光刻机空调氟利昂的自动补给装置及自动补给方法

技术领域

本发明涉及一种光刻机空调氟利昂的自动补给装置及自动补给方法，属于半导体光刻机的空调氟利昂补给技术领域。

背景技术

光刻机是一种芯片生产中的必要设备；光刻机的光刻环境要求比较苛刻，对于外界环境必须恒温恒湿，同时光刻机自身的机器内部的温度也必须满足要求。而由于光刻机的使用年限比较长，对于一些出厂年份比较老的光刻机，这些老的光刻机的空调还是使用氟利昂，在长期的使用过程中，氟利昂可能出现泄漏的情况，这样导致空调的效果降低，光刻机内部的温度就会升高，导致光刻质量降低。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是：提供一种光刻机空调氟利昂的自动补给装置，该自动补给装置可以根据空调的氟利昂管道的压力自动补给氟利昂。

本发明所要解决的另一个技术问题是：提供一种光刻机空调氟利昂的自动补给方法，该自动补给方法可以根据空调的氟利昂管道的压力自动补给氟利昂。

为解决上述技术问题，本发明的技术方案是：一种光刻机空调氟利昂的自动补给装置，包括箱体，所述箱体的内部设置有氟利昂储罐，氟利昂储罐的出口连接有补给管路，所述补给管路的一端伸出箱体外部且设置与光刻机空调的补给口进行快速对接的快速接头；所述补给管路上设置有电磁阀、压力传感器和单向阀，所述箱体内设置有与电磁阀和压力传感器导电连接的控制器和给控制器供电的电源，所述光刻机空调的氟利昂管道上的测压传感器与所述控制器导电连接。

作为一种优选的方案，所述氟利昂储罐的数量为两个，补给管路分别通过分补给管路与两个氟利昂储罐的出口相连接，所述电磁阀的数量为两个且分别设置在分补给管路上。

作为一种优选的方案，所述箱体为封闭的箱体，所述箱体内设置有用来测试箱体内氟利昂浓度的氟利昂气体泄露报警器，所述箱体的侧壁上还设置有抽气口，所述抽气口连接抽气管路系统。

作为一种优选的方案，所述抽气管路系统包括抽气泵，所述抽气泵的抽吸口通过第一抽吸管路与抽气口相连通，所述抽吸泵的排气口连接排气管道，该排气管道连接废气储存罐。

作为一种优选的方案，所述抽吸管路上还连接有第二抽吸管路，所述第二抽吸管路与存放所述光刻机空调的空调存放腔室连通，所述第二抽吸管路和第一抽吸管路上均设置有电磁阀，所述空调存放腔室内也设置有氟利昂气体泄露报警器。

采用了上述技术方案后，本发明的效果是：由于自动补给装置包括箱体，所述箱体的内部设置有氟利昂储罐，氟利昂储罐的出口连接有补给管路，所述补给管路的一端伸出箱体外部且设置与光刻机空调的补给口进行快速对接的快速接头；所述补给管路上设置有电磁阀、压力表和单向阀，所述箱体内设置有与电磁阀和压力传感器导电连接的控制器和给控制器供电的电源，所述光刻机空调的氟利昂管道上的测压传感器与所述控制器导电连接，因此，该自动补给装置具备以下优点：1.整个自动补给装置集成在一个箱体内，然后通过快速接头与补给口连接，这样非常方便固定在光刻机的机架上；2.该自动补给装置可以实现自动补给，只需要控制器与测压传感器进行信号连接，就可以通过监控氟利昂管道内的压力来自动补给，而补给管路上的压力传感器可以检测补给管路上的压力，从而得到氟利昂储罐内的氟利昂量，当氟利昂储罐内的压力减少时可以提示更换，因此该自动补给装置可以自动给光刻机空调进行补给，改造相对简单。

又由于所述氟利昂储罐的数量为两个，补给管路分别通过分补给管路与两个氟利昂储罐的出口相连接，所述电磁阀的数量为两个且分别设置在分补给管路上，利用两个氟利昂储罐，可以进行更换的同时还能保证补给，并且自动补给的时间更长。

又由于所述箱体为封闭的箱体，所述箱体内设置有用来测试箱体内氟利昂浓度的氟利昂气体泄露报警器，所述箱体的侧壁上还设置有抽气口，所述抽气口连接抽气管路系统，这样在长期使用过程中，一旦箱体内出现氟利昂泄漏的情况，就可以利用抽气管路系统将气体抽出，集中处理，减少污染。

