一种开盒器对接适配装置

技术领域

本发明涉及开盒器技术领域，特别是一种开盒器对接适配装置。

背景技术

开盒器是是半导体制程中被使用来保护、运送、并储存晶圆的一种容器，12寸开盒器的内部可以容纳25片的300mm晶圆，其主要的组成元件为一个能容纳25片晶圆的前开式容器，并有一个前开式的门框专司容器，是一种专属于12寸(300mm)晶圆厂内的自动化传送系统重要的传载容器；8寸晶舟是装载8寸晶圆的盒子，由一个个分离的插槽组成；一般一个晶盒可插入25片晶圆；晶圆在加工时都是以晶盒为单位进行的；

目前对接适配装置大多无法对12寸的开盒器进行对接，也无法兼容8寸的晶舟，且对接装置为敞口式或者简单的门，无法进行上锁，使用时导致门中途打开，安全性较低，内部也没有晶舟定位导向装置，导致传输不到位或者失败，对接装置内部无检测装置，导致使用不便，为此发明人设计了一款开盒器对接适配装置。

发明内容

本部分的目的在于概述本发明的实施例的一些方面以及简要介绍一些较佳实施例。在本部分以及本申请的说明书摘要和发明名称中可能会做些简化或省略以避免使本部分、说明书摘要和发明名称的目的模糊，而这种简化或省略不能用于限制本发明的范围。

鉴于上述或现有技术中存在的问题，提出了本发明。

因此，本发明的目的是提供一种开盒器对接适配装置，其能够对接12寸的开盒器，并且内部可以兼容8寸的晶舟，并且可以对晶舟进行限位固定，使其稳固在适配装置内，并且本装置配备了门，在使用中可以对门进行固定限位，防止中途门发生晃动。

为解决上述技术问题，本发明提供如下技术方案：一种开盒器对接适配装置，其包括框架机构，定位导向机构，以及前门机构；

框架机构内部设置定位导向机构，框架机构侧边设置前门机构；

框架机构可与晶舟传送盒对接，前门机构可对框架机构进行开关，框架机构内可接收晶舟，定位导向机构可对晶舟进行导向限位，框架机构内的晶舟可接收晶圆。

作为本发明开盒器对接适配装置的一种优选方案，其中：定位导向机构包括第一限位导向组件，第二限位导向组件，以及第三限位导向组件；

第一限位导向组件可对晶舟的前侧进行限位导向，第二限位导向组件可对晶舟的后侧进行限位导向，第三限位导向组件可对晶舟的中侧进行限位导向。

作为本发明开盒器对接适配装置的一种优选方案，其中：前门机构包括前门，前门限位组件，以及固定块；

框架机构的侧边设置前门，框架机构的底部设置有前门限位组件，前门的底侧与固定块连接，前门限位组件可对前门上的固定块进行限位固定。

作为本发明开盒器对接适配装置的一种优选方案，其中：框架机构包括框架，框架底板，以及限位支撑舱板；

框架底端设置框架底板，框架底板下方连接限位支撑舱板，限位支撑舱板上设置前门限位组件。

作为本发明开盒器对接适配装置的一种优选方案，其中：前门限位组件包括第一限位挡块，支撑轴，限位杆，以及第二限位挡块；

支撑轴可对限位杆中部进行支撑，第一限位挡块可对限位杆的一端进行限位，限位杆的另一端可对固定块进行连接，第二限位挡块可对限位杆进行限位支撑，支撑轴和第一限位挡块与限位支撑舱板连接，第二限位挡块与框架底板连接。

