一种双电子枪的束流采样电路

技术领域

本发明涉及真空镀膜机技术领域，特别涉及一种双电子枪的束流采样电路。

背景技术

于真空镀膜机中，需要对电子枪的电压数值进行束流采样，根据采样数据对电子枪的电压进行调节，现有多采用磁传送原理的霍尔电流传感器进行采样，而霍尔电流传感器的响应时间大多在几十毫秒到几百毫秒之间，当采样电流作为反馈信号去调节控制时，由于采样延迟，造成电子枪的束流的控制精度较低，有时还会出现束流震荡，束流难控制，特别对于双电子枪情况，霍尔电流传感器之间可能会相互影响，影响束流的精度。

发明内容

本发明的目的在于提供一种双电子枪的束流采样电路，设有两个电子枪，分别通过两直流电流传感器以零磁通电流互感方式进行束流采样，减少励磁电流的影响，响应时间快，减小延迟与束流震荡情况，利于提高束流的控制精度，从而提高电子枪的控制精度。

为达此目的，本发明采用以下技术方案：

一种双电子枪的束流采样电路，包括高压端HV，高压端HV的第一并联端接第一直流电流传感器DCCT后与第一电子枪EBS的变压器T2连接；

高压端HV的第二并联端接第二直流电流传感器DCCTB后与第二电子EBSB枪的变压器T2B连接；

第一直流电流传感器DCCT的输出端接电容C111后与高压端HV连接；

第二直流电流传感器DCCTB的输出端接电容C111B后与高压端HV连接；

第一直流电流传感器DCCT与第二直流电流传感器DCCTB的结构相同；

第一直流电流传感器DCCT包括高压线圈TP、感应线圈NS1与感应线圈NS2；

感应线圈NS1与感应线圈NS2串联，感应线圈NS1的输入端与辅助电源ES连接，感应线圈NS2的输出端与整流器连接，整流器的输出端与反馈端Vo连接，反馈端Vo并联有电阻RS。

在一些实施方式中，整流器为全桥式二极管整流器。

在一些实施方式中，变压器T2的输出线圈并联有电容。

在一些实施方式中，变压器T2的输出线圈并联有电容C1与电容C2，电容C1与电容C2串联。

在一些实施方式中，高压端HV连接于电容C1与电容C2之间，且与变压器T2连接。

在一些实施方式中，第一电子枪EBS包括与变压器T2连接的灯丝FIL。

在一些实施方式中，第一电子枪EBS还包括水平偏转电极XSCAN。

在一些实施方式中，第一电子枪EBS还包括垂直偏转电极YSCAN。

本发明的有益效果：两个电子枪分别通过两直流电流传感器以零磁通电流互感方式进行束流采样，减少励磁电流的影响，响应时间快，减小延迟与束流震荡情况，利于提高束流的控制精度，从而提高电子枪的控制精度。

附图说明

图1为本发明的一种双电子枪的束流采样电路图；

图2为本发明的直流电流传感器的电路图；

图3为本发明的直流电流传感器的组装结构图；

图4为本发明的直流电流传感器的电路原理图。

具体实施方式

下面结合附图对本发明作进一步详细的说明。

参考图1与图2，一种双电子枪的束流采样电路，包括高压端HV，高压端HV能够提供－4kv至－10kv的直流电压，为第一电子枪EBS与第二电子枪EBSB提供高压电源，高压端HV的第一并联端接第一直流电流传感器DCCT后与第一电子枪EBS的变压器T2连接；

高压端HV的第二并联端接第二直流电流传感器DCCTB后与第二电子枪EBSB的变压器T2B连接，如此，分别通过两个直流电流传感器对两个电子枪进行束流采样，两个直流电流传感器均是磁场传送方式实现高压隔离式采样，且是零磁通电流互感，有效消除励磁电流对互感器测量精度的影响，响应时间快，减小延迟与束流震荡情况，利于提高束流的控制精度，从而提高电子枪的控制精度，即可根据束流的数值及时调节电子枪的电压。

第一直流电流传感器DCCT的输出端接电容C111后与高压端连接，即电容C111与第一直流电流传感器DCCT并联；

第二直流电流传感器DCCTB的输出端接电容C111B后与高压端HV连接；即电容C111B与第二直流电流传感器DCCTB并联；

电容C111与C111B具一定的滤波作用，能够吸收电路的震荡，提高电路电压输送的稳定性；

第一直流电流传感器DCCT与第二直流电流传感器DCCTB的结构相同；

第一直流电流传感器DCCT包括高压线圈TP、感应线圈NS1与感应线圈NS2；

高压线圈TP与高压端HV连接；

感应线圈NS1与感应线圈NS2串联，感应线圈NS1的输入端与辅助电源ES连接，感应线圈NS2的输出端与整流器连接，整流器的输出端与反馈端Vo连接，反馈端Vo并联有电阻RS；

反馈端Vo收集束流数值，从而获知高压线圈TP的电流Ip、电压情况，从而可根据束流数值调节高压端HV的数值。

同理，第二直流电流传感器DCCTB同具上述的高压线圈TP、感应线圈NS1、感应线圈NS2、整流器、反馈端Vo与电阻RS等电子零部件.

整流器为全桥式二极管整流器，起整流作用，提高束流反馈端Vo的精准度。

其中，参考图3与图4，第一直流电流传感器DCCT设于桶体41内，桶体41的一端设有第一盖体42，桶体41的另一端设有第二盖体43，高压线圈TP、感应线圈NS1与感应线圈NS2等组装于桶体41内，线圈的外围包覆有硅橡胶层44。

参考图1，变压器T2的输出线圈并联有电容，电容起一定的滤波的作用，提高变压器T2输入电压的稳定性。

变压器的输出线圈并联有电容C1与电容C2，电容C1与电容C2串联。

高压端连接于电容C1与电容C2之间，且与变压器T2连接。高压端HV与变压器T2连接的同时，也与电容C1与电容C2之间的连接端连接，电容C1与电容C2对高压端进行滤波，提高电路电压的稳定性。

变压器T2的输入线圈与另一电压或电源连接。

参考图1，第一电子枪EBS包括与变压器T2连接的灯丝FIL，灯丝FIL于高压下工作，加热，从而释放电子。

第一电子枪EBS还包括水平偏转电极XSCAN与垂直偏转电极YSCAN。水平偏转电极XSCAN与垂直偏转电极YSCAN能够产生相应水平磁场与垂直磁场，促使电子偏转，改变电子运动的方向。

第一电子枪EBS与第二电子枪EBSB的结构基本相同。

第二电子枪EBSB包括灯丝FIL、变压器T2B、水平偏转电极XSCAN、垂直偏转电极YSCAN、电容C1B与电容C2B，高压端HV与变压器T2B连接的同时，也与电容C1B与电容C2B之间的连接端连接，电容C1B与电容C2B对高压端HV进行再次滤波，提高电路电压的稳定性。

以上公开的仅是本发明的一些实施方式。对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明创造构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于发明的保护范围。