一种掩膜版存储使用一体装载盒

技术领域

本发明属于掩膜版存储技术领域，尤其是涉及一种掩膜版存储使用一体装载盒。

背景技术

简称掩膜版，是微纳加工技术常用的光刻工艺所使用的图形母版在芯片制造里，掩膜版就是光罩，它可以被理解为包含芯片版图信息的胶片，经过曝光以后，掩膜版里的版图就被刻到了晶圆上，通常掩膜版图形数据由用户自行设计并提交，后续加工工艺由工程师完成才能进行正常的使用。

由于掩膜版的精密性且造价昂贵，如何正确合适的使用是企业日常生产的重点，使用后如何保存更是重中之重，现有的企业通常会专门的建造一个无尘空间，将掩膜版放置在内部的保护盒内单独保存，但这种方式在正常的取用时还是无法达到稳固可靠的程度，无论人员如何小心保障，总会将各种杂质带入至存储空间内，同时较大的空间无法稳定的对大量的掩膜版始终提供一个恒温恒湿的环境，不利于其长时间的正常存储。

为此，我们提出一种掩膜版存储使用一体装载盒来解决上述问题。

发明内容

本发明的目的是针对上述问题，提供一种可对大量掩膜版进行恒温恒湿存储的掩膜版存储使用一体装载盒。

为达到上述目的，本发明采用了下列技术方案：一种掩膜版存储使用一体装载盒，包括保存筒，所述保存筒内设空腔，所述空腔的内顶面的中心处固定连接有驱动机构，所述空腔内还设有用于配合驱动机构的存料机构，所述保存筒的顶面上贯穿开设有用于配合存料机构的取料口，所述保存筒上还设有用于配合取料口的开合机构，所述空腔的内底部还固定连接有换气机构，所述换气机构的两端均与存料机构连通设置。

在上述的掩膜版存储使用一体装载盒中，所述驱动机构包括固定连接于空腔内顶面的连接柱，所述连接柱的一端固定连接有连接杆，所述连接杆上固定连接有驱动电机，所述驱动电机的驱动轴上同轴固定连接有齿轮。

在上述的掩膜版存储使用一体装载盒中，所述存料机构包括设置于空腔内的转动筒，所述转动筒与空腔的内顶面转动连接，所述转动筒的内测壁上同轴固定连接有齿环，所述齿环与齿轮啮合，所述转动筒的外侧壁上设有多个升降机构，所述转动筒的外侧壁上还套设有第一环形板，所述第一环形板与转动筒转动密封连接，所述第一环形板上设有用于配合升降机构的顶升机构，所述转动筒的侧壁上开设有多个贯穿的气孔。

在上述的掩膜版存储使用一体装载盒中，所述升降机构包括设置于转动筒外侧壁上的多条第一滑槽，所述第一滑槽内滑动连接有与之相匹配的第一滑块，所述第一滑块上固定连接有第一伸缩杆，所述第一伸缩杆上套设有第一弹簧，所述转动筒外侧壁上同轴固定连接有第二环形板，所述第二环形板的外侧边缘同轴设有卡槽，所述卡槽内滑动连接有卡条，所述卡条与保存筒的内壁同轴固定连接，所述第二环形板的端面上还有多条分割缝，所述第二环形板的端面上设有多个上下贯通的开口，所述开口设置于多条分割缝之间，所述开口内设有夹紧机构，所述夹紧机构与第一滑块固定连接。

在上述的掩膜版存储使用一体装载盒中，所述夹紧机构包括设置于开口内的第一顶板，所述第一顶板上固定连接有固定块，所述固定块上设有多条嵌槽，所述嵌槽的内壁上固定连接有多个海绵块，所述嵌槽内卡设有一对卡接盒，两块所述卡接盒相互卡合且其内壁上固定连接有橡胶条，所述第一顶板上固定连接有连接板，所述连接板远离第一顶板的一端固定连接有第二顶板。

