一种具有潮湿提醒功能的单晶硅存储装置
文献发布时间:2024-04-18 19:54:28
技术领域
本发明涉及单晶硅生产加工领域,更具体地说,涉及一种具有潮湿提醒功能的单晶硅存储装置。
背景技术
单晶硅是单质硅的一种形态,熔融的单质硅在凝固时硅原子以金刚石晶格排列成许多晶核,如果这些晶核长成晶面取向相同的晶粒,则这些晶粒平行结合起来便结晶成单晶硅。单晶硅切片是硅的单晶体,是一种具有基本完整的点阵结构的晶体,不同的方向具有不同的性质,是一种良好的半导材料。纯度要求达到99.9999%,甚至达到99.9999999%以上,用于制造半导体器件、太阳能电池等,用高纯度的多晶硅在单晶炉内拉制而成。
当前用于存储单晶硅切片的装置虽然都具备一定的密封性能,然而还无法将环境中的湿气完全隔离在存储装置的外部,导致存储装置内部的潮湿湿气容易沾附于单晶硅切片的表面,造成单晶硅切片表面被污染,使得由该单晶硅切片制成产品的合格率下降,并且,被潮湿的湿气污染其表面的单晶硅切片再次清洗烘干处理后,还会再次受到来自潮气的危害,不仅造成生产效率的下降,而且也会造成单晶硅切片会受到来自潮气的再次危害,造成由单晶硅所制成产品的合格率进一步下降,增加企业成本的同时,也势必会造成资源的浪费。
发明内容
1.要解决的技术问题
针对现有技术中存在的问题,本发明的目的在于提供一种具有潮湿提醒功能的单晶硅存储装置,本发明提供了一种可用于单晶硅切片存储的装置,该装置在存储单晶硅切片时,能够对装置内部的湿气进行除湿以及监测处理,当装置内部湿气超过设定值时,还能够通过潮湿提醒模块及时向工作人员发出报警信号以起到提醒工作人员装置内部湿度已超标的作用,使得工作人员能够及时发现存储装置内部湿度较高的问题,并能够及时将装置内部所存储的单晶硅切片转移至湿度合格处存储,从而能够将单晶硅切片在存储的过程中受潮气危害的程度降到最低,有助于提高工作人员对所存储的单晶硅切片的维护效率。
2.技术方案
为解决上述问题,本发明采用如下的技术方案。
一种具有潮湿提醒功能的单晶硅存储装置,包括存储箱体和箱盖,所述箱盖盖合于存储箱体的顶部开口处,且所述箱盖与存储箱体铰接,所述箱盖底端的外周套接固定有上环形凸起部,所述存储箱体顶端的外周套接固定有与上环形凸起部相适配的下环形凸起部,所述存储箱体的底部固定有支架,所述存储箱体上设有潮湿提醒模块,所述下环形凸起部的顶面上连接有密封垫圈,所述下环形凸起部的顶部还开设有下U型开槽,所述下U型开槽内固定连接有与其相适配的U型磁块,所述上环形凸起部的底面上开设有上U型开槽,所述上U型开槽内连接有与U型磁块相配合作业的U型金属块,所述存储箱体内腔的底壁上均匀连接有多个呈竖直布置的竖板,每个所述竖板上都竖向开设有供单晶硅切片插入的切片插槽;
所述潮湿提醒模块包括小型抽气泵、声光报警器、屏障部件、潮湿感应机构、外监察部,所述外监察部设置于声光报警器的顶部,所述潮湿感应机构设置于存储箱体内腔的侧壁上;
所述小型抽气泵的输入端连通有泵输入管,所述小型抽气泵的输出端连通有泵输出管,所述屏障部件设置于所述泵输出管远离小型抽气泵的一端上,所述声光报警器的后端面上连接有连接座,且所述连接座与存储箱体的侧壁相连接,所述声光报警器的外壳体内部设有电池盒,所述电池盒内腔的左侧固定连接有导电金属片A,所述电池盒内腔的右侧连接有导电金属片B,所述电池盒的内部还设有供电电池。
进一步的,所述小型抽气泵与存储箱体的侧壁相连接,所述泵输入端远离小型抽气泵的一端与存储箱体的侧壁相连通;
所述U型磁块的顶面与下环形凸起部的顶面相齐平,所述U型金属块的底面与上环形凸起部的底面相齐平。
进一步的,所述供电电池处于导电金属片A和导电金属片B之间,且所述供电电池的正极端与导电金属片B表面抵紧,供电电池的负极端与导电金属片A的表面抵紧。
