流体控制装置、流体控制设备以及动作解析系统

技术领域

本发明涉及对具有多个流体控制设备的流体供给管线整体精密地进行监控的技术。

背景技术

在供给用于半导体制造工艺的工艺流体的流体供给管线，使用自动阀等流体控制设备。

近年来，ALD(Atomic Layer Deposition：原子层沉积)等半导体制造工艺高级化，要求与以往相比能够更加微细地控制工艺流体的流体供给管线。而且，为了满足高级化的半导体制造工艺的要求，提出了能够更精密地监控例如阀的状态的流体控制设备。

关于这一点，在专利文献1中，提出了一种阀，其具备形成有第一流路以及第二流路的主体和将第一流路与第二流路之间连通或者切断的阀体，主体具有：基部，其具有位于阀体侧的第一面和位于第一面的相反侧的第二面；第一连结部，其具有第二面和形成阶梯部的第三面；以及第二连结部，其具有第一面和形成阶梯部的第四面，第一流路具有第1-1流路和第1-2流路，第1-1流路的第1-1端口在第三面开口，第1-2流路的第1-3端口与第1-1流路的第1-2端口连通，且朝向阀体开口，第1-2流路的第1-4端口在第四面开口，并经由第1-3端口能够与第一流路和所述第二流路连通，第一连结部连结于其他阀的主体中的相当于第二连结部的部分，第1-1流路和其他阀的主体中的相当于第1-2流路的流路连通。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2016-223533号公报

发明内容

发明所要解决的课题

但是，在利用多个流体控制设备而构成的流体供给管线中，各流体控制设备受到其他流体控制设备的开闭动作、流量变化等的影响。故而，仅对各流体控制设备单独地进行控制或进行监控，无法满足近年来高级化的半导体制造工艺的要求。

因此，本发明的目的之一在于，对利用多个流体控制设备而构成的流体供给管线整体精密地进行监控。

用于解决课题的技术方案

为达到上述目的，本发明的一个观点所涉及的流体控制装置是集成多个流体控制设备而构成的流体控制装置，所述流体控制设备具有：动作信息获取机构，其获取设备内的动作信息；识别信息存储单元，其存储自身识别信息；以及通信处理单元，其按每个所述流体控制设备在不同定时将所述动作信息与所述自身识别信息一起发送给外部终端。

另外，还可以构成为，所述流体控制设备还具有判别处理单元，该判别处理单元基于所述动作信息来判别所述流体控制设备的异常，所述通信处理单元按每个所述流体控制设备在不同定时将所述流体控制设备的异常的判别结果与自身识别信息一起发送给外部终端。

另外，还可以构成为，所述通信处理单元还以给定的周期对给定的信息处理装置发送所述流体控制设备的动作信息或异常的判别结果。

另外，本发明的其他观点所涉及的流体控制设备是集成多个流体控制设备而构成流体控制装置的流体控制设备，具有：动作信息获取机构，其获取设备内的动作信息；识别信息存储单元，其存储自身识别信息；以及通信处理单元，其按每个所述流体控制设备在不同定时将所述动作信息与所述自身识别信息一起发送给外部终端。

另外，本发明的另外的其他观点所涉及的动作解析系统是针对利用多个流体控制设备而构成的每个流体供给管线或利用多个流体供给管线而构成的每个流体控制装置来解析动作的动作解析系统，所述动作解析系统具有：设备信息存储单元，其将构成同一流体供给管线或同一流体控制装置的流体控制设备的自身识别信息相互关联地进行存储；动作信息获取单元，其从所述流体控制设备获取动作信息和所述自身识别信息；以及解析处理单元，其基于所述自身识别信息，参照所述关联信息存储单元来确定构成同一流体供给管线或同一流体控制装置的流体控制设备，并且基于构成该同一流体供给管线或同一流体控制装置的流体控制设备的动作信息，根据所述流体供给管线整体或所述流体控制装置整体的动作来解析各流体控制设备的动作或状态。

