滑动部件

技术领域

本发明涉及相对旋转的滑动部件，例如涉及对汽车、一般产业机械或者其他密封领域的旋转机械的旋转轴进行轴封的轴封装置所用的滑动部件，或者涉及汽车、一般产业机械或者其他轴承领域的机械轴承所用的滑动部件。

背景技术

作为防止被密封液体泄漏的轴封装置，例如机械密封具备相对旋转且滑动面彼此滑动的一对环状滑动部件。在这样的机械密封中，近年来，为了保护环境等，希望降低由于滑动而损失掉的能量，在滑动部件的滑动面设有与高压的被密封液体侧即外径侧连通并且在滑动面一端堵塞的正压产生槽。由此，当滑动部件相对旋转时，在正压产生槽产生正压，滑动面彼此分离，同时从外径侧对正压产生槽导入被密封液体，通过保持被密封液体来提高润滑性，实现低摩擦化。

进一步地，对于机械密封，为了维持长期的密封性，除了“润滑”之外还要求“密封”这样的条件。例如，专利文献1所示的机械密封在一个滑动部件中，设有与被密封液体侧连通的瑞利台阶以及倒瑞利台阶。由此，当滑动部件相对旋转时，通过瑞利台阶在滑动面之间产生正压而滑动面彼此分离，并且瑞利台阶保持被密封液体，由此提高了润滑性。另一方面，因为在倒瑞利台阶产生相对负压，并且倒瑞利台阶与瑞利台阶相比被配置在靠泄漏侧，所以能够将从瑞利台阶向滑动面之间流出的高压被密封液体吸入倒瑞利台阶。这样，防止一对滑动部件之间的被密封液体向泄漏侧泄漏，提高了密封性。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：国际公开第2012/046749号(第14-16页，图1)。

然而，在专利文献1中，因为其构造是通过倒瑞利台阶来使被密封液体返回到被密封液体侧，所以存在被密封液体未被供给到在滑动面之间的泄漏侧，产生无助于润滑性的部分之虞，要求润滑性更高的滑动部件。

发明内容

本发明是鉴于这样的问题点而完成的，其目的在于提供一种滑动部件，将被密封流体供给到滑动面之间的泄漏侧来发挥高润滑性，并且被密封流体的泄漏少。

为了解决所述课题，本发明的滑动部件是环状的滑动部件，被配置在旋转机械相对旋转的部位，在所述滑动部件的滑动面设有多个动压产生机构，所述动压产生机构由与泄漏侧连通的深槽部和与该深槽部连通并在周向延设的浅槽部构成。

由此，深槽部因为槽深度深且容积大，所以能够将供给到滑动面泄漏侧的大量的被密封流体回收，来使被密封流体从浅槽部流出到滑动面之间，因此能够以较大面积的滑动面来提高润滑性。另外，通过与泄漏侧连通的深槽部来回收被密封流体，将回收的被密封流体从浅槽部流出到滑动面之间，并使其一部返回径向被密封流体侧，因此向泄漏侧泄漏的被密封流体变少。

也可以是，所述深槽部沿着径向延伸。

由此，能够不受动压影响地将被密封流体保持在深槽部。

也可以是，在所述浅槽部与所述深槽部的连通部分，形成有深度方向的台阶。

由此，能够不受动压影响地在深槽部保持被密封流体。

也可以是，所述浅槽部从所述深槽部沿着周向两侧延伸。

由此，因为能够将在深槽部的周向的任一方配置的浅槽部作为动压产生用的浅槽部来加以利用，所以能够不限于滑动部件的相对旋转方向地使用。

也可以是，所述动压产生机构中的一个浅槽部与相邻的所述动压产生机构中的另一个浅槽部在周向相邻。

由此，当滑动部件相对旋转时，能够通过相邻的动压产生机构中的另一个浅槽部，来回收从动压产生机构中的一个浅槽部供给滑动面之间并想要向泄漏侧移动的被密封流体。

也可以是，所述深槽部与内径侧连通。

由此，能够通过离心力将从浅槽部对滑动面之间供给的被密封流体返回到被密封流体侧，并且易于通过离心力来在深槽部内保持被密封流体。

也可以是，在所述滑动部件的滑动面具备特定动压产生机构，所述特定动压产生机构被配置于与所述动压产生机构相比靠被密封流体侧，与所述动压产生机构独立。

由此，当滑动部件相对旋转时，能够一边通过特定动压产生机构使滑动面之间分离来在滑动面之间生成适当流体膜，一边通过动压产生机构来降低被密封流体向泄漏侧的泄漏。

此外，本发明所涉及的滑动部件的浅槽部沿着周向延设是指，浅槽部至少具有周向分量地延设即可，优选与径向相比沿着周向的分量较大这样地延设即可。另外，深槽部沿着径向延伸是指，深槽部至少具有径向分量地延设即可，优选与周向相比沿着径向的分量变大那样地延设即可。

