一种烘烤系统

技术领域

本发明涉及芯片加工技术领域，尤其是涉及一种烘烤系统。

背景技术

芯片产品在生产组装过程中，使用到一些胶水固化，有部分胶水需要在高温的条件下才能实现胶水的固化。目前，在芯片产品加工过程中，主要是通过芯片烘烤装置对芯片进行高温烘烤，来促进芯片产品上的胶水的固化。

烘烤装置在烘烤时会释放大量的热量，所以多是使用独立的房间来安装烘烤装置，但是，目前在芯片烘烤工艺过程中，物料的输送还主要是依靠人力来完成，烘烤过程产生的高温环境会对工作人员的健康产生危害，而且烘烤过程每次更换物料时，需要首先等待烘烤装置内的温度下降到安全温度下，工作人员才能将物料送入到烘烤装置内，导致芯片烘烤工艺效率低下。

发明内容

为了解决现有技术的不足，本发明实施例提供一种烘烤系统，实现在芯片烘烤工艺中自动输送物料的作用，提高了芯片烘烤工艺的效率，节省人力，避免烘烤工艺的高温环境危害工作人员的身体健康。

为了实现上述目的，本发明实施例提供一种烘烤系统，包括：

烘烤装置，包括本体，所述本体内设置有烘烤腔室，所述烘烤腔室的一端设置有入口，所述入口通过门体封闭，所述本体上还包括开门组件，所述开门组件与所述门体相连；

运输装置，包括移动载体，所述移动载体上设有物料承载部件，所述物料承载部件与所述移动载体之间通过第一推动组件相连，所述第一推动组件在所述门体开启时将所述物料承载部件推送至所述烘烤腔室内。

可选的，所述烘烤装置还包括支架，所述支架朝向所述烘烤腔室的一侧设置有滑动腔室，所述门体设于所述滑动腔室内，所述支架上安装有第二推动组件，所述第二推动组件推动所述门体在所述滑动腔室移动，所述开门组件与所述门体通过所述支架相连。

可选的，所述开门组件包括第一驱动部件与第一丝杆，所述第一驱动部件与所述第一丝杆相连，所述第一丝杆在竖直方向上穿过所述支架，并与所述支架通过螺纹配合。

可选的，所述第二推动组件包括第二驱动部件与第二丝杆，所述第二驱动部件与所述第二丝杆相连，所述第二丝杆沿朝向所述烘烤腔室内部的方向延伸，所述第二丝杆与所述门体通过螺纹配合。

可选的，所述第一推动组件包括第三驱动部件、第三丝杆与第一滑动部件，所述第三驱动部件与所述第三丝杆相连，所述第三丝杆与所述第一滑动部件通过螺纹配合，所述第一滑动部件上设置有插舌，所述物料承载部件的底部设置有插槽，所述插舌从所述物料承载部件的下方伸入所述插槽内。

可选的，所述烘烤腔室的底面上设置有第一滑轨，所述第一滑轨沿朝向所述烘烤腔室的内部的方向延伸；

所述移动载体上还设置有第二滑轨，所述第二滑轨与所述第三丝杆的轴线方向平行；

所述物料承载部件的底部设置有第二滑动部件，所述第一推动组件推动所述第二滑动部件在所述第一滑轨和所述第二滑轨上滑动。

可选的，所述本体上设置有图像检测器，所述移动载体上包括图像比较器，所述图像比较器内预先存储有所述运移动载体与所述烘烤腔室之间的相对位置信息。

可选的，所述本体上设置有条码扫码器，所述物料承载部件上设置有条码标签，所述条码标签中预先存储有物料烘烤信息。

可选的，所述本体上还包括加热部件、降温部件以及工控机，所述加热部件、所述降温部件与所述烘烤腔室的内部相连，所述工控机分别与所述条码扫码器、所述加热部件和所述降温部件相连。

可选的，所述烘烤腔室内还设置有温度传感器与物料探测器，所述温度传感器与所述物料探测器均与所述工控机相连。

本发明的有益效果：

本发明公开了一种烘烤系统，包括：烘烤装置，包括本体，所述本体内设置有烘烤腔室，所述烘烤腔室的一端设置有入口，所述入口通过门体封闭，所述本体上还包括开门组件，所述开门组件与所述门体相连；运输装置，包括移动载体，所述移动载体上设有物料承载部件，所述物料承载部件与所述移动载体之间通过第一推动组件相连，所述第一推动组件在所述门体开启时将所述物料承载部件推送至所述烘烤腔室内。本发明的烘烤系统实现在芯片烘烤工艺中自动输送物料的作用，提高了芯片烘烤工艺的效率，节省人力，避免烘烤工艺的高温环境危害工作人员的身体健康。

