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一种加料机与单晶炉对接方法、加料系统

文献发布时间:2024-04-18 20:01:30


一种加料机与单晶炉对接方法、加料系统

技术领域

本申请属于单晶炉加料领域,具体地说,涉及一种加料机与单晶炉对接方法、加料系统。

背景技术

当前的加料机在和单晶炉对接时,是由人工对单晶炉的位置进行调整,对接时间耗时较久,并且加料机重量也很高,人工调整角度实现二者的对接,也比较难操作。

发明内容

针对当前人工对加料机和单晶炉对接的耗时久、对接难度大的问题,本申请提出了一种加料机与单晶炉对接方法、加料系统。

第一方面,本申请提出了一种加料机与单晶炉对接方法,加料机与单晶炉对接方法包括:

获取加料机的加料口与单晶炉的进料口之间的平行度;

判断平行度是否小于预设值;

若平行度大于预设值,则对加料机进行平行度调整,继续执行获取加料机的加料口与单晶炉的进料口之间的平行度的步骤;

若平行度小于预设值,则在竖向平面内移动加料机,使加料机的加料口的中心轴线与单晶炉的进料口的中心轴线重叠;

沿着加料机的加料口的中心轴线,将加料机朝向单晶炉的进料口推进,完成加料机与单晶炉的对接。

通常由人工操作对接单晶炉和加料机的时候,需要依靠肉眼去判断加料机的加料口与单晶炉进料口之间的位置关系,凭借经验对加料机的位置进行多次调整,这一过程不仅耗费较多的时间,还需要操作人员具有丰富的经验,最终调节对接的精度也不尽人意。本申请所提出的加料机与单晶炉对接方法,在对接加料机与单晶炉之前,先判断加料机的加料口与单晶炉的进料口之间的平行度,当平行度小于预设值时,在竖向平面内移动加料机,完成对接。按照本申请的对接方法,相比人工,可以大大缩短对接时间,提高加料机与单晶炉对接的精度。

可选地,在竖向平面内移动加料机,包括:

在竖向平面内沿第一方向移动加料机,使加料机的加料口的中心轴线沿第一方向逐渐逼近单晶炉的进料口的中心轴线;和/或,

在竖向平面内沿第二方向移动加料机,使加料机的加料口的中心轴线沿第二方向逐渐逼近单晶炉的进料口的中心轴线。

在竖向平面内移动加料机时,可根据加料机的加料口与单晶炉的进料口的实时位置关系,在竖向平面内选择性的沿第一方向或者第二方向移动加料机,以最终使加料机的加料口的中心轴线与单晶炉的进料口的中心轴线共线。保持在竖向平面内对加料机进行调整,能够以竖向平面作为参考面,不破坏加料机的加料口与单晶炉的进料口之间的平行度,避免出现重复调整,保证对接的精度。

可选地,单晶炉的进料口处设置有第一基准板,第一基准板的基准面与单晶炉的进料口的端面相互平行;加料机的加料口的两侧分别设置有位于同一水平面内的第一距离传感器和第二距离传感器,第一距离传感器和第二距离传感器所在的安装平面与单晶炉的进料口相互平行;

获取加料机的加料口与单晶炉的进料口之间的平行度,包括:

获取第一距离传感器测量得到的与第一基准板之间的第一距离;

获取第二距离传感器测量得到的与第一基准板之间的第二距离;

计算第一距离与第二距离之间的差值,将差值的绝对值作为平行度。

在获取平行度的方式中,采用距离传感器与基准板相互配合的方式,能够准确地获取加料机的加料口与单晶炉的进料口之间的平行度。

可选地,对加料机进行平行度调整,包括:

在水平方向上沿顺时针或逆时针方向调整加料机。

通过在水平方向上沿顺时针或逆时针方向调整加料机,以使加料机的加料口和单晶炉的进料口之间的平行度满足对接要求。

可选地,单晶炉的进料口的侧边设置有竖向的第二基准板,第二基准板的基准面与单晶炉的进料口的端面相互垂直;加料机的加料口的侧边设置有第一接近开关;沿第一方向调整加料机,包括:

朝向第二基准板移动加料机,直至第一接近开关感应到第二基准板;