进一步的,所述屏障部件包括左部筒体和右部筒体,所述左部筒体的开口和右部筒体的开口相对,所述左部筒体远离右部筒体的一端上连通有送气管,所述右部筒体靠近左部筒体一端的内腔固定连接有与左部筒体内径尺寸相一致的内接环,且所述内接环与左部筒体的内壁之间通过螺纹连接,所述右部筒体的内部填充有活性炭吸附层,所述左部筒体的内部均匀连接有多根水平杆,多根所述水平杆上共同连接有过滤网;
所述过滤网延伸至右部筒体的内部,且所述过滤网的外径尺寸与内接环的内径尺寸相一致,所述过滤网远离水平杆的一侧与活性炭吸附层相贴合;
所述泵输出管远离小型抽气泵的一端与右部筒体远离左部筒体的一端相连通。
进一步的,所述潮湿感应机构包括横置筒体,所述横置筒体固定连接于存储箱体内腔的侧壁上,所述横置筒体的内部活动设置有与其相适配的密封活塞A,所述横置筒体开口的一端盖合有端部罩体,且所述端部罩体通过螺纹旋紧在横置筒体的开口端,所述密封活塞A靠近端部罩体的一侧连接有推板,所述推板远离密封活塞A的一端连接有伸缩杆,且所述伸缩杆远离推板的一端与端部罩体内腔的底壁相连接,所述横置筒体远离端部罩体的一端上连通有气体输送细管,所述横置筒体的内部填充有一定量的吸水树脂层,且所述吸水树脂层处于推板与端部罩体之间,所述密封活塞A与横置筒体内腔的底壁之间还填充有气体部,所述横置筒体的侧壁与吸水树脂层位置对应处连通有竖直布置的引出管;
所述横置筒体开口端上连接有密封环,且所述密封环抵紧于所述端部罩体内腔底壁上;
所述送气管远离左部筒体的一端与存储箱体的侧壁相连通并延伸至存储箱体的内腔之中,且所述送气管远离左部筒体的一端与端部罩体侧壁的下方相连通。
进一步的,所述引出管远离横置筒体的一端还连通有空心盒体,所述空心盒体的顶部开口处密封盖合有封板,所述封板上连通有出气管,所述空心盒体的内部由下到上分别连接有活性炭过滤网和PM.颗粒过滤网。
进一步的,所述外监察部包括透明的外空心玻璃棒和透明的内空心玻璃棒,所述外空心玻璃棒固定连接于声光报警器的顶部,所述内空心玻璃棒的外壁在纵向上设有刻度线,所述内空心玻璃棒固定连接于所述外空心玻璃棒内腔的底壁上,所述气体输送细管远离横置筒体的一端与外空心玻璃棒侧壁的下部相连通并延伸至外空心玻璃棒的内部,且所述气体输送细管延伸至外空心玻璃棒内部的一端再与内空心玻璃棒侧壁的下部相连通,所述外空心玻璃棒和内空心玻璃棒上部的左右侧均共同水平开设有横孔,且处于左侧的所述横孔内固定连接有左导电金属块,处于右侧的所述横孔内固定连接有右导电金属块,所述右导电金属块的顶面与左导电金属块的顶面相齐平,所述左导电金属块远离右导电金属块的一侧上连接有第一导线,所述右导电金属块远离左导电金属块的一侧上连接有第二导线;
所述内空心玻璃棒的内部活动设置有与内空心玻璃棒内径尺寸相适配的密封活塞B,所述内空心玻璃棒的内部填充有气体部B,且所述气体部B处于密封活塞B与内空心玻璃棒内腔的底壁之间,所述密封活塞B远离竖直导杆的一侧上设有通电组件。
进一步的,所述通电组件包括水平绝缘管体,所述水平绝缘管体固定连接于密封活塞B的顶面上,所述水平绝缘管体内腔的中部水平设置有伸缩弹簧,所述伸缩弹簧的两端均连接有金属圆弧顶头,且所述金属圆弧顶头的相对端均插设于水平绝缘管体的内部;
两个所述金属圆弧顶头在侧壁的相同位置处都连接有限位滑块,所述水平绝缘管体内腔的侧壁与所述限位滑块位置对应处都水平开设有用于限制限位滑块活动范围的水平限位滑槽,且每个所述限位滑块分别活动设置于各自所对应的水平限位滑槽内;
所述伸缩弹簧与金属圆弧顶头都采用导电金属材质制成;
所述左导电金属块与右导电金属块之间的间距与所述水平绝缘管体左右端面间的间距相一致,且所述水平绝缘管体活动插设于所述左导电金属块与右导电金属块之间。
进一步的,所述内空心玻璃棒内腔的底壁上还连接有竖直中空导筒,所述竖直中空导筒内活动插设有竖直导杆,所述竖直中空导筒内部活动设置有定位底座,所述竖直导杆的底端延伸至竖直中空导筒内且与定位底座相连接,所述竖直导杆的顶端延伸出所述竖直中空导筒的内部并固定连接于所述密封活塞B的底面上,所述定位底座用于限制竖直导杆在竖直方向上运动的范围,当定位底座的顶面与竖直中空导筒内腔的顶壁相接触时,竖直导杆不再向上运动,当定位底座的顶面与竖直中空导筒内腔的顶壁相接触时,金属圆弧顶头顶部所处的水平平面不凸出于左导电金属块的顶面。
