LDI自动聚焦控制方法及曝光设备

技术领域

本发明属于LDI曝光机技术领域，特别是涉及一种LDI自动聚焦控制方法及曝光设备。

背景技术

光刻技术是用于在基底表面上印刷具有特征构图的技术。这样的基底可用于制造半导体器件、多种集成电路、平面显示器(例如液晶显示器)、电路板、生物芯片、微机械电子芯片、光电子线路芯片等，由于市面上大多数的印刷电路板都为精密线路，普遍的解析能力达到10-20μm量级，因此激光直接成像能量的均匀性是影响曝光质量的主要因素。

但是，现有技术中需要对电路板表面进行清理，但是现有清洗装置依次只能清洁电路板的单面，而现有电路板的双面都需要清洁，因此需要在清洁完单面后人工翻面继续清洁，费时费力，进而降低了电路板清洁的效率。

发明内容

本发明的目的在于提供一种LDI自动聚焦控制方法及曝光设备，解决了现有LDI曝光设备电路板不易清洁的技术问题。

为达上述目的，本发明是通过以下技术方案实现的：

一种LDI自动聚焦曝光设备，包括操作板，操作板的上侧装设有两个连接柱，连接柱的两端均弹性且滑动配合有第一滑动板、第二滑动板，操作板的上侧滑动配合有两个第一水管，两个第一水管之间连接并连通有两个第一水箱，两个第一水箱的相对侧均连接并连通有喷管，两个第一水箱的相对侧均装设有多组毛刷；

电路板，且电路板位于操作板的上侧，且第一滑动板、第二滑动板均与电路板配合。

可选的，操作板的上侧开设有一个槽道、两个滑道、多个通孔，且通孔与槽道相连通，滑道与槽道相连通，槽道的四个拐角处均装设有支撑柱，且连接柱的一侧装设在支撑柱的一端，连接柱的一侧装设有两个第一固定筒，第一固定筒的一端滑动配合有第一滑动杆，且第一滑动杆的一端装设在第一滑动板的一侧，第一滑动板的另一侧装设有第一锥形柱，且第一锥形柱的一端与电路板的拐角处配合，第一滑动板与连接柱之间装设有两个第一弹簧。

可选的，第一滑动板的一侧装设有两个第二固定筒，第二固定筒的一端滑动配合有第二滑动杆，且第二滑动杆的一端装设在第二滑动板的一侧，第二滑动板的一侧与第一滑动板之间装设有第二弹簧，第二滑动板的一侧装设有多个第二锥形柱，且第二锥形柱的一端与电路板配合，滑道的内部装设有电机、导向杆，电机的输出端装设有螺纹杆，螺纹杆的上侧螺纹配合有滑动柱，且滑动柱滑动配合在导向杆上，第一水管的一端装设在滑动柱的上端。

可选的，两个第一水管之间连接并连通有第二水管，第二水管上连接并连通有软管，软管的一端连接并连通有第三连接管，操作板的底部装设有第二水箱，且第二水箱与通孔相连通，第三连接管的一端位于第二水箱的内部，第二水箱的内部装设有水泵，且位于第二水箱内的一端与水泵的输出端相连接，操作板的一侧装设有定位块，且第三连接管位于定位块内，操作板的底部装设有四个支撑座，喷管的一端与电路板的一侧配合，毛刷的一侧与电路板的一侧配合。

一种LDI自动聚焦控制方法，包括如下步骤：

步骤1，拍摄：通过拍摄获取被测体热像数据；

步骤2，测距：用于获取被测体与拍摄装置距离的信息，测距与镜头位于大致同轴；

步骤3，聚焦，通过使用者调节拍摄装置对被测体进行聚焦操作；

步骤4，记录，通过使用者记录的指示，将聚焦操作对应的聚焦驱动参数、与对应的距离信息，生成聚焦配置信息，响应聚焦指示，根据测距步骤获得的被测体距离信息，并基于聚焦配置信息。

本发明的实施例具有以下有益效果：

本发明的一个实施例通过设置的第一滑动板、第二滑动板，方便了通过使用者滑动第一滑动板、第二滑动板对电路板进行定位及解除定位，使得电路板表面在清理过程中晃动的情况，设置的毛刷，方便了毛刷在第一水箱的带动下在电路板的表面进行驱动，进而通过毛刷对电路板表面的杂质进行清理，使得电路板表面杂质清理的过程更加的便捷。

当然，实施本发明的任一产品并不一定需要同时达到以上所述的所有优点。

附图说明

构成本申请的一部分的说明书附图用来提供对本发明的进一步理解，本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明，并不构成对本发明的不当限定。在附图中：

图1为本发明一实施例的立体结构示意图；

图2为图1中A处结构示意图；

图3为本发明一实施例的剖面结构示意图。

其中，上述附图包括以下附图标记：

操作板1，槽道101，通孔102，支撑座103，滑道104，螺纹杆105，支撑柱106，连接柱107，第一固定筒108，第一滑动杆109，第一弹簧110，第一滑动板111，第一锥形柱112，第二固定筒113，第二滑动杆114，第二弹簧115，第二锥形柱116，第二滑动板117，滑动柱118，第一水管119，第二水管120，第一水箱121，喷管122，软管123，定位块124，第三连接管125，第二水箱126，毛刷127；

电路板2。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。以下对至少一个示例性实施例的描述实际上仅仅是说明性的，决不作为对本发明及其应用或使用的任何限制。