沿第一方向将加料机移动预设距离L;

其中,L=L

通过第一接近开关与第二基准板之间的配合,在第一方向上对加料机进行调整时,先沿第一方向将加料机向第二基准板移动,当第一接近开关感应到第二基准板时,加料机在第一方向上相当于运动到零位,而后只需要计算出来第二基准板至单晶炉的进料口之间的距离、第一接近开关的感应距离、第一接近开关至加料机的加料口中心轴线之间的距离,三者之间的差值,将加料机沿第一方向移动该差值即预设距离L,即能使加料机的加料口的中心轴线在第一方向上逼近单晶炉的加料口的中心轴线。这种调节加料机位置的方式,原理简单,不需要经过大量的计算,就能准确地判断出加料机需要调整的距离。

可选地,单晶炉的进料口的下方有设置有横向的第三基准板,第三基准板的基准面与单晶炉的进料口的端面相互垂直;加料机的加料口的下方设置有第二接近开关;沿第二方向调整加料机包括:

朝向第三基准板移动加料机,直至第二接近开关感应到第三基准板;

沿第二方向将加料机移动预设高度H;

其中,H=H

通过第二接近开关与第三基准板之间的配合,在第二方向上对加料机进行调整时,先沿第二方向将加料机向第三基准板移动,当第二接近开关感应到第三基准板时,加料机在第二方向上相当于运动到零位,而后只需要计算出来第三基准板至单晶炉的进料口之间的距离、第二接近开关的感应距离、第二接近开关至加料机的加料口中心轴线之间的距离,三者之间的差值,将加料机沿第二方向移动该差值即预设距离H,即能使加料机的加料口的中心轴线在第二方向上逼近单晶炉的加料口的中心轴线。这种调节加料机位置的方式,原理简单,不需要经过大量的计算,就能准确地判断出加料机需要调整的距离。

可选地,单晶炉的进料口的侧边设置有竖向的第二基准板,第二基准板的基准面与单晶炉的进料口的端面相互垂直;加料机的加料口的侧边设置有与第二基准板的基准面相对的第三距离传感器;沿第一方向调整加料机,包括:

沿第一方向移动加料机;

实时获取第三距离传感器测量得到的与第二基准板之间的第三距离;

当第三距离等于预设距离M时,停止移动加料机。

通过第三距离传感器与第二基准板的配合,在第一方向上移动加料机时,实时获取第三距离传感器测量到的与第二基准板之间的第三距离。移动方式简单便捷,第三距离传感器能够精准地测量第三距离,以准确地控制加料机停止移动,进一步提高加料机与单晶炉的对接精度。

可选地,单晶炉的进料口的下方有设置有横向的第三基准板,第三基准板的基准面与单晶炉的进料口的端面相互垂直;加料机的加料口的下方设置有与第三基准板的基准面相对的第四距离传感器;沿第二方向调整加料机包括:

沿第二方向移动移动加料机;

实时获取第四距离传感器测量得到的与第三基准板之间的第四距离;

当第四距离等于预设距离N时,停止移动加料机。

通过第四距离传感器与第三基准板的配合,在第二方向上移动加料机时,实时获取第四距离传感器测量到的与第三基准板之间的第四距离。移动方式简单便捷,第四距离传感器能够精准地测量第四距离,以准确地控制加料机停止移动,进一步提高加料机与单晶炉的对接精度。

可选地,将加料机朝向单晶炉的进料口推进,包括:

将加料机朝向单晶炉的进料口推进直至与单晶炉的进料口接触;

继续将加料机推进预定距离。

在加料机与单晶炉的进料口接触后,继续向前推料机预定距离,能够提高加料机的加料口与单晶炉的进料口之间的对接密封性。

可选地,在获取加料机的加料口与单晶炉的进料口之间的平行度之前,加料机与单晶炉对接方法,还包括:

采用AGV小车将加料机搬运至预定位置,预定位置与单晶炉之间相距预定安全距离。

采用AGV小车将加料机搬运到预定位置,可以根据需求将AGV小车搬到需要的位置,搬运过程简单灵活;在预定位置和单晶炉之间相距预定安全距离,避免加料机与单晶炉之间发生干扰,带来不必要的危险。