进一步的,所述第一导线远离左导电金属块的一端与声光报警器的负极相连,所述声光报警器的正极与导电金属片A之间通过导线相连,所述第二导线远离右导电金属块的一端分别穿过声光报警器的外壳体以及电池盒并与导电金属片B相连接。
3.有益效果
相比于现有技术,本发明的优点在于:
(1)本发明提供了一种可用于单晶硅切片存储的装置,该装置在存储单晶硅切片时,能够对装置内部的湿气进行除湿以及监测处理,当装置内部湿气超过设定值时,还能够通过潮湿提醒模块及时向工作人员发出报警信号以起到提醒工作人员装置内部湿度已超标的作用,使得工作人员能够及时发现存储装置内部湿度较高的问题,并能够及时将装置内部所存储的单晶硅切片转移至湿度合格处存储,从而能够将单晶硅切片在存储的过程中受潮气危害的程度降到最低,有助于提高工作人员对所存储的单晶硅切片的维护效率。
(2)将用于存储的单晶硅切片插入至竖板上的切片插槽内,再将箱盖盖合在存储箱体顶端开口处,通过下环形凸起部上的U型磁块对上环形凸起部上的U型金属块的吸附作用,使得箱盖能够固定于存储箱体的顶部开口处,再通过下环形凸起部上的密封垫圈对下环形凸起部与上环形凸起部之间的缝隙处进行密封处理,使得在箱盖闭合后,外部环境中的湿气难以透过下环形凸起部与上环形凸起部之间的缝隙进入至存储箱体和箱盖的内部并对单晶硅切片造成危害。
(3)小型抽气泵通过泵输入管将用于存储单晶硅切片的存储箱体内的空气抽出,再由泵输出管导入至右部筒体内部,当存储箱体内部的空气含有湿气时,通过活性炭吸附层将湿气水滴中夹杂的微小颗粒杂质例如灰尘等进行吸附除杂,起到屏障的作用,由于吸水树脂层对于水的吸附能力低,经过吸附除杂的湿气再由左部筒体上的送气管导入至横置筒体内部,再通过横置筒体内装载的一定量的吸水树脂层对湿气水滴进行吸附,使得本装置不仅能够实现对存储箱体和箱盖内部所含湿气进行干燥除湿处理,而且还能够实现对湿气水滴中夹杂的固体杂质进行吸附除杂,大大降低了湿气对本装置内所存储的单晶硅切片的危害程度。
(4)横置筒体内部填充的一定量吸水树脂层在吸收导入至横置筒体内部空气中的湿气时体积膨胀变大,带动密封活塞A水平运动并对气体部进行挤压压缩,使得气体部通过气体输送细管被挤压至内空心玻璃棒内部,使得密封活塞B与内空心玻璃棒内腔底壁之间的气压增大并推动密封活塞B向上运动,方便工作人员通过密封活塞B底面与内空心玻璃棒上所对应的相应刻度判断出存储箱体和箱盖内部湿度的相对大小。
(5)当横置筒体内部所填充的一定量的吸水树脂层吸收湿气的量达到其自身所能吸收的极限时,吸水树脂层体积不在膨胀,并推动密封活塞A将横置筒体内的气体部最大限度的压缩至内空心玻璃棒内部并使得密封活塞B带动水平绝缘管体运动至右导电金属块与左导电金属块之间,随后,在水平绝缘管体的作用下,其中一个金属圆弧顶头与左导电金属块外壁相接触,另一个金属圆弧顶头则与右导电金属块外壁相接触,从而使得由供电电池、导电金属片B、第二导线、右导电金属块、伸缩弹簧、金属圆弧顶头、左导电金属块、第一导线、导电金属片A之间串联形成一个闭合的回路,再由声光报警器向工作人员发出声、光两种报警信号,以起到提醒工作人员装置内部湿度超标的作用,使得工作人员能够及时发现存储装置内部湿度较高的问题。
(6)本发明中的通电组件相当于开关作用,本发明中以横置筒体内填充的一定量吸水树脂层所能吸收的水量的极限值作为本装置能够吸收存储箱体和箱盖内部湿气的设定值,在湿气经过吸水树脂层并且湿气中所含水分低于吸水树脂层的所能吸收水量的极限值时,说明存储箱体和箱盖内部的湿度还处在单晶硅切片能够存储的湿度标准范围内,吸水树脂层体积膨胀后,密封活塞A将气体部挤压至内空心玻璃棒内部,内空心玻璃棒内部的气压还不足以将通电组件带动至右导电金属块与左导电金属块之间,当经过吸水树脂层的湿气中所含水分不小于吸水树脂层的所能吸收水量的极限值时,说明此时存储箱体和箱盖内部的湿度已达到或者超过本装置的设定值时,吸水树脂层体积膨胀后,密封活塞A将气体部挤压至内空心玻璃棒内部,随后内空心玻璃棒内部的气压增大并将通电组件带动至右导电金属块与左导电金属块之间,再通过声光报警器向工作人员发出声、光两种报警信号,从而能够起到提醒工作人员装置内部的湿度已超标的作用。
