一种适用于SF6分解产物检测的氦离子气相色谱仪

技术领域

本发明涉及气体检测技术领域，具体来说是一种适用于SF

背景技术

六氟化硫(SF

目前SF6气体分解产物检测主要分为现场检测和实验室检测，其中实验室检测精度和灵敏度均明显高于现场检测。在潜伏性故障发生早期，SO

因此，亟需研究相应技术以解决现有技术中SF

发明内容

本发明所要解决的技术问题在于如何解决采用氦离子气相色谱仪检测SF

本发明通过以下技术手段实现解决上述技术问题的：

一种适用于SF

载气入口与所述六通阀的载气进口连通，所述六通阀的载气出口与吸附柱的进口连通，所述吸附柱的出口与色谱柱的进口连通；所述色谱柱的出口与PDHID检测器的进口连通；所述载气入口与PDHID检测器的进口连通；

在所述载气入口与六通阀的载气进口之间串接有第一电磁阀；所述载气入口与PDHID检测器之间串接第十电磁阀；所述吸附柱与色谱柱之间依次串接有第三电磁阀、第七电磁阀、第九电磁阀；所述第九电磁阀的上游与第十电磁阀上游通过第八电磁阀串联；所述吸附柱出口至第九电磁阀上游之间还依次串接有第二电磁阀、真空泵、第五电磁阀、储气罐、第六电磁阀；所述第三电磁阀下游和真空泵出口之间还串接有第四电磁阀。本发明通过载气将定量环中样气导入后级吸附柱，吸附柱中含有足量kdhf-0型分子筛，将样气和载气在吸附柱中静置设定时间后，SO

本发明采用吸附剂将SO

进一步的，所述PDHID检测器的排气管路上串接有逆止阀。

进一步的，所述真空泵的排气管路上安装有第十一电磁阀。

进一步的，所述吸附柱包括分子筛和加热棒，所述加热棒对分子筛加热。

进一步的，检测方法包括以下步骤：

步骤.抽真空；

步骤.吹扫；

步骤.吹扫结束后六通阀通过切阀将样气进口和定量环入口连通，样气进入定量环中，定量收集一定体积气体后，六通阀通过切阀将载气进口、定量环入口、定量环出口、载气出口依次连接，载气将定量环中样气带入后级吸附柱中；

步骤.含样气的载气进入吸附柱后，此时所有电磁阀关闭，气体储存在吸附柱中，静置设定时长待SO

步骤.第三电磁阀打开设定时长后，吸附柱中的SF

进一步的，步骤抽真空具体方法为：打开真空泵，打开第二电磁阀、第三电磁阀、第六电磁阀、第七电磁阀、第十一电磁阀，其它电磁阀关闭，抽真空至设定值，然后关闭真空泵，关闭所有电磁阀。

进一步的，所述步骤中吹扫具体方法为：载气从载气入口进入，打开第一电磁阀、第十电磁阀，一路流向六通阀载气进口对六通阀进行吹扫，吹扫后气体直接排放；另一路流向PDHID检测器，对PDHID检测器进行吹扫，吹扫后气体从PDHID检测器的检测气体出口排放到外界，吹扫结束后关闭第十电磁阀。

进一步的，吹扫还包括样气管路的吹扫，具体为：样气从样气进口进入六通阀，此时六通阀通过切阀将样气进口和样气出口连通，样气从样气出口排放到外界，实现对样气管路吹扫。

进一步的，所述步骤中，所述加热棒将吸附柱中的kdhf-0型分子筛加热至100℃。

本发明的优点在于：

本实施例采用吸附剂将SO

附图说明

图1为本发明实施例1的氦离子气相色谱仪的整体结构原理图。

图2为本发明实施例1中吸附柱的结构放大图。

具体实施方式

为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

实施例1

如图1所示，本实施记载一种适用于SF

载气入口9与所述六通阀的载气进口2连通，所述六通阀的载气出口3与吸附柱的进口连通，所述吸附柱12的出口与色谱柱23的进口连通；所述色谱柱23的出口与PDHID检测器24的进口连通；所述载气入口9与PDHID检测器24的进口连通；

在所述载气入口9与六通阀的载气进口2之间串接有第一电磁阀10；所述载气入口9与PDHID检测器24之间串接第十电磁阀27；所述吸附柱12与色谱柱23之间依次串接有第三电磁阀15、第七电磁阀20、第九电磁阀22；所述第九电磁阀22的上游与第十电磁阀27上游通过第八电磁阀21串联；所述吸附柱12出口至第九电磁阀22上游之间还依次串接有第二电磁阀13、真空泵14、第五电磁阀17、储气罐18、第六电磁阀19；所述第三电磁阀15下游和真空泵14出口之间还串接有第四电磁阀16。

PDHID检测器24的检测器出口26上游还串接有逆止阀25。真空泵14的真空排气口30上游还串接有第十一电磁阀28，在真空排气口30还安装有真空计29。

本实施例中，吸附柱12上还安装有温度传感器11。吸附柱12中含有足量kdhf-03型分子筛122，该分子筛122具备良好的SO

本实施例在作业时，通过载气(氦气)将定量环中样气(含有SO

本实施例采用吸附剂将SO

实施例2

针对实施例1，本实施例提供检测方法，具体如下：

步骤1.抽真空；打开真空泵14，打开第二电磁阀13、第三电磁阀15、第六电磁阀19、第七电磁阀20、第十一电磁阀28，其它电磁阀关闭，抽真空至设定值，一般真空计显示67Pa即可，然后关闭真空泵14，关闭所有电磁阀；

步骤2.吹扫；载气(高纯氦气)从载气入口9进入实施例1的设备，打开第一电磁阀10、第十电磁阀27，一路流向六通阀载气进口2对六通阀7进行吹扫(吹扫作用是排除之前残余气体干扰，下同)，吹扫后气体直接排放；另一路流向PDHID检测器24，对PDHID检测器24进行吹扫，吹扫后气体从PDHID检测器24的检测气体出口26排放到外界，吹扫结束后关闭第十电磁阀27；

样气(含SO

步骤3.吹扫结束后六通阀7通过切阀将样气进口6和定量环入口1连通，样气进入定量环8中，定量收集一定体积气体后，六通阀7通过切阀将载气进口2、定量环入口1、定量环出口4、载气出口3依次连接，载气将定量环中样气带入后级吸附柱12中；

步骤4.含样气的载气进入吸附柱12后，此时所有电磁阀关闭，气体储存在吸附柱12中，静置设定时长(一般为2min左右)待SO

步骤5.第三电磁阀15打开设定时长后，一般为3min，吸附柱12中的SF

以上实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的精神和范围。