光学模块、图像投影用光学引擎、眼镜显示器、被检体检查装置、光学模块的制造方法

技术领域

本发明涉及光学模块、图像投影用光学引擎、眼镜显示器、被检体检查装置和光学模块的制造方法。

背景技术

AR(Augmented Reality：增强现实)眼镜、VR(Virtual Reality：虚拟现实)眼镜作为小型的可穿戴器件受到期待。在这样的器件中，发出全彩色的可见光的发光元件是用于描绘高品质的图像的中心的元件之一。在该器件中，发光元件例如独立且高速地调制表现可见光的RGB的3色各自的强度，以所期望的颜色表现活动图像。

作为这样的发光元件，在专利文献1中公开有通过将可见光的激光向波导入射，通过电流控制各颜色的激光芯片的出射强度而出射彩色的活动图像的发光元件。此外，在引用文献2中公开有经由光纤向具有形成于具有电光效应的基板的波导的外部调制器入射激光，利用外部调制器独立地调制RGB的3色各自的强度的调制器。

在AR眼镜、VR眼镜那样的可穿戴器件中，发光模块以各功能收纳于通常的眼镜型号的尺寸的方式小型化成为普及的关键。可应用于这样的可穿戴器件的小型化了的发光模块考虑使从发光元件出射的激光不经由波导等地通过镜向显示面直接反射的结构。例如，在专利文献3中公开有在1个共同的基板上搭载有激光发光元件和镜的光学模块。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2021-86976号公报

专利文献2：日本专利第6728596号公报

专利文献3：美国专利申请公开第2020/0110331号说明书

发明内容

但是，专利文献3中公开的光学模块是使激光发光元件、透镜和镜分别固接于1个共同基板上的结构，因此无法在光学模块的制造后调整向透镜入射的激光的光轴位置。因此，存在将光学模块搭载至器件时，为了使激光向显示面的规定位置出射，光学模块的搭载位置的调整变得复杂这样的技术问题。

本发明是鉴于这样的情况而完成的，其目的在于，提供在将激光发光元件、光学透镜和镜分别搭载于基板之后，能够进行光轴调整的光学模块和使用该光学模块的图像投影用光学引擎、眼镜显示器、被检体检查装置、光学模块的制造方法。

为了解决上述问题，提供以下的技术手段。

(1)本发明的第1方式所涉及的光学模块，具有在第1基板的一个主面形成有激光发光元件的激光光源部、在第2基板的一个主面形成有光扫描镜元件的镜部和在第3基板的一个主面形成有光学透镜的透镜部，上述第1基板与上述第3基板通过金属接合层接合，使从上述激光发光元件出射的激光经由上述光学透镜在上述光扫描镜元件反射。

(2)本发明的第2方式所涉及的光学模块也可以为：在第1方式中，上述第2基板与上述第3基板通过金属接合层接合。

(3)本发明的第3方式所涉及的光学模块也可以为：在第1或第2方式中，上述金属接合层至少含有金或锡。

(4)本发明的第4方式所涉及的光学模块也可以为：在第1至第3的任一个方式中，上述第1基板、上述第2基板和上述第3基板分别由硅基板、氧化铝基板、氮化铝基板、石英基板中的任一种构成。

(5)本发明的第5方式所涉及的光学模块也可以为：在第1至第4的任一个方式中，上述激光发光元件出射380nm以上且小于800nm的波长范围的可见光波段激光。

(6)本发明的第6方式所涉及的光学模块也可以为：在第1至第4的任一个方式中，上述激光发光元件出射800nm以上且小于1800nm的波长范围的近红外波段激光。

(7)本发明的第7方式所涉及的光学模块也可以为：在第1至第6的任一个方式中，上述透镜部具有上述光学透镜和支撑上述光学透镜的由硅构成的透镜保持部。

(8)本发明的第8方式所涉及的光学模块也可以为：在第1至第7的任一个方式中，上述光学透镜使从多个上述激光发光元件分别出射的激光以聚光于上述光扫描镜元件的1点的方式折射。

(9)本发明的第9方式所涉及的光学模块也可以为：在第1至第8的任一个方式中，在上述第1基板形成有与上述激光发光元件连接的第1配线层。

(10)本发明的第10方式所涉及的光学模块也可以为：在第1至第9的任一个方式中，在上述第2基板形成有与上述光扫描镜元件连接的第2配线层。

(11)本发明的第11方式所涉及的光学模块也可以为：在第1至第10的任一个方式中，上述光扫描镜元件为MEMS器件，能够任意地调整反射角度。

(12)本发明的第12方式所涉及的光学模块也可以为：在第1至第11的任一个方式中，上述激光光源部形成有多个，构成各个上述激光光源部的上述第1基板通过上述金属接合层与分别构成上述透镜部的上述第3基板接合。

