一种蒸发镀银用钨坩埚的高频加热装置

技术领域

本申请涉及钨坩埚加热，具体地，涉及一种蒸发镀银用钨坩埚的高频加热装置。

背景技术

在超导薄膜生产中，蒸发镀银工序作为重要一环，对带材的保护及带材性能具有非常重要的影响。目前蒸发镀银设备采用电子枪高能加热方式加热，具有加热速度快的优势，但所需电压要求较高，能耗大。

现有技术中，公开号为CN113621919A的一种蒸发镀银用钨坩埚的高频加热装置，包括真空腔室，真空腔室中固定有阻热坩埚支架，阻热坩埚支架上设有蒸发镀银用钨坩埚；对应蒸发镀银用钨坩埚，设有螺旋加热铜管；螺旋加热铜管用于对蒸发镀银用钨坩埚进行非接触式高频加热。避免采用高能加热方式加热造成蒸发镀银设备出现频繁高压报警停机的问题。

上述专利存在，对钨坩埚进行高频加热时，存在针对当不同高度的钨坩埚时需要更换螺旋加热铜管的问题，浪费资源；同时存在加热完毕后拿取更换钨坩埚时，不方便进行拿取的问题，因此亟需改进。

发明内容

本申请解决背景技术中提出的技术问题，克服现有技术缺点，提供一种蒸发镀银用钨坩埚的高频加热装置，升降加热加温更均匀，适应不同尺寸的钨坩埚加热，夹持后拿取更方便。

为解决上述技术问题，本申请提供的技术方案为：一种蒸发镀银用钨坩埚的高频加热装置，包括装置底座，所述装置底座的前侧设置有控制柜，所述控制柜的顶部设置有操作台，所述装置底座的顶部设置有高频加热仓，所述高频加热仓包括其外部的可拆真空防护罩，所述高频加热仓还包括其内部前侧的转动支撑盘，所述转动支撑盘上部放置有钨坩埚，所述转动支撑盘的后侧设置有高频加热器，所述高频加热器包括高频加热环，所述高频加热环上连接通线支撑管，所述通线支撑管的后侧连接电发生装置，所述高频加热器还包括其后侧用于控制其升降的往复装置，所述转动支撑盘的左右两侧分别设置有升降夹具，所述升降夹具用于夹持所述钨坩埚并控制升降。

进一步的，所述往复装置包括往复气缸，所述往复气缸的活塞杆端连接第一升降推板，所述第一升降推板连接所述电发生装置的上端。

进一步的，所述装置底座的顶部后侧设置有支撑架，所述支撑架的前侧固定所述往复气缸。

进一步的，所述转动支撑盘的中轴线和高频加热环的中轴线一致，所述高频加热环的直径大于所述钨坩埚的最大外径。

进一步的，所述升降夹具包括夹持气缸，所述夹持气缸的活塞杆水平设置且活塞杆端连接夹紧卡板，两个所述夹紧卡板相对侧的两端分别设置有三角夹件，所述夹持气缸的上方设置有升降气缸，所述升降气缸的活塞杆竖直设置且活塞杆端连接第二升降推板，所述第二升降推板固定在所述夹持气缸的顶部。

进一步的，所述升降气缸上一侧固定设置有同步定位板，所述升降气缸的前后两侧分别设置有调节立柱，所述调节立柱的下端固定在所述装置底座的上表面，所述调节立柱上分别套接有调节滑套，所述调节滑套上设置有紧固螺钉，所述同步定位板的两端分别固定在两侧的调节滑套上。

进一步的，所述装置底座内部的前侧设置有转动电机，所述转动电机的输出端连接减速器，减速器的输出端连接所述转动支撑盘的中心轴。

本申请具有如下优点：本申请通过对蒸发镀银用钨坩埚进行非接触式高频加热，同时配置了转动和升降的均匀加热方式，从而适应了多种尺寸钨坩埚的高频加热，加热更加的均匀；此外配置了夹持机构，夹持后拿取更方便，不用人工操作，减少放置误差，更换更便捷，适宜广泛推广使用。

