一种全自动撕金机

本案有请优先权(优先权号202021776357.6，优先权日2020-08-24)。

技术领域

本发明涉及晶圆加工设备技术领域，特别涉及一种全自动撕金机。

背景技术

在现有技术中，晶圆剥离金属的工序还是通过人工完成，由于人工手动撕金存在效率低下，因压膜力度不均匀造成的撕金不彻底的问题，同时在手动撕金的过程中，受操作人员水平的限制、晶圆本身特性等因素的影响，极易发生晶圆受到污染、损坏等情况。

申请号为CN201921269895.3的中国专利，提出了一种自动撕金装置，该装置使用真空吸盘进行撕金。

发明内容

本发明的目的在于提供一种全自动撕金机，克服上述缺陷，提供一种撕金方式快捷的全自动撕金机。

为达成上述目的，本发明的解决方案为：一种全自动撕金机，包括机架，所述机架内设置有上下两层的可移动料架，可移动料架上设置有用于固定晶圆的真空吸盘，

所述机架沿撕金加工方向依次设置有晶圆下料模组、白膜模组、切膜模组、撕金模组、对折模组、喷码模组和称重回收模组；

所述白膜模组包括白膜辊和压膜部件，所述白膜辊连接在晶圆下料模组下部的边缘，所述的压膜部件为杆状机构，该压膜部件设置在切膜模组的下部，

所述切膜模组包括切膜架和切刀，所述切膜架为冂字形结构，该切膜架固定连接在机架上，所述切刀移动设置在切膜架上；

所述撕金模组包括撕金滑轨、移动板和拉撕机械手，所述滑轨是两平行设置在机架上的凸起件，所述移动板滑接在撕金滑轨上，在移动板上设有拉撕机械手；

所述对折模组包括移动滑轨、对折机械手、安装板和翻折机械手，所述移动滑轨是两平行设置在机架上的凸起件，所述对折机械手滑设在移动滑轨上，安装板通过数个支撑杆件设置在机架上，所述翻折机械手滑动设置在安装板下部；

所述喷码模组包括喷码器；

所述称重回收模组包括电子秤、落料架和回收箱，所述落料架设置在机架上，所述电子秤设置在落料架顶部的一侧，所述回收箱设置在落料架内部。

优选的，所述晶圆下料模组包括供料盒和下料夹爪，所述的供料盒通过支撑杆设置在机架上，所述的下料夹爪设置在供料盒下。

优选的，所述喷码模组还包括移动架和升降架，所述移动架设置在机架上，且位于落料架上电子秤一侧的外部，所述升降架设置在移动架上，所述喷码器设置在升降架上。

采用上述方案后，本发明的有益效果在于：

1、功能丰富；本发明有快速自动上下料、自动撕金、自动折叠、喷码计数、称重计量、自动回收等功能。

2、撕金方式简单；本发明是通过先贴设白膜，然后再由白膜带走镀金层的撕金办法，撕金方式简单。

附图说明

图1是本发明的结构示意图；

图2是本发明可移动料架的结构示意图；

图3是本发明可移动料架的侧视图；

图4是本发明切膜架的结构示意图；

图5是本发明撕金模组和对折模组的结构示意图；

图6是本发明撕金模组和对折模组的侧视图；

图7是图6中A处的放大图；

图8是本发明对折模组的结构示意图；

图9是本发明对折机械手的结构示意图；

图10是本发明电子秤的结构示意图。

标号说明：

机架(1)、可移动料架(11)、真空吸盘(12)、晶圆下料模组(2)、白膜模组(3)、切膜模组(4)、撕金模组(5)、对折模组(6)、称重回收模组(8)、供料盒(21)、下料夹爪(22)、白膜辊(31)、压膜部件(32)、切膜架(41)、切刀(42)、撕金滑轨(51)、移动板(52)、拉撕机械手(53)、移动滑轨(61)、对折机械手(62)、安装板(63)、翻折机械手(64)、喷码器(71)、移动架(72)、升降架(73)、电子秤(81)、落料架(82)、回收箱(83)。

具体实施方式

以下结合附图及具体实施例对本发明做详细的说明。

如图1-10所示，本发明提供一种全自动撕金机，包括机架1，所述机架1内设置有上下两层的可移动料架11，在下层的可移动料架11上设置有一移动的升降台，通过升降台的搬运可移动料架11，实现可移动料架11的循环使用，并且在可移动料架11上设置有用于固定晶圆的真空吸盘12，

