一种电子车间的洁净度检测机构及其检测系统

技术领域

本发明涉及车间洁净度检测技术领域，具体为一种电子车间的洁净度检测机构及其检测系统。

背景技术

洁净室(Cl eanRoom)是指一个具有低污染水平的环境，这里所指的污染来源有灰尘，空气传播的微生物，悬浮颗粒，和化学挥发性气体。洁净室被广泛地应用在对环境污染特别敏感的行业，例如半导体生产、生化技术、生物技术、精密机械、制药、医院等行业等，其中以半导体业其对室内之温湿度、洁净度要求尤其严格、故其必需控制在某一个需求范围内，才不会对制程产生影响。现有技术中，通常需要在洁净室的不同位置安装多个环境检测器，一方面增加环境检测成本，另一方面环境检测装置的安装位置需要反复考量否则既占用了洁净室的空间又存在耽误洁净室正常生产的可能性；若依靠人工手持检测设备进行检测，具有如下缺陷：一，人工成本会大大增加洁净室检测成本；二，当洁净室生产环境恶劣时人工检测难以实现；三，由于人员活动会导致部分环境检测数据不准确。综合上述因素，借助智能化检测设备去洁净室内部进行实时检测具有十分重要的意义。

现有技术中，公开号为“CN208376915U”的一种用于洁净室环境监测的小车底盘，通过小车的底盘底座、第一安装板、第二安装板、第三安装板在竖直空间内的平行式安装大大减小了小车底盘整体体积，通过在小车上设置电源元件、激光导航仪、检测用电子元件、无线路由器等设备，小车底盘与电脑中检测软件可通过网络实现信息的双向传递；小车底盘可代替人工完成环境检测工作，避免人员参与带来的高检测成本及检测数据不准确的现象，其次，小车底盘可以在洁净室中灵活移动，无需多个检测设备的定点安装，节省设备费用投资的同时增大洁净室的可用空间；小车底盘中缓冲组件的设置避免了小车底盘在洁净室车间行走检测的过程中由于路面颠簸带来的检测误差，进一步提高检测数据的可信度。

但现有技术仍存在较大缺陷，如：在进行洁净度检测时需要用到光散射粒子计数器对环境中的尘埃进行检测，但光散射粒子计数器长时间使用后镜头处会堆积灰尘，导致检测结果不准确的问题，且现有技术的小车底盘缺乏固定机构，无法在预定位置精准停留以检测该区域的洁净度程度。

发明内容

本发明的目的在于提供一种电子车间的洁净度检测机构及其检测系统，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

一种电子车间的洁净度检测机构，包括位于电子车间内且在运动轮带动下运动的运动底盘，且运动底盘上端固定安装有光散射粒子计数器，所述运动底盘下方安装有固定座，且固定座在驱动机构驱动下向下运动以顶起运动底盘，且固定座固定连接有向上滑动穿过运动底盘的滑动顶杆，所述运动底盘上方上下滑动设置有向上延伸以伸向光散射粒子计数器处透光镜头的清理连杆，且清理连杆上端固定连接有挡住透光镜头的弹性清理板，且清理连杆下端固定连接有推压板，且滑动顶杆和位于其上方的清理连杆间连接有第一弹性连接件，且固定座向下顶起运动底盘使得弹性清理板向下离开透光镜头；

所述运动轮中心处固定连接有传动转轴，且运动底盘上方转动设置有从动轮，且传动转轴通过传动环带带动从动轮转动，所述从动轮外侧呈环向固定安装有若干挤压推板，且挤压推板随从动轮转动以向下推动、或向上顶起推压板，以使得弹性清理板向下或向上离开透光镜头。

优选的，所述驱动机构包括固定连接在固定座上端的固定座连板、固定连接在固定座连板上表面和运动底盘下表面的第二弹性连接件、以及磁性相斥且分别安装在固定座连板和运动底盘相互靠近的端面上的磁性板、电磁铁。

优选的，所述滑动顶杆向上滑动穿过第二弹性连接件。

优选的，所述滑动顶杆靠近推压板的上端固定连接有顶杆连板，且第一弹性连接件固定连接在顶杆连板和推压板相互靠近的端面之间。

优选的，所述推压板固定连接有向下滑动穿过第一弹性连接件、顶杆连板的导向滑杆。

优选的，所述清理连杆上端固定连接有清理连板，且弹性清理板固定连接在清理连板上。

优选的，所述运动底盘上固定连接有两个间隔设置的夹持板，且两个夹持板间固定连接有支撑转轴，所述从动轮夹持在两个夹持板之间，且支撑转轴沿从动轮轴线方向转动穿过从动轮。