(13)本发明的第13方式所涉及的光学模块也可以为：在第1至第12的任一个方式中，上述光扫描镜元件的镜面部的表面是通过中心点的截面成抛物线状的凹面镜。

(14)本发明的第14方式所涉及的图像投影用光学引擎，包括：第1至第13的任一个方式的光学模块；载置上述第1基板、上述第2基板和上述第3基板的1个共同基板；和形成于上述共同基板，控制上述激光发光元件和上述光扫描镜元件的集成电路。

(15)本发明的第15方式所涉及的眼镜显示器，具有第14方式的图像投影用光学引擎和眼镜状的框架，上述图像投影用光学引擎配备于上述镜框的镜腿部。

(16)本发明的第16方式所涉及的被检体检查装置，具有第14方式的图像投影用光学引擎和载置检查用的被检体的载物台，使上述激光从上述图像投影用光学引擎向上述载物台照射。

(17)本发明的第17方式所涉及的光学模块的制造方法，是第2方式的光学模块的制造方法，包括：在上述第1基板与上述第3基板中的至少一方的端面和上述第2基板与上述第3基板中的至少一方的端面，分别浸渍由上述金属接合层的构成材料构成的接合材料的接合材料形成工序；使上述激光光源部与上述透镜部夹着上述接合材料而相邻，另外，使上述透镜部与上述镜部相邻地配置的配置工序；使上述激光发光元件发出的激光经由上述光学透镜在上述光扫描镜元件反射，使反射后的激光向光学检测装置入射，并且调整上述激光光源部、上述透镜部和上述镜部的相互的相对位置，使上述激光的光轴对准上述光学透镜的透镜光轴和上述光扫描镜元件的中心位置的调整工序；和照射热射线来熔解上述接合材料，将上述第1基板与上述第2基板和上述第2基板与上述第3基板在上述调整工序中的调整位置上分别接合的接合工序。

(18)本发明的第18方式所涉及的光学模块的制造方法也可以为：在第17方式的光学模块的制造方法中，上述热射线是从YAG激光装置照射的红外激光。

根据本发明，能够提供在将激光发光元件、光学透镜和镜分别搭载于基板后能够进行光轴调整的光学模块和使用该光学模块的图像投影用光学引擎、眼镜显示器、被检体检查装置、光学模块的制造方法。

附图说明

图1是表示本发明的第1实施方式的光学模块的外观立体图。

图2是图1所示的光学模块的截面图。

图3是阶段性地表示本实施方式的光学模块的制造方法的流程图。

图4是表示本发明的第2实施方式的光学模块的外观立体图。

图5是表示本发明的第2实施方式的光扫描镜元件的作用的示意图。

图6是表示本发明的第2实施方式的另一结构的光扫描镜元件的作用的示意图。

图7是表示本发明的一个实施方式的图像投影用光学引擎的外观立体图。

图8是表示本发明的一个实施方式的眼镜显示器的主要部分放大立体图。

图9是表示本发明的一个实施方式的被检体检查装置的主要部分放大立体图。

符号的说明

10：光学模块

11：激光光源部

12：镜部

13：透镜部

14：金属接合层

15：第3基板(子载体)

16：光学透镜

17：透镜保持部

21：第1基板(子载体)

22：第2基板(子载体)

23：激光发光元件

24：光扫描镜元件(MEMS镜)。

具体实施方式

以下，参照附图说明作为应用本发明的一个实施方式的光学模块和使用它的图像投影用光学引擎、眼镜显示器、被检体检查装置、光学模块的制造方法。另外，以下所示的实施方式是为了更好地理解发明的主旨而进行具体说明的实施方式，只要没有特别指定，就并不限定本发明。此外，以下的说明中使用的附图存在为了使本发明的特征容易明白而权宜地将成为主要部分的部分放大表示的情况，各构成要素的尺寸比例等不限于与实际相同。

[光学模块：第1实施方式]

