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全自动针刺晶粒分选设备

文献发布时间:2023-06-19 13:51:08


全自动针刺晶粒分选设备

技术领域

本发明涉及蓝膜晶粒分选领域技术,尤其是指一种全自动针刺晶粒分选设备。

背景技术

在LED行业中,从晶粒做到成品需要经过各种不同分工序,外延生长、镀电极、研磨、切割、点测、分选等等,当在晶粒进行分选时,需要将晶粒按照不同电性等级,将晶粒从wafer中挑拣至同一范围的蓝膜上(简称方片)。

现有的蓝膜晶粒分选设备中一般采用摆臂式真空吸取的方式,作业时下方顶针将需要摆放的晶粒顶起(顶针盖采用真空将wafer蓝膜吸住,顶针从中间顶针孔将晶粒顶起脱离wafer蓝膜),安装好吸嘴的摆臂利用真空将顶起的晶粒进行吸附,然后吹气放置在放置端的蓝膜上(放置端的蓝膜有专用的承载机构,来回抽拉替换),即顶一颗晶粒,摆放装置就会驱动蓝膜自动移动到下一颗摆放位置,直到把整片蓝膜摆到规定的数量,这种晶粒分选方式的工作效率提升空间极小,无法满足后续产能的要求,且加工过程中无法及时发现并去除残缺的不良晶粒,从而影响新的蓝膜晶粒质量,并影响后续工艺的加工,因此,有必要对现有的蓝膜晶粒分选设备结构作出进一步改进。

发明内容

有鉴于此,本发明针对现有技术存在之缺失,其主要目的是提供一种全自动针刺晶粒分选设备,其能有效解决现有之蓝膜晶粒分选设备工作效率低、无法满足产能需求、无法去除不良晶粒以及影响蓝膜质量的问题。

为实现上述目的,本发明采用如下之技术方案:

一种全自动针刺晶粒分选设备,包括有机架、控制器、下蓝膜固定机构、顶针机构、上蓝膜固定机构以及CCD视觉机构;该控制器设置在机架上;该下蓝膜固定机构设置在机架上并连接控制器,下蓝膜固定机构上设置有一下蓝膜固定夹具;该顶针机构设置在机架上并位于下蓝膜固定夹具的正下方,顶针机构连接控制器;该上蓝膜固定机构可上下来回活动地设置在机架上并位于下蓝膜固定机构的上方,上蓝膜固定机构上设置有一上蓝膜固定夹具,上蓝膜固定夹具位于下蓝膜固定夹具的正上方,上蓝膜固定机构连接控制器;该CCD视觉机构设置在上蓝膜固定机构上并位于上蓝膜固定夹具的上方,CCD视觉机构连接控制器。

作为一种优选方案,所述机架上包括有工作台和设置于工作台上的龙门架,前述下蓝膜固定机构和顶针机构设置在工作台上,上蓝膜固定机构设置在龙门架上。

作为一种优选方案,所述下蓝膜固定夹具可来回转动地设置在下蓝膜固定机构上。

作为一种优选方案,所述下蓝膜固定机构上设置有一驱动电机,该驱动电机通过皮带带动下蓝膜固定夹具来回转动,该驱动电机连接控制器。

作为一种优选方案,所述顶针机构包括有顶针架、顶针头以及第一驱动机构;该顶针架设置在机架上,该顶针头可上下来回活动地设置于顶针架上;该第一驱动机构设置在顶针架上并带动顶针头上下来回活动。

作为一种优选方案,所述机架上设置有滑轨和第二驱动机构,第二驱动机构连接控制器,该上蓝膜固定机构设置在滑轨上并沿着滑轨上下来回活动,该第二驱动机构设置在机架上并带动上蓝膜固定机构上下来回活动。

作为一种优选方案,所述上蓝膜固定机构与机架之间通过一缓冲顶针机构连接。

作为一种优选方案,所述CCD视觉机构包括有主相机和副相机,该主相机设置在上蓝膜固定机构上并位于上蓝膜固定夹具的正上方,该副相机设置在上蓝膜固定机构上并位于上蓝膜固定夹具的侧上方。

本发明与现有技术相比具有明显的优点和有益效果,具体而言,由上述技术方案可知:

通过设置有下蓝膜固定机构、顶针机构、上蓝膜固定机构以及CCD视觉机构,在分选蓝膜时可通过顶针机构直接将下蓝膜的晶粒顶起到新蓝膜上,相较于现有的摆臂式真空吸附方式,极大提高了工作效率,可以满足后续产能的需求,同时分选晶粒时可以通过CCD视觉机构对蓝膜上的晶粒进行监测,及时去除残缺不良的晶粒,保证了新的蓝膜上晶粒的质量,避免影响蓝膜后续工艺的加工。