可选地,加料机固定设置在调整支架上,调整支架包括可升降调节的支撑柱;

在AGV小车将加料机搬运至预定位置后,加料机与单晶炉对接方法,还包括:

将调整支架的支撑柱进行伸长调节,使调整支架的支撑面脱离AGV小车,控制AGV小车离开调整支架。

将加料机固定在调整支架上,当AGV小车把加料机送到预定位置后,通过调整支架控制AGV小车离开调整支架,由调整支架完成对加料机位置的调整,可以减少对接中所需使用的AGV小车数量。

可选地,在获取加料机的加料口与单晶炉的进料口之间的平行度之前,加料机与单晶炉对接方法还包括:

获取加料机的加料口内料隧的倾斜角,倾斜角为料隧与水平面之间的夹角;

判断倾斜角是否小于预定倾斜角度;

若倾斜角小于预定倾斜角度,则执行获取加料机的加料口与单晶炉的进料口之间的平行度的步骤;

若倾斜角大于预定倾斜角度,则调整加料机的加料口与水平面之间的夹角,直至倾斜角小于预定倾斜角度。

在获取加料机的加料口与单晶炉的进料口之间的平行度之前,先判断加料口内料隧的倾斜角,及时调整纠正料隧的倾斜角,可以保证后面加料机的加料口与单晶炉的进料口之间对接的精度。

第二方面,本申请提出了一种加料系统,加料系统包括加料机、单晶炉、第一距离传感器、第二距离传感器、第三距离传感器、第四距离传感器、第一基准板、第二基准板和第三基准板,第一距离传感器和第二距离传感器分别安装在加料机的加料口的两侧,且第一距离传感器和第二距离传感器位于同一水平面内;第一基准板安装在单晶炉的进料口处,且第一基准板的基准面与单晶炉的进料口的端面相互平行,第一距离传感器和第二距离传感器所在的安装平面与单晶炉的进料口相互平行;

加料机的加料口的侧边设置有第三距离传感器,单晶炉的进料口的侧边设置有竖向的第二基准板,第二基准板的基准面与单晶炉的进料口的端面相互垂直;

加料机的加料口的下方设置有第四距离传感器,单晶炉的进料口的下方有设置有横向的第三基准板第三基准板的基准面与单晶炉的进料口的端面相互垂直。

在本申请提出的加料系统中,通过在单晶炉的进料口周围设置基准板、在加料机的加料口周边设置距离传感器,从而获取加料机的加料口与单晶炉的进料口之间的距离关系,从而对加料机进行旋转、移动等调整,使得加料机与单晶炉对接时,不再需要人工调整,可以实现自动化对接。

附图说明

图1A为本申请的加料机与单晶炉对接方法的一种实施示意图;

图1B为本申请的加料机与单晶炉对接方法的另一种实施示意图;

图2为本申请的加料系统示意图;

图3为平行度调整示意图;

图4A为加料机的加料口的中心轴线与单晶炉的进料口的中心轴线在第一方向上有偏差的俯视图;

图4B为加料机的加料口与单晶炉的进料口的俯视图;

图5A为加料机的加料口的中心轴线与单晶炉的进料口的中心轴线在第二方向上有偏差的的侧视图;

图5B为加料机的加料口与单晶炉的进料口的侧视图。

图中:加料机100;加料口110;第一距离传感器120;第二距离传感器130;第一接近开关140;第二接近开关150;单晶炉200;进料口210;第一基准板220;第二基准板230;第三基准板240;AGV小车300;调整支架400。

具体实施方式

为使本申请实施例的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合本申请实施例中的附图,对本申请中的技术方案进行清楚、完整地描述。其中,所描述的实施例是本申请一部分实施例,而不是全部的实施例。因此,以下对在附图中提供的本申请的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本申请的范围,而是仅仅表示本申请的选定实施例。

下文中将参考附图并结合实施例来详细说明本申请。需要说明的是,在不冲突的情况下,本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

通常由人工操作对接单晶炉200和加料机100的时候,需要依靠肉眼去判断加料机100的加料口110与单晶炉200进料口210之间的位置关系,凭借经验对加料机100的位置进行多次调整,这一过程不仅耗费较多的时间,还需要操作人员具有丰富的经验,最终调节对接的精度也不尽人意。针对当前单晶炉200和加料机100的对接弊端,本申请提供了一种加料机100与单晶炉200对接方法、加料系统。

