一种金属掩膜版的伴洗治具及清洗方法

技术领域

本发明涉及金属掩膜版清洗领域，尤其涉及一种金属掩膜版的伴洗治具及清洗方法。

背景技术

OLED显示装置由于具有自主发光、色彩鲜艳、低功耗、广视角等优点被应用的越来越广泛。目前，制作OLED显示面板时普遍采用蒸镀技术，蒸镀过程中，金属掩膜版(MetalMask，简称Mask)可以有效控制有机材料沉积在基板上的位置，因此，在整个OLED显示面板生产工艺中金属掩膜版扮演着极其重要的角色。

在金属掩膜版的生产和使用过程中，常常需要对金属掩膜版表面的金属碎屑、油污等脏污进行清洗。针对掩膜版的清洗，一般的方式是将金属掩膜版浸没到清洗液中，然后借助超声波产生高频振动进行清洗。这种方式虽然能够有效地清除掩膜版表面的脏污，但是一些如金属碎屑等杂质会进入清洗液中，并在清洗液中富集，这必然会影响到清洗液的质量，造成后续的清洗效率和清洁效果变差，以及增加清洗液损耗。

因此，上述问题亟待解决。

发明内容

为了至少解决上述现有技术中的问题之一，本发明提供了一种金属掩膜版的伴洗治具，该伴洗治具包括：

框体，框体的中部为上下贯通的开口；以及

吸附杆，吸附杆具有磁性，若干吸附杆平行布设在框体中部的开口处；

吸附杆设置在框体的上侧和/或下侧。

作为进一步的设计，所述的吸附杆包括套管和磁芯，套管至少一端具有供磁芯进出的管口，磁芯安装在套管内；

优选地，套管的管口处设置有堵头。

作为进一步的设计，所述套管和所述堵头的材质为不易被磁化的金属或非金属；

所述框体的材质为不易被磁化的金属或非金属。

作为进一步的设计，所述吸附杆可拆卸地安装在所述框体上。

作为进一步的设计，所述框体的框边上设置有若干安装槽，安装槽两两对位分布；

安装槽包括内槽和外槽；

所述吸附杆的两端分别卡装在相应安装槽的内槽中；

外槽内设置有压件，压件与框体之间可拆卸连接。

作为进一步的设计，所述框体的上侧和下侧均布设有所述的吸附杆；

处在框体上侧的吸附杆与处在框体下侧的吸附杆在水平方向上交替错位分布。

作为进一步的设计，所述框体的上侧和下侧均布设有所述的吸附杆；

处在框体上侧的吸附杆的宽度方向与处在框体下侧的吸附杆的宽度方向互为平行或者垂直。

以及

本发明还提供了一种金属掩膜版的清洗方法，步骤包括：

S10、准备伴洗治具，所述伴洗治具为上述的金属掩膜版的伴洗治具；

S20、将伴洗治具与掩膜版共同浸没在清洗池中的清洗液内，伴洗治具水平置于掩膜版下方；

优选地，掩膜版水平置于伴洗治具的上方，或者掩膜版竖立置于伴洗治具的上方；

S30、清洗。

作为进一步的设计，将清洗后的所述掩膜版先于所述伴洗治具从所述清洗池内取出；

从清洗池取出掩膜版之后，将伴洗治具也从清洗池中取出，再次清洗掩膜版时，重新将伴洗治具与掩膜版共同浸没到清洗池内的清洗液中；或者，

从清洗池取出掩膜版之后，对掩膜版的清洗效果进行检测：

若检测结果表明清洗效果未达到预先设定的合格标准，则将掩膜版重新浸没在清洗池中的清洗液内进行清洗，重复操作直至清洗效果达标，并记录清洗次数和单次清洗时长和清洗次数；

若检测结果表明清洗效果已达到预先设定的合格标准，则投入下一批掩膜版进行清洗，或者结束清洗并取出伴洗治具。

作为进一步的设计，根据记录的所述单次清洗时长和清洗次数，重新确定所述S30步骤中清洗的时长，并应用于后续清洗。

本发明的有益效果为：

1)采用本发明的伴洗治具与掩膜版一同没入清洗池中的清洗液内进行清洗，伴洗治具上的吸附杆能够吸附金属掩膜版上被清洗下来并进入清洗液的金属碎屑，从而防止金属碎屑在清洗液中越积越多，避免造成后续的清洗效率和清洁效果变差以及增加清洗液损耗；