所述机架1沿撕金加工方向依次设置有晶圆下料模组2、白膜模组3、切膜模组4、撕金模组5、对折模组6、喷码模组7和称重回收模组8；

晶圆下料模组2是用于将晶圆安放在可移动料架11的真空吸盘12上，其结构可以是多种多样的，在本实施例中，其包括供料盒21和下料夹爪22，所述的供料盒21通过支撑杆设置在机架1上，所述的下料夹爪22设置在供料盒21下。在实施例中，使用了6个供料盒21和6个下料夹爪22进行供料，待加工的晶圆放置在供料盒21内。在加工结束后，可通过直接更换供料盒21进行快速备料。

白膜模组3是用于在真空吸盘12上覆盖一层白膜，其结构可以是多种多样的，在本实施例中，其包括白膜辊31和压膜部件32，所述白膜辊31连接在晶圆下料模组2下部的边缘，所述的压膜部件32为杆状机构，该压膜部件32设置在切膜模组4的下部。

切膜模组4是用于将白膜切开的机构，其结构可以是多种多样的，在本实施例中，其包括切膜架41和切刀42，所述切膜架41为冂字形结构，该切膜架41固定连接在机架1上，所述切刀42移动设置在切膜架41上。

撕金模组5是用于将白膜撕开的机构，其结构可以是多种多样的，在本实施例中，其包括撕金滑轨51、移动板52和拉撕机械手53，所述滑轨51是两平行设置在机架1上的凸起件，所述移动板52滑接在撕金滑轨51上，在移动板52上设有拉撕机械手53，该拉撕机械手53用于拉住并撕开白膜。更具体的，拉撕机械手53是通过可升降的安装座来设置在移动板52上的，拉撕机械手53在拉伸时可以部分升降，以配合接下对折模组的工作。

对折模组6是用于将白膜进行对折的机构，其结构可以是多种多样的，在本实施例中，其包括移动滑轨61、对折机械手62、安装板63和翻折机械手64，所述移动滑轨61是两平行设置在机架1上的凸起件，所述对折机械手62滑设在移动滑轨61上，安装板63通过数个支撑杆件设置在机架1上，所述翻折机械手64滑动设置在安装板63下部。

所述喷码模组7是用于白膜的喷码及数据的记录处理，其结构可以是多种多样的，在本实施例中，其包括喷码器71、移动架72和升降架73，所述移动架72设置在机架1上，且位于落料架82上电子秤81一侧的外部，所述升降架73设置在移动架72上，所述喷码器71设置在升降架73上。更具体的，喷码器73较高于称重回收模组8，在白膜落在称重回收模组8上后再进行喷码。

称重回收模组8是用于对白膜进行称重和回收的机构，其结构可以是多种多样的，在本实施例中，其包括电子秤81、落料架82和回收箱83，所述落料架82设置在机架1上，所述电子秤81设置在落料架82顶部的一侧，所述回收箱83设置在落料架82内部。更具体的，落料架82是设置成侧面均为通透的部件，在回收箱83安装在落料架82内部时，可以在回收箱83底部设置滑轮，此设计可方便取出回收箱。更具体的，电子秤81靠近回收箱一侧是倾斜的平面，在电子秤81上还设置有用于将白膜推入回收箱83的升降推杆。

在进行撕金时，晶圆下料模组2将待加工晶圆放至真空吸盘12上，可移动料架11带动真空吸盘12向白膜模组3移动，所述白膜模组3将晶圆上覆盖一层白膜，接着覆盖的白膜被切膜模组4切开，然后所述覆盖的白膜被撕金模组5撕下，晶圆上的镀金层被白膜粘连并扯下，所述撕下的白膜被对折模组6进行折叠，喷码模组7对折叠的白膜喷码，最后称重回收模组8对所述折叠的白膜进行称重和回收。

工作原理：

晶圆下料模组2的供料盒21内放置有待加工的晶圆，通过下料夹爪22将晶圆放至真空吸盘12上，可移动料架11带动真空吸盘12向白膜模组3移动，所述白膜模组3将晶圆上覆盖一层白膜，接着覆盖的白膜被切膜模组4切开，然后所述覆盖的白膜被撕金模组5撕开，晶圆上的镀金层被白膜粘连并扯下，白膜在撕金模组5还未撕下时，对折机械手62将白膜夹住，待白膜被撕下由对折机械手62和翻折机械手64进行折叠，折叠后的白膜被移至电子秤81上，先由喷码模组7对其进行喷码处理，再由称重回收模组8对所述折叠的白膜进行称重和回收。

以上所述仅为本发明的较佳实施例，并非对本案设计的限制，凡依本案的设计关键所做的等同变化，均落入本案的保护范围。