又由于所述抽吸管路上还连接有第二抽吸管路，所述第二抽吸管路与存放所述光刻机空调的空调存放腔室连通，所述第二抽吸管路和第一抽吸管路上均设置有电磁阀，所述空调存放腔室内也设置有氟利昂气体泄露报警器，这种结构可以进一步对空调存放腔室进行氟利昂泄漏的监控和处理，减少污染。

为解决上述第二个技术问题，本发明的技术方案为：一种光刻机空调氟利昂的自动补给方法，该自动补给方法使用了所述的自动补给装置，该自动补给方法根据氟利昂管道上的测压传感器测试的内部压力作为自动补给的依据；

A、当氟利昂管道内部压力低于补给临界值时，控制器控制补给管路上的电磁阀打开，氟利昂储罐内的氟利昂通过补给管路给氟利昂管道补给；

B、当氟利昂管道上的测压传感器检测其内部压力达到指定压力值，控制器控制电磁阀关闭停止补给；

C、当在A工作状态下时补给管道上的压力传感器检测检测补给管道上的压力低于供应临界值时，控制器关闭电磁阀并提示更换氟利昂储罐；

D、当在A工作状态下时测压传感器检测其内部压力上升的速率低于最低升压速率时，控制器控制电磁阀关闭，同时提示光刻机空调泄漏严重。

其中优选的，该自动补给方法还包括对泄漏的氟利昂进行抽空排出集中处理的处理方法；

在箱体内设置一氟利昂气体泄露报警器，当氟利昂气体泄露报警器检测箱体内部的氟利昂浓度升到到指定浓度时，此时打开抽吸泵将箱体内的空气抽吸，将气态的氟利昂排出到指定的废气储存罐中收集。

其中优选的，所述处理方法中还包括对光刻机的空调存放腔室中泄露的氟利昂进行处理的处理方法，在空调存放腔室内也设置有氟利昂气体泄露报警器，并利用第二抽吸管路与抽吸泵连通，当空调存放腔室内的氟利昂气体泄露报警器检测其内部氟利昂浓度升到到指定浓度时，打开抽吸泵将空调存放腔室内的空气抽吸，将气态的氟利昂排出到指定的废气储存罐中收集。

采用了上述技术方案后，本发明的效果是：该自动补给装置根据氟利昂管道上的测压传感器测试的内部压力作为自动补给的依据，来进行自动补充，当补充压力达到设定值后，就停止补给；而当在A工作状态下时补给管道上的压力传感器检测检测补给管道上的压力低于供应临界值时，控制器关闭电磁阀并提示更换氟利昂储罐；当在A工作状态下时测压传感器检测其内部压力上升的速率低于最低升压速率时，控制器控制电磁阀关闭，同时提示光刻机空调泄漏严重，这样可以适氟利昂的各种情况自动补给。

又由于自动补给方法还包括对泄漏的氟利昂进行抽空排出集中处理的处理方法，这样可以避免氟利昂泄漏造成污染。

附图说明

下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。

图1是本发明实施例的立体图；

图2是本发明实施例隐藏了箱盖的立体图；

图3是本发明实施例的正面示意图；

附图中：1.箱体；2.补给管路；3.压力传感器；4.单向阀；5.电源；6.控制器；7.氟利昂储罐；8.氟利昂气体泄露报警器；9.分补给管路；10.电磁阀；11.快速接头；12.第一抽吸管路；13.第二抽吸管路；14.抽气泵；15.废气储存罐；16.抽气口；17.排气管道。

具体实施方式

下面通过具体实施例对本发明作进一步的详细描述。

如图1至图3所示，一种光刻机空调氟利昂的自动补给装置，包括箱体1，所述箱体1具有可开闭的箱门，箱体1整体为封闭式构造，箱体1可以方便固定在光刻机的设备外部。所述箱体1的内部设置有氟利昂储罐7，氟利昂储罐7的出口连接有补给管路2，所述补给管路2的一端伸出箱体1外部且设置与光刻机空调的补给口进行快速对接的快速接头11；所述补给管路2上设置有电磁阀10、压力传感器3和单向阀4，所述箱体1内设置有与电磁阀10和压力传感器3导电连接的控制器6和给控制器6供电的电源5，所述光刻机空调的氟利昂管道上的测压传感器与所述控制器6导电连接。