作为本发明开盒器对接适配装置的一种优选方案，其中：限位杆包括第一连杆，U型杆，第一限位销，以及第二限位销；

第一连杆与U型杆连接，第一连杆上设置第一限位销，第二限位销设置在U型杆上，第一连杆可围绕支撑轴进行转动，第二限位挡块可对U型杆进行限位。

作为本发明开盒器对接适配装置的一种优选方案，其中：框架的侧截面为直角梯形。

作为本发明开盒器对接适配装置的一种优选方案，其中：第一限位导向组件包括第一左限位块，第一右限位块，框架底板，以及前门；

第一左限位块和第一右限位块设置在框架底板上，且靠近前门的一侧。

作为本发明开盒器对接适配装置的一种优选方案，其中：第二限位导向组件包括第二左限位块，以及第二右限位块；

第二左限位块，以及第二右限位块设置在框架底板上，且设置在远离前门的一侧。

作为本发明开盒器对接适配装置的一种优选方案，其中：第三限位导向组件包括横向限位块，横向限位块设置在第一限位导向组件和第二限位导向组件之间。

作为本发明开盒器对接适配装置的一种优选方案，其中：第一左限位块，第一右限位块，第二左限位块，第二右限位块，以及横向限位块上均设置有导向坡。

作为本发明开盒器对接适配装置的一种优选方案，其中：框架机构内还包括第一检测件，以及第二检测件；

第一检测件和第二检测件设置在框架底板上；

第一检测件可检测前门位置；

第二检测件可检测晶舟位置。

作为本发明开盒器对接适配装置的一种优选方案，其中：框架机构还包括扫描识别件；

扫描识别件设置在框架底板；扫描识别件可扫描读取晶舟的ID信息。

作为本发明开盒器对接适配装置的一种优选方案，其中：限位支撑舱板上开设有操作口。

作为本发明开盒器对接适配装置的一种优选方案，其中：限位支撑舱板的下端面设置定位槽。

本发明的有益效果：本发明通过限位支撑舱板下端面的定位槽可与12寸晶舟传送盒上的载物台进行连接支撑，并且本装置可以兼容存储8寸晶舟，通过定位导向机构可对晶舟进行限位固定，通过前门机构可对框架机构进行封闭，并且可以对门进行限位锁定，避免出现门活动，进一步增强了安全性，通过内部的检测装置可以检测内部的晶舟是否放置到位，并且还可以对晶舟进行扫描识别ID信息。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。其中：

图1为开盒器对接适配装置的立体示意图。

图2为开盒器对接适配装置的另一视角立体示意图。

图3为开盒器对接适配装置的右视图。

图4为开盒器对接适配装置的内部示意图。

图5为开盒器对接适配装置的定位导向机构示意图。

图6为开盒器对接适配装置的前门限位组件示意图。

图7为开盒器对接适配装置的限位杆示意图。

附图标记：

框架机构，1；定位导向机构，2；前门机构，3；第一限位导向组件，21；第二限位导向组件，22；第三限位导向组件，23；前门，31；前门限位组件，32；固定块，33；框架，11；框架底板，12；限位支撑舱板，13；第一限位挡块，3201；支撑轴，3202；限位杆，3203；第二限位挡块，3204；第一连杆，32031；U型杆，32032；第一限位销，32033；第二限位销，32034；第一左限位块，2102；第一右限位块，2103；第二左限位块，2201；第二右限位块，2202；横向限位块，2301；第一检测件，15；第二检测件，16；扫描识别件，18；操作口，17；定位槽，14；

具体实施方式

为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合说明书附图对本发明的具体实施方式做详细的说明。

在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本发明，但是本发明还可以采用其他不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本发明内涵的情况下做类似推广，因此本发明不受下面公开的具体实施例的限制。

其次，此处所称的“一个实施例”或“实施例”是指可包含于本发明至少一个实现方式中的特定特征、结构或特性。在本说明书中不同地方出现的“在一个实施例中”并非均指同一个实施例，也不是单独的或选择性的与其他实施例互相排斥的实施例。

实施例1

参照图1～4，为本发明第一个实施例，该实施例提供了一种开盒器对接适配装置，其包括框架机构1，定位导向机构2，以及前门机构3，通过框架机构1内部可以放置晶舟，通过框架机构1可以与12寸的晶舟开盒器进行对接，通过定位导向机构2可以对晶舟进行固定，通过前门机构3可以对框架机构1进行开关门。

具体的，框架机构1，定位导向机构2，以及前门机构3；

框架机构1内部设置定位导向机构2，框架机构1侧边设置前门机构3；

框架机构1可与晶舟传送盒对接，前门机构3可对框架机构1进行开关，框架机构1内可接收晶舟，定位导向机构2可对晶舟进行导向限位，框架机构1内的晶舟可接收晶圆。

综上，本发明通过在框架机构1内设置定位导向机构2，通过定位导向机构2可以对晶舟进行固定限位，通过框架机构1可以与晶舟传送盒进行对接，通过前门机构3可以在使用过程中避免门打开，增加安全性，本装置可以与12寸开盒器进行对接，并且内部可以兼容8寸晶舟。