为更清楚地阐述本发明的结构特征和功效,下面结合附图与具体实施例来对本发明进行详细说明。

附图说明

图1是本发明之较佳实施例的立体结构示意图;

图2是本发明之较佳实施例另一角度的立体结构示意图;

图3是本发明之较佳实施例的局部组装示意图。

附图标识说明:

10、机架 11、工作台

12、龙门架 13、滑轨

14、第二驱动机构 20、控制器

30、下蓝膜固定机构 31、下蓝膜固定夹具

32、驱动电机 33、皮带

40、顶针机构 41、顶针架

42、顶针头 43、第一驱动机构

50、上蓝膜固定机构 51、上蓝膜固定夹具

52、缓冲顶针机构 60、CCD视觉机构

61、主相机 62、副相机。

具体实施方式

请参照图1至图3所示,其显示出了本发明之较佳实施例的具体结构,其中包括有机架10、控制器20、下蓝膜固定机构30、顶针机构40、上蓝膜固定机构50以及CCD视觉机构60。

该控制器20设置在机架10上;在本实施例中,所述机架10上包括有工作台11和设置于工作台11上的龙门架12,前述下蓝膜固定机构30和顶针机构40设置在工作台11上,上蓝膜固定机构50设置在龙门架12上;所述机架10上设置有滑轨13和第二驱动机构14,第二驱动机构14连接控制器20。

该下蓝膜固定机构30设置在机架10上并连接控制器20,下蓝膜固定机构30上设置有一下蓝膜固定夹具31;在本实施例中,所述下蓝膜固定夹具31可来回转动地设置在下蓝膜固定机构30上;所述下蓝膜固定机构30上设置有一驱动电机32,该驱动电机32通过皮带33带动下蓝膜固定夹具31来回转动,该驱动电机32连接控制器20。

该顶针机构40设置在机架10上并位于下蓝膜固定夹具31的正下方,顶针机构40连接控制器20;在本实施例中,所述顶针机构40包括有顶针架41、顶针头42以及第一驱动机构43;该顶针架41设置在机架10上,该顶针头42可上下来回活动地设置于顶针架41上;该第一驱动机构43设置在顶针架41上并带动顶针头42上下来回活动。

该上蓝膜固定机构50可上下来回活动地设置在机架10上并位于下蓝膜固定机构30的上方,上蓝膜固定机构50上设置有一上蓝膜固定夹具51,上蓝膜固定夹具51位于下蓝膜固定夹具31的正上方,上蓝膜固定机构50连接控制器20;在本实施例中,所述上蓝膜固定机构50设置在滑轨13上并沿着滑轨13上下来回活动,该第二驱动机构14设置在机架10上并带动上蓝膜固定机构50上下来回活动;所述上蓝膜固定机构50与机架10之间通过一缓冲顶针机构52连接。

该CCD视觉机构60设置在上蓝膜固定机构50上并位于上蓝膜固定夹具51的上方,CCD视觉机构60连接控制器20;在本实施例中,所述CCD视觉机构60包括有主相机61和副相机62,该主相机61设置在上蓝膜固定机构50上并位于上蓝膜固定夹具51的正上方,该副相机62设置在上蓝膜固定机构50上并位于上蓝膜固定夹具61的侧上方。

详述本实施例的工作原理如下:

工作时先将被分选的蓝膜放置到下蓝膜固定机构30之下蓝膜固定夹具31中,并将新蓝膜组件放置到上蓝膜固定机构50之上蓝膜夹具51中,接着由CCD视觉机构60的主相机61扫描被分选蓝膜上的晶粒分布和状态,并通过顶针缓冲机构52和第二驱动机构14的配合,将上蓝膜固定机构50调整到位,之后通过顶针机构40将被分选蓝膜上的晶粒顶起到新蓝膜上,分选完成后再由CCD视觉机构60的副相机62监测分选之后的晶粒状态。

本发明的设计重点在于:通过设置有下蓝膜固定机构、顶针机构、上蓝膜固定机构以及CCD视觉机构,在分选蓝膜时可通过顶针机构直接将下蓝膜的晶粒顶起到新蓝膜上,相较于现有的摆臂式真空吸附方式,极大提高了工作效率,可以满足后续产能的需求,同时分选晶粒时可以通过CCD视觉机构对蓝膜上的晶粒进行监测,及时去除残缺不良的晶粒,保证了新的蓝膜上晶粒的质量,避免影响蓝膜后续工艺的加工。

以上所述,仅是本发明的较佳实施例而已,并非对本发明的技术范围作任何限制,故凡是依据本发明的技术实质对以上实施例所作的任何细微修改、等同变化与修饰,均仍属于本发明技术方案的范围内。

相关技术
  • 全自动针刺晶粒分选设备
  • 一种全自动晶粒分选设备及全自动晶粒分选方法
技术分类

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