谐振腔检测方法、装置、设备及存储介质

技术领域

本发明涉及微波检测技术领域，尤其涉及一种谐振腔检测方法、装置、设备及存储介质。

背景技术

微波介质陶瓷材料的谐振频率温度系数表示环境温度变化时，谐振中心频率的相对偏移量，该系数是微波介质陶瓷材料介电性能的重要参数之一。随着电路的集成度提高，元件密度增大，单位体积上产生的热量越来越多，因而电路对器件性能的温度稳定性要求越来越高，精确快速的检测材料的温度系数显得越来越重要，传输法检测温度系数的优点是测试频带宽，操作简单且同时对波导系统和同轴系统均适用，但是该方法也存在很多缺点，对于低损耗的材料，当样品厚度小于系统中样品中的半个波导波长时，会使得测量的不确定度增大，最终导致测试不确定度较大，并且，当样品厚度正好是半个波导波长的整数倍时，系统中会产生厚度谐振，该方法还存在多值性问题，其次，极薄样品测量的不确定度高，因此，已有的传输法不能实现对样品的较高精度的测量。

发明内容

本发明的主要目的在于提供一种谐振腔检测方法、装置、设备及存储介质，旨在解决现有技术已有的传输法不能实现对样品的较高精度的测量的技术问题。

为实现上述目的，本发明提供了一种谐振腔检测方法，所述方法包括以下步骤：

获取放置预设数量待检测样品的平行板，并使所述平行板的谐振腔处于恒温箱，所述预设数量待检测样品均为待检测材料制成；

向所述恒温箱输入第一测试温度，当所述恒温箱的温度达到第一测试温度时，逐一检测所述第一测试温度下的所述预设数量待检测样品，获得第一谐振频率；

待所述第一测试温度下的所述预设数量待检测样品均检测完成后，向所述恒温箱输入第二测试温度，当所述恒温箱的温度达到第二测试温度预设时长后，逐一检测所述第二测试温度下的所述预设数量待检测样品，获得第二谐振频率；