实施例2

参照图1～7，为本发明第二个实施例，在上一个实施例中，开盒器对接适配装置包括框架机构1，定位导向机构2，以及前门机构3，通过框架机构1内部可以放置晶舟，通过框架机构1可以与12寸的晶舟开盒器进行对接，通过定位导向机构2可以对晶舟进行固定，通过前门机构3可以对框架机构1进行开关门。

具体的，框架机构1，定位导向机构2，以及前门机构3；

框架机构1内部设置定位导向机构2，框架机构1侧边设置前门机构3；

框架机构1可与晶舟传送盒对接，前门机构3可对框架机构1进行开关，框架机构1内可接收晶舟，定位导向机构2可对晶舟进行导向限位，框架机构1内的晶舟可接收晶圆。

进一步的，定位导向机构2包括第一限位导向组件21，第二限位导向组件22，以及第三限位导向组件23；

第一限位导向组件21可对晶舟的前侧进行限位导向，第二限位导向组件22可对晶舟的后侧进行限位导向，第三限位导向组件23可对晶舟的中侧进行限位导向。

较佳的，第一限位导向组件21，第二限位导向组件22，以及第三限位导向组件23均设置在框架底板12的上端面。

进一步的，前门机构3包括前门31，前门限位组件32，以及固定块33；

框架机构1的侧边设置前门31，框架机构1的底部设置有前门限位组件32，前门31的底侧与固定块33连接，前门限位组件32可对前门31上的固定块33进行限位固定。

较佳的，前门31的底侧与固定块33固定连接。

较佳的，前门31可以采用通明材质制作成，方便观察内部的情况，前门31可以采用透明亚克力材料。

进一步的，框架机构1包括框架11，框架底板12，以及限位支撑舱板13；

框架11底端设置框架底板12，框架底板12下方连接限位支撑舱板13，限位支撑舱板13上设置前门限位组件32。

进一步的，前门限位组件32包括第一限位挡块3201，支撑轴3202，限位杆3203，以及第二限位挡块3204；

支撑轴3202可对限位杆3203中部进行支撑，第一限位挡块3201可对限位杆3203的一端进行限位，限位杆3203的另一端可对固定块33进行连接，第二限位挡块3204可对限位杆3203进行限位支撑，支撑轴3202和第一限位挡块3201与限位支撑舱板13连接第二限位挡块3204，第二限位挡块3204与框架底板12连接。

进一步的，限位杆3203包括第一连杆32031，U型杆32032，第一限位销32033，以及第二限位销32034；

第一连杆32031与U型杆32032连接，第一连杆32031上设置第一限位销32033，第二限位销32034设置在U型杆32032上，第一连杆32031可围绕支撑轴3202进行转动，第二限位挡块3204可对U型杆32032进行限位。

进一步的，限位支撑舱板13上开设有操作口17。

较佳的，操作口17可以允许12寸开盒器上锁扣进行通过。

进一步的，限位支撑舱板13的下端面设置定位槽14。

较佳的，定位槽14设置为三组，可以定位槽14与12寸开盒器的载台上进行配合限位。

工作时，限位支撑舱板13通过定位槽14卡在12寸开盒器的载台上，12寸开盒器在工作时会通过锁扣向下压住第一连杆32031上的第一限位销32033，使第一连杆32031围绕支撑轴3202进行转动，使U型杆32032带动第二限位销32034进行上移，使第二限位销32034可以卡入固定块33中，，从而对门进行固定，防止在使用过程中打开；门板锁住同时，压入门开关检测传感器组的压柱，从而触发门开关检测传感器。