另外，被密封流体可以是液体，也可以是液体和气体混合后的雾状体。

附图说明

图1是表示本发明的实施例1中的机械密封的一例的纵截面图。

图2是从轴向观察静止密封环的滑动面的图。

图3是A-A截面图。

图4是静止密封环的滑动面中的要部放大图。

在图5中，(a)～(c)是对在相对旋转初始从液体引导槽部的内径侧吸入的被密封液体在滑动面之间流出的动作进行说明的概要图。

图6是从轴向观察本发明的实施例2中的静止密封环的滑动面的图。

图7是从轴向观察本发明的实施例3中的静止密封环的滑动面的图。

在图8中，(a)是表示本发明的变形例1的说明图，(b)是表示本发明的变形例2的说明图。

图9是从轴向观察本发明的实施例4中的静止密封环的滑动面的图。

图10是从轴向观察本发明的实施例5中的静止密封环的滑动面的图。

图11是从轴向观察本发明的实施例6中的静止密封环的滑动面的图。

在图12中，(a)是表示本发明的变形例3的说明图，(b)是表示本发明的变形例4的说明图。

在图13中，(a)是表示本发明的变形例5的说明图，(b)是表示本发明的变形例6的说明图。

在图14中，(a)是表示本发明的变形例7的说明图，(b)是表示本发明的变形例8的说明图。

在图15中，(a)是表示本发明的变形例9的说明图，(b)是表示本发明的变形例10的说明图。

在图16中，(a)是表示本发明的变形例11的说明图，(b)是表示本发明的变形例12的说明图。

具体实施方式

基于实施例，在以下说明用于实施本发明所涉及的滑动部件的方式。

实施例1

针对实施例1所涉及的滑动部件，参照图1至图5来进行说明。此外，在本实施例中，列举滑动部件是机械密封的方式为例来进行说明。另外，假设构成机械密封的滑动部件的外径侧作为被密封流体侧即被密封液体侧(高压侧)，假设内径侧作为泄漏侧即大气侧(低压侧)，来进行说明。另外，为了说明的方便，在附图中有时对在滑动面上形成的槽等标注了点。

图1所示的一般产业机械用的机械密封是内插(inside)型密封件，对想要从滑动面的外径侧朝向内径侧泄漏的被密封液体F进行密封，主要由旋转密封环20和静止密封环10构成，所述旋转密封环20是圆环状滑动部件，以在旋转轴1上经由套筒2与旋转轴1能够一起地旋转的状态下设置，所述静止密封环10是圆环状滑动部件，在固定于被安装设备的壳体4的密封罩5上以非旋转状态且在轴向能够移动的状态下设置，通过波纹管7沿着轴向对静止密封环10施力，能够使得静止密封环10的滑动面11与旋转密封环20的滑动面21相互贴紧滑动。此外，旋转密封环20的滑动面21是平坦面，在该平坦面上未设置凹陷部。

静止密封环10以及旋转密封环20代表性地以SiC(硬质材料)彼此或者SiC(硬质材料)和碳(软质材料)的组合而形成，但是不限于此，滑动材料只要能够作为机械密封用滑动材料而使用即可。其中，作为SiC，以硼、铝、碳等为烧结助剂的烧结体为代表，存在成分、组分不同的2种类以上相所构成的材料，例如存在分散了石墨(graphite)颗粒的SiC，SiC和Si构成的反应烧结SiC、SiC-TiC、SiC-TiN等，作为碳，以碳和石墨混合而成的碳为代表，能够利用树脂成形碳、烧结碳等。另外，除了上述滑动材料以外，还能够适用金属材料、树脂材料、表面改性材料(涂覆材料)或复合材料等。