2)本发明提供的金属掩膜版的清洗方法，不仅具有高效的清洗效率，能够长时间维持清洗液的洁净，降低清洗液的更换频次以及更换清洗液所投入的成本。

另，本发明的其他附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。

附图说明

图1为一种本发明的伴洗治具的结构示意图；

图2为图1中的伴洗治具的框体的结构示意图；

图3为图2中A位置的局部放大视图；

图4为不同实施方式的吸附杆的结构示意图；

图5为另一种本发明的伴洗治具的结构示意图；

图6为吸附杆在框体上的一种排布方式示意图；

图7为吸附杆在框体上的另一种排布方式示意图；

图8为伴洗治具与掩膜版伴洗的一种实施方式示意图；

图9为伴洗治具与掩膜版伴洗的另一种实施方式示意图

图中：1、框体；11、框边；12、安装槽；121、内槽；122、外槽；

2、吸附杆；21、套管；22、磁芯；23、堵头；

3、压件；

4、掩膜版；5、清洗池；100、伴洗治具。

具体实施方式

为了使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本发明作进一步地详细描述，显然，以下所描述的实施例仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。作为参考，以下的记载事项及附图为用于帮助理解本发明的简要示例，而并非用于限定本发明的技术范围。换句话说，以下说明的实施例可能具有多种变形，这些变形属于本发明的技术思想范围内，本发明所属技术领域的普通技术人员可通过以下的说明轻松理解本发明的技术思想。下面结合附图和实施例，对本发明作进一步说明：

参照附图1，示出了本公开的伴洗治具的一种立体结构，所示的伴洗治具包括框体1和吸附杆2。其中：

框体1为中部具有开口的边框结构，开口上下贯通。这里需要指出的是，图1示出的矩形框仅仅是框体1的一种结构，框体1还可以有其它的结构，例如：框体1可以被设置成圆环形的框；或者，框体1还可以是两段相互平行的杆，此时框体1中部的开口可以被理解为两个杆之间的间隔区域；等等。

吸附杆2具有多个，这些吸附杆2平行布设在框体1中部的开口处。例如，图1中示出了吸附杆2设置在框体1上侧的情况，图中的多个吸附杆2均匀布设在框体1中部的开口中。这里应当理解，框体1的上侧和下侧是相对而言的，当将图1中示出的框体1上下翻转后，框体1上的吸附杆2也即处于框体1的下侧。另外，吸附杆2还可以位于框体1厚度方向上的中间位置，此时所述的设置在框体1上侧或下侧应当被理解为吸附杆2是从框体1的上侧或下侧安装进入框体1。

吸附杆2为具有磁性的杆状工件。当将本公开的伴洗治具同金属掩膜版一起浸没在清洗液中进行清洗时，伴洗治具上的吸附杆2能够吸附金属掩膜版上被清洗下来并进入清洗液的金属碎屑，从而防止金属碎屑在清洗液中越积越多，避免造成后续的清洗效率和清洁效果变差以及增加清洗液损耗。

当伴洗治具被使用一段时间后，伴洗治具上的吸附杆2会吸附了大量的金属碎屑，导致需要将吸附杆2上的金属碎屑去除，以此来避免由伴洗治具自身对清洗液产生污染。实践中，如果单纯的采用磁铁作为吸附杆2，去除这种吸附杆2上吸附的金属碎屑会十分困难。为此，本公开的伴洗治具中进行了如下设计。

例如，图4中示出了两种不同结构的吸附杆2，其中：图4(a)中示出的吸附杆2包括套管21和磁芯22，套管21的一端或者两端具有供磁芯22进出的管口，磁芯22安装在套管21内，这种结构优点在于，方便了将磁芯22从套管21中取出，当磁芯22被取出后，去除套管21表面吸附的金属碎屑将变得十分容易。图4(b)中示出的吸附杆2，在图4(a)中吸附杆2的基础上增设了堵头23，堵头23安装在套管21的管口处，用于防止金属碎屑从管口进入套管21内直接吸附在磁芯22上。