发明效果

根据本发明，能够对利用多个流体控制设备而构成的流体供给管线整体进行精密地监控。

附图说明

图1是表示本发明的实施方式所涉及的流体控制装置的连接的示意图。

图2是表示构成本发明的实施方式所涉及的流体控制装置的流体控制设备的图，(a)是外观立体图，(b)是俯视图。

图3是表示构成本实施方式所涉及的流体控制装置的流体控制设备的内部构造的A-A剖视图，(a)表示闭阀状态，(b)表示开阀状态。

图4是表示构成本实施方式所涉及的流体控制装置的流体控制设备的内部构造的B-B剖视图，(a)表示闭阀状态，(b)表示开阀状态。

图5是表示构成本实施方式所涉及的流体控制装置的流体控制设备的分解立体图。

图6是表示构成本实施方式所涉及的流体控制装置的流体控制设备的分解立体图。

图7是表示构成本实施方式所涉及的流体控制装置的流体控制设备的分解立体图。

图8是表示构成本实施方式所涉及的流体控制装置的流体控制设备以及外部终端所具备的功能的功能框图。

图9是表示构成本实施方式所涉及的流体控制装置的流体控制设备以及外部终端所具备的功能的功能框图。

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的实施方式所涉及的流体控制装置以及动作解析系统进行说明。

如图1所示，流体控制装置G具备本实施方式所涉及的3个流体供给管线L1、L2、L3。

在此，“流体供给管线(L1、L2、L3)”是指被称作气体组件的流体控制装置(G)的构成单位之一的由供工艺流体流通的路径和配设于该路径上的一组流体控制设备构成并能够对工艺流体控制并且独立地对被处理体进行处理的最小的构成单位。流体控制装置通常是将多个该流体供给管线并列设置而构成的。

另外，在以下的说明中所提及的“外部”或“管线外”是指不构成流体控制装置或流体供给管线的部分或机构，外部或管线外的机构包括供给流体控制装置的驱动所需的电力的电力供给源、供给驱动压力的驱动压力供给源、构成为能够与流体控制装置进行通信的终端或装置等。

流体供给管线L1、L2、L3分别使多个流体控制设备流体密封地连通，流体控制设备由阀(V11～V14、V21～V24、V31～V34)、流量控制装置(F1～F3)构成。

此外，在以下的说明中，有时将阀(V11～V14、V21～V24、V31～V34)统称为阀V，将流量控制装置(F1～F3)统称为流量控制装置F。另外，有时将阀V和流量控制装置F以控制流体的设备这样的上位概念进行理解，统称为流体控制设备A。

●阀V

阀V是隔膜阀等在流体控制装置G的气体管线中使用的阀，集成多个而与其他流体控制设备A一起构成流体控制装置G。

在该阀V，作为获取阀V的动作信息的动作信息获取机构，在给定的部位安装有压力传感器P(在图3等中后述)、磁传感器等，并能够将由传感器检测出的数据发送给连接于阀V的外部终端6。

在图2中示出这样的阀V的一例。阀V是气动式的直接隔膜阀，如图3～图5所示，其具备阀主体1、阀盖部2、罩部3以及致动器部4。

如图3～图5所示，阀主体1由形成有流路的基台部11和设置在基台部11上的大致圆筒形状的圆筒部12构成。

基台部11俯视时呈矩形，在构成由多个阀V组件化而成的流体控制装置G的情况下，成为设置于基盘或者歧管块上的部分。

圆筒部12呈配设阀盖部2的一侧的端面开口的中空形状，中空的内部构成收容阀盖部2的凹部12a。

在该圆筒部12，设置有狭缝12b，狭缝12b在轴心方向上具有长度，且配设阀盖部2的一侧并且与基台部11相反侧的一端开口，并且从外侧向凹部12a侧贯通。经由该狭缝12b，从阀盖壁25延伸出的柔性线缆51从内侧向外侧导出。

在凹部12a的下方以及基台部11内，形成有供流体流入的流入路111和供流体流出的流出路113以及与该流入路111和流出路113连通的阀室112。流入路111、流出路113以及阀室112一体地构成供流体流通的流路。