如图2所示，旋转密封环20相对于静止密封环10以箭头所示那样相对滑动，在静止密封环10的滑动面11上，多个动压产生机构14沿着静止密封环10的周向均等地配设。滑动面11的动压产生机构14以外的部分为成为平端面的地部12。

接着，针对动压产生机构14的概略，基于图2～图4来进行说明。此外，以下，当静止密封环10以及旋转密封环20相对旋转时，将图4的纸面左侧作为在后述的瑞利台阶9A内流动的被密封液体F的下游侧，将图4的纸面右侧作为在瑞利台阶9A内流动的被密封液体F的上游侧，来进行说明。

动压产生机构14具备：液体引导槽部15，其作为深槽部，与大气侧连通，沿着外径向延伸；以及瑞利台阶9A，其作为浅槽部，从液体引导槽部15的外径侧端部朝向下游侧，与静止密封环10同心状地沿着周向延伸。即，动压产生机构14通过液体引导槽部15和瑞利台阶9A，从正交的方向观察滑动面11为倒L字形状。此外，本实施例1的液体引导槽部15以与静止密封环10的轴正交的方式沿着径向延伸。另外，液体引导槽部15和瑞利台阶9A连通，在连通部分形成有深度方向的台阶18。

另外，瑞利台阶9A在下游侧的端部形成有相对于旋转方向正交的壁部9a。此外，壁部9a不限于在旋转方向正交，例如可以相对于旋转方向倾斜，也可以台阶状地形成。

另外，液体引导槽部15的深度尺寸L10深于瑞利台阶9A的深度尺寸L20(L10>L20)。具体而言，本实施例1中的液体引导槽部15的深度尺寸L10形成100μm，瑞利台阶9A的深度尺寸L20形成5μm。即，在液体引导槽部15与瑞利台阶9A之间，通过液体引导槽部15中的下游侧的侧面和瑞利台阶9A的底面来形成深度方向的台阶18。此外，液体引导槽部15的深度尺寸比瑞利台阶9A的深度尺寸形成得深即可，液体引导槽部15以及瑞利台阶9A的深度尺寸能够自由地变更，优选尺寸L10是尺寸L20的5倍以上。

此外，瑞利台阶9A的底面呈平坦面并与地部12平行地形成，但是不妨碍在平坦面上设置细微凹部或相对于地部12倾斜那样地形成。进一步地，在瑞利台阶9A的周向延伸的两个圆弧状面分别与瑞利台阶9A的底面正交。另外，液体引导槽部15的底面呈平坦面并与地部12平行地形成，但是不妨碍在平坦面上设置细微凹部或相对于地部12倾斜那样地形成。进一步地，在液体引导槽部15的径向延伸的两个平面分别与液体引导槽部15的底面正交。

接着，针对静止密封环10与旋转密封环20相对旋转时的动作，进行说明。首先，当旋转密封环20不旋转的一般产业机械未工作时，其状态是比滑动面11、21靠外径侧的被密封液体F由于毛细管现象稍微进入滑动面11、21之间，同时在动压产生机构14中混在一般产业机械停止时残留的被密封液体F与从比滑动面11、21靠内径侧进入的大气。此外，被密封液体F与气体相比粘度较高，因此当一般产业机械停止时从动压产生机构14向低压侧泄漏出的量较少。

当一般产业机械停止时在动压产生机构14上几乎未残留被密封液体F的情况下，如果旋转密封环20相对于静止密封环10相对旋转(参照图2的黑箭头)，则如图4所示，大气侧的低压侧流体A被以箭头L1所示从液体引导槽部15导入，并且由于瑞利台阶9A而使得低压侧流体A沿着旋转密封环20的旋转方向如箭头L2所示那样追随移动，因此会在瑞利台阶9A内产生动压。

作为瑞利台阶9A的下游侧端部的壁部9a附近压力最高，低压侧流体A如箭头L3所示，从壁部9a附近向其周边流出。此外，随着朝向瑞利台阶9A的上游侧，压力逐渐变低。

另外，当静止密封环10与旋转密封环20相对旋转时，对滑动面11、21之间从它们的外径侧随时流入高压的被密封液体F，形成所谓的流体润滑。此时，瑞利台阶9A附近的被密封液体F如上述那样，在瑞利台阶9A的尤其是下游侧变成高压，如箭头H1所示，保持位于地部12不变，几乎不进入瑞利台阶9A。另一方面，液体引导槽部15附近的被密封液体F由于液体引导槽部15是深槽部且与低压侧连通，因此如箭头H2所示，易于进入液体引导槽部15。此外，被密封液体F因为是液体且表面张力大，所以易于沿着液体引导槽部15的侧壁面移动而进入液体引导槽部15。