根据所述第一谐振频率和所述第二谐振频率获得所述待检测材料的温度系数。

可选地，所述获取放置预设数量待检测样品的平行板，并使所述平行板的谐振腔处于恒温箱之前，还包括：

获取所述预设数量待检测样品的直径，所述预设数量待检测样品的直径均一致；

根据所述预设数量待检测样品的直径与相邻待检测样品间最小间距之间的对应关系，确定所述预设数量待检测样品之间的目标放置间距；

根据所述预设数量待检测样品之间的目标放置间距调整所述平行板上相邻待检测样品之间的间距。

可选地，所述向所述恒温箱输入第一测试温度，当所述恒温箱的温度达到第一测试温度时，逐一检测所述第一测试温度下的所述预设数量待检测样品，获得第一谐振频率，包括：

向所述恒温箱输入第一测试温度，并实时监测所述恒温箱的温度；

当所述恒温箱的温度达到第一测试温度时，逐一检测所述第一测试温度下的所述预设数量待检测样品，得到所述预设数量待检测样品的谐振频率；

计算所述预设数量待检测样品的谐振频率的平均值；

重复进行预设次数的检测并计算所述预设数量待检测样品的谐振频率的平均值，获得所述预设次数对应的所述预设数量待检测样品的谐振频率的平均值；

根据所述预设数量待检测样品的谐振频率的平均值和所述预设次数对应的所述预设数量待检测样品的谐振频率的平均值再次进行平均值计算，获得第一谐振频率。

可选地，所述当所述恒温箱的温度达到第一测试温度时，逐一检测所述第一测试温度下的所述预设数量待检测样品，得到所述预设数量待检测样品的谐振频率，包括：

通过调节所述平行板间的高度，确定所述预设数量待检测样品对应的谐振峰；

检测所述预设数量待检测样品对应的谐振峰的谐振频率，将所述预设数量待检测样品对应的谐振峰的谐振频率作为所述预设数量待检测样品的谐振频率。

可选地，所述当所述恒温箱的温度达到第二测试温度预设时长后，逐一检测所述第二测试温度下的所述预设数量待检测样品，获得第二谐振频率，包括

当所述恒温箱的温度达到第二测试温度预设时长后，通过调节所述平行板间的高度确定所述预设数量待检测样品对应的谐振峰；

检测所述预设数量待检测样品对应的谐振峰的谐振频率，将所述预设数量待检测样品对应的谐振峰的谐振频率作为所述预设数量待检测样品的谐振频率；

计算所述预设数量待检测样品的谐振频率的平均值；

重复进行预设次数的检测并计算所述预设数量待检测样品的谐振频率的平均值，获得所述预设次数对应的所述预设数量待检测样品的谐振频率的平均值；

根据所述预设数量待检测样品的谐振频率的平均值和所述预设次数对应的所述预设数量待检测样品的谐振频率的平均值再次进行平均值计算，获得第二谐振频率。

可选地，所述向所述恒温箱输入第一测试温度，当所述恒温箱的温度达到第一测试温度时，逐一检测所述第一测试温度下的所述预设数量待检测样品，获得第一谐振频率之前，还包括：

获取脉冲信号，将所述脉冲信号输入至所述平行板的步进电机，以使所述平行板上的待检测样品开始转动。

可选地，所述根据所述第一谐振频率和所述第二谐振频率获得所述待检测材料的温度系数，包括：

根据所述第一谐振频率和所述第二谐振频率，获得频率差值；

根据所述第一检测温度和所述第二检测温度，获得温度差值；

获取所述待检测材料的温度系数与所述频率差值和温度差值的对应关系；

根据所述待检测材料的温度系数与所述频率差值和温度差值的对应关系，确定所述待检测材料的温度系数。

此外，为实现上述目的，本发明还提出一种谐振腔检测装置，所述谐振腔检测装置包括：

谐振腔放置模块，用于获取放置预设数量待检测样品的平行板，并使所述平行板的谐振腔处于恒温箱，所述预设数量待检测样品均为待检测材料制成；

第一谐振频率检测模块，用于向所述恒温箱输入第一测试温度，当所述恒温箱的温度达到第一测试温度时，逐一检测所述第一测试温度下的所述预设数量待检测样品，获得第一谐振频率；

第二谐振频率检测模块，用于待所述第一测试温度下的所述预设数量待检测样品均检测完成后，向所述恒温箱输入第二测试温度，当所述恒温箱的温度达到第二测试温度预设时长后，逐一检测所述第二测试温度下的所述预设数量待检测样品，获得第二谐振频率；

温度系数计算模块，用于根据所述第一谐振频率和所述第二谐振频率获得所述待检测材料的温度系数。

此外，为实现上述目的，本发明还提出一种谐振腔检测设备，所述谐振腔检测设备包括：存储器、处理器及存储在所述存储器上并可在所述处理器上运行的谐振腔检测程序，所述谐振腔检测程序配置为实现如上文所述的谐振腔检测方法的步骤。

此外，为实现上述目的，本发明还提出一种存储介质，所述存储介质上存储有谐振腔检测程序，所述谐振腔检测程序被处理器执行时实现如上文所述的谐振腔检测方法的步骤。

本发明通过检测不同温度下待检测样品的谐振频率，确定待检测材料的温度系数，解决已有的传输法不能实现对样品较高精度的测量的问题，使用过程不必校准，携带方便，测试精确。