本实施例中，所述氟利昂储罐7的数量为两个，补给管路2分别通过分补给管路9与两个氟利昂储罐7的出口相连接，所述电磁阀10的数量为两个且分别设置在分补给管路9上。

所述箱体1为封闭的箱体1，所述箱体1内设置有用来测试箱体1内氟利昂浓度的氟利昂气体泄露报警器8，所述箱体1的侧壁上还设置有抽气口16，所述抽气口16连接抽气管路系统。

所述抽气管路系统包括抽气泵14，所述抽气泵14的抽吸口通过第一抽吸管路12与抽气口16相连通，所述抽吸泵的排气口连接排气管道17，该排气管道17连接废气储存罐15。所述抽吸管路上还连接有第二抽吸管路13，所述第二抽吸管路13与存放所述光刻机空调的空调存放腔室连通，所述第二抽吸管路13和第一抽吸管路12上均设置有电磁阀10，所述空调存放腔室内也设置有氟利昂气体泄露报警器8。其中氟利昂气体泄露报警器8可以为山东如特安防设备有限公司销售的氟利昂气体泄露报警器8，其中控制可以采用PLC或单片机进行控制。

另外本发明还公开了一种光刻机空调氟利昂的自动补给方法，该自动补给方法使用了所述的自动补给装置，该自动补给方法根据氟利昂管道上的测压传感器测试的内部压力作为自动补给的依据；

A、当氟利昂管道内部压力低于补给临界值时，控制器6控制补给管路2上的电磁阀10打开，氟利昂储罐7内的氟利昂通过补给管路2给氟利昂管道补给；该补给临界值可以根据光刻机空调的实际制冷效果进行设定，一般低于该补给临界值，光刻机空调的制冷效果无法满足光刻机的使用。

B、当氟利昂管道上的测压传感器检测其内部压力达到指定压力值，控制器6控制电磁阀10关闭停止补给；该指定压力值也是光刻机空调的允许最大压力；

C、当在A工作状态下时补给管道上的压力传感器3检测检测补给管道上的压力低于供应临界值时，控制器6关闭电磁阀10并提示更换氟利昂储罐7；压力传感器3的作用是用来检测补给管道补给时的压力，也就直接检测出氟利昂储罐7的压力，当压力比较低时，证明氟利昂储罐7内部的氟利昂量比较少，需要更换。

D、当在A工作状态下时测压传感器检测其内部压力上升的速率低于最低升压速率时，控制器6控制电磁阀10关闭，同时提示光刻机空调泄漏严重，此时需要及时对光刻机空调的氟利昂管道进行检修维护。

其中优选的，该自动补给方法还包括对泄漏的氟利昂进行抽空排出集中处理的处理方法；

在箱体1内设置一氟利昂气体泄露报警器8，当氟利昂气体泄露报警器8检测箱体1内部的氟利昂浓度升到到指定浓度时，此时打开抽吸泵将箱体1内的空气抽吸，将气态的氟利昂排出到指定的废气储存罐15中收集。所述处理方法中还包括对光刻机的空调存放腔室中泄露的氟利昂进行处理的处理方法，在空调存放腔室内也设置有氟利昂气体泄露报警器8，并利用第二抽吸管路13与抽吸泵连通，当空调存放腔室内的氟利昂气体泄露报警器8检测其内部氟利昂浓度升到到指定浓度时，打开抽吸泵将空调存放腔室内的空气抽吸，将气态的氟利昂排出到指定的废气储存罐15中收集。废气储存罐15中的氟利昂可以送至专业的回收机构或厂家集中处理或者回收。

本实施例中提到的气路系统、伺服电机等执行装置、齿轮传动机构、丝杠螺母机构均为目前的常规技术，在2008年4月北京第五版第二十八次印刷的《机械设计手册第五版》中详细的公开了气缸、电机以及其他传动机构的具体结构和原理和其他的设计，属于现有技术，其结构清楚明了，2008年08月01日由机械工业出版社出版的现代实用气动技术第3版SMC培训教材中就详细的公开了真空元件、气体回路和程序控制，表明了本实施例中的气路结构也是现有的技术，清楚明了，在2015年07月01日由化学工业出版社出版的《电机驱动与调速》书中也详细的介绍了电机的控制以及行程开关，因此，电路、气路连接都是清楚。

以上所述实施例仅是对本发明的优选实施方式的描述，不作为对本发明范围的限定，在不脱离本发明设计精神的基础上，对本发明技术方案作出的各种变形和改造，均应落入本发明的权利要求书确定的保护范围内。