(7)经过吸水树脂层干燥后的气体再经由活性炭过滤网和PM.颗粒过滤网的双重过滤,能够实现将气体的杂质以及细小颗粒过滤出,从而实现对回流至存储箱体内部的气体进行二次净化处理,有利于再次提升回流至存储箱体和箱盖内部的气体的洁净度;
(8)当需要对横置筒体中的吸水树脂层进行更换处理时,通过旋动端部罩体,端部罩体通过伸缩杆拉动推板水平运动,再由推板将横置筒体中的吸水树脂层推出,随后再将新的吸水树脂放入横置筒体内即可,从而方便人们对已使用的吸水树脂层进行更换处理。
附图说明
图1为本发明的结构示意图;
图2为本发明中存储箱体的立体示意图;
图3为本发明中屏障部件的剖面放大示意图;
图4为本发明中潮湿感应机构的剖面放大示意图;
图5为本发明中空心盒体的剖面放大示意图;
图6为本发明中外监察部的剖面放大示意图;
图7为本发明中内空心玻璃棒的局部立体放大图;
图8为本发明中通电组件的剖面放大示意图;
图9为本发明中声光报警器的局部剖视图;
图10为本发明中当内空心玻璃棒内部有气体注入时,水平绝缘管体的运动状态示意图;
图11为本发明中当吸水树脂层吸水膨胀时,密封活塞A的运动状态示意图。
图中标号说明:
1、存储箱体;2、箱盖;3、下环形凸起部;4、上环形凸起部;5、连接座;6、声光报警器;700、外空心玻璃棒;701、内空心玻璃棒;702、竖直导杆;703、密封活塞B;7040、水平绝缘管体;7041、伸缩弹簧;7042、金属圆弧顶头;705、右导电金属块;706、左导电金属块;707、第一导线;708、第二导线;8、小型抽气泵;900、左部筒体;901、右部筒体;902、活性炭吸附层;903、过滤网;904、内接环;10、竖板;1100、横置筒体;1101、端部罩体;1102、吸水树脂层;1103、伸缩杆;1104、推板;1105、密封活塞A;1106、气体部;1107、空心盒体;1108、活性炭过滤网;1109、PM2.5颗粒过滤网;12、电池盒;13、供电电池;14、导电金属片A;15、导电金属片B。
实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述;显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例,基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
在本发明的描述中,需要说明的是,术语“上”、“下”、“内”、“外”、“顶/底端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本发明和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本发明的限制。此外,术语“第一”、“第二”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性。
在本发明的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“设置有”、“套设/接”、“连接”等,应做广义理解,例如“连接”,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