附图说明

图1是本发明实施例方案涉及的硬件运行环境的谐振腔检测设备的结构示意图；

图2为本发明谐振腔检测方法第一实施例的流程示意图；

图3为本发明谐振腔检测方法第二实施例的流程示意图；

图4为本发明谐振腔检测方法第三实施例的流程示意图；

图5为本发明谐振腔检测装置第一实施例的结构框图。

本发明目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。

具体实施方式

应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。

参照图1，图1为本发明实施例方案涉及的硬件运行环境的谐振腔检测设备结构示意图。

如图1所示，该谐振腔检测设备可以包括：处理器1001，例如中央处理器(CentralProcessing Unit，CPU)，通信总线1002、用户接口1003，网络接口1004，存储器1005。其中，通信总线1002用于实现这些组件之间的连接通信。用户接口1003可以包括显示屏(Display)、输入单元比如键盘(Keyboard)，可选用户接口1003还可以包括标准的有线接口、无线接口。网络接口1004可选的可以包括标准的有线接口、无线接口(如无线保真(Wireless-Fidelity，Wi-Fi)接口)。存储器1005可以是高速的随机存取存储器(RandomAccess Memory，RAM)，也可以是稳定的非易失性存储器(Non-Volatile Memory，NVM)，例如磁盘存储器。存储器1005可选的还可以是独立于前述处理器1001的存储装置。

本领域技术人员可以理解，图1中示出的结构并不构成对谐振腔检测设备的限定，可以包括比图示更多或更少的部件，或者组合某些部件，或者不同的部件布置。

如图1所示，作为一种存储介质的存储器1005中可以包括操作系统、网络通信模块、用户接口模块以及谐振腔检测程序。

在图1所示的谐振腔检测设备中，网络接口1004主要用于与网络服务器进行数据通信；用户接口1003主要用于与用户进行数据交互；本发明谐振腔检测设备中的处理器1001、存储器1005可以设置在谐振腔检测设备中，所述谐振腔检测设备通过处理器1001调用存储器1005中存储的谐振腔检测程序，并执行本发明实施例提供的谐振腔检测方法。

本发明实施例提供了一种谐振腔检测方法，参照图2，图2为本发明谐振腔检测方法第一实施例的流程示意图。

本实施例中，所述谐振腔检测方法包括以下步骤：

步骤S10：获取放置预设数量待检测样品的平行板，并使所述平行板的谐振腔处于恒温箱，所述预设数量待检测样品均为待检测材料制成。

需要说明的是，所述平行板由上下平行的两个金属板构成，所述谐振腔是指用以使高频电磁场在其内持续振荡的金属空腔，由于电磁场完全集中于腔内，没有辐射损耗，故具有较高的品质因数，振腔的形式很多，最常见的是矩形谐振腔和圆柱形谐振腔，在谐振腔内，电磁场可以在一系列频率下进行振荡，其频率大小与谐振腔的形状、几何尺寸及谐振的波型有关。

值得说明的是，所述恒温箱是航空、汽车、家电、科研等领域必备的测试设备，用于测试和确定电工、电子及其他产品及材料进行高温试验的温度环境变化后的参数及性能，主要控制部分包括温度探头、制冷压缩机以及热风机，温度探头可以实时监测箱内的温度，在控制面板上，可以设置恒温箱的恒温范围，即设置允许的温度上限和下限，当探头检测到温度低于下限时，开启热风机加热，温度开始回升，当探头检测到温度高于上限时，开启制冷压缩机制冷，温度下降，以此控制温度，此外，所述恒温箱还包括蜂鸣器，用于显示实时温度是否处于设定温度。

可以理解的是，所述待检测样品均为待检测材料制成，所述预测数量的待检测样品的直径、高度以及谐振频率基本相同，所述检测待检测样品的温度系数即检测待检测材料的温度系数，所述待检测材料可以为陶瓷材料，所述预设数量可以为8个、10个等，本实施例对此不做具体限制。

步骤S20：向所述恒温箱输入第一测试温度，当所述恒温箱的温度达到第一测试温度时，逐一检测所述第一测试温度下的所述预设数量待检测样品，获得第一谐振频率。

需要说明的是，在恒温箱的控制面板设置恒温箱的温度即第一测试温度，设置完成后，所述恒温箱开始工作调节恒温箱内温度直至到达第一测试温度。

可以理解的是，当恒温箱当前温度达到第一测试温度时，逐一检测所述预设数量待检测样品，获得预设数量的谐振频率，对所述预设数量的谐振频率进行计算，获得第一谐振频率。

步骤S30：待所述第一测试温度下的所述预设数量待检测样品均检测完成后，向所述恒温箱输入第二测试温度，当所述恒温箱的温度达到第二测试温度预设时长后，逐一检测所述第二测试温度下的所述预设数量待检测样品，获得第二谐振频率。