下面结合图1A对本申请所提出的加料机100与单晶炉200对接方法进行说明,该方法包括:

获取加料机100的加料口110与单晶炉200的进料口210之间的平行度;

判断平行度是否小于预设值;

若平行度大于预设值,则对加料机100进行平行度调整,继续执行获取加料机100的加料口110与单晶炉200的进料口210之间的平行度的步骤;

若平行度小于预设值,则在竖向平面内移动加料机100,使加料机100的加料口110的中心轴线与单晶炉200的进料口210的中心轴线重叠;

沿着加料机100的加料口110的中心轴线,将加料机100朝向单晶炉200的进料口210推进,完成加料机100与单晶炉200的对接。

本申请所提出的加料机100与单晶炉200对接方法,在对接加料机100与单晶炉200之前,先判断加料机100的加料口110与单晶炉200的进料口210之间的平行度,当平行度小于预设值时,在竖向平面内移动加料机100,完成对接。按照本申请的对接方法,相比人工,可以大大缩短对接时间,提高加料机100与单晶炉200对接的精度。

对于在在竖向平面内移动加料机100的具体方式,包括:

可选地,如图4A所示,当在竖向平面内,加料机100的加料口110的中心轴线距离单晶炉200的进料口210的中心轴线仅在第一方向上存在偏差时,仅需在竖向平面内就第一方向上的偏差进行调整,即在竖向平面内沿第一方向移动加料机100,使加料机100的加料口110的中心轴线沿第一方向逐渐逼近单晶炉200的进料口210的中心轴线。

可选地,如图5A所示,当在竖向平面内,加料机100的加料口110的中心轴线距离单晶炉200的进料口210的中心轴线仅在第二方向上存在偏差时,仅需在竖向平面内就第二方向上的偏差进行调整,即在竖向平面内沿第二方向移动加料机100,使加料机100的加料口110的中心轴线沿第二方向逐渐逼近单晶炉200的进料口210的中心轴线。

可选地,如图4A和5A所示,当在竖向平面内,加料机100的加料口110的中心轴线距离单晶炉200的进料口210的中心轴线在第一方向、第二方向上均存在偏差时,需在竖向平面内就第一方向和第二方向上的偏差进行调整,当然在调整时,两个方向上的调节顺序并不受限制,可以先第一方向;也可以先第二方向;也可以第一方向先调整一点,第二方向再调整一点,交错进行多次调整。总之当两个方向上均需要调整时,可根据现场情况灵活选择调整方式。具体地,在竖向平面内沿第一方向移动加料机100,使加料机100的加料口110的中心轴线沿第一方向逐渐逼近单晶炉200的进料口210的中心轴线;在竖向平面内沿第二方向移动加料机100,使加料机100的加料口110的中心轴线沿第二方向逐渐逼近单晶炉200的进料口210的中心轴线。

在竖向平面内移动加料机100时,可根据加料机100的加料口110与单晶炉200的进料口210的实时位置关系,在竖向平面内选择性的沿第一方向或者第二方向移动加料机100,以最终使加料机100的加料口110的中心轴线与单晶炉200的进料口210的中心轴线共线。保持在竖向平面内对加料机100进行调整,能够以竖向平面作为参考面,不破坏加料机100的加料口110与单晶炉200的进料口210之间的平行度,避免出现重复调整,保证对接的精度。

为了实现对平行度的获取,在本申请的一种实施方式中,如图3、图4A、图4B所示,单晶炉200的进料口210处设置有第一基准板220,第一基准板220的基准面与单晶炉200的进料口210的端面相互平行;加料机100的加料口110的两侧分别设置有位于同一水平面内的第一距离传感器120和第二距离传感器130,第一距离传感器120和第二距离传感器130所在的安装平面与单晶炉200的进料口210相互平行;

获取加料机100的加料口110与单晶炉200的进料口210之间的平行度,包括:

获取第一距离传感器120测量得到的与第一基准板220之间的第一距离;

获取第二距离传感器130测量得到的与第一基准板220之间的第二距离;