如图3～图6所示，阀盖部2以收容于阀主体1的凹部12a内的状态配设。该阀盖部2具备片材21、隔膜22、隔膜压件23、阀盖(bonnet)24以及阀盖壁25。

环状的片材21设置于阀室112中的流入路111的开口部周缘。通过使隔膜22与片材21抵接或分离，能够使流体从流入路111向流出路113流通或者切断流通。

隔膜22由不锈钢、Ni-Co系合金等金属构成，并且是中心部以凸状鼓出的球壳状的构件，将流路和致动器部4动作的空间隔离。如图3的(b)以及图4的(b)所示，该隔膜22在未被隔膜压件23按压的状态下，从片材21分离，成为流入路111与流出路113连通的状态。另一方面，如图3的(a)以及图4(a)所示，在被隔膜压件23按压的状态下，隔膜22的中央部发生变形而与片材21抵接，成为流入路111与流出路113被切断的状态。

隔膜压件23设置于隔膜22的上侧，与活塞43的上下移动相联动而按压隔膜22的中央部。

该隔膜压件23由大致圆柱状的基体部231、在与隔膜22抵接的一侧的一端侧扩径的扩径部232构成。

在基体部231，形成有在轴心方向上具有长度并且与扩径部232相反侧的一端开口的有底的条槽231a。在该条槽231a，拧入阀盖壁25的螺纹孔25c的螺钉25d的轴棒部分以能够滑动的方式嵌合。条槽231a与螺钉25d构成限制隔膜压件23的周向的转动的转动限制单元，由此隔膜压件23与活塞43联动而上下移动，并且限制周向的转动。

另外，在在基体部231，安装有构成磁传感器的磁铁M1。该磁铁M1与安装于阀盖壁25的磁性体M2一起构成后述的磁传感器。此外，在本实施例中，磁铁M1安装于基体部231的条槽231a的相反侧，但只要对构成磁性体M2和磁传感器没有阻碍，也可以安装于基体部231上的其他位置。

阀盖24呈大致圆筒状，被收容于阀主体1的凹部12a内。

隔膜22被夹持在阀盖24的下端部与阀主体1之间，利用该部分形成隔膜22与阀主体1之间的密封。

在阀盖24的内部，设置有在中心部形成有供隔膜压件23贯穿插入的贯插孔241a的大致圆盘状的分隔部241。

在分隔部241的上方或者在配设致动器部4的一侧形成的凹部24a中，收容阀盖壁25。在分隔部241与阀盖壁25，分别在相互对应的位置设置有螺纹孔241b和贯通孔25e，阀盖壁25通过螺栓25f螺纹设置于阀盖24。

阀盖24的分隔部241具有一定的厚度，在形成于分隔部241的贯插孔241a的内周面与隔膜压件23之间，夹装有O型环O2。由此，确保了由分隔部241、隔膜22以及隔膜压件23划定的封闭空间S2的气密性。

另外，在阀盖24的分隔部241，设置有与安装于阀盖壁25的压力传感器P连通的连通孔241d。通过经由连通孔241d而设置有压力传感器P，能够测量由分隔部241、隔膜22以及隔膜压件划定的封闭空间S2内的压力。

另外，在阀盖24的侧面，设置有用于使从收容于内侧的阀盖壁25导出的柔性线缆51向外侧导出的贯通孔241c。

阀盖壁25是配设于阀盖24内的构件。该阀盖壁25呈将壁厚的大致圆盘状的构件挖通为俯视大致C字状的形状。在该阀盖壁25的中心，设置有供隔膜压件23的基体部231贯穿插入的贯插孔25a。另外，设置有使贯插孔25a朝向阀盖壁25的半径方向外侧开口的开口部25b。

在阀盖壁25的厚度部分的给定的部位，形成有从贯插孔25a朝向半径方向外侧而切成的螺纹孔25c。在该螺纹孔25c从外侧螺合螺钉25d，螺合的螺钉25d的轴心部分向贯插孔25a侧脱出而以能够滑动的方式与贯穿插入于贯插孔25a的隔膜压件23的条槽231a嵌合。

在阀盖壁25，在与阀盖24的螺纹孔241b对应的位置设置有贯通孔25e。在螺纹孔241b与贯通孔25e，在阀盖24的分隔部241上配设有阀盖壁25的状态下，螺合螺栓25f，由此在阀盖24固定阀盖壁25。