可以理解的是，当所述恒温箱的温度达到第二测试温度预设时长后在进行检测，温度达到稳定状态，可以提高检测的准确性，所述预设时长可以为60s、90s、120s等，本实施例对此不做具体限制。

在具体实现中，当恒温箱当前温度达到第二测试温度60s后，逐一检测所述预设数量待检测样品，获得预设数量的谐振频率，对所述预设数量的谐振频率进行计算，获得第二谐振频率。

步骤S40：根据所述第一谐振频率和所述第二谐振频率获得所述待检测材料的温度系数。

需要说明的是，所述待检测样品均为待检测材料制成，根据所述第一谐振频率和所述第二谐振频率进行计算，获得所述检测待检测样品的温度系数即获得检测待检测材料的温度系数。

可以理解的是，获取所述第一谐振频率、所述第二谐振频率与所述待检测材料的温度系数之间的对应关系，根据所述第一谐振频率、所述第二谐振频率与所述待检测材料的温度系数之间的对应关系进行计算，获得所述待检测材料的温度系数。

进一步地，为了计算温度系数，所述步骤S40，包括：根据所述第一谐振频率和所述第二谐振频率，获得频率差值；根据所述第一检测温度和所述第二检测温度，获得温度差值；获取所述待检测材料的温度系数与所述频率差值和温度差值的对应关系；根据所述待检测材料的温度系数与所述频率差值和温度差值的对应关系，确定所述待检测材料的温度系数。

需要说明的是，所述待检测材料的温度系数与所述频率差值和温度差值的对应关系为：

其中，τ为待检测材料的温度系数，f

本实施例通过检测不同温度下待检测样品的谐振频率，确定待检测材料的温度系数，解决已有的传输法不能实现对样品较高精度的测量的问题，使用过程不必校准，携带方便，测试精确。

参考图3，图3为本发明谐振腔检测方法第二实施例的流程示意图。

基于上述第一实施例，本实施例谐振腔检测方法在所述步骤S10之前，还包括：

步骤S01：获取所述预设数量待检测样品的直径，所述预设数量待检测样品的直径均一致。

需要说明的是，所述预设数量待检测样品的直径均一致，根据待检测样品的直径确定样品的放置间距，待检测样品的直径均一致时，样品的放置间距也一致，操作更加简便。

可以理解的是，所述待检测样品的直径可以为2cm、4cm等，本实施例对此不做具体限制。

步骤S02：根据所述预设数量待检测样品的直径与相邻待检测样品间最小间距之间的对应关系，确定所述预设数量待检测样品之间的目标放置间距。

需要说明的是，当相邻样品间的间隔大于或等于待检测样品直径的两倍时，相邻待检测样品对电磁场的干扰可以影响可忽略不计，因此设置相邻待检测样品间隔应不小于两倍的样品直径。

可以理解的是，预设数量待检测样品之间的目标放置间距大于或等于待检测样品直径的两倍，例如，当所述检测样品的直径为2cm时，所述目标放置间距可以为4cm、5cm等，本实施例对此不做具体限制。

步骤S03：根据所述预设数量待检测样品之间的目标放置间距调整所述平行板上相邻待检测样品之间的间距。

可以理解的是，调整所述平行板上相邻待检测样品的位置，以使相邻待检测样品间的间隔均为目标放置间距。

进一步地，为了控制检测过程，所述向所述恒温箱输入第一测试温度，当所述恒温箱的温度达到第一测试温度时，逐一检测所述第一测试温度下的所述预设数量待检测样品，获得第一谐振频率之前，还包括：获取脉冲信号，将所述脉冲信号输入至所述平行板的步进电机，以使所述平行板上的待检测样品开始转动。

需要说明的是，脉冲信号是一种离散信号，形状多种多样，与普通模拟信号(如正弦波)相比，波形之间在Y轴不连续(波形与波形之间有明显的间隔)但具有一定的周期性是它的特点，常见的脉冲波是矩形波(也就是方波)，脉冲信号可以用来表示信息，也可以用来作为载波。