优选的，所述运动轮为多个且两两一组，两两一组的所述运动轮安装在运动底盘两相对侧壁的外侧、且之间通过传动转轴固定连接，所述运动底盘下表面固定连接有若干个供传动转轴转动穿过的底盘连板，且传动转轴杆身上固定连接有两两一组的限位环板，且底盘连板夹持在两两一组的限位环板之间。

优选的，所述传动转轴和从动轮外侧壁均开设有环形凹槽，且传动环带滑动经过环形凹槽。

一种检测系统，包括上述的电子车间的洁净度检测机构，还包括带有信号处理单元的检测系统主体，且检测系统主体的信号处理单元和光散射粒子计数器信号连接。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：

本发明的电子车间的洁净度检测机构及其检测系统，通过驱动机构带动固定座向下运动以顶起运动底盘，使得到达预定位置的运动底盘保持固定，防止运动底盘抵达预定位置后发生偏移错位、导致光散射粒子计数器偏离预定位置的问题，并通过传动转轴、传动环带、从动轮、推压板和挤压推板的配合设置，在运动轮滚动的过程中使得弹性清理板上下滑动以对透光镜头处的灰尘进行清理，避免透光镜头积累过多灰尘而导致光散射粒子计数器测得的洁净度不准确的问题。

附图说明

图1为本发明整体结构正视示意图；

图2为本发明整体结构正视剖面示意图；

图3为图2中从动轮结构的放大示意图；

图4为本发明整体结构俯视示意图；

图5为本发明整体结构仰视示意图；

图6为图5中传动转轴的放大示意图；

图7为本发明中挤压推板向下压迫推压板示意图；

图8为本发明中固定座向下顶起运动底盘示意图；

图9为图8中固定座及其连接结构的放大示意图。

图中：1运动底盘、2运动轮、3固定座、4滑动顶杆、5光散射粒子计数器、6透光镜头、7推压板、8第一弹性连接件、9清理连杆、10弹性清理板、11传动转轴、12从动轮、13传动环带、14挤压推板、15固定座连板、16第二弹性连接件、17磁性板、18电磁铁、19顶杆连板、20导向滑杆、21清理连板、22夹持板、23支撑转轴、24底盘连板、25限位环板。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

请参阅图1-9，本发明提供一种技术方案：

实施例一：

实施例一给出了一种带有固定效果的电子车间的洁净度检测机构，包括在运动轮2带动下运动的运动底盘1，运动底盘1上端固定安装有光散射粒子计数器5，运动轮2滚动以带动运动底盘1在电子车间内运动，使得运动底盘1将光散射粒子计数器5带至电子车间的各个位置，以此使得光散射粒子计数器5对电子车间各处的洁净度进行检测，其中利用光散射粒子计数器5检测空气中尘埃粒子的浓度、以检测确定空气洁净度为现有技术，在此不做赘述；

作为一个实施方式，运动轮2为四个且两两一组，两两一组的运动轮2组成运动轮组，运动轮组的两个运动轮2分别安装在运动底盘1前后侧壁的外侧、且之间通过传动转轴11固定连接，传动转轴11轴线和运动轮2轴线重合，以此使得运动轮组的两个运动轮2通过传动转轴11同位转动，两个运动轮组关于运动底盘1左右对称设置，以此提高运动轮2带动运动底盘1运动的稳定性，运动轮2可由电机或人力驱动，在此不做要求，运动底盘1下表面固定连接有若干个供传动转轴11转动穿过的底盘连板24，且传动转轴11杆身上固定连接有两两一组的限位环板25，且底盘连板24夹持在两两一组的限位环板25之间，限位环板25和底盘连板24的配合设置对传动转轴11进行限位，避免传动转轴11和运动轮2发生前后偏移的问题，在使用过程中运动轮2通过传动转轴11、底盘连板24的配合设置带动运动底盘1一同运动；

