摄影术、电影术、利用了光波以外其他波的类似技术、电记录术、全息摄影术

  • 光罩箱、保管装置及方法、搬送装置及方法、及曝光装置
    光罩箱、保管装置及方法、搬送装置及方法、及曝光装置

    一种光罩箱,能够保管于保管装置,且包括第一箱部和第二箱部,该第一箱部具有设置有支承光罩的支承部的底面,该第二箱部设置成能够相对于第一箱部装拆,并具有与底面相对配置的上表面,第二箱部具有在保持于保管装置时使用的保持部,保持部包括:第一光通过部,在安装于第一箱部的第二箱部位于被保管于保管装置的第一位置时,光通过第一光通过部;和与第一光通过部不同的第二光通过部,在从第一箱部拆下的第二箱部的保持部位于被保持于保管装置的第二位置时,光通过第二光通过部。

    2023-08-21
  • 一种户外LED投影灯
    一种户外LED投影灯

    本发明公开了一种户外LED投影灯,包括上端开口的底壳,底壳的上端开口处可拆卸连接有上盖,底壳和上盖间形成腔体,腔体内设置有第一隔板,第一隔板将腔体分隔为散热腔和工作腔,工作腔自靠近第一隔板一端至远离第一隔板一端依次设置有均光组件、胶片放映组件和镜头组件,第一隔板上设置有发光组件,散热腔内设置有第二隔板,第二隔板将散热腔分隔成进风腔和出风腔,第二隔板上端设置有连通进风腔和出风腔的若干风孔,出风腔位于第二隔板靠近第一隔板一侧,且出风腔内设置有对发光组件进行散热的散热组件,底壳的底端设置有与出风腔相通的出风口,底壳的后壁上设置有与进风腔相通的进风口,进风腔内设置有将进风腔内冷气吹入出风腔的风机。

    2023-08-21
  • 音频播放方法及相关装置
    音频播放方法及相关装置

    本申请实施例公开了一种音频播放方法及相关装置,应用于投影机,所述方法包括:确定所述多个底座中与第一音箱距离最近的第一底座;确定所述第一底座与所述第一音箱是否匹配;在所述第一底座与所述第一音箱匹配的情况下,向所述第一音箱发送第一音频信号;在所述第一底座与所述第一音箱不匹配的情况下,建立所述第一底座与所述第一音箱的通信链路,通过所述通信链路向所述第一音箱发送所述第一音频信号。这样,可以自动识别当前音箱需要播放的音频信号,使得音箱可以随意确定要摆放的底座,且不会出现声像定位紊乱的情况,提高用户的使用体验。

    2023-08-21
  • 一种激光曲面加工系统及超疏水、防覆冰和减风阻的制造 方法
    一种激光曲面加工系统及超疏水、防覆冰和减风阻的制造
方法

    本发明涉及激光曲面光刻技术领域,提供了一种激光曲面加工系统及超疏水、防覆冰和减风阻的制造方法。本发明利用带有动态聚焦功能的激光扫描系统和激光干涉光刻系统在异形曲面工件上制备图案化复合结构,首先设计特殊功能图案并导入带有动态聚焦功能的激光扫描系统,在曲面上加工出一级图案化结构;再利用五轴位移组件和激光干涉光刻系统,通过对激光干涉光场的控制,在制备的一级图案化结构上获得二级周期结构。本发明可以在任意复杂曲面上制备所设计的图案化结构,使其表面可以实现超疏水、防覆冰和减风阻的功能。