可以理解的是，步进电机是一种将电脉冲信号转换成相应角位移或线位移的电动机，每输入一个脉冲信号，转子就转动一个角度或前进一步，其输出的角位移或线位移与输入的脉冲数成正比，转速与脉冲频率成正比。

值得理解的是，给步进电机加一个脉冲信号，电机则转过一个步距角，这一线性关系的存在，加上步进电机每转一圈步距累计误差为零等特点，因此，用步进电机来控制位置，在测量中采用步距角较小的四相八拍电机，进一步提高定位精度，使得步进电机能够准确平稳地带动转盘，检测控制过程更加方便。

本实施例通过待检测样品的直径，调整相邻待检测样品之间的间距，从而避免相邻待检测样品之间电磁场的干扰，提高温度系数检测的准确性。

参考图4，图4为本发明谐振腔检测方法第三实施例的流程示意图。

基于上述第一实施例，本实施例谐振腔检测方法中所述步骤S20，包括：

步骤S201：向所述恒温箱输入第一测试温度，并实时监测所述恒温箱的温度。

需要说明的是，在恒温箱的控制面板上，可以设置恒温箱的温度，即第一测试温度。

可以理解的是，当温度设置完成后，检测恒温箱当前温度，当恒温箱当前温度小于第一测试温度时，所述恒温箱的热风机开始加热，温度上升，直到升至第一测试温度，当恒温箱当前温度大于第一测试温度时，所述恒温箱的制冷压缩机开始制冷，温度下降，直到降至第一测试温度。

步骤S202：当所述恒温箱的温度达到第一测试温度时，逐一检测所述第一测试温度下的所述预设数量待检测样品，得到所述预设数量待检测样品的谐振频率。

需要说明的是，谐振频率指的是在含有电容和电感的电路中，如果电容和电感并联，可能出现于某个很小的时间段内：电容的电压逐渐升高，而电流却逐渐减少；电感的电流却逐渐增加，电感的电压却逐渐降低，而在另一个很小的时间段内：电容的电压逐渐降低，而电流却逐渐增加；电感的电流却逐渐减少，电感的电压却逐渐升高，电压的增加可以达到一个正的最大值，电压的降低也可达到一个负的最大值，同样电流的方向在这个过程中也会发生正负方向的变化，称为电路发生电的振荡,当谐振电路外部输入电压的正弦频率达到某一特定频率(即该电路的谐振频率)时，谐振电路的感抗与容抗相等，谐振电路对外呈纯电阻性质，即为谐振。

可以理解的是，当所述恒温箱的温度达到第一测试温度时，逐一检测所述预设数量待检测样品谐振峰的谐振频率，将待检测样品谐振峰的谐振频率作为所述待检测样品谐振的频率。

步骤S203：计算所述预设数量待检测样品的谐振频率的平均值。

步骤S204：重复进行预设次数的检测并计算所述预设数量待检测样品的谐振频率的平均值，获得所述预设次数对应的所述预设数量待检测样品的谐振频率的平均值。

可以理解的是，重复进行预设次数的检测并再次计算平均值是为了减小测量误差，所述预设次数可以为3次、4次以及5次等，本实施例对此不做具体限制。

在具体实现中，例如，逐一检测所述第一测试温度下的所述预设数量待检测样品的谐振频率并计算所述预设数量待检测样品的谐振频率的平均值后，再次重复3次检测并计算平均值。

步骤S205：根据所述预设数量待检测样品的谐振频率的平均值和所述预设次数对应的所述预设数量待检测样品的谐振频率的平均值再次进行平均值计算，获得第一谐振频率。

需要说明的是，重复进行平均值计算可以降低环境及测试过程中的偶然性误差，提高温度系数检测的准确性。

可以理解的是，将首次检测并计算的第一检测温度下的谐振频率平均值与重复预设次数后获得的谐振频率平均值再次进行平均值计算，并将计算结果作为第一谐振频率。

进一步地，为了准确检测谐振频率，所述步骤S202，包括：通过调节所述平行板间的高度，确定所述预设数量待检测样品对应的谐振峰；检测所述预设数量待检测样品对应的谐振峰的谐振频率，将所述预设数量待检测样品对应的谐振峰的谐振频率作为所述预设数量待检测样品的谐振频率。