为了保持本发明实施例的以下说明清楚且简明，本发明省略了已知功能和已知部件的详细说明。

请参阅图1-3所示，在本实施例中提供了一种LDI自动聚焦曝光设备，包括：操作板1，操作板1的上侧装设有两个连接柱107，连接柱107的两端均弹性且滑动配合有第一滑动板111、第二滑动板117，操作板1的上侧滑动配合有两个第一水管119，两个第一水管119之间连接并连通有两个第一水箱121，两个第一水箱121的相对侧均连接并连通有喷管122，两个第一水箱121的相对侧均装设有多组毛刷127；

电路板2，且电路板2位于操作板1的上侧，且第一滑动板111、第二滑动板117均与电路板2配合。

当需要对电路板2的表面进行清理时，首先滑动第一滑动板111、第二滑动板117，第一滑动板111带动第一滑动杆109在第一固定筒108内滑动并压缩第一弹簧110，第二滑动板117带动第二滑动杆114在第二固定筒113内滑动并压缩第二弹簧115，第二滑动板117带动第二锥形柱116滑动，第一滑动板111带动第一锥形柱112滑动，然后把电路板2放置在两个连接柱107之间，然后再松开第一滑动板111、第二滑动板117，第二滑动板117在第二弹簧115弹性的作用下复位并带动第二锥形柱116对电路板2进行定位，第一滑动板111在第一弹簧110弹性的作用下复位并带动第一锥形柱112对电路板2进行定位，然后启动水泵，水泵的输出端把第二水箱126内的水流入第三连接管125内，第三连接管125通过软管123流入第二水管120内，第二水管120内的水通过第一水管119流入第一水箱121内，第一水箱121内的水通过喷管122对电路板2表面上的杂质进行清理，然后启动电机，电机的输出端通过螺纹杆105带动滑动柱118滑动，滑动柱118通过第一水管119带动第一水箱121滑动，第一水箱121带动毛刷127对电路板2表面的杂质进行清理，进而完成电路板2的清理，而清理电路板2的水通过通孔102流入第二水箱126内，进而完成电路板2的清理；

当需要取出清理好的电路板2时，参考上述步骤即可。需要注意的是，本申请中所涉及的用电设备均可通过蓄电池供电或外接电源。

设置的第一滑动板111、第二滑动板117，方便了通过使用者滑动第一滑动板111、第二滑动板117对电路板2进行定位及解除定位，使得电路板2表面在清理过程中晃动的情况，设置的毛刷127，方便了毛刷127在第一水箱121的带动下在电路板2的表面进行驱动，进而通过毛刷127对电路板2表面的杂质进行清理，使得电路板2表面杂质清理的过程更加的便捷。

具体的，操作板1的上侧开设有一个槽道101、两个滑道104、多个通孔102，且通孔102与槽道101相连通，滑道104与槽道101相连通，槽道101的四个拐角处均装设有支撑柱106，且连接柱107的一侧装设在支撑柱106的一端，连接柱107的一侧装设有两个第一固定筒108，第一固定筒108的一端滑动配合有第一滑动杆109，且第一滑动杆109的一端装设在第一滑动板111的一侧，第一滑动板111的另一侧装设有第一锥形柱112，且第一锥形柱112的一端与电路板2的拐角处配合，第一滑动板111与连接柱107之间装设有两个第一弹簧110，方便了第一滑动板111在第一弹簧110弹性的作用下复位。

具体的，第一滑动板111的一侧装设有两个第二固定筒113，第二固定筒113的一端滑动配合有第二滑动杆114，且第二滑动杆114的一端装设在第二滑动板117的一侧，第二滑动板117的一侧与第一滑动板111之间装设有第二弹簧115，第二滑动板117的一侧装设有多个第二锥形柱116，且第二锥形柱116的一端与电路板2配合，滑道104的内部装设有电机、导向杆，电机的输出端装设有螺纹杆105，螺纹杆105的上侧螺纹配合有滑动柱118，且滑动柱118滑动配合在导向杆上，第一水管119的一端装设在滑动柱118的上端，方便了滑动柱118带动第一水管119滑动。

具体的，两个第一水管119之间连接并连通有第二水管120，第二水管120上连接并连通有软管123，软管123的一端连接并连通有第三连接管125，操作板1的底部装设有第二水箱126，且第二水箱126与通孔102相连通，第三连接管125的一端位于第二水箱126的内部，第二水箱126的内部装设有水泵，且位于第二水箱126内的一端与水泵的输出端相连接，操作板1的一侧装设有定位块124，且第三连接管125位于定位块124内，操作板1的底部装设有四个支撑座103，喷管122的一端与电路板2的一侧配合，毛刷127的一侧与电路板2的一侧配合。

一种LDI自动聚焦控制方法，包括如下步骤：

步骤1，拍摄：通过拍摄获取被测体热像数据；

步骤2，测距：用于获取被测体与拍摄装置距离的信息，测距与镜头位于大致同轴；

步骤3，聚焦，通过使用者调节拍摄装置对被测体进行聚焦操作；

步骤4，记录，通过使用者记录的指示，将聚焦操作对应的聚焦驱动参数、与对应的距离信息，生成聚焦配置信息，响应聚焦指示，根据测距步骤获得的被测体距离信息，并基于聚焦配置信息。

上述实施例可以相互结合。

需要说明的是，本申请的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便这里描述的本申请的实施方式能够以除了在这里图示或描述的那些以外的顺序实施。

在本发明的描述中，需要理解的是，方位词如“前、后、上、下、左、右”、“横向、竖向、垂直、水平”和“顶、底”等所指示的方位或位置关系通常是基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，在未作相反说明的情况下，这些方位词并不指示和暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位或者以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明保护范围的限制；方位词“内、外”是指相对于各部件本身的轮廓的内外。