附图说明

此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本发明的实施例，并与说明书一起用于解释本发明的原理。

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，对于本领域普通技术人员而言，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图，其中：

图1是本发明实施例的烘烤系统的结构示意图；

图2是本发明实施例的烘烤装置的结构示意图；

图3是本发明实施例的烘烤装置的正向结构示意图；

图4是本发明实施例的烘烤装置除去支架后的结构示意图；

图5是本发明实施例的烘烤装置的侧面截面示意图；

图6是本发明实施例的运输装置的结构示意图；

图7是本发明实施例中运输装置的第一推动组件的结构示意图；

图8是本发明实施例中第一滑动部件的结构示意图。

其中图1至图8中附图标记与部件名称之间的对应关系为：

1、烘烤装置；2、运输装置；10、本体；11、烘烤腔室；12、入口；13、门体；14、开门组件；15、支架；16、滑动腔室；17、第二推动组件；20、移动载体；21、物料承载部件；22、第一推动组件；23、固定支架；24、电子锁；100、图像检测器；101、条码扫码器；102、加热部件；103、降温部件；104、工控机；110、第一滑轨；111、温度传感器；112、物料探测器；140、第一驱动部件；141、第一丝杆；142、导杆；170、第二驱动部件；171、第二丝杆；200、第二滑轨；210、第二滑动部件；220、第三驱动部件；221、第三丝杆；222、第一滑动部件；223、插舌。

具体实施方式

为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细说明：

参见图1至图8，本发明实施例公开了一种烘烤系统，主要包括烘烤装置1与运输装置2，其中烘烤装置1主要包括本体10，本体10内设置有烘烤腔室11，烘烤腔室11的一端设置有入口12，入口12通过门体13封闭，本体10上还包括开门组件14，开门组件14与门体10相连，运输装置2主要包括移动载体20，移动载体20上设置有物料承载部件21，物料承载部件21与移动载体20之间通过第一推动组件22相连，第一推动组件22在门体13开启时将物料承载部件21推送至烘烤腔室11内。

在本发明实施例中，烘烤装置1用于进行芯片等物料的烘烤，运输装置2用于在烘烤前将物料输送到烘烤腔室11内，其中，门体10的开闭通过开门组件14实现，运输装置2通过移动载体20携带物料承载部件21移动到烘烤装置1的位置处，并在门体10开启后，通过推动组件22将物料承载部件21推送到烘烤腔室11内部，物料承载部件21上承载有待烘烤的物料产品。本发明实施例的烘烤系统，实现烘烤装置1门体13的自动开启和关闭以及物料的自动输送，避免芯片烘烤工艺中工作人员在现场进行操作，实现烘烤工艺的自动化，节省了人力成本，提高了烘烤工艺的效率。

根据本发明的一个实施例，烘烤装置1还包括支架15，支架15朝向烘烤腔室11的一侧设置有滑动腔室16，门体13设置于滑动腔室16内，支架15上安装有第二推动组件17，第二推动组件17推动门体13在滑动腔室16内移动，开门组件14与门体13通过支架15相连。在本实施例中，在烘烤腔室11开门和关门的时候，还需要通过第二推动组件17推动门体13运动，门体13在滑动腔室16内的滑动方向为远离和靠近烘烤腔室16的方向，当第二推动组件17推动门体13朝向烘烤腔室16的方向移动时，门体13逐渐被推动嵌入到入口12内，提高门体13与烘烤腔室16之间的密封性，在开门组件14带动门体13开启之前，首先通过第二推动组件17推动门体13朝向远离烘烤腔室16的方向移动，使门体13移动到入口12的外侧，其中开门组件14带动门体13运动的方向与第二推动组件17带动门体运动的方向选择为相互垂直的两个方向，在本实施例中优选为开门组件14带动门体13在上下方向上移动以实现开门和关门的动作。进一步地，本实施例中，门体13与开门组件14之间通过支架15相连，即在开门和关门的过程中，通过开门组件14带动支架15移动，进而带动位于支架15上的门体13一同运动。