请参阅图1,图2,图9所示,一种具有潮湿提醒功能的单晶硅存储装置,包括存储箱体1和箱盖2,箱盖2的顶部还可连接有一个用于抓握的把手,用于提拉箱盖2,箱盖2盖合于存储箱体1的顶部开口处,且箱盖2与存储箱体1铰接,箱盖2底端的外周套接固定有上环形凸起部4,存储箱体1顶端的外周套接固定有与上环形凸起部4相适配的下环形凸起部3,存储箱体1的底部固定有支架,存储箱体1上设有潮湿提醒模块,下环形凸起部3的顶面上连接有密封垫圈,下环形凸起部3的顶部还开设有下U型开槽,下U型开槽内固定连接有与其相适配的U型磁块如图2所示,上环形凸起部4的底面上开设有上U型开槽图中未示出,上U型开槽内连接有与U型磁块相配合作业的U型金属块图中未示出,存储箱体1内腔的底壁上均匀连接有多个呈竖直布置的竖板10,每个竖板10上都竖向开设有供单晶硅切片插入的切片插槽如图2所示,潮湿提醒模块包括小型抽气泵8、声光报警器6、屏障部件、潮湿感应机构、外监察部,外监察部设置于声光报警器6的顶部,潮湿感应机构设置于存储箱体1内腔的侧壁上,小型抽气泵8的输入端连通有泵输入管,小型抽气泵8的输出端连通有泵输出管,屏障部件设置于泵输出管远离小型抽气泵8的一端上,声光报警器6的后端面上连接有连接座5,且连接座5与存储箱体1的侧壁相连接,声光报警器6的外壳体内部设有电池盒12,电池盒12内腔的左侧固定连接有导电金属片A14,电池盒12内腔的右侧连接有导电金属片B15,电池盒12的内部还设有供电电池13。小型抽气泵8与存储箱体1的侧壁相连接,泵输入端远离小型抽气泵8的一端与存储箱体1的侧壁相连通,U型磁块的顶面与下环形凸起部3的顶面相齐平,U型金属块的底面与上环形凸起部4的底面相齐平。如图9所示,供电电池13处于导电金属片A14和导电金属片B15之间,且供电电池13的正极端与导电金属片B15表面抵紧,供电电池13的负极端与导电金属片A14的表面抵紧。
如图3所示,屏障部件包括左部筒体900和右部筒体901,左部筒体900的开口和右部筒体901的开口相对,左部筒体900远离右部筒体901的一端上连通有送气管,右部筒体901靠近左部筒体900一端的内腔固定连接有与左部筒体900内径尺寸相一致的内接环904,且内接环904与左部筒体900的内壁之间通过螺纹连接,右部筒体901的内部填充有活性炭吸附层902,左部筒体900的内部均匀连接有多根水平杆,多根水平杆上共同连接有过滤网903,过滤网903延伸至右部筒体901的内部,且过滤网903的外径尺寸与内接环904的内径尺寸相一致,过滤网903远离水平杆的一侧与活性炭吸附层902相贴合。如图1,图3所示,泵输出管远离小型抽气泵8的一端与右部筒体901远离左部筒体900的一端相连通。
如图4所示,潮湿感应机构包括横置筒体1100,横置筒体1100固定连接于存储箱体1内腔的侧壁上,横置筒体1100的内部活动设置有与其相适配的密封活塞A1105,横置筒体1100开口的一端盖合有端部罩体1101,且端部罩体1101通过螺纹旋紧在横置筒体1100的开口端,密封活塞A1105靠近端部罩体1101的一侧连接有推板1104,推板1104远离密封活塞A1105的一端连接有伸缩杆1103,且伸缩杆1103远离推板1104的一端与端部罩体1101内腔的底壁相连接,横置筒体1100远离端部罩体1101的一端上连通有气体输送细管,横置筒体1100的内部填充有一定量的吸水树脂层1102,且吸水树脂层1102处于推板1104与端部罩体1101之间,密封活塞A1105与横置筒体1100内腔的底壁之间还填充有气体部1106,横置筒体1100的侧壁与吸水树脂层1102位置对应处连通有竖直布置的引出管,横置筒体1100开口端上连接有密封环,且密封环抵紧于端部罩体1101内腔底壁上,送气管远离左部筒体900的一端与存储箱体1的侧壁相连通并延伸至存储箱体1的内腔之中,且送气管远离左部筒体900的一端与端部罩体1101侧壁的下方相连通。小型抽气泵8通过泵输入管将用于存储单晶硅切片的存储箱体1内的空气抽出,再由泵输出管导入至右部筒体901内部,当存储箱体1内部的空气含有湿气时,通过活性炭吸附层902将湿气水滴中夹杂的微小颗粒杂质例如灰尘等进行吸附除杂,起到屏障的作用,由于吸水树脂层1102对于水的吸附能力低,经过吸附除杂的湿气再由左部筒体900上的送气管导入至横置筒体1100内部,再通过横置筒体1100内装载的一定量的吸水树脂层1102对湿气水滴进行吸附,使得本装置不仅能够实现对存储箱体1和箱盖2内部所含湿气进行干燥除湿处理,而且还能够实现对湿气水滴中夹杂的固体杂质进行吸附除杂,大大降低了湿气对本装置内所存储的单晶硅切片的危害程度。