    2023-08-21
  • 一种用于EUV光源中液滴靶的一体化锡原料罐装系统
    一种用于EUV光源中液滴靶的一体化锡原料罐装系统

    本发明一种用于EUV光源中液滴靶的一体化锡原料罐装系统,基于极紫外(EUV)光源中液滴靶对锡材料的要求,主要由熔锡罐、晶纤维加热腔、真空泵、液位开关、热电偶、氮气瓶、储液罐、废液罐、高温球阀及管道组件、加热套、加热带、过滤器、自动控制装置等构成,集熔锡、过滤与罐装于一体,采用电阻丝加热方式熔锡,整个系统与氮气保护气氛及真空泵相连。通过调节熔锡罐内的气体压力,熔化后的锡液经过滤后流入储液罐,整个过程采用真空熔炼,惰性气体保护下罐装,极大程度地避免了氧化。此外,通过控制熔锡罐内的液位,保证最后1cm锡液不流入储液罐中,从而进一步降低锡液中的氧化物含量。该装置集成化程度高,操作安全方便,适用于EUV光源锡原料的罐装。

    2023-08-21
  • 曝光装置、平面显示器的制造方法、元件制造方法、及曝光 方法
    曝光装置、平面显示器的制造方法、元件制造方法、及曝光
方法

    本发明是曝光装置、平面显示器的制造方法、元件制造方法、及曝光方法。透过投影光学系(40)对基板(P)照射照明光(IL),并借由相对基板(P)驱动投影光学系(40)进行扫描曝光的液晶曝光装置(10),具备检测设于基板(P)的标记(Mk)的对准系(60)、驱动对准系(60)的第1驱动系、驱动投影光学系(40)的第2驱动系、以及以投影光学系(40)与对准系(60)彼此不接触的方式控制第1及第2驱动系的控制装置。如此,能避免投影光学系(40)与对准系(60)的接触。

    2023-08-21
  • 一种紧凑型近眼增强现实全息三维显示装置
    一种紧凑型近眼增强现实全息三维显示装置

    本发明公开了一种紧凑型近眼增强现实全息三维显示装置,包括:光源,发出发散照明光;半透半反镜,用于部分透射照明光和部分反射衍射光;透镜,用于准直照明光;空间光调制器,用于载入计算全息图;液晶光阀,用于消除零级光,共轭光的影响。本发明可实现无辐辏调节冲突的全息近眼增强现实三维显示。所设计的装置结构简单,实用性强,具有重要的应用价值。

    2023-08-21
  • 防抖结构、防抖系统及摄像装置
    防抖结构、防抖系统及摄像装置

    本发明提供了一种防抖结构、防抖系统及摄像装置。防抖结构,包括:外壳;透镜支撑体;驱动线圈,驱动线圈绕透镜支撑体的周向设置在透镜支撑体上;柔性FPC板,柔性FPC板绕外壳的周向内侧壁设置并具有多个侧向线圈;支撑框架,支撑框架位于透镜支撑体和柔性FPC板之间,支撑框架对应侧向线圈的多个侧壁上均设置有安装缺口;多个驱动磁石,驱动磁石设置在安装缺口上,以使多个侧向线圈对应多个驱动磁石设置;底座,电导通结构的一部分嵌设在底座的内部,且电导通结构的另一部分由底座内伸出以形成端脚部或与柔性FPC板电连接。本发明解决了现有技术中防抖结构防抖推力性能差的问题。

    2023-08-21
  • 粒子束设备
    粒子束设备

    一种设备包括:用于封闭物品支撑件的真空腔;物品支撑件被配置为支撑物品使得在物品支撑件与物品之间限定有体积,物品支撑件包括被配置为为物品提供支撑平面的多个支撑突起;用于向该体积提供流体使得流体在物品与物品支撑件之间提供热传递的管路;以及用于控制向该体积的流体供应的控制器,其中控制器被配置为控制流体供应单元基本上在物品达到稳定温度时开始去除流体。