图1是表示本发明的第1实施方式的光学模块的外观立体图。此外，图2是图1所示的光学模块的截面图。

本实施方式的光学模块10具有激光光源部11、镜部12、透镜部13和金属接合层14。

激光光源部11具有第1基板(子载体)21和在该第1基板21的一个主面21a形成的激光发光元件23。

第1基板21由硅(Si)基板、氧化铝(Al

激光发光元件23由能够出射激光L的元件、例如LED构成。激光发光元件23只要能够根据使激光L入射的对象物出射任意的波长的激光L即可。

例如，激光发光元件23能够使用能够出射波长为380nm以上且小于800nm的波长范围的红色激光、绿色激光、蓝色激光等可见光波段的激光的可见光LED元件。此外，例如，激光发光元件23还能够使用能够出射800nm以上且小于1800nm的波长范围的近红外波段的激光的红外线LED元件。

激光发光元件23例如经由金属层27与第1基板21接合。金属层27例如可以由第1金属层27a和第2金属层27b的2层的金属层构成。这样的金属层27例如能够通过溅射、蒸镀、膏体化的金属的涂布等公知的方法形成。

第1金属层27a例如可以由金(Au)与锡(Sn)的合金、锡(Sn)与铜(Cu)的合金、铟(In)与铋(Bi)的合金及锡(Sn)-银(Ag)-铜(Cu)系焊料合金(SAC)等构成。第2金属层27b例如可以由金(Au)、铂(Pt)、银(Ag)、铅(Pb)、铟(In)及镍(Ni)等构成。

在第1基板21的一个主面21a，形成有一端侧与激光发光元件23连接的第1配线层25。第1配线层25是用于向激光发光元件23供给驱动电流的电气配线，例如也可以为将由金、银、铝等构成的金属薄膜按规定的图案形成的图案配线。在这样的第1配线层25的另一端侧可以形成有第1电极(电极垫)28。第1电极(电极垫)28例如与外部的驱动电源或控制用的集成电路连接。

镜部12具有第2基板(子载体)22和在该第2基板22的一个主面22a形成的光扫描镜元件24。

第2基板22由硅(Si)基板、氧化铝(Al

倾斜部22S的倾斜部22S以倾斜面22b的一部分扩展至在厚度方向上比一个主面22a深的位置的方式形成。在这样的倾斜部22S的倾斜面22b载置有光扫描镜元件24。另外，相对于倾斜面22b的一个主面22a的倾斜角度例如可以在10°～70°的范围内。

光扫描镜元件(MEMS镜)24例如是通过对硅晶片微细加工而获得的MEMS(MicroElectro Mechanical Systems(微机电系统))器件。本实施方式的光扫描镜元件24具有配备于基体24a的中央的圆形的镜面部24b、支撑该镜面部24b的梁部24c和使梁部24c弯曲的施加电极(图示略)。镜面部24b的表面(反射面)例如形成为平面状。另外，镜面部24b在本实施方式中形成为圆形，但是并不限定于圆形，也可以形成为任意的形状、例如矩形或多边形形状。

这样的光扫描镜元件24通过对施加电极施加规定的电压而产生静电力。然后，根据产生该静电力的位置使梁部24c局部弯曲，由此使被梁部24c支撑的镜面部24b的角度2维地(水平方向(X方向)和垂直方向(Y方向))变化。通过这样的镜面部24b的角度的变化，使被镜面部24b反射的激光L的反射角度变化。即，能够利用镜面部24b扫描激光L，使由激光L形成的显示面显示任意的文字或图形。

在第2基板22的一个主面22a形成有一端侧与光扫描镜元件24连接的第2配线层26。第2配线层26是用于供给使光扫描镜元件24的镜面部24b的角度变化的驱动电流的电配线，例如可以为将由金、银、铝等构成的金属薄膜按规定的图案形成的图案配线。在这样的第2配线层26的另一端侧可以形成有第2电极(电极垫)29。第2电极(电极垫)29例如与外部的驱动电源或控制用的集成电路连接。

透镜部13具有第3基板(子载体)15、在该第3基板15的一个主面15a形成的光学透镜16和支撑该光学透镜16的透镜保持部17。

第3基板15由硅(Si)基板、氧化铝(Al

光学透镜16例如可以是将从激光发光元件23出射的激光L集中，进一步提高指向性的凸透镜。

此外，透镜保持部17例如整体由硅形成，与光学透镜16的周缘部相接而支撑光学透镜16。

这样的构成光学模块10的激光光源部11、透镜部13和镜部12在直线上并列地配置。再有，构成激光光源部11的第1基板21与构成透镜部13的第3基板15之间和该第3基板15与构成镜部12的第2基板22之间相互经由金属接合层14直接接合。即，激光光源部11与镜部12夹着透镜部13通过金属接合层14一体化，构成光学模块10。