当需要对横置筒体1100中的吸水树脂层1102进行更换处理时,通过旋动端部罩体1101,端部罩体1101通过伸缩杆1103拉动推板1104水平运动,再由推板1104将横置筒体1100中的吸水树脂层1102推出,随后再将新的吸水树脂放入横置筒体1100内即可,其中伸缩杆1103为现有技术,由多个套设在一起的空心管组成,其结构与伸缩式的鱼竿类似。
如图6所示,外监察部包括透明的外空心玻璃棒700和透明的内空心玻璃棒701,外空心玻璃棒700固定连接于声光报警器6的顶部,内空心玻璃棒701的外壁在纵向上设有刻度线,内空心玻璃棒701固定连接于外空心玻璃棒700内腔的底壁上,气体输送细管远离横置筒体1100的一端与外空心玻璃棒700侧壁的下部相连通并延伸至外空心玻璃棒700的内部,且气体输送细管延伸至外空心玻璃棒700内部的一端再与内空心玻璃棒701侧壁的下部相连通,外空心玻璃棒700和内空心玻璃棒701上部的左右侧均共同水平开设有横孔,且处于左侧的横孔内固定连接有左导电金属块706,处于右侧的横孔内固定连接有右导电金属块705,右导电金属块705的顶面与左导电金属块706的顶面相齐平,左导电金属块706远离右导电金属块705的一侧上连接有第一导线707,右导电金属块705远离左导电金属块706的一侧上连接有第二导线708,内空心玻璃棒701的内部活动设置有与内空心玻璃棒701内径尺寸相适配的密封活塞B703,内空心玻璃棒701的内部填充有气体部B,且气体部B处于密封活塞B703与内空心玻璃棒701内腔的底壁之间,密封活塞B703远离竖直导杆702的一侧上设有通电组件。横置筒体1100内部填充的一定量吸水树脂层1102在吸收导入至横置筒体1100内部空气中的湿气时体积膨胀变大,带动密封活塞A1105水平运动并对气体部1106进行挤压压缩,使得气体部1106通过气体输送细管被挤压至内空心玻璃棒701内部,使得密封活塞B703与内空心玻璃棒701内腔底壁之间的气压增大并推动密封活塞B703向上运动,方便工作人员通过密封活塞B703底面与内空心玻璃棒701上所对应的相应刻度判断出存储箱体1和箱盖2内部湿度的相对大小。
如图8所示,通电组件包括水平绝缘管体7040,水平绝缘管体7040固定连接于密封活塞B703的顶面上,水平绝缘管体7040内腔的中部水平设置有伸缩弹簧7041,伸缩弹簧7041的两端均连接有金属圆弧顶头7042,且金属圆弧顶头7042的相对端均插设于水平绝缘管体7040的内部,两个金属圆弧顶头7042在侧壁的相同位置处都连接有限位滑块,水平绝缘管体7040内腔的侧壁与限位滑块位置对应处都水平开设有用于限制限位滑块活动范围的水平限位滑槽,且每个限位滑块分别活动设置于各自所对应的水平限位滑槽内,伸缩弹簧7041与金属圆弧顶头7042都采用导电金属材质制成。如图6,图8所示,左导电金属块706与右导电金属块705之间的间距与水平绝缘管体7040左右端面间的间距相一致,且水平绝缘管体7040活动插设于左导电金属块706与右导电金属块705之间。如图6,图9所示,第一导线707远离左导电金属块706的一端与声光报警器6的负极相连,声光报警器6的正极与导电金属片A14之间通过导线相连,第二导线708远离右导电金属块705的一端分别穿过声光报警器6的外壳体以及电池盒12并与导电金属片B15相连接。