掌桥专利:专业的专利平台
掌桥专利
首页

一种板材合成用磁控溅射设备及其使用方法

文献发布时间:2023-06-19 11:44:10


一种板材合成用磁控溅射设备及其使用方法
相关技术
  • 一种板材合成用磁控溅射设备及其使用方法
  • 一种平面靶材的磁场结构及其使用方法和磁控溅射设备
技术分类

06120113037447