计算第一距离与第二距离之间的差值,将差值的绝对值作为平行度。

通过第一距离传感器120能过够获取加料机100的加料口110一侧至同一个第一基准板220的第一距离,通过第二距离传感器130能够获取加料机100的加料口110一侧至同一个第一基准板220的第二距离,通过计算第一距离和第二距离的差值,得到平行度,这种计算方式简单、准确度高。

在获取平行度的方式中,采用距离传感器与基准板相互配合的方式,而不是直接获取距离传感器与单晶炉200的进料口210之间的距离,通过与单晶炉200的进料口210端面相互平行的第一基准板220作为基准面,第一基准板220的大小、平整度都可根据对接要求进行选择,并不受进料口210大小、平整度的限制,能够更准确地获取加料机100的加料口110与单晶炉200的进料口210之间的平行度。

可选地,对加料机100进行平行度调整,包括:

在水平方向上沿顺时针或逆时针方向调整加料机100。

如图3所示,当第一距离X

当第一距离X

需要说明的是,在加料机100与单晶炉200对接时,经过大量实验发现,将平行度的预设值设定为0.3mm,能够较为精确地实现加料机100与单晶炉200的对接。

通过在水平方向上沿顺时针或逆时针方向调整加料机100,以使加料机100的加料口110和单晶炉200的进料口210之间的平行度满足对接要求。

为了实现加料机100在第一平面内沿第一方向的调整,在本申请的一种实施方式中,如图4A所示,单晶炉200的进料口210的侧边设置有竖向的第二基准板230,第二基准板230的基准面与单晶炉200的进料口210的端面相互垂直;加料机100的加料口110的侧边设置有第一接近开关140;沿第一方向调整加料机100,包括:

朝向第二基准板230移动加料机100,直至第一接近开关140感应到第二基准板230;

沿第一方向将加料机100移动预设距离L;

其中,L=L

当加料机100在第一方向上调整到位时,如图4B所示,在第一方向上,加料机100的加料口110的中心轴线与单晶炉200的进料口210的中心轴线相重合。

通过第一接近开关140与第二基准板230之间的配合,在第一方向上对加料机100进行调整时,先沿第一方向将加料机100向第二基准板230移动,当第一接近开关140感应到第二基准板230时,加料机100在第一方向上相当于运动到零位,而后只需要计算出来第二基准板230至单晶炉200的进料口210之间的距离、第一接近开关140的感应距离、第一接近开关140至加料机100的加料口110中心轴线之间的距离,三者之间的差值,将加料机100沿第一方向移动该差值即预设距离L,即能使加料机100的加料口110的中心轴线在第一方向上逼近单晶炉200的加料口110的中心轴线。这种调节加料机100位置的方式,原理简单,不需要经过大量的计算,就能准确地判断出加料机100需要调整的距离。

可选地,如图5A所示,单晶炉200的进料口210的下方有设置有横向的第三基准板240,第三基准板240的基准面与单晶炉200的进料口210的端面相互垂直;加料机100的加料口110的下方设置有第二接近开关150;沿第二方向调整加料机100包括:

朝向第三基准板240移动加料机100,直至第二接近开关150感应到第三基准板240;

沿第二方向将加料机100移动预设高度H;

其中,H=H

当加料机100在第一方向上调整到位时,如图5B所示,在第二方向上,加料机100的加料口110的中心轴线与单晶炉200的进料口210的中心轴线相重合。

通过第二接近开关150与第三基准板240之间的配合,在第二方向上对加料机100进行调整时,先沿第二方向将加料机100向第三基准板240移动,当第二接近开关150感应到第三基准板240时,加料机100在第二方向上相当于运动到零位,而后只需要计算出来第三基准板240至单晶炉200的进料口210之间的距离、第二接近开关150的感应距离、第二接近开关150至加料机100的加料口110中心轴线之间的距离,三者之间的差值,将加料机100沿第二方向移动该差值即预设距离H,即能使加料机100的加料口110的中心轴线在第二方向上逼近单晶炉200的加料口110的中心轴线。这种调节加料机100位置的方式,原理简单,不需要经过大量的计算,就能准确地判断出加料机100需要调整的距离。