当横置筒体1100内部所填充的一定量的吸水树脂层1102吸收湿气的量达到其自身所能吸收的极限时,吸水树脂层1102体积不再膨胀,并推动密封活塞A1105将横置筒体1100内的气体部1106最大限度的压缩至内空心玻璃棒701内部并使得密封活塞B703带动水平绝缘管体7040运动至右导电金属块705与左导电金属块706之间,随后,在水平绝缘管体7040的作用下,其中一个金属圆弧顶头7042与左导电金属块706外壁相接触,另一个金属圆弧顶头7042则与右导电金属块705外壁相接触,从而使得由供电电池13、导电金属片B15、第二导线708、右导电金属块705、伸缩弹簧7041、金属圆弧顶头7042、左导电金属块706、第一导线707、导电金属片A14之间串联形成一个闭合的回路,再由声光报警器6向工作人员发出声、光两种报警信号,以起到提醒工作人员装置内部湿度超标的作用,使得工作人员能够及时发现存储装置内部湿度较高的问题。
请参阅图4,图5所示,其中与实施例1中相同或相应的部件采用与实施例1相应的附图标记,为简便起见,下文仅描述与实施例1的区别点。该实施例2与实施例1的不同之处在于:
引出管远离横置筒体1100的一端还连通有空心盒体1107,空心盒体1107的顶部开口处密封盖合有封板,封板上连通有出气管,空心盒体1107的内部由下到上分别连接有活性炭过滤网1108和PM2.5颗粒过滤网1109。经过吸水树脂层1102干燥后的气体再经由活性炭过滤网1108和PM2.5颗粒过滤网1109的双重过滤,能够实现将气体的杂质以及细小颗粒过滤出,从而实现对回流至存储箱体1内部的气体进行二次净化处理,有利于再次提升回流至存储箱体1和箱盖2内部的气体的洁净度。
请参阅图6,图10所示,其中与实施例1中相同或相应的部件采用与实施例1相应的附图标记,为简便起见,下文仅描述与实施例1的区别点。该实施例3与实施例1的不同之处在于:
内空心玻璃棒701内腔的底壁上还连接有竖直中空导筒,竖直中空导筒内活动插设有竖直导杆702,竖直中空导筒内部活动设置有定位底座,竖直导杆702的底端延伸至竖直中空导筒内且与定位底座相连接,竖直导杆702的顶端延伸出竖直中空导筒的内部并固定连接于密封活塞B703的底面上,定位底座用于限制竖直导杆702在竖直方向上运动的范围,当定位底座的顶面与竖直中空导筒内腔的顶壁相接触时,竖直导杆702不再向上运动,当定位底座的顶面与竖直中空导筒内腔的顶壁相接触时,金属圆弧顶头7042顶部所处的水平平面不凸出于左导电金属块706的顶面。通过定位底座对竖直导杆702竖向运动范围的限制,进而实现了对通电组件运动范围的限制,当存储箱体1和箱盖2内部的湿度已达到或者超过本装置的设定值时,并且吸水树脂层1102体积膨胀后,竖直导杆702的伸长的长度能够使得通电组件运动至右导电金属块705与左导电金属块706之间,保障供电电池13、导电金属片B15、第二导线708、右导电金属块705、通电组件、左导电金属块706、第一导线707、导电金属片A14之间串联形成一个闭合的回路,再由声光报警器6向工作人员发出声、光两种报警信号。
请参阅图1-11所示,本发明提供了一种可用于单晶硅切片存储的装置,该装置在存储单晶硅切片时,能够对装置内部的湿气进行除湿以及监测处理,当装置内部湿气超过设定值时,还能够通过潮湿提醒模块及时向工作人员发出报警信号以起到提醒工作人员装置内部湿度已超标的作用,使得工作人员能够及时发现存储装置内部湿度较高的问题,并能够及时将装置内部所存储的单晶硅切片转移至湿度合格处存储,从而能够将单晶硅切片在存储的过程中受潮气危害的程度降到最低,有助于提高工作人员对所存储的单晶硅切片的维护效率。将用于存储的单晶硅切片插入至竖板10上的切片插槽内,再将箱盖2盖合在存储箱体1顶端开口处,通过下环形凸起部3上的U型磁块对上环形凸起部4上的U型金属块的吸附作用,使得箱盖2能够固定于存储箱体1的顶部开口处,再通过下环形凸起部3上的密封垫圈对下环形凸起部3与上环形凸起部4之间的缝隙处进行密封处理,使得在箱盖2闭合后,外部环境中的湿气难以透过下环形凸起部3与上环形凸起部4之间的缝隙进入至存储箱体1和箱盖2的内部并对单晶硅切片造成危害。