在上述的掩膜版存储使用一体装载盒中，所述顶升机构包括固定连接于第一环形板上的液压杆，所述液压杆上固定连接有第三顶板，所述第三顶板的尺寸与第一顶板相同，所述第三顶板的下端固定连接有一对固定杆，所述固定杆倾斜设置，两根所述固定杆分别设置于液压杆的两侧，两根所述固定杆远离第三顶板的一端分别固定连接有竖直的隔板。

在上述的掩膜版存储使用一体装载盒中，所述开合机构包括设置于保存筒顶部上内外贯通的取料口，所述取料口上设有与之相匹配的开合板，所述取料口的尺寸与第一顶板尺寸相同，所述取料口的两侧均设有第二滑槽，所述第二滑槽的一端与取料口连通设置，所述第二滑槽内滑动连接有与之相匹配的第二滑块，所述第二滑块上固定连接有第二伸缩杆，所述第二伸缩杆上套设有第二弹簧，所述第二弹簧的两端分别与第二滑块的侧壁及第二滑槽的内壁固定连接，所述第二滑块背离第二弹簧的一端转动连接有限位杆，两根所述限位杆分别与开合板的两端侧壁转动连接。

在上述的掩膜版存储使用一体装载盒中，所述换气机构包括设置于转动筒内的封闭板，所述封闭板上贯穿固定连接有连接管，所述连接管内固定连接有电热块，所述连接管远离封闭板的一端呈螺旋状，所述连接管上固定连接有抽气泵，所述连接管的一端贯穿保存筒并延伸至其外部，所述连接管位于保存筒上设有干燥机构，所述连接管的一端贯穿保存筒并延伸至第一环形板的上方。

在上述的掩膜版存储使用一体装载盒中，所述干燥机构包括设置于连接管上的缺口，所述缺口内嵌合有一对卡管，所述卡管的两端处均设有螺纹套筒，所述卡管通过多个螺纹套筒与连接管固定连接，所述卡管呈半圆柱状，其中一根所述卡管的内壁上固定连接有多组卡环，所述卡环内卡设有吸水块，所述吸水块为高密度亲水分子的PVA塑胶海棉材质，其内部有多个互联的微孔结构。

在上述的掩膜版存储使用一体装载盒中，所述掩膜版存储使用一体装载盒的工作原理为：

1)操作人员先启动液压杆，液压杆启动带动第三顶板向上升起，第三顶板继而作用于第一顶板，第一顶板通过第一滑块滑动挤压第一弹簧，同时第一顶板通过连接板带动第二顶板逐渐上升，第二顶板作用于开合板将其从取料口中抬起，取料口升起的过程中通过限位杆带动第二滑块移动，同时第二滑块带动第二弹簧进行拉伸；

2)当固定块上升至取料口内时，操作人员即可通过卡接盒将掩膜版取出，其具体为先将两块卡接盒的组合体取出，再将其打开将掩膜版取出，在取出物料的同时，固定杆带动隔板插入至分割缝内将空缺的位置与内部整体分隔开来，达到最大限度保护的效果，待取出或放置完毕后，液压杆下降复位，随后在第二弹簧的作用下，开合板逐渐恢复至取料口内将其闭合，同时隔板逐渐下降至分割缝外，当其部件完全复位后，即可进行继续正常保存；

3)当需要取用其他部位的掩膜版时，驱动电机启动带动齿轮转动，使其配合齿环带动转动筒转动，从而改变取料口下存储的掩膜版，在正常存储时，抽气泵启动通过连接管和气孔将保存筒内部的气体先抽入至连接管内，连接管内的电加热装置在对其进行高温加热并通过螺旋段降温，随后气体通过多层吸水块的吸附，最后重新以恒定的温度重新排入至保存筒内，进行类恒温恒湿存储的效果，有助于对其进行长效的保护，方便企业日常管理使用。