附图说明

图1是根据本发明实施例的立体示意图。

图2是根据本发明实施例中升降夹具的结构示意图。

图3是根据本发明实施例中高频加热器的结构示意图。

如图所示：1、装置底座；2、控制柜；3、操作台；4、可拆真空防护罩；5、转动支撑盘；6、钨坩埚；7、高频加热器；8、高频加热环；9、线支撑管；10、电发生装置；11、升降夹具；12、往复气缸；13、第一升降推板；14、夹持气缸；15、夹紧卡板；16、三角夹件；17、升降气缸；18、第二升降推板；19、同步定位板；20、调节立柱；21、调节滑套；22、紧固螺钉；23、支撑架。

具体实施方式

下面结合实施例对本申请做进一步的详细说明。

本申请在具体实施时，实施了一种蒸发镀银时使用的针对钨坩埚的加热装置，属于超导材料加工设备技术领域。结合附图1-图3所示，包括装置底座1，装置底座1的前侧设置有控制柜2，控制柜2的顶部设置有操作台3，装置底座1的顶部设置有高频加热仓，高频加热仓包括其外部的可拆真空防护罩4，高频加热仓还包括其内部前侧的转动支撑盘5，装置底座1内部的前侧设置有转动电机，转动电机的输出端连接减速器，减速器的输出端连接转动支撑盘5的中心轴。

转动支撑盘5上部放置有钨坩埚6，转动支撑盘5的后侧设置有高频加热器7，高频加热器7包括高频加热环8，转动支撑盘5的中轴线和高频加热环8的中轴线一致，高频加热环8的直径大于钨坩埚6的最大外径，保证加热均匀。高频加热环8上连接通线支撑管9，通线支撑管9的后侧连接电发生装置10，高频加热器7还包括其后侧用于控制其升降的往复装置，往复装置包括往复气缸12，往复气缸12的活塞杆端连接第一升降推板13，第一升降推板13连接电发生装置10的上端，装置底座1的顶部后侧设置有支撑架23，支撑架23的前侧固定往复气缸12。

转动支撑盘5的左右两侧分别设置有升降夹具11，升降夹具11用于夹持钨坩埚6并控制升降。具体的，升降夹具11包括夹持气缸14，夹持气缸14的活塞杆水平设置且活塞杆端连接夹紧卡板15，两个夹紧卡板15相对侧的两端分别设置有三角夹件16，夹持气缸14的上方设置有升降气缸17，升降气缸17的活塞杆竖直设置且活塞杆端连接第二升降推板18，第二升降推板18固定在夹持气缸14的顶部，升降气缸17上一侧固定设置有同步定位板19，升降气缸17的前后两侧分别设置有调节立柱20，调节立柱20的下端固定在装置底座1的上表面，调节立柱20上分别套接有调节滑套21，调节滑套21上设置有紧固螺钉22，同步定位板19的两端分别固定在两侧的调节滑套21上。

本申请的装置在使用时，高频加热环8用于对蒸发镀银用钨坩埚6进行非接触式高频加热，蒸发镀银用钨坩埚6在其底部转动支撑盘5的带动下，匀速进行转动，速度可调；

不断对钨坩埚6中金属银加热蒸发；往复气缸12在设定的程序下，进行上下往复的升降，从而带动高频加热环8对钨坩埚6外壁进行上下扫描式的均匀加热，从而使得整个钨坩埚6内的金属银加热更加的均匀；

在进行高频感应加热的情况下，蒸发镀银用钨坩埚6达到较高的温度，让银丝通过时蒸发。

通过两侧的升降夹具11对钨坩埚6进行夹持，两侧的升降夹具11为同步动作，因此可以将钨坩埚6放置的位置更加的精准，放置加热时受热不均；此外，也能够将加热完成的钨坩埚6夹持起来，方便更换钨坩埚6，方便拿取。

尽管主要参照确定的实施形式已示出和已描述本发明，但是熟悉本专业领域的技术人员应理解，可以对其在构建方案和细节方面等进行众多改变，而不背离权利要求所限定的保护范围。因而，本发明的保护范围通过权利要求来确定，并且包括落入权利要求的词义或者等同范围之下的所有改变。