需要说明的是，谐振峰值是幅值特性的最大值，表明系统在频率为wr的正弦输入信号的输入作用下有共振的倾向。

可以理解的是，通过调节所述平行板间的高度可以找到所述待检测样品的谐振峰，将所述谐振峰处的谐振频率作为需要检测的谐振频率。

进一步地，为了获得第二谐振频率，所述当所述恒温箱的温度达到第二测试温度预设时长后，逐一检测所述第二测试温度下的所述预设数量待检测样品，获得第二谐振频率，包括：当所述恒温箱的温度达到第二测试温度预设时长后，通过调节所述平行板间的高度确定所述预设数量待检测样品对应的谐振峰；检测所述预设数量待检测样品对应的谐振峰的谐振频率，将所述预设数量待检测样品对应的谐振峰的谐振频率作为所述预设数量待检测样品的谐振频率；计算所述预设数量待检测样品的谐振频率的平均值；重复进行预设次数的检测并计算所述预设数量待检测样品的谐振频率的平均值，获得所述预设次数对应的所述预设数量待检测样品的谐振频率的平均值；根据所述预设数量待检测样品的谐振频率的平均值和所述预设次数对应的所述预设数量待检测样品的谐振频率的平均值再次进行平均值计算，获得第二谐振频率。

需要说明的是，当所述恒温箱的温度达到第二测试温度预设时长后，温度达到稳定状态，可以提高检测的准确性。

可以理解的是，在第二测试温度下，通过调节所述平行板间的高度找到所述待检测样品的谐振峰，将所述谐振峰处的谐振频率作为第二测试温度下需要检测的谐振频率。

在具体实现中，逐一检测所述第二测试温度下的所述预设数量待检测样品的谐振频率并计算所述预设数量待检测样品的谐振频率的平均值后，再次重复3次检测并计算平均值，将首次检测并计算的第二测试温度下谐振频率平均值与重复3次数后获得的谐振频率平均值再次进行平均值计算，将计算结果作为第二谐振频率。

本实施例通过调节所述平行板间的高度分别检测第一测试温度下和第二测试温度下的待检测样品谐振峰处的谐振频率，重复计算平均值，减小系统误差，使得测得的温度系数更加精确，提高实测数据的可靠度。

参照图5，图5为本发明谐振腔检测装置第一实施例的结构框图。

如图5所示，本发明实施例提出的谐振腔检测装置包括：

谐振腔放置模块10，用于获取放置预设数量待检测样品的平行板，并使所述平行板的谐振腔处于恒温箱，所述预设数量待检测样品均为待检测材料制成；

第一谐振频率检测模块20，用于向所述恒温箱输入第一测试温度，当所述恒温箱的温度达到第一测试温度时，逐一检测所述第一测试温度下的所述预设数量待检测样品，获得第一谐振频率；

第二谐振频率检测模块30，用于待所述第一测试温度下的所述预设数量待检测样品均检测完成后，向所述恒温箱输入第二测试温度，当所述恒温箱的温度达到第二测试温度预设时长后，逐一检测所述第二测试温度下的所述预设数量待检测样品，获得第二谐振频率；

温度系数计算模块40，用于根据所述第一谐振频率和所述第二谐振频率获得所述待检测材料的温度系数。

在一实施例中，所述谐振腔放置模块10，还用于获取所述预设数量待检测样品的直径，所述预设数量待检测样品的直径均一致；根据所述预设数量待检测样品的直径与相邻待检测样品间最小间距之间的对应关系，确定所述预设数量待检测样品之间的目标放置间距；根据所述预设数量待检测样品之间的目标放置间距调整所述平行板上相邻待检测样品之间的间距。