下面，对被吸入液体引导槽部15的被密封液体F在滑动面11、21之间流出的动作进行说明。

在动压产生机构14上几乎没有残留被密封液体F的情况下，如果旋转密封环20相对于静止密封环10相对旋转(参照图2的黑箭头)，则如图5(a)所示，进入液体引导槽部15的被密封液体F如符号H3所示，成为块状液滴。之后，如图5(b)所示，当液滴达到某个程度的体积时，如符号H4所示，在瑞利台阶9A的上游侧形成的相对较低的压力会使得其被吸入瑞利台阶9A。同时，新被密封液体F进入液体引导槽部15，成为液滴H3’。此时，比图5(a)中的相对旋转的初始状态多的被密封液体F进入液体引导槽部15。

之后，如图5(c)所示，被吸入瑞利台阶9A的被密封液体F从旋转密封环20受到较大的剪切力，一边压力变高一边在瑞利台阶9A内向下游侧移动，如箭头H5所示在壁部9a附近流出。同时，更多新的被密封液体F通过液体引导槽部15进入，成为液滴H3”，同时液滴H3’如符号H4’所示，被吸入瑞利台阶9A。

之后，与图5(c)所示的状态相比，进入液体引导槽部15的被密封液体F的量增加，成为被密封液体F从瑞利台阶9A连续性地向滑动面11、21之间流出的稳定状态。在稳定状态下，在滑动面11、21之间从它们的外径侧或瑞利台阶9A随时流入高压的被密封液体F，如上述那样成为流体润滑。此外，经过图5(a)、(b)、(c)到成为稳定状态为止，过渡时间较短。另外，当一般产业机械停止时被密封液体F残留于动压产生机构14的情况下，根据被密封液体F残留于动压产生机构14的量的不同，从图5(a)的状态、图5(b)的状态、图5(c)的状态、稳定状态中的任意状态开始动作。

在此，因为液体引导槽部15是深槽部并且与低压侧连通，所以如箭头H5所示的被密封液体F易于被吸入相邻的液体引导槽部15内，能够使得滑动面11、21之间的被密封液体F的量稳定，维持较高润滑性。另外，与气体相比，液体的相对于固体的界面张力较大，因此易于在滑动面11、21之间保持被密封液体F，大气易于排出到比静止密封环10、旋转密封环20靠内径侧。

如以上这样，在静止密封环10和旋转密封环20相对旋转时，在瑞利台阶9A中，吸入进入了液体引导槽部15的被密封液体F，来产生动压。液体引导槽部15因为槽深度深且容积大，所以即便将被密封液体F供给到滑动面11的低压侧，也能够回收被密封液体F并通过瑞利台阶9A将其返回到滑动面11、21之间，能够以较大面积的滑动面11来提高润滑性。另外，通过与和滑动面11、21靠内径侧的低压侧连通的液体引导槽部15，来回收被密封液体F，因此向低压侧泄漏的被密封液体F变少。

另外，因为大量的被密封液体F被保持在液体引导槽部15，所以能够充分确保被吸入瑞利台阶9A内的被密封液体F的量，同时即便在液体引导槽部15中保持的被密封液体F的量短时间发生了增减，也能够使吸入瑞利台阶9A内的被密封液体F的量大致固定，能够避免滑动面11、21润滑不够。另外，因为液体引导槽部15与低压侧连通，所以与滑动面11、21之间的被密封液体F的压力相比，液体引导槽部15内的压力较低，液体引导槽部15的附近的被密封液体F易于被吸入液体引导槽部15内。

另外，液体引导槽部15沿着径向延伸。具体而言，液体引导槽部15沿着与静止密封环10的中心轴正交的方向延伸，从其外径侧端部开始瑞利台阶9A以交叉的方式在周向配置，因此难以受到在瑞利台阶9A内产生的被密封液体F的流动惯性或动压的影响。这样，附着于静止密封环10的内侧面的被密封液体F或低压侧流体A难以被从液体引导槽部15的内径侧直接吸入瑞利台阶9A。另外，能够不直接地受到动压影响地将被密封液体F保持在液体引导槽部15。

