一种具有钽金属涂层的Cf/SiC基复合材料及其制备方法
文献发布时间:2023-06-19 13:27:45
技术领域
本发明属于高温材料技术领域,具体涉及一种具有钽金属涂层的C
背景技术
C
发明内容
本发明的目的是提供一种具有钽金属涂层的C
本发明采用以下技术方案:一种具有钽金属涂层的C
步骤1、对C
步骤2、将C
步骤3、待温度稳定后,分别向氧化室和沉积室中通入氟气和氢气,氧化室中氟气与金属钽粉末反应生成前驱体五氟化钽,由于压强作用,五氟化钽流通到沉积室中与氢气发生还原反应沉积在C
进一步的,步骤1中,对C
进一步的,步骤2中升温速率为3~8℃/min,沉积温度设置为800~1400℃。
进一步的,步骤3中氟气和氢气的纯度均大于99.99%,其中氟气的流量为 50~150ml/min,氢气的流量为400~1000ml/min。
进一步的,步骤3中沉积时间为30~200min。
进一步的,形成钽金属涂层的C
本发明采用的第二种技术方案是,一种具有钽金属涂层的C
本发明的有益效果是:针对目前C
附图说明
图1为本发明一种具有钽金属涂层的C
图2为本发明一种具有钽金属涂层的C
图3为本发明一种具有钽金属涂层的C
图4为本发明一种具有钽金属涂层的C
其中,1.氧化室,2.沉积室,3.C
具体实施方式
下面结合附图和具体实施方式对本发明进行详细说明。
本发明提供了一种具有钽金属涂层的C
实施例1
(1)用酒精超声清洗C
(2)待温度上升至800℃时,分别向氧化室1和沉积室2中通入氟气(流量为100ml/min)、氢气(流量为400ml/min),反应时间为200min,使金属钽涂层均匀地沉积在C
实施例2
(1)用酒精超声清洗C
(2)待温度上升至1200℃时,分别向氧化室1和沉积室2中通入氟气和氢气,氟气的流量为50ml/min,以氢气流量分别为400、500、600、700、800、900 和1000ml/min来分次进行本实施例。反应时间均为60min,使金属钽涂层均匀地沉积在C
实施例3
(1)用酒精超声清洗C
(2)待温度上升至1200℃时,分别向氧化室1和沉积室2中通入氟气和氢气,以氟气的流量分别为50、75、100、125和150ml/min来分次进行本实施例,氢气的流量为600ml/min,反应时间为60min,使金属钽涂层均匀地沉积在C
实施例4
(1)用酒精超声清洗C
(2)待温度上升至1400℃时,分别向氧化室1和沉积室2中通入氟气(流量为100ml/min)、氢气(流量为1000ml/min),反应时间为30min,使金属钽涂层均匀地沉积在C
对比例
将纯度为99.99%、粒径为48~150μm的金属钽粉末置于烘箱中在70℃下干燥10h。然后,依次使用丙酮和酒精超声清洗C
下面通过电化学试验来检测实施例4中所制备的Ta-C
表1
其中,Ecoor——自腐蚀电位,mV;Icoor——腐蚀电流密度,μA·cm-2; Rp——极化电阻,Ω;Pi——保护效率,%。
针对目前C
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