一种上下料设备

技术领域

本申请涉及晶圆上下料的技术领域，尤其是涉及一种上下料设备。

背景技术

晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其主要用于制造芯片和集成电路，在晶圆的制作过程中，硅片会被加工成具有特定功能的微小电子组件，这些组件被集成在晶圆上则实现了集成电路的制造。目前晶圆的制作通常包括以下步骤：衬底加工成型、清洗、氧化、光刻、电离注入和扩散、沉积以及封装，其中要完成封装，首先需要在晶圆表面涂抹背胶，然后将封装件与背胶接触并放置于烘烤设备内进行固化才能得到成品，由于在工厂内通常烘烤设备和背胶设备会分别设置在不同的位置，所以在用背胶设备在晶圆上粘贴背胶后需要先下料，然后将晶圆搬运至烘烤设备才能完成上料烘烤，并且通常需要搬运的晶圆数量较多，不仅费时费力而且效率不高。

发明内容

为了便于将多个晶圆搬运至烘烤设备内进行烘烤，本申请提供一种上下料设备。

本申请提供的一种上下料设备采用如下技术方案：

一种上下料设备，包括输送装置，所述输送装置上设有上下料装置和固定架，所述固定架上放置有用于存放多个晶圆的储料架，所述上下料装置用于移动储料架并放置于烘烤设备内，所述输送装置用于带动上下料装置和固定架移动；

还包括PLC程控器，所述输送装置和所述上下料装置均与PLC程控器连接。

通过采用上述技术方案，能够将多个晶圆存放于储料架内，然后驱动输送装置即可带动储料架移动至烘烤设备一侧，此时驱动上下料装置能够将放有晶圆的储料架移动至烘烤设备内进行烘烤；PLC程控器能够优化上述动作效率，本申请能效率较高的将多个晶圆搬运至烘烤设备内进行烘烤。

优选的，所述储料架包括放置于固定架上的底盘，所述底盘上设有若干竖板，每一所述竖板上均设有多组用于放置晶圆的承托板组，所述竖板顶端设有第一相抵件，所述第一相抵件用于与上下料装置相抵从而便于上下料装置移动储料架。

通过采用上述技术方案，能够将一个晶圆对应放置于一层承托板组上从而在储料架上放置多个晶圆，之后驱动上下料装置能够通过与第一相抵件相抵的方式来移动储料架。

优选的，所述底盘包括与竖板相连的底板，所述底板上设有多个抵靠件，所述固定架上设有多个限位柱，多个所述限位柱用于与抵靠件相抵从而对储料架进行限位。

通过采用上述技术方案，在将储料架放置于固定架上后，能通过多个限位柱来对储料架进行限位。

优选的，所述固定架上还设有限位开关，所述限位开关用于检测储料架在固定架上的位置，所述PLC程控器响应于限位开关的检测信号而控制上下料装置运作。

通过采用上述技术方案，限位开关能够检测储料架的位置，从而便于PLC程控器控制上下料装置运作。

优选的，所述上下料装置包括驱转件，所述驱转件设于输送装置上，所述驱转件上设有机械手，所述机械手上设有第二相抵件，所述机械手用于带动第二相抵件与第一相抵件相抵从而移动储料架。

通过采用上述技术方案，机械手能够带动第二相抵件移动从而与第一相抵件相抵来带动储料架移动。

优选的，所述第一相抵件包括设于竖板上的横连接部，所述横连接部顶端设有竖连接部，所述竖连接部顶端设有第一抵板；所述第二相抵件包括连接于机械手的第二抵板，所述第二抵板上开有容纳槽，所述容纳槽用于容纳第一抵板并对第一抵板限位，所述第二抵板上位于容纳槽内设有用于与第一抵板相抵的台阶部。

通过采用上述技术方案，驱动机械手能够将第二抵板移动使得第一抵板位于容纳槽内且第一抵板在台阶部上方，容纳槽能够对第一抵板进行限位，此时驱动机械将第二抵板向上移动即可抬起储料架从而移动储料架。

优选的，所述机械手为七轴机械手；所述固定架上形成有多个存放区域，每一所述存放区域均包括相对设置的第一出料口和第二出料口。

通过采用上述技术方案，由于晶圆生产室内通常较为狭窄，使用七轴机械手能够便于在狭窄空间内移动储料架；驱动七轴机械手能够便于将储料架自第一出料口或第二出料口移出。

优选的，所述输送装置包括安装基座，所述安装基座上滑动连接有固定板，所述固定板相连于固定架和上下料装置；

所述安装基座上设有传动齿条，所述固定板上转设有转动轮，所述转动轮与传动齿条啮合；所述固定板上还设有驱动件，所述驱动件与转动轮相连，所述驱动件用于带动转动轮转动从而使得固定板移动；所述安装基座上沿着滑轨设置方向设有滑触线，所述滑触线用于与外部电源连接，所述固定板上设有通电臂，所述通电臂与滑触线、驱动件、机械手均相连，所述通电臂用于使得外部电源能够通过滑触线对机械手和驱动件进行供电。