    2023-08-21
  • 光刻设备
    光刻设备

    本发明披露了一种光刻设备,包括:照射系统,配置成调节辐射束;图案形成装置(601),配置成在辐射束的横截面中将图案赋予辐射束以形成图案化的辐射束;表膜(602),配置成覆盖图案形成装置(601)的表面;衬底台,配置成保持衬底;投影系统,配置成当衬底被衬底台保持时将经图案化的辐射束投影到衬底的目标部分上,其中投影系统包括一个或更多个光学元件;第一组的一个或更多个出口(603),用于将第一流体输出至第一区域中,其中第一区域邻接和/或包括表膜(602);和第二组的一个或更多个出口(605),配置成将第二流体输出至第二区域中,第二区域包括投影系统的一个或更多个光学元件;并且其中第二流体与第一流体不同。有利地,第一区域中的流体保护表膜(602)免受第二区域中的流体损坏。因此能够使用将会以另外的方式被第二区域中的流体损坏的表膜。

    2023-08-21
  • 基于酚醛清漆/DNQ的化学增幅型光致抗蚀剂
    基于酚醛清漆/DNQ的化学增幅型光致抗蚀剂

    本发明涉及抗蚀剂组合物,其包含聚合物组分、光致产酸剂组分(PAG)、光活性邻叠氮萘醌组分(PAC)、碱组分、溶剂组分和任选的杂环硫醇组分。所述聚合物组分是酚醛清漆衍生物,其包含具有游离酚羟基部分的酚醛清漆重复单元,和包含用酸可裂解的缩醛部分保护的酚羟基部分的酚醛清漆重复单元。所述缩醛部分选自单官能烷基缩醛部分,其保护包含酚醛清漆酚羟基部分的重复单元;缩醛,其包含用PAC部分官能化的部分,用来保护包含酚醛清漆酚羟基部分的重复单元;包含二官能缩醛的部分,其连接和保护两个含有酚醛清漆酚羟基部分的重复单元,在所述聚合物组分中在两个不同的聚合物链之间形成连接点;以及任何这三种类型的酸可裂解的缩醛部分的混合物。PAC组分选自所述缩醛,其包含用PAC部分官能化的部分,用来保护包含酚醛清漆酚羟基部分的重复单元;游离PAC组分和这两种类型的PAC组分的混合物。本发明还涉及在厚膜或薄膜光致抗蚀剂器件制造方法中使用本发明组合物的方法。

    2023-08-21
  • 镜头镜筒及摄像装置
    镜头镜筒及摄像装置

    本发明提供一种无需设置用于固定可动部件的部件而能够将可动部件固定在固定框的镜头镜筒及摄像装置。镜头镜筒具备:第1磁铁(56A),设置在第3透镜组前组保持框(24B);第1马达(56),通过第1线圈(56C)来驱动第3透镜组前组保持框(24B);第2线圈(58A),设置在第4透镜组可动保持框(26B);及第2马达(58),通过设置在固定于固定套管(12)及凸轮套管(14)的第4透镜组基座保持框(26A)的第2磁铁(58B)来驱动第4透镜组可动保持框(26B),若停止向第1线圈(56C)通电,则第3透镜组前组保持框(24B)通过第1磁铁(56A)与设置在第4透镜组基座保持框(26A)的内磁轭(58C)及外磁轭(58D)之间的磁力来固定。

    2023-08-21
  • 使用了环式羰基化合物的抗蚀剂下层膜形成用组合物
    使用了环式羰基化合物的抗蚀剂下层膜形成用组合物

    提供显示高蚀刻耐性、良好的干蚀刻速度比和光学常数,对所谓高低差基板也被覆性良好,埋入后的膜厚差小,能够形成平坦的膜的抗蚀剂下层膜形成用组合物。此外,提供适合于该抗蚀剂下层膜形成用组合物的聚合物的制造方法、使用了该抗蚀剂下层膜形成用组合物的抗蚀剂下层膜、以及半导体装置的制造方法。一种抗蚀剂下层膜形成用组合物,其包含:碳原子数6~60的芳香族化合物(A)、与碳原子数3~60的环式羰基化合物(B)所具有的羰基的反应生成物;以及溶剂,上述反应生成物中,上述环式羰基化合物(B)的1个碳原子连接2个上述芳香族化合物(A)。