根据本发明的一个实施例，开门组件14包括第一驱动部件140与第一丝杆141，第一驱动部件140与第一丝杆141相连，第一丝杆141在竖直方向上穿过支架15并与支架15通过螺纹配合。本实施例中，第一丝杆141与支架15之间形成一丝杆滑块的结构，第一驱动部件140工作带动第一丝杆141转动，进而使得支架15在第一丝杆141的轴线方向上移动。可选的，第一驱动部件140可以选择为电机。

进一步地，开门组件14还包括导杆142，导杆142在竖直方向上穿过支架15，并与支架15之间可滑动地连接，导杆142与第一丝杆141相互配合，第一丝杆141为支架15的上下移动提供动力，导杆142则为支架15的上下移动提供导向，同时导杆142的设置限制了支架15在第一丝杆141的周向方向上的转动。在一个具体的示例中，导杆142与第一丝杆141分别位于入口11的左右两侧，以为物料进出入口11提供避空位。

在一个具体的示例中，本体1在入口12一侧的上下两端分别设置有横臂18，横臂18沿水平向远离本体1的方向延伸，第一丝杆141、导杆142以及支架15安装在上下的横臂18之间。

根据本发明的一个实施例，第二推动组件17包括第二驱动部件170与第二丝杆171，第二驱动部件170与第二丝杆171相连，第二丝杆171沿朝向烘烤腔室11内部的方向延伸，第二丝杆171与门体13通过螺纹配合。第二推动组件17用于推动门体13在滑动腔室16内滑动，在本实施例中，第二丝杆171与门体13之间组成一丝杆滑块的结构，滑动腔室16为矩形的空腔结构，门体13设置在滑动腔室16内，其在第二丝杆171的周向方向上的转动被滑动腔室16限制，所以在第二丝杆171的带动下，门体13只产生在第二丝杆171的轴线方向上的移动。

根据本发明的一个实施例，第一推动组件22包括第三驱动部件220、第三丝杆221以及第一滑动部件222，第三驱动部件220与第三丝杆221相连，第三丝杆221与第一滑动部件222通过螺纹配合，第一滑动部件222上设置有插舌223，物料承载部件21的底部设置有插槽，插舌223从物料承载部件21的下方伸入到插槽内。在本实施例中，当插舌223伸入到插槽内部时，在第三丝杆221的轴线方向上，第一滑动部件222与物料承载部件21在第三丝杆221的轴线方向上成为一个一同移动的整体，在移动载体20移动到烘烤腔室11的入口12处时，第三驱动部件220工作，使得第三丝杆221转动，进而第一滑动部件222朝向烘烤腔室11的内部移动，直至将物料承载部件21输送到烘烤腔室11的内部。其中，在物料承载部件21被输送到烘烤腔室11内部的预设位置时，第一滑动部件222向下移动，进而使得插舌223从插槽内退出，然后第三驱动部件220驱动第一滑动部件222从烘烤腔室11内退出，完成送料的工作，同理，在取料时，首先使插舌223位于插槽的下方的位置，然后第三驱动部件220工作，使得第一滑动部件222伸入到物料承载部件21的底部，在插舌223与插槽对位准确后，第一滑动部件222向上移动使插舌223伸入到插槽内，然后第三驱动部件220驱动第一滑动部件222携带物料承载部件21从烘烤腔室11内退出。在可选的实施例中，第三驱动部件220选择为电机。

根据本发明的一个实施例，移动载体20上安装有举升部件，第一推动组件22设置与举升部件的上方，举升部件用于在工作时，推动第一推动组件22整体上升和下降，进而实现插舌223伸入到插槽内以及将插舌223从插槽内退出，在可选的实施例中，举升部件可以选择为液压机或者气缸。进一步地，可以选择在插舌223与插槽之间设置感应器来实现两者之间的定位，即当第一滑动部件222移动，通过感应器可以感应到插舌223与插槽已经处于相对应的位置处，确保插舌223与插槽能够精准的配合。