与现有的技术相比，本掩膜版存储使用一体装载盒的优点在于：

1、本发明通过设置的液压杆和卡接盒、驱动机构的配合，以达到利用液压杆进行抬升时，只将单个的第一顶板抬升到取料口内的效果，使其在进行单个掩膜版取用时不易影响其他存储的掩膜版，是的其他物料可以得到良好的保护，同时通过隔板还可将该空缺的区域进行隔离进一步提高了防护的效果，同时用于直接夹紧掩膜版的卡接盒内还可防止在取拿的过程中对掩膜版本体造成刮，有助于对其进行长效的保护，方便企业日常管理使用擦。

2、本发明通过设置的连接管和抽气泵、干燥机构的配合，以达到利用抽气泵和连接管将内部存储的空气进行处理后回排至其内部的效果，有效的保证了内部温度和湿度的恒定，防止空气中的异物对内部存储的掩膜版造成腐蚀或其他影响，间接的有助于提高实际使用寿命，同时可更换式的吸水块可保证设备的长期正常运行，提高设备长期使用的稳定性和效果。

附图说明

图1是本发明提供的一种掩膜版存储使用一体装载盒的外部结构示意图；

图2是图1的内部结构示意图；

图3是图2中转动筒的结构示意图；

图4是图2中升降机构的透视图；

图5是图2中夹紧机构的结构示意图；

图6是图2中顶升机构的结构示意图；

图7是图2中卡管、卡环的结构示意图；

图8是图3的剖视图；

图9是图2中驱动机构的俯视示意图；

图10是图2中A处的局部放大图；

图11是图2中B处的局部放大图。

图中，1保存筒、2驱动机构、3存料机构、4开合机构、5换气机构、6连接柱、7连接杆、8驱动电机、9齿轮、10转动筒、11齿环、12升降机构、13第一环形板、14顶升机构、15气孔、16第一滑槽、17第一滑块、18第一伸缩杆、19第一弹簧、20第二环形板、21卡槽、22卡条、23分割缝、24夹紧机构、25第一顶板、26固定块、27卡接盒、28橡胶条、29连接板、30第二顶板、31液压杆、32第三顶板、33吸水块、34固定杆、35隔板、36取料口、37开合板、38第二滑槽、39第二滑块、40第二伸缩杆、41第二弹簧、42限位杆、43封闭板、44连接管、45抽气泵、46干燥机构、47卡管、48螺纹套筒、49卡环。

具体实施方式

以下实施例仅处于说明性目的，而不是想要限制本发明的范围。

实施例

如图1-11所示，一种掩膜版存储使用一体装载盒，包括保存筒1，保存筒1呈圆柱状，保存筒1内设空腔，空腔的内顶面的中心处固定连接有驱动机构2，驱动机构2包括固定连接于空腔内顶面的连接柱6，连接柱6设置于保存筒1的中心处，连接柱6的一端固定连接有连接杆7，连接杆7上固定连接有驱动电机8，驱动电机8受外部计算机的控制，计算机通过信息的检测来向驱动电机8传达转动的速度和圈数，驱动电机8的驱动轴上同轴固定连接有齿轮9，空腔内还设有用于配合驱动机构2的存料机构3。

保存筒1的顶面上贯穿开设有用于配合存料机构3的取料口，取料口用于将物料取出或放入，存料机构3包括设置于空腔内的转动筒10，转动筒10与空腔的内顶面转动连接，转动筒10可以在保存筒1内自由转动，转动筒10的内测壁上同轴固定连接有齿环11，齿环11与齿轮9啮合，齿轮9通过驱动电机8带动转动，齿轮9通过齿环11带动转动筒10转动，转动筒10的外侧壁上设有多个升降机构12，转动筒10的外侧壁上还套设有第一环形板13，第一环形板13与转动筒10转动密封连接，第一环形板13与转动筒10相互运动时不会有气体在缝隙进行交互，第一环形板13上设有用于配合升降机构12的顶升机构14，转动筒10的侧壁上开设有多个贯穿的气孔15，气孔15用于连通转动筒10与保存筒1之间的空气。