在阀盖壁25的外周面中的开口部25b附近，安装有以堵塞开口部25b的方式架设固定的平板状的磁性体M2。该磁性体M2与安装于隔膜压件23的磁铁M1一起构成后述的磁传感器。

如图2以及图7所示，罩部3以夹压的方式一体地保持致动器主体41和阀主体1，并且构成将电路基板52以及设置于电路基板52的连接器53固定于阀V的固定单元。

该罩部3具备罩31和平板状的板32、33。

罩31呈大致U字状，在其内侧嵌入致动器主体41和阀主体1的端部。

在罩31的两侧面，与嵌入致动器主体41的位置对应地设置有螺纹孔31a。由此，在阀主体1嵌入内侧的状态下，在将螺钉31b拧入螺纹孔31a，并使螺钉31b的前端与阀主体1压接时，能够将阀主体1夹持在罩31的内侧。

另外，在罩31的厚度部分，设置有螺纹孔31c。在该螺纹孔31c，经由板32、33的贯通孔32b、33b螺合螺钉31d，由此使板32、33安装于罩31。

板32、33在将致动器主体41和阀主体1的端部嵌于罩31的内侧的状态下，与罩31螺纹固定，在被固定的状态下，在与罩31之间夹压保持致动器主体41和阀主体1。

在该板32的下方，形成有切成舌片状的切口部32a，柔性线缆51经由该切口部32a向设置有连接器53的电路基板52导出。

板33以与板32之间夹装有电路基板52的状态螺纹固定于板32及罩31，并与板32之间夹压保持电路基板52。

在该板33，在中央部设置有大致矩形状的贯通孔33a，设置于电路基板52的连接器53从该贯通孔33a向外侧露出。

在此，基台部11俯视时呈矩形，如图2的(b)所示，罩部3将连接器53朝向矩形状的基台部11的对角线方向而固定于阀V。在这样的朝向上固定连接器53的理由如下。即，在由多个阀V构成组件化的流体控制装置G的情况下，根据集成化的要求，只要能够使相邻的矩形状的基台部11的朝向一致，就没有间隙，优选在基盘或者歧管块上配设阀V。另一方面，在如此配设集成的情况下，难以使端子等与连接器53连接。故而，通过使连接器53朝向基台部11的对角线方向，与朝向配设于正侧面的阀V的情况相比，能够扩大连接的空间。其结果是，容易将端子等连接于连接器53，也能够防止端子等的弯折或扭曲引起的断线等不良情况，或者能够防止端子等碰到阀V而导致阀V的动作产生异常这样的不良情况。

致动器部4配设在阀盖部2上。

如图3以及图4所示，该致动器部4具备致动器主体41、致动器盖42、活塞43以及弹簧44。此外，在图5中，省略致动器部4的内部构造，但其内部构造如图3以及图4所示。

致动器主体41夹装于活塞43与阀盖24之间。

如图5所示，该致动器主体41呈大致圆柱形状，在中心部，沿长度方向设置有供活塞43和隔膜压件23贯穿插入的贯插孔41a。如图3以及图4所示，在贯插孔41a内，活塞43与隔膜压件23抵接，隔膜压件23与活塞43的上下移动相联动而上下移动。

在配设活塞43的一侧的上端面，形成有由环状的突条构成的周壁411，在周壁411的内侧的平坦的水平面与活塞43的扩径部431的下端面之间，形成导入驱动压力的驱动压力导入室S1。

另外，在致动器主体41的配设活塞43一侧的外周面上，切出有外螺纹，通过与在致动器盖42的内周面切出的内螺纹螺合，使致动器主体41安装于致动器盖42的一端。

致动器主体41的长度方向的中心部形成为剖视大致六边形状，该剖视为六边形状的部分与阀主体1的上端部分被罩31一体地夹压。

致动器盖42是下端部开口的帽状的构件，在内部收容有活塞43和弹簧44。

在致动器盖42的上端面，设置有与活塞43的驱动压力导入路径432连通的开口部42a。

致动器盖42的下端部与致动器主体41的上部螺合而被封闭。

活塞43响应于驱动压力的供给和停止而上下移动，经由隔膜压件23使隔膜22与片材21抵接或分离。

该活塞43的轴心方向大致中央以圆盘状扩径，该部位构成扩径部431。活塞43在扩径部431的上表面侧接受弹簧44的作用力。另外，在扩径部431的下端侧，形成用于供给驱动压力的驱动压力导入室S1。