金属接合层14由能够相对于第1基板21的构成材料、第2基板22的构成材料和第3基板15的构成材料均接合的金属材料、例如至少含有金或锡的金属材料构成。更具体而言，作为金系焊料材料，能够列举金锡焊料(Au-Sn)、金锗焊料(Au-Ge)、金硅焊料(Au-Si)等。此外，作为锡系焊料材料，能够列举共晶焊料(Sn-Pb)、无铅焊料(Sn-Ag)、铜锡焊料(Sn-Cu)等。这些金属接合层14的构成材料可以根据第1基板21、第2基板22、第3基板15的构成材料适当地选择。

另外，金属接合层14并不限定于1层。例如，在第1基板21与第3基板15由相互不同的材料构成的情况下，还能够通过由使用了最适合各个基板材料的接合的金属材料的2层构成的金属接合层，接合第1基板21与第3基板15。此外，例如在第2基板22与第3基板15由相互不同的材料构成的情况下，还能够通过由使用了最适合各个基板材料的接合的金属材料的2层构成的金属接合层，接合第2基板22与第3基板15。或者，还能够利用相互不同的材料形成3层以上的金属接合层。

此外，在本实施方式中，将第1基板21与第3基板15之间和第2基板22与第3基板15之间分别通过金属接合层14接合，但本发明的光学模块也可以是至少仅第1基板21与第3基板15之间通过金属接合层14接合。在这样的结构中，也可以为第2基板22与第3基板15之间通过金属接合层14以外的各种粘接剂接合的结构、或不分为第2基板22与第3基板15而作为1个基板并在该1个基板上配置光学透镜和光扫描镜元件的结构。

[光学模块的制造方法]

说明以上那样的结构的第1实施方式的光学模块的制造方法和第1实施方式的光学模块的作用、效果。

图3是将本实施方式的光学模块的制造方法阶段性地表示的流程图。

在制造第1实施方式的光学模块10时，首先，在第1基板21的一个主面21a经由金属层27接合激光发光元件23。此外，在第1基板21的一个主面21a形成第1配线层25和第1电极28。由此获得激光光源部11(激光光源部形成工序S1)。

此外，在构成第2基板22的倾斜部22S的倾斜面22b，例如经由粘接层接合光扫描镜元件24。此外，在第2基板22的一个主面22a形成第2配线层26和第2电极29。由此获得镜部12(镜部形成工序S2)。

此外，在第3基板15的一个主面15a，例如经由粘接层接合支撑光学透镜16的透镜保持部17。由此获得透镜部13(透镜部形成工序S3)。

接着，在构成激光光源部11的第1基板21的端面、或构成透镜部13的第3基板15的一方的端面(与第1基板21相对的端面)中的至少任一方或双方，浸渍由金属接合层14的构成材料构成的接合材料。此外，在构成镜部12的第2基板22的端面、或构成透镜部13的第3基板15的另一方的端面(与第2基板22相对的端面)中的至少任一方或双方，浸渍由金属接合层14的构成材料构成的接合材料(接合材料形成工序S4)。在本实施方式中在构成透镜部13的第3基板15的一方的端面和另一方的端面浸渍接合材料。

接着，使激光光源部11、透镜部13和镜部12分别夹着接合材料而相邻地配置(临时放置)(配置工序S5)。

接着，在激光发光元件23经由第1配线层25连接电源而驱动激光发光元件23，经由构成透镜部13的光学透镜16向构成镜部12的光扫描镜元件24的镜面部24b照射激光L。此外，使在镜面部24b反射后的激光L向光学检测装置、例如光电探测器入射。然后，在该状态下进行第1基板21、第2基板22、第3基板15的相互的定位。即，以激光L的光轴与光学透镜16的透镜光轴和光扫描镜元件24的镜面部24b的中心位置一致的方式，参照光电探测器的测量值并调整激光光源部11、透镜部13和镜部12的相互的相对位置(调整工序S6)。

在本实施方式中，通过使激光光源部11的相对位置相对于透镜部13和镜部12活动，而使从激光发光元件23出射的激光L的光轴与光学透镜16的透镜光轴和光扫描镜元件24的镜面部24b的中心位置一致。