另外，因为缩短了液体引导槽部15的周向的宽度，所以能够在静止密封环10的周向大量配置，因此设计自由度高。此外，液体引导槽部15不限于与静止密封环10的中心轴正交方向，也可以从与静止密封环10的中心轴正交的位置倾斜，但是优选是小于45度的斜率。进一步地，液体引导槽部15的形状可以是圆弧状等，能够自由变更。

另外，在瑞利台阶9A与液体引导槽部15的连通部分，通过液体引导槽部15中下游侧的侧面和瑞利台阶9A的底面来形成台阶18，因此能够不直接受到动压影响地将被密封液体F保持在液体引导槽部15。

另外，瑞利台阶9A遍布径向的整个宽度地与液体引导槽部15连通，因此能够确保瑞利台阶9A相对于液体引导槽部15的开口区域，能够高效地吸上在液体引导槽部15中保持的被密封液体F。

另外，液体引导槽部15与静止密封环10的内径侧连通。即，滑动部件是内插型机械密封，当静止密封环10以及旋转密封环20相对旋转时，能够通过离心力将瑞利台阶9A内的被密封液体F返回到高压侧，并且能够降低被密封液体F向比滑动面11、21靠内径侧的低压侧的泄漏。

另外，在静止密封环10中设有动压产生机构14，因此当静止密封环10以及旋转密封环20相对旋转时，易于将液体引导槽部15内保持在接近大气压的状态。

此外，在本实施例1中，例示了液体引导槽部15和瑞利台阶9A从正交的方向观察滑动面11呈倒L字形状的方式，例如，但是也可以是液体引导槽部15和瑞利台阶9A不交叉而平滑地例如呈直线状或圆弧状那样地连通。

另外，也可以不在液体引导槽部15与瑞利台阶9A的连通部分设置台阶18，例如，也可以是液体引导槽部15和瑞利台阶9A以倾斜面连通。该情况下，例如，能够将具有5μm以下的深度尺寸的部分成为作为浅槽部的瑞利台阶9A，将比5μm深的部分成为作为深槽部的液体引导槽部15。

另外，浅槽部不限于与静止密封环同心状地沿着周向延伸的方式，例如，也可以是下游侧端部面向高压侧那样地圆弧状地形成。另外，浅槽部可以从深槽部直线状地延设，也可以扭曲延设。

实施例2

下面，针对实施例2所涉及的滑动部件，参照图6来进行说明。此外，省略说明因与所述实施例1相同构成而重复的构成。

如图6所示，设于静止密封环101的动压产生机构141具备液体引导槽部15、瑞利台阶9A以及倒瑞利台阶9B，所述倒瑞利台阶9B作为浅槽部，从液体引导槽部15的外径侧端部朝向下游侧，与静止密封环101同心状地沿着周向延伸。即，动压产生机构141从正交方向观察滑动面11呈T字形状。另外，倒瑞利台阶9B与瑞利台阶9A相同，以5μm的深度尺寸形成。

当旋转密封环20绕以图6的实线箭头所示的纸面逆时针旋转的情况下，低压侧流体A按照箭头L1、L2、L3的顺序移动，在瑞利台阶9A内产生动压。另外，在旋转密封环20绕以图6的虚线箭头所示的纸面顺时针旋转的情况下，低压侧流体A按照箭头L1、L2’、L3’的顺序移动，在倒瑞利台阶9B内产生动压。即，在旋转密封环20绕图6的纸面顺时针旋转的情况下，倒瑞利台阶9B作为瑞利台阶发挥功能，瑞利台阶9A作为倒瑞利台阶发挥功能。

这样，从液体引导槽部15到周向两侧延设瑞利台阶9A以及倒瑞利台阶9B，能够将瑞利台阶9A以及倒瑞利台阶9B中的任一方作为动压产生用的浅槽部来加以利用，因此能够与静止密封环101和旋转密封环20的相对旋转方向无关地使用。

另外，动压产生机构141中的瑞利台阶9A与相邻的动压产生机构141’的倒瑞利台阶9B在周向相邻。由此，想要从动压产生机构141中的瑞利台阶9A的壁部9a附近流出并向内径侧移动的被密封液体F被从相邻的动压产生机构141’中的倒瑞利台阶9B吸入，因此能够降低被密封液体F向低压侧的泄漏。