    2023-08-21
  • 掩模坯料、相移掩模及半导体器件的制造方法
    掩模坯料、相移掩模及半导体器件的制造方法

    本发明提供一种具备相移膜的掩模坯料,上述相移膜兼具使ArF准分子激光的曝光光以给定的透射率透过的功能、和使该透过的ArF准分子激光的曝光光产生给定的相位差的功能,且上述相移膜的背面反射率得到了降低。该相移膜包含从透光性基板侧起依次层叠有第1层、第2层及第3层的结构,将第1层及第2层在ArF准分子激光的曝光光的波长下的折射率分别设为n、n、n时,满足n>n及n<n的关系,将第1层、第2层及第3层在曝光光的波长下的消光系数分别设为k、k、k时,满足k<k及k>k的关系,将第1层、第2层及第3层的膜厚分别设为d、d、d时,满足d<d及d<d的关系。

    2023-08-21
  • 感光性转印材料、树脂图案的制造方法、电路布线的制造方法 及触摸面板的制造方法
    感光性转印材料、树脂图案的制造方法、电路布线的制造方法
及触摸面板的制造方法

    本发明提供一种感光性转印材料以及使用上述感光性转印材料而成的树脂图案的制造方法、电路布线的制造方法及触摸面板的制造方法,该感光性转印材料具有临时支承体及感光性树脂层,上述感光性树脂层包含聚合物A、光产酸剂及聚合物F,该聚合物A包含具有被酸分解性基团保护的酸基的结构单元,该聚合物F包含具有氟原子的结构单元,上述聚合物F中的氟原子的含量相对于上述聚合物F的总质量为20质量%以上且50质量%以下,上述聚合物F满足f1或f2中的任一个。f1:上述聚合物F的I/O值为0.45以上。f2:上述聚合物F的I/O值小于0.45且上述聚合物F包含具有酸基或碱性基团的结构单元。

    2023-08-21
  • 用于固化机的光提取结构和照明装置
    用于固化机的光提取结构和照明装置

    本发明涉及一种用于固化机的光提取结构和照明装置,其光提取结构作为用于固化机的照明装置使散射效果最大化,并且增强耐久性,并且表现出足够的能量均匀性。

    2023-08-21
  • 用于确定标记检测系统中的测量束的期望波长带宽的带宽计 算系统和方法
    用于确定标记检测系统中的测量束的期望波长带宽的带宽计
算系统和方法

    公开了一种用于确定标记检测系统中的测量束的期望波长带宽的带宽计算系统,该带宽计算系统包括处理单元,该处理单元被配置为基于标记几何形状信息确定期望波长带宽,标记几何形状信息包括表示标记的深度的标记深度信息。在一个实施例中,期望波长带宽是基于标记检测误差函数的周期和/或方差参数。本发明还涉及包括该带宽计算系统的标记检测系统、位置测量系统和光刻设备、以及用于确定期望波长带宽的方法。

    2023-08-21
  • 拍摄设备、云台装置及无人机
    拍摄设备、云台装置及无人机

    本申请实施例公开了拍摄设备、云台装置及无人机,包括前壳模组(10)和相机模组(20),前壳模组(10)包括透明镜片(12)和前壳(11),前壳(11)具有中空结构体(111),透明镜片(12)封装在中空结构体(111)一端的开口处上;相机模组(20)包括影像传感器(27)、至少一个滤光镜(23)组成的滤光镜组件和至少一个镜筒(21),滤光镜(23)设于影像传感器(27)与镜筒(21)之间,以使得影像传感器(27)能够通过滤光镜(23)获取不同的成像效果。

    2023-08-21
  • 用以转印光刻掩模的原初结构部分的光学系统、用以将可布 置光刻掩模的至少一个原初结构部分的物场进行成像的投射 光学单元、以及光刻掩模
    用以转印光刻掩模的原初结构部分的光学系统、用以将可布
置光刻掩模的至少一个原初结构部分的物场进行成像的投射
光学单元、以及光刻掩模