进一步的，框架11的侧截面为直角梯形。

较佳的，框架11上前门31的一面为斜面。

较佳的，设置为框架11上前门31的一侧为斜面，方便打开前门，也方便对接12寸的开盒器。

进一步的，第一限位导向组件21包括第一左限位块2102，第一右限位块2103，框架底板12，以及前门31；

第一左限位块2102和第一右限位块2103设置在框架底板12上，且靠近前门31的一侧。

较佳的，第一左限位块2102和第一右限位块2103可以对晶舟的前端进行固定限位。

进一步的，第二限位导向组件22包括第二左限位块2201，以及第二右限位块2202；

第二左限位块2201，以及第二右限位块2202设置在框架底板12上，且设置在远离前门31的一侧。

较佳的，第二左限位块2201，以及第二右限位块2202可以对晶舟的后端进行限位固定。

进一步的，第三限位导向组件23包括横向限位块2301，横向限位块2301设置在第一限位导向组件21和第二限位导向组件22之间。

较佳的，横向限位块2301可以对晶舟的中侧进行固定，防止晶舟出现移动损坏晶圆。

进一步的，第一左限位块2102，第一右限位块2103，第二左限位块2201，第二右限位块2202，以及横向限位块2301上均设置有导向坡。

较佳的，通过导向坡可以使晶舟在放入时可以更好的进入，起到导向的作用，导向坡为上端小，下端大，具有大斜面，可以起到很好的导向作用。

进一步的，框架机构1内还包括第一检测件15，以及第二检测件16；

第一检测件15和第二检测件16设置在框架底板12上；

第一检测件15可检测前门31位置；

第二检测件16可检测晶舟位置。

较佳的，第一检测件15可以检测前门状态，是处于打开状态还是处于关闭状态；第二检测件16可以检测晶舟是否在位。

进一步的，框架机构1还包括扫描识别件18；

扫描识别件18设置在框架底板12；扫描识别件18可扫描读取晶舟的ID信息。

综上，本发明通过限位支撑舱板13底部的定位槽14可以对接12寸开盒器的载物台进行对接限位，通过第一限位导向组件21，第二限位导向组件22，以及第三限位导向组件23可以对8寸的晶舟进行导向和限位固定，保证晶舟不会发生偏移及倾倒的情况，通过第二检测件16可以检测晶舟是否在特定的位置，通过扫描识别件18可以对晶舟的ID信息进行读取，通过前门31可以对框架机构1进行打开或者关闭，通过前门限位组件32可以对前门31和固定块33进行限位，保证工作时，无法打开前门，进一步增加了安全性，本装置可以对接12寸的开盒器，并且内部可以兼容8寸的晶舟，8寸的晶舟上可以接收存放8寸的晶圆。

重要的是，应注意，在多个不同示例性实施方案中示出的本申请的构造和布置仅是例示性的。尽管在此公开内容中仅详细描述了几个实施方案，但参阅此公开内容的人员应容易理解，在实质上不偏离该申请中所描述的主题的新颖教导和优点的前提下，许多改型是可能的(例如，各种元件的尺寸、尺度、结构、形状和比例、以及参数值(例如，温度、压力等)、安装布置、材料的使用、颜色、定向的变化等)。例如，示出为整体成形的元件可以由多个部分或元件构成，元件的位置可被倒置或以其它方式改变，并且分立元件的性质或数目或位置可被更改或改变。因此，所有这样的改型旨在被包含在本发明的范围内。可以根据替代的实施方案改变或重新排序任何过程或方法步骤的次序或顺序。在权利要求中，任何“装置加功能”的条款都旨在覆盖在本文中所描述的执行所述功能的结构，且不仅是结构等同而且还是等同结构。在不背离本发明的范围的前提下，可以在示例性实施方案的设计、运行状况和布置中做出其他替换、改型、改变和省略。因此，本发明不限制于特定的实施方案，而是扩展至仍落在所附的权利要求书的范围内的多种改型。

此外，为了提供示例性实施方案的简练描述，可以不描述实际实施方案的所有特征(即，与当前考虑的执行本发明的最佳模式不相关的那些特征，或与实现本发明不相关的那些特征)。

应理解的是，在任何实际实施方式的开发过程中，如在任何工程或设计项目中，可做出大量的具体实施方式决定。这样的开发努力可能是复杂的且耗时的，但对于那些得益于此公开内容的普通技术人员来说，不需要过多实验，所述开发努力将是一个设计、制造和生产的常规工作。

应说明的是，以上实施例仅用以说明本发明的技术方案而非限制，尽管参照较佳实施例对本发明进行了详细说明，本领域的普通技术人员应当理解，可以对本发明的技术方案进行修改或者等同替换，而不脱离本发明技术方案的精神和范围，其均应涵盖在本发明的权利要求范围当中。