通过采用上述技术方案，驱动驱动件能够使得固定板在安装基座上滑动，固定架和上下料装置能够随着固定板的移动而移动；通过固定板滑动时滑触线与供电臂的连接来实现外部电源对机械手和驱动件的供电，此结构能够减少电线等其他供电结构，从而能够在狭窄空间内实现供电。

优选的，所述安装基座上沿着传动齿条设置方向设有滑轨，所述固定板上设有滑块，所述滑块与滑轨之间滑动连接。

综上所述，本发明包括以下至少一种有益技术效果：

1．能够将多个晶圆存放于储料架内，然后驱动输送装置即可带动储料架移动至烘烤设备一侧，此时驱动上下料装置能够将放有晶圆的储料架移动至烘烤设备内进行烘烤；PLC程控器能够优化上述动作效率，本申请能效率较高的将多个晶圆搬运至烘烤设备内进行烘烤；

2.由于晶圆生产室内通常较为狭窄，使用七轴机械手能够便于在狭窄空间内移动储料架，通过固定板滑动时滑触线与通电臂的接触来实现外部电源对机械手的供电，此结构能够减少电线等其他供电结构，从而能够在狭窄空间内实现供电。

附图说明

图1是本申请实施例中一种上下料设备的整体结构示意图；

图2是用于体现输送装置的结构示意图；

图3是用于体现转动轮的结构示意图；

图4是用于体现上下料装置的结构示意图；

图5是用于体现储料架的结构示意图；

图6是用于体现第二相抵件的结构示意图；

图7是用于体现限位柱的结构示意图；

图8是用于体现限位开关的结构示意图。

附图中标记：1、输送装置；11、安装基座；12、滑轨；13、滑块；14、固定板；15、传动齿条；16、转动轮；17、驱动件；18、滑触线；19、通电臂；2、上下料装置；21、驱转件；22、机械手；23、第二相抵件；231、第二抵板；232、容纳槽；233、台阶部；3、固定架；31、存放区域；311、第一出料口；312、第二出料口；32、限位柱；33、限位开关；4、储料架；41、底盘；411、底板；412、抵靠件；42、竖板；43、承托板组；44、第一相抵件；441、横连接部；442、竖连接部；443、第一抵板。

具体实施方式

以下结合附图对本发明作进一步详细说明。

在本发明的描述中，需要理解的是，涉及到方位描述，例如上、下、前、后、左、右等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

本申请实施例公开一种上下料设备。用于便于将在背胶设备上粘贴好背胶的多个晶圆搬运至烘烤设备内进行烘烤。参照图1，一种上下料设备包括输送装置1，输送装置1的一端位于背胶设备一侧，输送装置1的另一端位于烘烤设备一侧，输送装置1上设有上下料装置2和固定架3，固定架3上沿着竖向形成有多个存放区域31，每一存放区域31内均放置有多个用于存放多个晶圆的储料架4，储料架4的大小是基于晶圆大小而确定的，在本实施例中每一存放区域31内可以放置三个储料架4，而在其他实施例中，每一存放区域31内可以放置两个或其他数量的储料架4，上下料装置2用于移动储料架4并放置于烘烤设备内，输送装置1用于带动上下料装置2和固定架3移动；一种上下料设备还包括PLC程序控制器，输送装置1和上下料装置2均与PLC程序控制器连接。

首先需要保证固定架3位于背胶设备一侧，接下来将储料架4取下然后将背胶设备上的多个晶圆存放于储料架4内，之后驱动输送装置1带动储料架4移动至烘烤设备一侧，此时驱动上下料装置2将放有晶圆的储料架4移动至烘烤设备内进行晶圆烘烤。

参照图2，输送装置1包括安装基座11，安装基座11的一端位于背胶设备的一侧，安装基座11的另一端位于烘烤设备的一侧，安装基座11上设有滑轨12，滑轨12上滑动连接有多个滑块13，多个滑块13上固设有固定板14，上下料装置2和固定架3均设于固定板14顶端。