运动底盘1下方安装有固定座3，且固定座3在驱动机构驱动下向下运动以顶起运动底盘1，且固定座3固定连接有若干个向上滑动穿过运动底盘1的滑动顶杆4，在需要移动运动底盘1以使得光散射粒子计数器5前往预定位置时，驱动机构不工作，固定座3最低处高于运动轮2最低处，运动轮2和地面接触并通过滚动带动运动底盘1运动，在运动底盘1运动至光散射粒子计数器5到达预定位置时，驱动机构带动固定座3向下运动，使得固定座3向下运动至其最低处低于运动轮2最低处，固定座3顶起运动底盘1使得运动轮2脱离地面，运动轮2无法继续带动运动底盘1运动，利用固定座3和地面的静摩擦力对运动底盘1进行固定，防止运动底盘1抵达预定位置后发生偏移错位、导致光散射粒子计数器5偏离预定位置的问题，固定座3在上下运动过程中带动滑动顶杆4一同上下运动，滑动顶杆4对固定座3的上下运动过程进行导向限位，提高固定座3上下运动过程的稳定性；

作为一个实施方式，驱动机构包括固定连接在固定座3上端的固定座连板15、固定连接在固定座连板15上表面和运动底盘1下表面的若干个第二弹性连接件16、以及磁性相斥且分别安装在固定座连板15和运动底盘1相互靠近的端面上的磁性板17、电磁铁18，第二弹性连接件16可选用弹簧或其他弹性材料，第二弹性连接件16通过固定座连板15向上拉动固定座3，使得固定座3保持悬浮而不与地面接触，此时运动轮2可带动运动底盘1一同运动，在需要对运动底盘1进行定位时，开启电磁铁18，电磁铁18通电具备磁性并排斥固定座3，使得固定座3向下运动以与地面接触、并顶起运动底盘1，以此对运动底盘1进行定位，此外驱动机构也可以是固定安装在运动底盘1上，输出端向下延伸并与固定座3上表面固定连接的直线驱动电机，进一步的设置为多个滑动顶杆4一一向上滑动穿过对应的第二弹性连接件16，利用滑动顶杆4为第二弹性连接件16提供轴向支撑，避免第二弹性连接件16发生弯曲的问题。

实施例二：

实施例二在实施例一的基础上增设了对光散射粒子计数器5处透光镜头6进行清理的机构，即：运动底盘1上方上下滑动设置有向上延伸以伸向光散射粒子计数器5处透光镜头6的清理连杆9，清理连杆9上端固定连接有挡住透光镜头6的弹性清理板10，且清理连杆9下端固定连接有推压板7，且滑动顶杆4和位于其上方的清理连杆9间连接有第一弹性连接件8，第一弹性连接件8可选用弹簧或其他弹性材料，第一弹性连接件8连接清理连杆9和位于其下方的滑动顶杆4，以此为清理连杆9提供弹性支撑，使得在清理连杆9和推压板7未受到外力压迫时，清理连杆9在第一弹性连接件8的支撑下保持稳定，以此使得在驱动机构未带动固定座3向下运动时，清理连杆9带动弹性清理板10运动至透光镜头6处并挡住透光镜头6，弹性清理板10在运动过程中对透光镜头6处积累的灰尘进行清理，避免透光镜头6积累过多灰尘而导致光散射粒子计数器5测得的洁净度不准确的问题，而且在驱动机构带动固定座3向下运动以顶起运动底盘1的过程中，固定座3通过滑动顶杆4、第一弹性连接件8带动清理连杆9一同向下滑动，使得清理连杆9上的弹性清理板10向下离开透光镜头6，避免弹性清理板10继续挡住透光镜头6而使得光散射粒子计数器5无法对电子车间的洁净度进行检测的问题；

作为一个实施方式，滑动顶杆4靠近推压板7的上端固定连接有顶杆连板19，且第一弹性连接件8固定连接在顶杆连板19和推压板7相互靠近的端面之间，推压板7和顶杆连板19的设置为第一弹性连接件8的安装提供充足的安装空间，推压板7固定连接有向下滑动穿过第一弹性连接件8、顶杆连板19的导向滑杆20，导向滑杆20的设置对推压板7的上下滑动过程进行导向，提高推压板7上下滑动过程的稳定性，且导向滑杆20为第一弹性连接件8提供轴向支撑，避免第一弹性连接件8发生弯曲的问题，清理连杆9上端固定连接有清理连板21，且弹性清理板10固定连接在清理连板21上，清理连板21位于弹性清理板10远离透光镜头6的端面上，清理连板21的设置提高弹性清理板10的安装稳定性，避免弹性清理板10沿远离透光镜头6方向弯曲而降低其对透光镜头6清理效果的问题，透光镜头6靠近弹性清理板10的一端优选为凸起结构，便于弹性清理板10对透光镜头6上灰尘的清理；