    用于转印光刻掩模(10)的原初结构部分(13)的光学系统。原初结构部分(13)具有大于4∶1的x/y纵横比,且在光刻掩模(10)上彼此相邻布置成行且通过不带有任何待成像结构的分离部分(14)而彼此分开。在将物场成像至像场的协助下,光学系统将原初结构部分(13)转印至基板(26)的图像部分(31)上,其中光刻掩模(10)的原初结构部分(13)的其中至少一个可布置在物场中,且基板(26)的图像部分(31)的其中至少一个可布置在像场中。原初结构部分(13)的每一个转印到单独的图像部分(31)。转印原初结构部分(13)于其上的图像部分(31)彼此相邻布置成行。在此光学系统中可采用的投射光学单元可具有这样的变形实施例,其针对两个相互垂直的场坐标具有不同的成像比例,其中一个成像比例针对其中一个场坐标缩小,且其中另一个成像比例针对另一个场坐标放大。这导致一光学系统,其中使用此光学系统的投射曝光设备的生产量增加。

    2023-08-21
  • 色调剂粘结剂
    色调剂粘结剂

    本发明的目的在于提供在维持低温定影性和耐热污损性的同时粉碎性、图像强度、耐热保存性、带电稳定性、光泽性和耐久性优异的色调剂中使用的色调剂粘结剂。本发明的色调剂粘结剂是含有非晶性树脂(A)和结晶性乙烯基树脂(B)的色调剂粘结剂,其特征在于,(A)与(B)的重量比[(A)/(B)]为81/19~97/3,来自色调剂粘结剂的结晶性乙烯基树脂(B)的吸热峰的峰顶温度(Tm)为40~100℃,来自上述结晶性乙烯基树脂(B)的吸热峰的半峰宽为6℃以下,上述结晶性乙烯基树脂(B)的酸值为60mgKOH/g以下,且该色调剂粘结剂满足下述关系式(1)。关系式(1):3℃≤Tfb(A)‑Tfb(C)≤30℃。

    2023-08-21
  • 附件、可装卸单元组、电子照相图像形成装置以及盒安装方法
    附件、可装卸单元组、电子照相图像形成装置以及盒安装方法

    一种能够与电子照相图像形成装置一起使用的可安装单元组包括盒和附件。盒包括感光鼓和用于从驱动轴接收用于使感光鼓旋转的驱动力的联接部件。附件包括圆筒形部分,所述圆筒形部分用于安装到驱动轴的周边以抑制驱动轴的倾斜。驱动力传递部件的倾斜被抑制。

    2023-08-21
  • 环绕屏的显影工艺
    环绕屏的显影工艺

    本发明公开了一种环绕屏的显影工艺,涉及显影技术领域。本发明提供的环绕屏包括上下两层屏幕,位于上层的屏幕为主屏,位于下层的屏幕为副屏,以及位于上下层之间的中间屏,主屏和副屏的投影具有重叠部分。环绕屏的显影工艺包括以下步骤:在显影槽中加入预设容量的显影液;将环绕屏放入显影槽中,使主屏的内外两侧、副屏的内外两侧以及中间屏的内外两侧完全浸入显影液;经过预设时间后,将环绕屏从显影槽中取出。本发明提供的环绕屏的显影工艺,环绕屏的每个区域都能够与显影液充分接触,且接触均匀,使得环绕屏的图像能够完全显示,且显示效果好,提高了环绕屏的显影质量。

    2023-08-21
  • 一种负性高弹性感光树脂组合物
    一种负性高弹性感光树脂组合物

    一种负性高弹性感光树脂组合物,包含用化学式1表示的丙烯酸系共聚物树脂、二官能度以上的丙烯酸系多官能单体、至少包含O‑酰基肟系光引发剂、苯乙酮类光引发剂和苯甲酮类光引发剂中的一种,包含流平剂、固化剂及硅烷偶联剂中至少一种的添加剂及溶剂,[化学式1]

    2023-08-21
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