升降机构12包括设置于转动筒10外侧壁上的多条第一滑槽16，第一滑槽16内滑动连接有与之相匹配的第一滑块17，第一滑块17上固定连接有第一伸缩杆18，第一伸缩杆18上套设有第一弹簧19，转动筒10外侧壁上同轴固定连接有第二环形板20，第二环形板20位于第一环形板13的上部，第二环形板20的外侧边缘同轴设有卡槽21，卡槽21内滑动连接有卡条22，第二环形板20通过卡条22使其可以跟随转动筒10进行旋转，卡条22与保存筒1的内壁同轴固定连接。

第二环形板20的端面上还有多条分割缝23，分割缝23将第二环形板20分割成多个扇形面，第二环形板20的端面上设有多个上下贯通的开口，开口设置于多条分割缝23之间，开口靠近转动筒10设置，开口内设有夹紧机构24，夹紧机构24与第一滑块17固定连接，夹紧机构24包括设置于开口内的第一顶板25，第一顶板25上固定连接有固定块26，固定块26上设有多条嵌槽，嵌槽用于将需要存储的掩膜版放置在其内部进行保存，嵌槽的内壁上固定连接有多个海绵块用于进行有效的夹紧，嵌槽内卡设有一对卡接盒27，两块卡接盒27相互卡合且其内壁上固定连接有橡胶条28，橡胶条28可夹持在掩膜版的边缘处，使得掩膜版的板面不与任何物体相接触，卡接盒27先对掩膜版进行夹持，随后即可通过卡接盒27来进行较为粗糙的抽插拿放作业，第一顶板25上固定连接有连接板29，连接板29远离第一顶板25的一端固定连接有第二顶板30。

顶升机构14包括固定连接于第一环形板13上的液压杆31，液压杆31上固定连接有第三顶板32，第三顶板32的尺寸与第一顶板25相同，第三顶板32和第一顶板25及第二顶板30的尺寸都相同，均可以通过开口，第三顶板32的下端固定连接有一对固定杆34，固定杆34倾斜设置，两根固定杆34分别设置于液压杆31的两侧，两根固定杆34远离第三顶板32的一端分别固定连接有竖直的隔板35，当液压杆31抬升时固定杆34即可带动隔板35插入至分割缝23内，使其空缺的区域形成一个封闭的空间隔断。

保存筒1上还设有用于配合取料口的开合机构4，开合机构4包括设置于保存筒1顶部上内外贯通的取料口36，取料口36上设有与之相匹配的开合板37，取料口36的尺寸与第一顶板25尺寸相同，取料口36的两侧均设有第二滑槽38，第二滑槽38的一端与取料口36连通设置，第二滑槽38内滑动连接有与之相匹配的第二滑块39，第二滑块39上固定连接有第二伸缩杆40，第二伸缩杆40上套设有第二弹簧41，第二弹簧41的两端分别与第二滑块39的侧壁及第二滑槽38的内壁固定连接，第二弹簧41在拉动后可帮助第二滑块39复位，从而使得开合板37可以较好的闭合取料口36，第二滑块39背离第二弹簧41的一端转动连接有限位杆42，两根限位杆42分别与开合板37的两端侧壁转动连接，开合板37可被第二顶板30顶起打开并配合限位杆42来进行正常闭合。

空腔的内底部还固定连接有换气机构5，换气机构5的两端均与存料机构3连通设置，换气机构5包括设置于转动筒10内的封闭板43，封闭板43上贯穿固定连接有连接管44，连接管44的初始段固定连接有电热块，电热块对空气加热的温度可以进行消杀的作用，同时可输出一定的温度，连接管44远离封闭板43的一端呈螺旋状，螺旋状较为冗长可帮助加温后的气体降温，二者配合达到输出合适温度的效果，连接管44上固定连接有抽气泵45，抽气泵45可通过抽吸作用使得内部气体形成循环效果，连接管44的一端贯穿保存筒1并延伸至其外部，连接管44位于保存筒1上设有干燥机构46。