小型抽气泵8通过泵输入管将用于存储单晶硅切片的存储箱体1内的空气抽出,再由泵输出管导入至右部筒体901内部,当存储箱体1内部的空气含有湿气时,通过活性炭吸附层902将湿气水滴中夹杂的微小颗粒杂质例如灰尘等进行吸附除杂,起到屏障的作用,由于吸水树脂层1102对于水的吸附能力低,经过吸附除杂的湿气再由左部筒体900上的送气管导入至横置筒体1100内部,再通过横置筒体1100内装载的一定量的吸水树脂层1102对湿气水滴进行吸附,使得本装置不仅能够实现对存储箱体1和箱盖2内部所含湿气进行干燥除湿处理,而且还能够实现对湿气水滴中夹杂的固体杂质进行吸附除杂,大大降低了湿气对本装置内所存储的单晶硅切片的危害程度。
横置筒体1100内部填充的一定量吸水树脂层1102在吸收导入至横置筒体1100内部空气中的湿气时体积膨胀变大,带动密封活塞A1105水平运动并对气体部1106进行挤压压缩,使得气体部1106通过气体输送细管被挤压至内空心玻璃棒701内部,使得密封活塞B703与内空心玻璃棒701内腔底壁之间的气压增大并推动密封活塞B703向上运动,方便工作人员通过密封活塞B703底面与内空心玻璃棒701上所对应的相应刻度判断出存储箱体1和箱盖2内部湿度的相对大小。当横置筒体1100内部所填充的一定量的吸水树脂层1102吸收湿气的量达到其自身所能吸收的极限时,吸水树脂层1102体积不在膨胀,并推动密封活塞A1105将横置筒体1100内的气体部1106最大限度的压缩至内空心玻璃棒701内部并使得密封活塞B703带动水平绝缘管体7040运动至右导电金属块705与左导电金属块706之间,随后,在水平绝缘管体7040的作用下,其中一个金属圆弧顶头7042与左导电金属块706外壁相接触,另一个金属圆弧顶头7042则与右导电金属块705外壁相接触,从而使得由供电电池13、导电金属片B15、第二导线708、右导电金属块705、伸缩弹簧7041、金属圆弧顶头7042、左导电金属块706、第一导线707、导电金属片A14之间串联形成一个闭合的回路,再由声光报警器6向工作人员发出声、光两种报警信号,以起到提醒工作人员装置内部湿度超标的作用,使得工作人员能够及时发现存储装置内部湿度较高的问题。
本发明中的通电组件相当于开关作用,本发明中以横置筒体1100内填充的一定量吸水树脂层1102所能吸收的水量的极限值作为本装置能够吸收存储箱体1和箱盖2内部湿气的设定值,在湿气经过吸水树脂层1102并且湿气中所含水分低于吸水树脂层1102的所能吸收水量的极限值时,说明存储箱体1和箱盖2内部的湿度还处在单晶硅切片能够存储的湿度标准范围内,吸水树脂层1102体积膨胀后,密封活塞A1105将气体部1106挤压至内空心玻璃棒701内部,内空心玻璃棒701内部的气压还不足以将通电组件带动至右导电金属块705与左导电金属块706之间,当经过吸水树脂层1102的湿气中所含水分不小于吸水树脂层1102的所能吸收水量的极限值时,说明此时存储箱体1和箱盖2内部的湿度已达到或者超过本装置的设定值时,吸水树脂层1102体积膨胀后,密封活塞A1105将气体部1106挤压至内空心玻璃棒701内部,随后内空心玻璃棒701内部的气压增大并将通电组件带动至右导电金属块705与左导电金属块706之间,再通过声光报警器6向工作人员发出声、光两种报警信号,从而能够起到提醒工作人员装置内部的湿度已超标的作用。经过吸水树脂层1102干燥后的气体再经由活性炭过滤网1108和PM2.5颗粒过滤网1109的双重过滤,能够实现将气体的杂质以及细小颗粒过滤出,从而实现对回流至存储箱体1内部的气体进行二次净化处理,有利于再次提升回流至存储箱体1和箱盖2内部的气体的洁净度。
以上所述,仅为本发明较佳的具体实施方式;但本发明的保护范围并不局限于此。任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内,根据本发明的技术方案及其改进构思加以等同替换或改变,都应涵盖在本发明的保护范围内。
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