根据本发明的一个实施例，烘烤腔室11的底面设置有第一滑轨110，第一滑轨110沿朝向烘烤腔室11的内部的方向延伸；在移动载体20上设置有第二滑轨200，第二滑轨200与第三丝杆221的轴线方向平行；物料承载部件21的底部设置有第二滑动部件210，第一推动组件22推动物料承载部件21在第一滑轨110和第二滑轨200上滑动。在本实施例中，第一滑轨110与第二滑轨200均用于与物料承载部件21底部的第二滑动部件210进行滑动配合，以方便第一推动组件22推动物料承载部件21在移动载体20上滑动以及物料承载部件21在烘烤腔室11内滑动，优选的，第一滑轨110与第二滑轨200为相同的尺寸，实现物料承载部件21在第一滑轨110和第二滑轨200上的无缝对接。在送料和取料的过程中，首先对物料承载部件21与烘烤腔室11之间进行定位，使得第一滑轨110与第二滑轨200两者之间对接上，之后第一推动组件22能够更加顺畅和准确的将物料承载部件21输送到烘烤腔室11内的预设位置处。

在一个具体的示例中，移动载体20上安装有固定支架23，物料承载部件21设置在固定支架23的范围之内，固定支架23设置为倒U型的龙门架形式，在固定支架23上设置有电子锁24，固定支架23通过电子锁24将物料承载部件21紧固在移动载体20上。在物料的运输过程中，物料承载部件21被固定安装在移动载体20上，以防止物料承载部件21乱窜，在第一推动组件22推动物料承载部件21移动之前，电子锁24与物料承载部件21之间断开连接，使物料承载部件21处于可以移动的状态，其中电子锁24是一种通电连接，断电关闭的器件，其锁紧物料承载部件21与否无需人力现场进行操作，可以通过工作人员远程控制操作，因此，提高了物料运输的自动化，避免了工作人员在现场进行操作。

根据本发明的一个实施例，本体10上设置有图像检测器100，本体10上还包括图像比较器，图像比较器预先存储有物料承载部件21与烘烤腔室11之间的相对位置信息，图像检测器100与图像比较器相连接。在本实施例中，在移动载体20移动到烘烤腔室11的入口处时，图像检测器100检测到移动载体20上的物料承载部件21的图像信息，该图像信息包含了物料承载部件21相对烘烤腔室11的位置信息，在图像比较器接收到物料承载部件21的当前的位置信息之后，与预先存储的相对位置信息进行比较，进而可以获得移动载体20在实现定位准确所需要进行的位置调整信息。

根据本发明的一个实施例，本体10上还设置有条码扫码器101，物料承载部件21上设置有条码标签，条码标签中预先存储有物料烘烤信息，通过条码扫码器101扫描获得本次的物料烘烤信息，进而在物料承载部件21上的物料进入到烘烤腔室11的内部时，可以实现自动设定本次烘烤的烘烤参数，其中物料烘烤参数主要包括烘烤温度与烘烤时长。

根据本发明的一个实施例，本体10上还包括加热部件102、降温部件103与工控机104，其中加热部件102与降温部件103均与烘烤腔室11内连接，工控机104分别与条码扫码器101、加热部件102和降温部件103相连。工控机104为控制烘烤装置1的运行参数的器件，在工作时，条码扫码器101扫描到条码标签上的信息后，将该条码信息传输至工控机104，进而工控机104根据该信息设定本次烘烤时的参数，其中，对于温度的调节主要通过加热部件102与降温部件103实现，工控机104根据条码信息中的温度信息控制加热部件102与降温部件103工作，以将烘烤腔室11内调节到条码信息中的温度。在可选的实施例中，加热部件102与降温部件103可以选择为电子加热片与电子制冷片。

根据本发明的一个实施例，烘烤腔室11内还设置有温度传感器111与物料探测器112，温度传感器111用于实时检测烘烤腔室11内的温度，以将该实时的温度信息反馈给工控机104，物料探测器112用于检测烘烤腔室11内物料是否到位，并将该信息反馈给工控机104，工控机104根据该信息判断是否进行工作。

在一个具体的示例中，移动载体20可以选择为AGV小车，AGV小车(AutomatedGuided Vehicle，自动导航车辆)，指装备有电磁或光学等自动导航装置，能够沿规定的导航路径行驶，具有安全保护及各种移载功能的运输车。AGV小车具备自动导航定位的功能，在运输物料时，通过与烘烤装置1上的图像比较器相连，进而根据当前的相对位置信息与预先存储的相对位置信息对AGV小车的当前位置进行调整，将物料承载部件21与烘烤腔室11的相对位置定位准确。

在本发明的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“连通”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接连通，也可以通过中间媒介间接连通，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。此外，在本发明的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

以上所述仅为本发明的较佳实施例，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。