可选地,在竖向平面内沿第一方向调整加料机时,如图4A所示,单晶炉200的进料口210的侧边设置有竖向的第二基准板230,第二基准板230的基准面与单晶炉200的进料口210的端面相互垂直;加料机100的加料口110的侧边设置有与第二基准板230的基准面相对的第三距离传感器(第三距离传感器的设置位置即为图4A中第一接近开关的140的位置);沿第一方向调整加料机,包括:

沿第一方向移动加料机100;

实时获取第三距离传感器测量得到的与第二基准板230之间的第三距离;

当第三距离等于预设距离M时,停止移动加料机。

通过第三距离传感器与第二基准板230的配合,在第一方向上移动加料机时,实时获取第三距离传感器测量到的与第二基准板之间的第三距离。相比于使用第一接近开关,移动方式更加简单便捷,第三距离传感器能够精准地测量第三距离,以准确地控制加料机停止移动,进一步提高加料机与单晶炉的对接精度。

可选地,在竖向平面内沿第二方向调整加料机时,如图5A所示,单晶炉200的进料口210的下方有设置有横向的第三基准板240,第三基准板240的基准面与单晶炉200的进料口210的端面相互垂直;加料机100的加料口110的下方设置有与第三基准板240的基准面相对的第四距离传感器(第四距离传感器的设置位置即为图5A中第二接近开关的150的位置);沿第二方向调整加料机包括:

沿第二方向移动移动加料机100;

实时获取第四距离传感器测量得到的与第三基准板240之间的第四距离;

当第四距离等于预设距离N时,停止移动加料机。

通过第四距离传感器与第三基准板240的配合,在第二方向上移动加料机时,实时获取第四距离传感器测量到的与第三基准板240之间的第四距离。相比于使用第二接近开关移动方式更加简单便捷,第四距离传感器能够精准地测量第四距离,以准确地控制加料机停止移动,进一步提高加料机100与单晶炉200的对接精度。

可选地,将加料机100朝向单晶炉200的进料口210推进,包括:

将加料机100朝向单晶炉200的进料口210推进直至与单晶炉200的进料口210接触;

继续将加料机100推进预定距离。

在加料机100与单晶炉200的进料口210接触后,继续向前推料机预定距离,能够提高加料机100的加料口110与单晶炉200的进料口210之间的对接密封性。具体地,在加料机和单晶炉进行对接的过程中,加料机的加料口的端面有可能会出现一部分先对接到单晶炉的进料口的情况,这种情况下,另一部分可能就没有对接接触到单晶炉的进料口,那么为了保证对接时候的密封性,就需要继续向前推进加料机,直至加料机的加料口的所有端面部分都接触对接到单晶炉的进料口的端面。在大量的试验后发现,在继续向前推进时,将预定距离保持在2~8mm时,能够达到较佳的密封性。

可选地,在获取加料机100的加料口110与单晶炉200的进料口210之间的平行度之前,加料机100与单晶炉200对接方法,还包括:

采用AGV小车将加料机100搬运至预定位置,预定位置与单晶炉200之间相距预定安全距离。

采用AGV小车将加料机100搬运到预定位置,可以根据需求将AGV小车搬到需要的位置,搬运过程简单灵活;在预定位置和单晶炉200之间相距预定安全距离,避免加料机100与单晶炉200之间发生干扰,带来不必要的危险。

可选地,加料机100固定设置在调整支架400上,调整支架400包括可升降调节的支撑柱;

在AGV小车将加料机100搬运至预定位置后,加料机100与单晶炉200对接方法,还包括:

将调整支架400的支撑柱进行伸长调节,使调整支架400的支撑面脱离AGV小车,控制AGV小车离开调整支架400。

将加料机100固定在调整支架400上,当AGV小车把加料机100送到预定位置后,通过调整支架400控制AGV小车离开调整支架400,由调整支架400完成对加料机100位置的调整,可以减少对接中所需使用的AGV小车数量。

在加料机100中,加料口110内设置有可伸缩进出加料口110的料隧,在生产中发现,加料机100内的料隧有可能会出现低头或抬头的现象,即料隧能够伸出加料口110的一端相比另一端会出现低头或抬头的现象,这样,对加料机100和单晶炉200的对接会带来不利影响。为了克服这一问题,在本申请的一种实施方式中,如图2所示,在获取加料机100的加料口110与单晶炉200的进料口210之间的平行度之前,加料机100与单晶炉200对接方法还包括:

获取加料机100的加料口110内料隧的倾斜角,倾斜角为料隧与水平面之间的夹角;

判断倾斜角是否小于预定倾斜角度;

若倾斜角小于预定倾斜角度,则执行获取加料机100的加料口110与单晶炉200的进料口210之间的平行度的步骤;

若倾斜角大于预定倾斜角度,则调整加料机100的加料口110与水平面之间的夹角,直至倾斜角小于预定倾斜角度。

在获取加料机100的加料口110与单晶炉200的进料口210之间的平行度之前,先判断加料口110内料隧的倾斜角,及时调整纠正料隧的倾斜角,可以保证后面加料机100的加料口110与单晶炉200的进料口210之间对接的精度。

具体地,可通过向下或者向上调整所述加料机100的加料口110一端,使所述倾斜角小于所述最大倾斜角度,例如,当料隧发生抬头现象且倾斜角大于预定倾斜角度时,通过在加料机100相对加料口110的一端进行轻微举升(对于举升方式,可以采用一些机械装置、垫块等方式实现),以减小倾斜角大小;同理,当料隧发生低头现象且倾斜角大于预定倾斜角度时,通过在加料机100的加料口110的一端进行轻微举升(对于举升方式,可以采用一些机械装置、垫块等方式实现),以减小倾斜角大小。

在大量对接实验中发现,对于预定倾斜角的选定,当预定倾斜角控制在0.4°时,能够最大限度地保证加料机100与单晶炉200的对接精度。

需要说明的是,对于本申请中所提出的加料机100与单晶炉200对接方法的各种实施方式中,对于加料机100水平方向上顺时针、逆时针的调整、竖直平面内沿第一方向、第二方向的调整、料隧抬头、低头的调整,既可以使用特定的机械装置进行,也可以直接由AGV小车进行调整,在本申请中,不论是通过何种装置,只要能完成本申请中加料机100所需的调整即可。

第二方面,本申请提出了一种加料系统,如图3所示,该加料系统包括加料机100、单晶炉200、第一距离传感器120、第二距离传感器130、第三距离传感器、第四距离传感器、第一基准板220、第二基准板230和第三基准板240,第一距离传感器120和第二距离传感器130分别安装在加料机100的加料口110的两侧,且第一距离传感器120和第二距离传感器130位于同一水平面内;第一基准板220安装在单晶炉200的进料口210处,且第一基准板220的基准面与单晶炉200的进料口210的端面相互平行,第一距离传感器120和第二距离传感器130所在的安装平面与单晶炉200的进料口210相互平行;

加料机100的加料口110的侧边设置有第三距离传感器,单晶炉200的进料口210的侧边设置有竖向的第二基准板230,第二基准板230的基准面与单晶炉200的进料口210的端面相互垂直;

加料机100的加料口110的下方设置有第四距离传感器,单晶炉200的进料口210的下方有设置有横向的第三基准板240第三基准板240的基准面与单晶炉200的进料口210的端面相互垂直。

需要说明的是,接近开关同样属于距离传感器中的一种,在本申请所提出的加料系统中,同样可以将第三距离传感器和/或第四距离传感器替换成接近开关,通过本申请中使用接近开关完成加料机在竖向平面内调整的一种实施方式完成加料机与单晶炉的对接。

在本申请提出的加料系统中,通过在单晶炉200的进料口210周围设置基准板、在加料机100的加料口110周边设置距离传感器,从而获取加料机100的加料口110与单晶炉200的进料口210之间的距离关系,从而对加料机100进行旋转、移动等调整,使得加料机100与单晶炉200对接时,不再需要人工调整,可以实现自动化对接。

以上示意性地对本申请创造及其实施方式进行了描述,该描述没有限制性,附图中所示的也只是本申请创造的实施方式之一,实际的结构并不局限于此。所以,如果本领域的普通技术人员受其启示,在不脱离本创造宗旨的情况下,不经创造性的设计出与该技术方案相似的结构方式及实施例,均应属于本专利的保护范围。

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