为了能够更快速清理掉伴洗治具吸附的金属碎屑，本公开中对伴洗治具不同部件的选材进行了深入思考。例如，图4中的套管21、堵头23选用不易被磁化的金属或非金属材料，比如可选用：铜、铝及其合金，以及工程塑料，等等。在选择上述金属或非金属材料时，应当考虑清洗液对相关材料是否具有腐蚀性，以避免伴洗治具的构件被清洗液所腐蚀。当磁芯22被取出后，由于套管21自身不具有磁性且未被磁化，套管21表面吸附的金属碎屑会自然脱落去除。基于此，在图4(b)示出的吸附杆2中，磁芯22可短于套管21，套管21内管口所在端未被磁芯22占据的位置被堵头23所填充，这种设计的优势在于，吸附杆2吸附的金属碎屑会远离套管21的管口，取下堵头23和磁芯22的过程中金属碎屑不容易伺机进入套管21或者吸附到磁芯22上。

另外，除去吸附杆2以外的框体1以及框体1上其它构件也可以选用上述不易被磁化的金属或非金属材料，以此来防止这些构件被磁芯22磁化而吸附金属碎屑。

为了方便从伴洗治具中取下吸附杆2，本公开中将吸附杆2可拆卸地安装在框体1上。图1～图3示出了一种吸附杆2与框体1之间可拆卸的连接结构，具体地说，在框体1的框边11上设置有若干安装槽12，安装槽12两两对位分布，安装槽12包括内槽121和外槽122，吸附杆2的两端分别卡装在对位设置的两个安装槽12的内槽121中，在外槽122内设置有压件3，压件3与框体1之间可拆卸连接(例如采用螺丝连接，等等)，通过压件3将吸附杆2的端部限制在安装槽12的内槽121中。

在实践中，如图1中示出的仅在框体1一侧布设一层吸附杆2，对于清洗液中的金属碎屑吸附能力有限。因此，在清洗完金属掩膜版并将金属掩膜版从清洗液中取出之后，往往需要将伴洗治具在清洗液中静置一段相当长的时间，然后再将伴洗治具从清洗液中取出。这种情况拖慢了清洗效率。

为改善清洗效率，本公开中给出了图5中示出的另一种伴洗治具，该伴洗治具中在框体1的上侧和下侧均布设有吸附杆2，也即是布设两层吸附杆2，使得伴洗治具获得更高效的吸附能力，提高清洗效率。

图6和图7分别示出了上、下层吸附杆2采用不同排布方式的两个实例。上述两个实例的共性在于，处在框体1上侧的上层吸附杆2-a与处在框体1下侧的下层吸附杆2-b在水平方向上交替错位分布。在金属掩膜版清洗过程中，清洗液中悬浮的金属碎屑穿过上层吸附杆2-a之间的间隙时，如果未被上层的吸附杆2-a所吸附，则会直接迎面落在下层的吸附杆2-b之上，从而被下层的吸附杆2-b所吸附，因此可以更高效的去除清洗液中的金属碎屑。

图7示出的实例与图6示出的实例的不同之处在于，图7中上层的吸附杆2-a与下层的吸附杆2-b这两者的宽度方向不同。具体地说：图6中，上层的吸附杆2-a和下层的吸附杆2-b的宽度方向都与框边11的延伸方向相同，此时，处在框体1上侧的上层吸附杆2-a的宽度方向与处在框体1下侧的下层吸附杆2-b的宽度方向互为平行；图7中，上层的吸附杆2-a的宽度方向与框边11的延伸方向相同，下层的吸附杆2-b的宽度方向都与框边11的延伸方向垂直(也即是与框体1的厚度方向一致)，此时，处在框体1上侧的上层吸附杆2-a的宽度方向与处在框体1下侧的下层吸附杆2-b的宽度方向互为垂直。图6和图7的两个实例相比，下层的吸附杆2-b和与其相邻的上层的吸附杆2-a之间的间距不同，实践中，优选两者中间距较小的一个，使得上、下层吸附杆2之间的间距能够被磁力充分覆盖到。这里，根据实际的需求，上、下两层吸附杆2也可以设置为吸附杆2的宽度方向均与框体1的厚度方向一致。

上述图6和图7示出的不同实例均是针对吸附杆2厚度和宽度不相同的情景的举例说明，例如，吸附杆2的横截面为矩形、长腰型或者椭圆形等情景。而当吸附杆2厚度和宽度相同时，例如吸附杆2的横截面为圆形或正方形等，上述图6和图7中两实例的差异将不存在，此时，既可以认为上、下两层吸附杆2的宽度方向相互平行，也可以认为上、下两层吸附杆2的宽度方向相互垂直。

