图4所示，作为实施例1的进一步优化，本实施例包含了实施例1的全部技术特征，除此之外，本实施例还包括以下技术特征：

本发明是有关半导体真空配管1的连接部的拧紧技术。

本发明用泵的真空配管1连接夹持结构(trap Type)来简单地组装。

本发明为防止组装失败，利用检测件9(采用Sensor)检查安装及拧紧，并能防止拧紧歪曲，拧紧方式以螺旋夹持结构进行。

本发明在配管的螺旋件4(采用screw)中央设置一个圆环状的阻挡件7。随螺旋件4的拧紧，用来确认的检测件9的移动，从而检测拧紧状态。

本发明使操作者能够很容易地去人安装状态(正常的安装)。

本发明以变化Vacuum(真空)配管拧紧方式的设计来去除Leak Point(泄漏点)。关于拧紧的状态,可以简单地目测就好，不需要再次确认。

本发明用于半导体工艺真空配管输送安装紧固，可预防工艺事故(CD及晶圆报废)。

本发明通过泵故障的事前预防来达到减少修缮费的效果，使维护成本降低。

优选的，用于半导体设备中使用真空配管的设备上。

优选的，真空配管拧紧使用螺旋方式。拧紧时，为了防止歪曲的产生，在设计上使螺旋件4经过4处螺纹通孔3。

优选的，在螺旋件4上设置穿透通孔45，为了让其能够确认是否正常拧紧的设计。

优选的，下端部位的阻挡件7进行阻挡后，让螺旋件4不会再下移的设计。

如上所述，可较好地实现本发明。

本说明书中所有实施例公开的所有特征，或隐含公开的所有方法或过程中的步骤，除了互相排斥的特征和/或步骤以外，均可以以任何方式组合和/或扩展、替换。

以上所述，仅是本发明的较佳实施例而已，并非对本发明作任何形式上的限制，依据本发明的技术实质，在本发明的精神和原则之内，对以上实施例所作的任何简单的修改、等同替换与改进等，均仍属于本发明技术方案的保护范围之内。