参照图2和图3，安装基座11上沿着左右方向设有传动齿条15，固定板14上转设有转动轮16，转动轮16与传动齿条15啮合，固定板14上还设有驱动件17，驱动件17优选为减速电机，驱动件17与转动轮16相连，驱动驱动件17即可使得转动轮16沿着传动齿条15设置方向移动。结合图1，为了对驱动件17进行供电，安装基座11上沿着滑轨12设置方向设有滑触线18，滑触线18用于与外部电源连接，固定板14上设有通电臂19，通电臂19的具体结构为现有技术故此处不再赘述，通电臂19与滑触线18和驱动件17均相连，通过向滑触线18通电即可使得电流经由通电臂19而到达驱动件17。此外，通电臂19与上下料装置2也连接，外部电源还能经通电臂19对上下料装置2进行供电。

当外部电源对滑触线18进行供电时，电流经通电臂19到达驱动件17，驱动件17带动转动轮16转动从而从而使得转动轮16沿着传动齿条15设置方向滚动继而使得固定板14滑动，并且此时电流还会经通电臂19到达上下料装置2从而使得上下料装置2能够移动储料架4。

参照图4和图5，储料架4包括放置于固定架3上的底盘41，底盘41上设有若干竖板42，每一竖板42上均设有多组用于放置晶圆的承托板组43，多组承托板组43沿着竖向均匀分布，竖板42顶端设有第一相抵件44，第一相抵件44用于与上下料装置2相抵从而便于上下料装置2移动储料架4。

参照图4和图5，上下料装置2包括驱转件21，驱转件21设于输送装置1上，驱转件21优选为减速电机，驱转件21上设有机械手22，机械手22优选为七轴机械手，驱转件21用于带动机械手22转动，结合图6，机械手22上设有第二相抵件23，机械手22用于带动第二相抵件23与第一相抵件44相抵从而移动储料架4。

参照图5和图6，具体地，第一相抵件44包括设于竖板42顶端上的横连接部441，横连接部441顶端设有竖连接部442，竖连接部442顶端设有第一抵板443；第二相抵件23包括连接于机械手22的第二抵板231，第二抵板231上开有容纳槽232，容纳槽232用于容纳第一抵板443并对第一抵板443限位，第二抵板231上位于容纳槽232内设有用于与第一抵板443相抵的台阶部233。

驱动机械手22将第二抵板231移动使得第一抵板443位于容纳槽232内且第一抵板443在台阶部233上方，然后驱动机械手22将第二抵板231向上移动即可使得台阶部233抵着第一抵板443而抬起储料架4从而移动储料架4，在储料架4移动过程中，容纳槽232此时对第一抵板443进行限位从而保证储料架4移动平稳。

另外，对于通过固定板14滑动时通电臂19和滑触线18的接触来实现外部电源对机械手22的供电方式来说，此结构能够减少电线等其他供电结构，从而能够在狭窄空间内实现供电，而七轴机械手的设置也是为了能够在狭窄空间内便于移动储料架4。参照图4，而为了进一步便于七轴机械手将储料架4从固定架3上移出，结合图1，每一存放区域31均包括相对设置的第一出料口311和第二出料口312，七轴机械手能够将储料架4经第一出料口311或经第二出料口312移出。

参照图4和图5，为了防止位于固定架3上的储料架4在输送过程中移动掉落，底盘41包括与竖板42相连的底板411，底板411上设有多个抵靠件412，结合图7，固定架3上设有多个限位柱32，多个限位柱32用于与抵靠件412相抵从而对储料架4进行限位。

参照图5，为了检测获得储料架4的位置以判断储料架4是否在固定架3上放置到位，结合图8，固定架3上还设有限位开关33，限位开关33用于检测储料架4在固定架3上的位置，PLC程控器响应于限位开关33的检测信号而控制上下料装置2运作，限位开关33为现有技术故此处不再赘述。

本申请实施例中一种上下料设备的实施原理为：首先需要保证固定架3位于背胶设备一侧，接下来将储料架4取下然后将背胶设备上的晶圆存放于承托板组43上并将储料架4摆在既定位置，之后通过外部电源对滑触线18进行供电，驱动件17带动转动轮16转动从而从而使得转动轮16沿着传动齿条15上设置方向移动继而使得固定板14滑动以带动储料架4移动，此时电流还经滑触线18和供电臂到达机械手22，之后在固定架3移动至烘烤设备一侧后，驱动机械手22将第二抵板231移动使得第一抵板443位于容纳槽232内且第一抵板443在台阶部233上方，然后驱动机械手22将第二抵板231向上移动即可使得台阶部233抵着第一抵板443而抬起储料架4，最后机械手22将放有晶圆的储料架4移动至烘烤设备内进行晶圆烘烤。

本具体实施方式的实施例均为本发明的较佳实施例，并非依此限制本发明的保护范围，故：凡依本发明的结构、形状、原理所做的等效变化，均应涵盖于本发明的保护范围之内。