然后，在通过调整工序S6调整后的位置上，向第2基板22的一方的端面和另一方的端面分别照射热射线，熔解各个接合材料。然后将第1基板21与第3基板15的端面彼此和第2基板22与第3基板15的端面彼此经由由熔解了的接合材料冷却固化后的材料构成的各个金属接合层14接合(接合工序S7)。这样的接合工序S7中使用的热射线例如可以为从YAG激光装置照射的以波长1064μm为主体的固体激光。

经过以上那样的工序，能够制造第1实施方式的光学模块10。

根据第1实施方式的光学模块10，由于是将载置激光发光元件23的基板(第1基板21)、载置光扫描镜元件24的基板(第2基板22)和载置光学透镜16的基板(第3基板15)分别作为个别的基板，并将这样的3个基板彼此经由金属接合层14接合的结构，所以能够在制造时调整第1基板21、第2基板22和第3基板15各自的相对位置，以激光L的光轴与光学透镜16的透镜光轴和光扫描镜元件24的镜面部24b的中心位置分别一致的方式，进行激光L的光轴位置的对准(主动对准)。

由此，与例如将激光发光元件、光学透镜和镜元件全部载置于1个共同基板的现有的光学模块相比较，能够获得能够以高的位置精度照射保持着强的光量的激光L的光学模块10。

此外，由于将载置激光发光元件23的基板(第1基板21)、载置光扫描镜元件24的基板(第2基板22)和载置光学透镜16的基板(第3基板15)相互作为个别的基板来构成，所以下述的第2实施方式的光学模块的制造也是容易的。

[光学模块：第2实施方式]

接着，说明第2实施方式的光学模块的结构。对与第1实施方式相同的结构标注相同的符号，省略重复的说明。

图4是表示本发明的第2实施方式的光学模块的外观立体图。

第2实施方式的光学模块30成为分别构成3个激光光源部31A、31B、31C的第1基板41A、41B、41C相对于构成1个透镜部33的第3基板45，分别经由金属接合层14接合的结构。再有，成为透镜部33的第3基板45相对于构成1个镜部32的第2基板42经由金属接合层14接合的结构。

构成激光光源部31A的激光发光元件43A例如由出射红色激光RL的红色LED构成。此外，构成激光光源部31B的激光发光元件43B例如由出射绿色激光GL的绿色LED构成。再有，构成激光光源部31C的激光发光元件43C例如由出射蓝色激光BL的蓝色LED构成。

此外，构成透镜部33的光学透镜46是外形为椭圆形的非球面透镜，使从相互不同的方向入射的多个激光RL、GL、BL向光扫描镜元件24的镜面部24b的中心聚光。

从这些激光光源部31A、31B、31C分别出射的激光经由构成透镜部33的光学透镜46向构成镜部32的光扫描镜元件24的镜面部24b的中心聚光。再有，光扫描镜元件24的镜面部24b的表面例如为凹面状的反射面(凹面镜)。

更详细而言，如图5所示，为通过光扫描镜元件24的镜面部24b的中心的截面成抛物线状的凹面镜。这样，从激光的出射位置相互不同的激光光源部31A、31B、31C分别出射的激光RL、GL、BL经由透镜部33相对于光扫描镜元件24的镜面部24b的表面以相互不同的角度入射。但是，如本实施方式那样，能够通过使光扫描镜元件24的镜面部24b的表面为凹面状的反射面(凹面镜)，而使以相互不同的角度入射的激光RL、GL、BL作为相互平行的平行光反射。

由此，即使激光RL、GL、BL各自的出射位置不同，只要镜面部24b的投影位置的物理距离、位置关系固定，就能够向任意的1个区域照射相互平行的激光RL、GL、BL。

根据这样的第2实施方式的光学模块30，能够通过使激光光源部31A、31B、31C分别以任意的时机扫描，从而利用在光扫描镜元件24的镜面部24b反射的激光WL，使外部的显示面显示任意色调的图像、例如全彩色图像。

再有，在这样的光学模块30中，通过成为第1基板41A、41B、41C相对于1个第3基板45，分别经由金属接合层14接合的结构，从而也能够在光学模块30的制造时，在激光光源部31A、31B、31C与光学透镜46之间进行光轴位置的对准(主动对准)。由此，能够使3个激光RL、GL、BL向光扫描镜元件24的镜面部24b的中心这样的1个点准确地聚光，能够使外部的显示面显示清晰且无抖动的全彩色图像。