在一实施例中，所述第一谐振频率检测模块20，还用于向所述恒温箱输入第一测试温度，并实时监测所述恒温箱的温度；当所述恒温箱的温度达到第一测试温度时，逐一检测所述第一测试温度下的所述预设数量待检测样品，得到所述预设数量待检测样品的谐振频率；计算所述预设数量待检测样品的谐振频率的平均值；重复进行预设次数的检测并计算所述预设数量待检测样品的谐振频率的平均值，获得所述预设次数对应的所述预设数量待检测样品的谐振频率的平均值；根据所述预设数量待检测样品的谐振频率的平均值和所述预设次数对应的所述预设数量待检测样品的谐振频率的平均值再次进行平均值计算，获得第一谐振频率。

在一实施例中，所述第二谐振频率检测模块30，还用于当所述恒温箱的温度达到第二测试温度预设时长后，通过调节所述平行板间的高度确定所述预设数量待检测样品对应的谐振峰；检测所述预设数量待检测样品对应的谐振峰的谐振频率，将所述预设数量待检测样品对应的谐振峰的谐振频率作为所述预设数量待检测样品的谐振频率；计算所述预设数量待检测样品的谐振频率的平均值；重复进行预设次数的检测并计算所述预设数量待检测样品的谐振频率的平均值，获得所述预设次数对应的所述预设数量待检测样品的谐振频率的平均值；根据所述预设数量待检测样品的谐振频率的平均值和所述预设次数对应的所述预设数量待检测样品的谐振频率的平均值再次进行平均值计算，获得第二谐振频率。

在一实施例中，所述温度系数计算模块40，还用于根据所述第一谐振频率和所述第二谐振频率，获得频率差值；根据所述第一检测温度和所述第二检测温度，获得温度差值；获取所述待检测材料的温度系数与所述频率差值和温度差值的对应关系；根据所述待检测材料的温度系数与所述频率差值和温度差值的对应关系，确定所述待检测材料的温度系数。

此外，为实现上述目的，本发明还提出一种谐振腔检测设备，所述谐振腔检测设备包括：存储器、处理器及存储在所述存储器上并可在所述处理器上运行的谐振腔检测程序，所述谐振腔检测程序配置为实现如上文所述的谐振腔检测方法的步骤。

由于本谐振腔检测设备采用了上述所有实施例的全部技术方案，因此至少具有上述实施例的技术方案所带来的所有有益效果，在此不再一一赘述。

此外，本发明实施例还提出一种存储介质，所述存储介质上存储有谐振腔检测程序，所述谐振腔检测程序被处理器执行时实现如上文所述的谐振腔检测方法的步骤。

由于本存储介质采用了上述所有实施例的全部技术方案，因此至少具有上述实施例的技术方案所带来的所有有益效果，在此不再一一赘述。

应当理解的是，以上仅为举例说明，对本发明的技术方案并不构成任何限定，在具体应用中，本领域的技术人员可以根据需要进行设置，本发明对此不做限制。

需要说明的是，以上所描述的工作流程仅仅是示意性的，并不对本发明的保护范围构成限定，在实际应用中，本领域的技术人员可以根据实际的需要选择其中的部分或者全部来实现本实施例方案的目的，此处不做限制。

另外，未在本实施例中详尽描述的技术细节，可参见本发明任意实施例所提供的谐振腔检测方法，此处不再赘述。

此外，需要说明的是，在本文中，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者系统不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者系统所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括该要素的过程、方法、物品或者系统中还存在另外的相同要素。

上述本发明实施例序号仅仅为了描述，不代表实施例的优劣。

通过以上的实施方式的描述，本领域的技术人员可以清楚地了解到上述实施例方法可借助软件加必需的通用硬件平台的方式来实现，当然也可以通过硬件，但很多情况下前者是更佳的实施方式。基于这样的理解，本发明的技术方案本质上或者说对现有技术做出贡献的部分可以以软件产品的形式体现出来，该计算机软件产品存储在一个存储介质(如只读存储器(Read Only Memory，ROM)/RAM、磁碟、光盘)中，包括若干指令用以使得一台终端设备(可以是手机，计算机，服务器，或者网络设备等)执行本发明各个实施例所述的方法。

以上仅为本发明的优选实施例，并非因此限制本发明的专利范围，凡是利用本发明说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本发明的专利保护范围内。