此外，在本实施例2中，例示了瑞利台阶9A以及倒瑞利台阶9B是相同的深度尺寸的情况，但是也可以以不同的深度尺寸形成。另外，两者对于周向长度或径向宽度可以相同，也可以不同。

另外，也可以使得动压产生机构141中的瑞利台阶9A和相邻的动压产生机构141’的倒瑞利台阶9B在周向分离，进一步地提高使滑动面11、21之间分离的压力。

实施例3

下面，针对实施例3所涉及的滑动部件，参照图7来加以说明。此外，省略说明因与所述实施例2相同构成而重复的构成。

如图7所示，在静止密封环102形成多个动压产生机构141和特定动压产生机构16。特定动压产生机构16具备：液体引导槽部161，其与高压侧连通；瑞利台阶17A，其从液体引导槽部161的内径侧端部朝向下游侧，与静止密封环102同心状地在周向延伸；以及倒瑞利台阶17B，其从液体引导槽部161的内径侧端部朝向上游侧，与静止密封环102同心状地在周向延伸。液体引导槽部161和液体引导槽部15在周向形成在对应的位置。另外，液体引导槽部161作为特定动压产生机构16的深槽部发挥功能，瑞利台阶17A以及倒瑞利台阶17B作为特定动压产生机构16的浅槽部发挥功能。

动压产生机构141的瑞利台阶9A以及倒瑞利台阶9B与特定动压产生机构16的瑞利台阶17A以及倒瑞利台阶17B相比在周向形成得较长。另外，瑞利台阶17A以及倒瑞利台阶17B的深度尺寸与瑞利台阶9A以及倒瑞利台阶9B相同，形成5μm。另外，瑞利台阶17A以及倒瑞利台阶17B的径向宽度与瑞利台阶9A以及倒瑞利台阶9B的径向宽度相比形成得宽度较小。即，动压产生机构141的容积大于特定动压产生机构16的容积。

在旋转密封环20绕图7的实线箭头所示的纸面逆时针旋转的情况下，被密封液体F以箭头L11、L12、L13的顺序移动，在瑞利台阶17A内产生动压。另外，在旋转密封环20绕图7的虚线箭头所示的纸面顺时针旋转的情况下，被密封液体F以箭头L11、L12’、L13’的顺序移动，在倒瑞利台阶17B内产生动压。这样，能够与静止密封环102和旋转密封环20的相对旋转方向无关地在特定动压产生机构16内产生动压。

另外，能够一边通过在特定动压产生机构16产生的动压来使滑动面11、21之间分离并生成适当液膜，一边通过动压产生机构141回收想要从滑动面11向低压侧泄漏的被密封液体F。

另外，因为动压产生机构141的容积大于特定动压产生机构16的容积，因此能够增加动压产生机构141的瑞利台阶9A以及倒瑞利台阶9B的吸入力，调整低压侧的动压产生机构141和高压侧的特定动压产生机构16的动压平衡。

另外，作为动压产生机构141的终端的壁部9a和作为特定动压产生机构16的终端的壁部17a在周向错开，因此能够在滑动面11、21的周向分散压力，平衡良好。

此外，瑞利台阶9A以及倒瑞利台阶9B的周向长度与瑞利台阶17A以及倒瑞利台阶17B相同，或者形成得短于瑞利台阶17A以及倒瑞利台阶17B。另外，瑞利台阶17A以及倒瑞利台阶17B也可以形成为与瑞利台阶9A以及倒瑞利台阶9B不同的深度尺寸。另外，瑞利台阶17A以及倒瑞利台阶17B的径向宽度也可以形成得与瑞利台阶9A以及倒瑞利台阶9B的径向宽度相比较大。优选动压产生机构141的容积大于特定动压产生机构16的容积大即可。

下面，说明特定动压产生机构的变形例。如图8(a)所示，变形例1的特定动压产生机构是从正交方向观察滑动面11呈圆形的凹形状的凹痕30。此外，凹痕30的形状、数量或配置等能够自由变更。

另外，如图8(b)所示，变形例2的特定动压产生机构是朝向径向一边倾斜一边圆弧状地延伸的圆弧槽31、32。具体而言，圆弧槽31、32其外径侧的端部与高压侧连通，圆弧槽31在瑞利台阶9A的外径侧配设有多个，圆弧槽32在倒瑞利台阶9B的外径侧配设有多个。