此外，根据第2实施方式的光学模块30，由于是使从激光光源部31A、31B、31C分别出射的激光经由光学透镜46聚光于光扫描镜元件24的镜面部24b的中心的结构，所以不需要像现有技术那样用于使多个激光合波的光波导单元等，能够实现紧凑且轻量的全彩色图像对应的光学模块30。

另外，作为第2实施方式的变形例，如图6所示，如果设为通过光扫描镜元件24的镜面部24b的中心的截面成抛物线状的凹面镜，则成为具有2组R、G、B三个激光光源部的结构，从一组激光光源部31a出射3个激光RL1、GL1、BL1，经由透镜部33a在镜面部24b的中心附近的一个区域反射。此外，还能够设为使3个激光RL2、GL2、BL2从另一组激光光源部31b出射，经由透镜部33b在镜面部24b的中心附近的另一个区域反射的结构。

由此，能够向外部的显示面等照射由相互平行的激光RL1、GL1、BL1和RL2、GL2、BL2构成的相互平行的2组RGB的激光。

[图像投影用光学引擎]

接着，说明本发明的一个实施方式的图像投影用光学引擎的结构。另外，对与第1实施方式的光学模块相同的结构标注相同的符号，省略重复的说明。

图7是表示本发明的一个实施方式的图像投影用光学引擎的外观立体图。

本实施方式的图像投影用光学引擎50具有第1实施方式的光学模块10、集成电路51和共同基板52。

集成电路51进行构成激光光源部11的激光发光元件23(参照图1、2)的发光控制、及构成镜部12的光扫描镜元件24(参照图1、2)的角度控制。

共同基板52成为载置构成激光光源部11的第1基板21、构成镜部12的第2基板22和构成透镜部13的第3基板15的1个共同的基板。

根据这样的图像投影用光学引擎50，能够作为小型化的紧凑的形状的激光图像投影单元发挥作用。例如，通过在可穿戴器件组装这样的图像投影用光学引擎50，能够实现能够确保没有不协调感的程度的穿着感且进行清晰的图像投影的可穿戴器件。

[眼镜显示器]

接着，说明本发明的一个实施方式的图像投影用光学引擎的结构。另外，对与上述的实施方式的图像投影用光学引擎相同的结构部分标注相同的符号，省略重复的说明。

图8是表示本发明的一个实施方式的眼镜显示器的主要部分放大立体图。

本实施方式的眼镜显示器60具有上述的实施方式的图像投影用光学引擎50和眼镜状的框架61。

在构成框架61的镜腿部62内置有小型化的图像投影用光学引擎50。

这样的图像投影用光学引擎50向被支撑于构成框架61的前框63的眼镜64出射构成图像光的激光。眼镜64例如是半反半透镜，被投影由从图像投影用光学引擎50出射的激光L形成的图像。眼镜显示器60的穿着者能够直接观察投影于眼镜64的内侧面的图像。

这样，根据本实施方式的眼镜显示器60，通过使用紧凑且轻便的图像投影用光学引擎50，从而能够实现不使在空间上受到制约的眼镜状的框架61的镜腿部62大幅地鼓起且维持了良好的穿戴感的眼镜显示器60。

[被检体检查装置]

接着，说明本发明的一个实施方式的被检体检查装置的结构。另外，对与上述的实施方式的图像投影用光学引擎同样的结构部分标注相同的符号，省略重复的说明。

图9是表示本发明的一个实施方式的被检体检查装置的主要部分放大立体图。

本实施方式的被检体检查装置70具有上述的实施方式的图像投影用光学引擎50和载置检查用的被检体的载物台71。

图像投影用光学引擎50向载物台71出射作用于被检体的波长的激光、例如800nm以上且小于1800nm的波长范围的近红外波段激光。载置于载物台71的被检体M通过由图像投影用光学引擎50照射的近红外波段激光L，产生特定的反应。通过对这样的激光引起的反应后的被检体进行分析，能够分析被检体的组成及病变等。

根据本实施方式的被检体检查装置70，通过使用紧凑且轻便的图像投影用光学引擎50，能够实现小型且低成本的进行生物体的光分析等的被检体检查装置70。

以上，对本发明的一个实施方式进行了说明，但该实施方式是作为例子提示的，未意图限定发明的范围。该实施方式能够以其它各种方式实施，能够在不脱离发明的主旨的范围内，进行各种省略、替换、更改。该实施方式及其变形，与包含于发明的范围及主旨相同，包含于本发明及其等同的范围内。