磨轮的表面镀膜方法

技术领域

本发明涉及磨轮表面处理技术领域，特别是涉及一种磨轮的表面镀膜方法。

背景技术

电子行业中，往往需要用磨轮对半导体进行切割，使之从长型条的状态变为独立的半导体元件。但是，传统的磨轮的耐磨性能较差，使用寿命较短。

发明内容

本发明实施例的目的是提供一种磨轮的表面镀膜方法，能够在磨轮表面镀上DLC(Diamond-like carbon，类金刚石)膜，以增加磨轮的表面硬度，减小加工过程中的摩擦磨损，从而有效延长磨轮的使用寿命。

为了解决上述技术问题，本发明实施例提供一种磨轮的表面镀膜方法，包括：

将磨轮放置在处理室内；

对所述处理室进行抽真空处理，使得所述处理室内的真空度达到第一预设真空度；

通入氩气，使得所述处理室内的真空度达到第二预设真空度；

对石墨靶源进行离子溅射处理，使得所述石墨靶源上溅射出的碳原子沉积到所述磨轮的表面，形成DLC膜。

作为上述方案的改进，所述第一预设真空度为8.0*10

作为上述方案的改进，所述第二预设真空度为5Pa。

作为上述方案的改进，在所述通入氩气，使得所述处理室内的真空度达到第二预设真空度之前，还包括步骤：

对所述处理室进行加热处理，使得所述处理室内的温度达到预设温度，并对所述处理室进行抽真空处理，使得所述处理室内的真空度维持在所述第一预设真空度。

作为上述方案的改进，所述预设温度为200-300℃。

作为上述方案的改进，在所述将磨轮放置在处理室内之前，还包括步骤：

对所述磨轮的表面进行清洗，以去除所述磨轮的表面油污。

作为上述方案的改进，在所述离子溅射处理过程中，在所述磨轮上施加的偏压为800-1000V，电流为18-20A。

作为上述方案的改进，所述沉积的时间为150-200min。

作为上述方案的改进，所述DLC膜的厚度为0.5-1.0μm。

实施本发明实施例，具有如下有益效果：

本发明实施例提供一种磨轮的表面镀膜方法，先将磨轮放置在处理室内；再对所述处理室进行抽真空处理，使得所述处理室内的真空度达到第一预设真空度；接着通入氩气，使得所述处理室内的真空度达到第二预设真空度；然后对石墨靶源进行离子溅射处理，使得所述石墨靶源上溅射出的碳原子沉积到所述磨轮的表面，形成DLC膜。采用本发明实施例提供的磨轮的表面镀膜方法，能够在磨轮表面镀上DLC膜，以增加磨轮的表面硬度，减小加工过程中的摩擦磨损，从而有效延长磨轮的使用寿命。

附图说明

图1是本发明提供的实施例中的一种磨轮的表面镀膜方法的流程图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

请参阅图1所示，其是本发明提供的实施例中的一种磨轮的表面镀膜方法的流程图，所述的磨轮的表面镀膜方法包括以下步骤：

S1、将磨轮放置在处理室内；

S2、对所述处理室进行抽真空处理，使得所述处理室内的真空度达到第一预设真空度；

S3、通入氩气，使得所述处理室内的真空度达到第二预设真空度；

S4、对石墨靶源进行离子溅射处理，使得所述石墨靶源上溅射出的碳原子沉积到所述磨轮的表面，形成DLC膜。

采用本发明实施例提供的磨轮的表面镀膜方法，能够在磨轮表面镀上具有高韧性和出色摩擦系数的DLC膜，以增加磨轮的表面硬度，减小加工过程中的摩擦磨损，从而有效延长磨轮的使用寿命。

作为其中一个可选的实施例，所述第一预设真空度为8.0*10

作为其中一个可选的实施例，所述第二预设真空度为5Pa。

作为其中一个可选的实施例，在所述通入氩气，使得所述处理室内的真空度达到第二预设真空度之前，还包括步骤：

对所述处理室进行加热处理，使得所述处理室内的温度达到预设温度，并对所述处理室进行抽真空处理，使得所述处理室内的真空度维持在所述第一预设真空度。

在本实施例中，通过对所述处理室进行加热处理，使得所述处理室内的温度达到预设温度，能够有效提高镀膜的效率和质量。

具体地，所述预设温度为200-300℃，这样能够使镀膜的效率和质量达到最佳。

作为其中一个可选的实施例，在所述将磨轮放置在处理室内之前，还包括步骤：

对所述磨轮的表面进行清洗，以去除所述磨轮的表面油污。

在本实施例中，先对所述磨轮的表面进行清洗，再进行后续的镀膜处理，能够减少磨轮表面的油污和杂质，从而提高镀膜质量。

作为其中一个可选的实施例，在所述离子溅射处理过程中，在所述磨轮上施加的偏压为800-1000V，电流为18-20A。

作为其中一个可选的实施例，所述石墨靶源上溅射出的碳原子沉积到所述磨轮的表面的总时间为150-200min。

作为其中一个可选的实施例，所述DLC膜的厚度为0.5-1.0μm，这样能够使得镀膜后的磨轮的散热性能和耐磨性能均达到最佳。

表1提供了采用本发明实施例提供的磨轮的表面镀膜方法对不同尺寸的磨轮进行镀膜所需的镀膜时间，以及镀膜厚所得到的的镀膜厚度和摩擦系数，由表1可见，采用本发明实施例提供的磨轮的表面镀膜方法对磨轮进行镀膜后，磨轮的摩擦系数很小，因此耐磨性能较好。

表1不同尺寸的磨轮需要镀膜的时间

表2提供了采用本发明实施例提供的磨轮的表面镀膜方法得到的DLC磨轮与未镀膜的普通磨轮、镀钛后的镀钛磨轮在以设定转数为15000rpm运行时的实际转数，由表2可见，采用本发明实施例提供的磨轮的表面镀膜方法对磨轮进行镀膜后，磨轮的实际转数均大于普通磨轮和镀钛磨轮，更加接近设定转数，因此生产效能更好。

表2磨轮的效能比较

表3提供了采用本发明实施例提供的磨轮的表面镀膜方法得到的DLC磨轮与未镀膜的普通磨轮、镀钛后的镀钛磨轮在以设定转数为15000rpm运行时温度从55℃降到40℃所需要的时间，由表3可见，采用本发明实施例提供的磨轮的表面镀膜方法对磨轮进行镀膜后，温度从55℃降到40℃所需要的时间相对来说更短，因此散热性能更好。

表3磨轮的散热性比较

表4供了采用本发明实施例提供的磨轮的表面镀膜方法得到的DLC磨轮与未镀膜的普通磨轮、镀钛后的镀钛磨轮在以设定转数为15000rpm运行时的更换时间，也即使用寿命，由表4可见，采用本发明实施例提供的磨轮的表面镀膜方法对磨轮进行镀膜后，更换时间相对来说更短，因此使用寿命更长。

表4磨轮的更换时间比较

以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明技术原理的前提下，还可以做出若干改进和替换，这些改进和替换也应视为本发明的保护范围。