运动底盘1上方转动设置有从动轮12，且传动转轴11通过传动环带13带动从动轮12转动，传动转轴11和从动轮12均与传动环带13滑动连接，且传动环带13滑动穿过运动底盘1，在运动轮2带动传动转轴11转动的过程中，传动转轴11通过传动环带13带动从动轮12一同转动，从动轮12外侧呈环向固定安装有若干挤压推板14，从动轮12带动挤压推板14一同转动，挤压推板14在转动过程中对运动底盘1上方区域进行鼓风，以此使得电子车间内部空气流动，以此对各个区域处空气内尘埃进行混合均匀，避免部分区域处空气中尘埃含量过多或过少、而给后续利用光散射粒子计数器5检测电子车间内洁净度造成不利影响的问题，且挤压推板14在转动过程中经过推压板7，挤压推板14向下翻转以推动推压板7向下滑动、或者向上翻转以推动推压板7向上滑动，待挤压推板14离开推压板7后第一弹性连接件8再带动推压板7反向滑动复位，以此使得推压板7通过清理连杆9带动弹性清理板10在透光镜头6处上下滑动，以此提高对透光镜头6处灰尘的清理效果，进一步避免透光镜头6积累过多灰尘而导致光散射粒子计数器5测得的洁净度不准确的问题，而在固定座3向下运动以顶起运动底盘1时，推压板7也随之向下滑动以离开挤压推板14，即使此时运动轮2继续带动从动轮12转动，挤压推板14也无法挤压在推压板7上，避免在进行检测洁净度时挤压推板14向上顶起推压板7、而导致弹性清理板10挡住透光镜头6的问题；

作为一个实施方式，运动底盘1上固定连接有两个间隔设置的夹持板22，且两个夹持板22间固定连接有支撑转轴23，从动轮12夹持在两个夹持板22之间，且支撑转轴23沿从动轮12轴线方向转动穿过从动轮12，通过夹持板22和支撑转轴23的配合设置，使得从动轮12转动设置在运动底盘1上方，传动转轴11和从动轮12外侧壁均开设有环形凹槽，且传动环带13滑动经过环形凹槽，环形凹槽的设置对传动环带13进行限位，避免传动环带13在传动转轴11和从动轮12外侧壁上发生偏移的问题。

一种检测系统，包括上述的电子车间的洁净度检测机构，还包括带有信号处理单元的检测系统主体，且检测系统主体的信号处理单元和光散射粒子计数器5信号连接，光散射粒子计数器5测得的信号传递至检测系统主体的信号处理单元处，信号处理单元对信号进行处理，以此得出洁净度数据，通过光散射粒子计数器5测得信号，再利用信号处理机构对信号进行处理以得到洁净度数据为现有技术，在此不做赘述。

工作原理：运动轮2和地面接触并通过滚动带动运动底盘1运动，在运动底盘1运动至光散射粒子计数器5到达预定位置时，驱动机构带动固定座3向下运动，使得固定座3向下运动至顶起运动底盘1利用固定座3和地面的静摩擦力对运动底盘1进行固定，且固定座3通过滑动顶杆4、第一弹性连接件8带动清理连杆9一同向下滑动，使得清理连杆9上的弹性清理板10向下离开透光镜头6；

在运动轮2带动运动底盘1运动过程中，固定座3保持悬浮而不与地面接触，固定座3通过滑动顶杆4、第一弹性连接件带动清理连杆9保持稳定，使得清理连杆9上的弹性清理板10挡住透光镜头6，运动轮2通过传动转轴11、传动环带13带动从动轮12转动，从动轮12带动挤压推板14一同转动，挤压推板14在转动过程对各个区域处空气内尘埃进行混合均匀，且挤压推板14在转动过程中向下翻转以推动推压板7向下滑动、或者向上翻转以推动推压板7向上滑动，待挤压推板14离开推压板7后第一弹性连接件8再带动推压板7反向滑动复位，以此使得推压板7通过清理连杆9带动弹性清理板10在透光镜头6处上下滑动，提高对透光镜头6处灰尘的清理效果。

尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。