另外，圆弧槽31的形状是当旋转密封环20绕图8(b)的纸面逆时针旋转时被密封液体F朝向内径侧移动，圆弧槽32的形状是当旋转密封环20绕图8(b)的纸面顺时针旋转时被密封液体F朝向内径侧移动。当旋转密封环20绕逆时针旋转时圆弧槽31的内径侧压力变高，绕顺时针旋转时圆弧槽32的内径侧压力变高，因此能够分离滑动面11、21来生成适当液膜。此外，圆弧槽31、32的形状、数量或配置等能够自由变更。

实施例4

下面，针对实施例4所涉及的滑动部件，参照图9来进行说明。此外，省略说明因与所述实施例2相同构成而重复的构成。

如图9所示，静止密封环103以特定动压产生机构16位于相邻的动压产生机构141彼此之间的方式，与动压产生机构141在周向错开配设，特定动压产生机构16与相邻动压产生机构141在径向重叠。由此，从特定动压产生机构16的瑞利台阶17A的下游侧端部流出的被密封液体F被吸入动压产生机构141的倒瑞利台阶9B，从动压产生机构141的瑞利台阶9A的下游侧流出的被密封液体F被吸入特定动压产生机构16的倒瑞利台阶17B，因为循环地进行，所以能够在滑动面11、21之间稳定形成液膜。

另外，作为动压产生机构141的终端的壁部9a和作为特定动压产生机构16的终端的壁部17a在周向错开，因此能够在滑动面11、21的周向分散压力，平衡良好。进一步地，能够将从特定动压产生机构16的瑞利台阶17A的下游侧端部流出的被密封液体F高效地回收到动压产生机构141的液体引导槽部15。

实施例5

下面，针对实施例5所涉及的滑动部件，参照图10来进行说明。此外，省略说明因与所述实施例2相同构成而重复的构成。

如图10所示，特定动压产生机构162从液体引导槽部161的外径侧端部形成瑞利台阶171A以及倒瑞利台阶171B，瑞利台阶171A以及倒瑞利台阶171B与高压侧连通。

实施例6

下面，针对实施例6所涉及的滑动部件，参照图11来进行说明。此外，省略说明因与所述实施例2相同构成而重复的构成。

如图11所示的机械密封是外插型(outside)的，对想要从滑动面的内径侧向外径侧泄漏的被密封液体F进行密封。动压产生机构141以与低压侧连通的方式配置在外径侧，特定动压产生机构16以与高压侧连通的方式配置在内径侧。此外，即便是外插型机械密封，也如所述实施例1那样，可以是动压产生机构形成与单侧旋转对应的倒L字形状或L字形状，也可以适用后述的动压产生机构的变形例。另外，也可以如所述实施例1那样不设置特定动压产生机构，也可以是特定动压产生机构如图8～图10的那样地形成。

下面，针对实施例1～5的动压产生机构的变形例，基于图12～图16来进行说明。

如图12(a)所示，变形例3的动压产生机构142的瑞利台阶91A以及倒瑞利台阶91B从液体引导槽部15的径向中央部沿着周向延设。由此，液体引导槽部15延伸到比瑞利台阶91A以及倒瑞利台阶91B靠外径侧，因此外径侧的被密封液体F易于进入液体引导槽部15，能够在液体引导槽部15内蓄积大量的被密封液体F。

另外，如图12(b)所示，对于变形例4的动压产生机构143，在作为深槽部的液体引导槽部15的外径侧错开并沿着周向延伸的作为浅槽部的槽92形成圆弧状，从正交方向观察滑动面11呈T字状。由此，能够从槽92中比液体引导槽部15靠上游侧的部位即倒瑞利台阶，对比液体引导槽部15靠下游侧的部位即瑞利台阶直接供给被密封液体F。此外，浅槽部和深槽部连通即可，深槽部中浅槽部的位置能够自由变更。

另外，如图13(a)所示，对于变形例5的动压产生机构144中的液体引导槽部151，与瑞利台阶9A以及倒瑞利台阶9B连通的外径侧端部151a的周向宽度比其内径侧端部151b小。由此，内径侧端部151b相比外径侧端部151a，沿着周向形成得宽度较大，因此易于将附着于比滑动面11靠内侧面的被密封液体F吸入到液体引导槽部151内。