上面已经描述了金属掩膜版的伴洗治具，但本公开并不仅限于此，本公开同时还提供了一种金属掩膜版的清洗方法，参照附图8和图9，对本公开的清洗方法说明如下。

首先，准备伴洗治具100，该伴洗治具100即是上述本公开中的金属掩膜版的伴洗治具。

其次，将伴洗治具100与掩膜版4共同浸没在清洗池5中的清洗液内，伴洗治具100水平置于掩膜版4下方。

实践中，可将伴洗治具100先于掩膜版4浸没在清洗池5中的清洗液内静置，然后再将掩膜版4浸没在清洗池5中的清洗液内；也可以将伴洗治具100与掩膜版4同步投入清洗池5中的清洗液内。上述两种情况均应当被理解为上述的“共同浸没”。

参照图8所示，掩膜版4可以竖立置于伴洗治具100的上方；或者，参照图9中所示，掩膜版4也可以水平置于伴洗治具100的上方。两种方式相比，图8示出的掩膜版4竖立置于伴洗治具100上方的方式可以一次投入多片掩膜版4同时清洗，清洗效率明显更高。

图8和图9中仅示出了掩膜版4与伴洗治具100不接触的情景。然而，掩膜版4也可以接触到伴洗治具100，此时伴洗治具100为掩膜版4提供竖直方向上的支撑。

然后，在清洗清洗池5中对掩膜版4进行清洗。这里可以采用各种清洗方式对掩膜版4进行清洗，例如：借助超声波产生高频振动进行清洗等。

将清洗后的掩膜版4先于伴洗治具100从清洗池5内取出，对掩膜版4的清洗效果进行检测，并依据检测结果确定后续的处理方式。例如：

若检测结果表明清洗效果并未达到预先设定的合格标准，则可将掩膜版4重新浸没在清洗池5中的清洗液内进行清洗。重复操作，直至清洗效果达标。这里，需要将清洗次数和单次清洗时长进行记录，并在下一次的清洗中，根据先前记录的清洗次数和单次清洗时长，重新确定上述在清洗池5中对掩膜版4进行清洗的时长，从而提高清洗效率。

若检测结果表明清洗效果已经达到预先设定的合格标准，则可进行如下操作，例如：投入下一批待洗的掩膜版4进行清洗(这里的“一批”可以理解为一个金属掩膜版，也可以是多个金属掩膜版)，清洗多批金属掩膜版后，结束清洗并取出伴洗治具100；或者，直接结束清洗并取出伴洗治具100。

这里，结束清洗的时机优选结合当前时间段内需要清洗的金属掩膜版的数量和伴洗治具100吸附金属碎屑的量来综合考虑。例如：如果伴洗治具100因已经吸附较多量的金属碎屑而需要清洗，或者当前时间段内需要清洗的金属掩膜版已经全部清洗完成，则应选择结束清洗并取出伴洗治具100，以避免因长时间浸泡导致伴洗治具100上吸附的金属碎屑向清洗液中释放污染物，继而避免造成二次污染。

当然，还可以在每次将掩膜版4从清洗池5取出后，将伴洗治具100也从清洗池5中取出，再次清洗掩膜版4时，重新将伴洗治具100与掩膜版4共同浸没到清洗池5内的清洗液中。这样也能避免因伴洗治具100在清洗液中的长时间浸没而导致伴洗治具100所吸附的金属碎屑向清洗液中释放污染物。

清洗后的掩膜版4输送至下一道工序备用。

需要说明的是，即便本公开已经给出了能够提高清洗效率的伴洗治具100的优化方案，但是在实践中，将伴洗治具100从清洗池5取出之前，仍然优选将伴洗治具100在清洗液内做稍短时长的静置，并且伴洗治具100从清洗池5取出也可尽量缓慢，以达到让伴洗治具100充分吸附混入清洗液内的金属碎屑。

最后需要再次强调的是，以上实施例仅用以说明本发明实施例的技术方案而非对其进行限制，尽管参照较佳实施例对本发明实施例进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解依然可以对本发明实施例的技术方案进行修改或者等同替换，而这些修改或者等同替换亦不能使修改后的技术方案脱离本发明实施例技术方案的范围。