干燥机构46包括设置于连接管44上的缺口，缺口内嵌合有一对卡管47，卡管47与连接管44的缺口段上均设有螺纹，卡管47的两端处均设有螺纹套筒48，卡管47通过多个螺纹套筒48与连接管44固定连接，通过纹套筒48的上下转动，可完成卡管47的开合及与连接管44的连接，卡管47呈半圆柱状，其中一根卡管47的内壁上固定连接有多组卡环49，卡环49内卡设有吸水块50，吸水块33为高密度亲水分子的PVA塑胶海棉材质，其内部有多个互联的微孔结构对水汽具有极好的吸附性，连接管44的一端贯穿保存筒1并延伸至第一环形板13的上方，完成消杀、控温、除湿后的气体被再次输送至保存筒1内，方便对大量的掩膜版进行类恒温恒湿存储的效果，同时在取用时也不会对其他的掩膜版构成较大影响，有助于对其进行长效的保护，方便企业日常管理使用。

本发明在使用时，操作人员先启动液压杆31，液压杆31启动带动第三顶板32向上升起，第三顶板32继而作用于第一顶板25，第一顶板25通过第一滑块17滑动挤压第一弹簧19，同时第一顶板25通过连接板29带动第二顶板30逐渐上升，第二顶板30作用于开合板37将其从取料口36中抬起，取料口36升起的过程中通过限位杆42带动第二滑块39移动，同时第二滑块39带动第二弹簧41进行拉伸，当固定块26上升至取料口36内时，操作人员即可通过卡接盒27将掩膜版取出，其具体为先将两块卡接盒27的组合体取出，再将其打开将掩膜版取出，在取出物料的同时，固定杆34带动隔板35插入至分割缝23内将空缺的位置与内部整体分隔开来，达到最大限度保护的效果，待取出或放置完毕后，液压杆31下降复位，随后在第二弹簧41的作用下，开合板37逐渐恢复至取料口36内将其闭合，同时隔板35逐渐下降至分割缝23外，当其部件完全复位后，即可进行继续正常保存，当需要取用其他部位的掩膜版时，驱动电机8启动带动齿轮9转动，使其配合齿环11带动转动筒10转动，从而改变取料口36下存储的掩膜版，在正常存储时，抽气泵45启动通过连接管44和气孔15将保存筒1内部的气体先抽入至连接管44内，连接管44内的电加热装置在对其进行高温加热并通过螺旋段降温，随后气体通过多层吸水块33的吸附，最后重新以恒定的温度重新排入至保存筒1内，进行类恒温恒湿存储的效果，有助于对其进行长效的保护，方便企业日常管理使用。

尽管本文较多地使用了保存筒1、驱动机构2、存料机构3、开合机构4、换气机构5、连接柱6、连接杆7、驱动电机8、齿轮9、转动筒10、齿环11、升降机构12、第一环形板13、顶升机构14、气孔15、第一滑槽16、第一滑块17、第一伸缩杆18、第一弹簧19、第二环形板20、卡槽21、卡条22、分割缝23、夹紧机构24、第一顶板25、固定块26、卡接盒27、橡胶条28、连接板29、第二顶板30、液压杆31、第三顶板32、吸水块33、固定杆34、隔板35、取料口36、开合板37、第二滑槽38、第二滑块39、第二伸缩杆40、第二弹簧41、限位杆42、封闭板43、连接管44、抽气泵45、干燥机构46、卡管47、螺纹套筒48、卡环49等术语，但并不排除使用其它术语的可能性。使用这些术语仅仅是为了更方便地描述和解释本发明的本质；把它们解释成任何一种附加的限制都是与本发明精神相违背的。