另外，如图13(b)所示，对于变形例6的动压产生机构145中的液体引导槽部152，其内径侧端部152b的深度尺寸与外径侧端部152a的深度尺寸相比形成得较深。由此，在内径侧端部152b和外径侧端部152a的连通部分形成台阶，因此在内径侧端部152b内保持的被密封液体F难以向低压侧流出。

另外，如图14(a)所示，变形例7的动压产生机构146中的液体引导槽部153由位于比瑞利台阶9A以及倒瑞利台阶9B靠内径侧的第1部位153b和与第1部位153b相比周向宽度形成得较小地并向该第1部位153b的外径侧延伸的第2部位153a构成。瑞利台阶9A以及倒瑞利台阶9B与第2部位153a的外径侧端部连通，向与第1部位153b相比靠外径侧分离配设。

另外，如图14(b)所示，对于变形例8的动压产生机构147中的液体引导槽部154，与瑞利台阶9A以及倒瑞利台阶9B连通的第2部位154a与位于其内径侧的第1部位154b相比在周向形成得较大宽度。此外，第1部位154b和瑞利台阶9A以及倒瑞利台阶9B在径向宽度相同，遍布整个宽度地连通。由此，第1部位154b与第2部位154a相比，宽度被压缩得较窄，因此在外径侧的第2部位154a内保持的被密封液体F难以向低压侧流出。

另外，如图15(a)所示，对于变形例9的动压产生机构148中的液体引导槽部155，与瑞利台阶9A以及倒瑞利台阶9B连通的部位朝向外径侧前端变细。由此，能够对液体引导槽部155的外径侧引导被密封液体F。

另外，如图15(b)所示，变形例10的动压产生机构149中的液体引导槽部156与瑞利台阶9A以及倒瑞利台阶9B相比靠内径侧的部位朝向内径侧前端变细。由此，在液体引导槽部156内保持的被密封液体F难以向低压侧流出。

另外，如图16(a)所示，变形例11的动压产生机构241中的液体引导槽部157与瑞利台阶9A以及倒瑞利台阶9B相比内径侧的部位呈圆弧状，与和瑞利台阶9A以及倒瑞利台阶9B连通的部位相比在周向鼓起形成。液体引导槽部157的内径侧的部分是曲面，因此能够顺畅地流出被密封液体F。

另外，如图16(b)所示，在变形例12的静止密封环10上，动压产生机构14和动压产生机构242沿着周向交替地配设。动压产生机构242由液体引导槽部158和从液体引导槽部158的外径侧端部向下游侧沿着周向延设的倒瑞利台阶9B构成。即，动压产生机构242从正交方向观察滑动面11呈L字形状。由此，能够不限于旋转密封环20的旋转方向地使用。

以上，基于附图对本发明的实施例进行了说明，但是具体构成不限于这些实施例，在不脱离本发明要旨的范围的变更或追加也都包括在本发明之中。

例如，在所述实施例中，作为滑动部件，以一般产业机械用的机械密封为例进行了说明，但是也可以是汽车或水泵用等其他机械密封。另外，不限于机械密封，也可以是滑动轴承等机械密封以外的滑动部件。

另外，在所述实施例中，针对动压产生机构仅设置在静止密封环上的示例进行了说明，但是可以是动压产生机构仅设置在旋转密封环20，也可以是设置于静止密封环和旋转密封环这两方。

另外，在所述实施例中，例示了在滑动部件上设有多个相同形状的动压产生机构的方式，但是也可以设置多个形状不同的动压产生机构。另外，能够适当变更动压产生机构的间隔或数量等。

另外，将被密封流体侧作为高压侧，将泄漏侧作为低压侧进行了说明，但是可以是被密封流体侧为低压侧而泄漏侧为高压侧，也可以是被密封流体侧和泄漏侧为大致相同压力。

符号说明

9A、瑞利台阶(浅槽部)；9B、倒瑞利台阶(浅槽部)；10、静止密封环(滑动部件)；11、滑动面；14、动压产生机构；15、液体引导槽部(深槽部)；16、特定动压产生机构；17A、瑞利台阶(浅槽部)；17B、倒瑞利台阶(浅槽部)；18、台阶；20、旋转密封环(滑动部件)；21、滑动面；141、动压产生机构。