另外，在活塞43的内部，设置有用于使形成于上端面的开口部43a与在扩径部431的下端侧形成的驱动压力导入室S1连通的驱动压力导入路径432。活塞43的开口部43a连通至致动器盖42的开口部42a，用于从外部导入驱动压力的导入管与开口部42a连接，由此使驱动压力供给到驱动压力导入室S1。

在活塞43的扩径部431的外周面上，安装有O型环O41，该O型环O41对活塞43的扩径部431的外周面与致动器主体41的周壁411之间进行密封。另外，在活塞43的下端侧也安装有O型环O42，该O型环O42对活塞43的外周面与致动器主体41的贯插孔41a的内周面之间进行密封。通过这些O型环O41、O42，形成与活塞43内的驱动压力导入路径432连通的驱动压力导入室S1，并且确保了该驱动压力导入室S1的气密性。

弹簧44卷绕在活塞43的外周面上，与活塞43的扩径部431的上表面抵接而将活塞43向下方即按下隔膜22的方向施力。

在此，对伴随着驱动压力的供给和停止的阀的开闭动作进行说明。从连接于开口部42a的导入管(图示省略)供给空气时，空气经由活塞43内的驱动压力导入路径432被导入驱动压力导入室S1。与此相对应地，活塞43克服弹簧44的作用力而被向上方推起。由此，隔膜22从片材21离开而成为开阀的状态，流体流通。

另一方面，不向驱动压力导入室S1导入空气时，活塞43随着弹簧44的作用力而向下方被按下。由此，隔膜22与片材21抵接而成为闭阀的状态，流体的流通被切断。

阀V具备压力传感器P、由磁铁M1和磁性体M2构成的磁传感器作为构成用于获取设备内的动作信息的动作信息获取机构的传感器。

如图4所示，压力传感器P安装于阀盖壁25的下表面或流路侧，经由连通孔241d而与由隔膜22、阀盖24的分隔部241以及隔膜压件23划定的封闭空间S2连通。该压力传感器P由检测压力变化的压敏元件、将由压敏元件检测出的压力的检测值转换为电信号的转换元件等构成。由此，压力传感器P能够检测由隔膜22、阀盖24的分隔部241以及隔膜压件23划定的封闭空间S2内的压力。

此外，在压力传感器P与连通孔241d相通的部位夹装有密封件26，确保了气密状态。

此外，压力传感器P可以检测表压或者大气压中的任一个，根据各自的情况，只要设定判别处理部62(参照图8后述)所参照的阈值即可。

在阀盖壁25的开口部25b安装有磁性体M2，该磁性体M2与安装于隔膜压件23的磁铁M1一起构成磁传感器。

如下所述，通过该磁传感器，能够检测阀的开闭动作。即，相对于磁铁M1根据隔膜压件23的上下移动而进行上下移动，磁性体M2与阀盖壁25以及阀盖24一起固定于阀主体1内。其结果是，基于随着隔膜压件23的上下移动而上下移动的磁铁M1与位置被固定的磁性体M2之间发生的磁场的变化，能够检测隔膜压件23的动作，进而能够检测阀的开闭动作。

此外，磁传感器具有平面线圈、振荡电路以及积分电路，根据与处于对置的位置的磁铁M1之间的距离变化，振荡频率发生变化。而且，利用积分电路对该频率进行转换而求出累计值，不仅能够测量阀V的开闭状态，还能够测量开阀时的开度。

此外，在本实施方式中，使用了磁传感器，但不限于此，在其他实施方式中，也可以使用光学式的位置传感器等其他种类的传感器。

在压力传感器P与磁传感器，分别连接有具有挠性的通信用的柔性线缆51的一端(对磁传感器而言，具体来说，是与磁性体M2连接)，柔性线缆51的另一端与设置于阀V1的外侧的电路基板52连接。在本例中，在电路基板52，构成有执行信息的收发的处理模块7(参照图8后述)，由此，能够对与连接器53连接的外部终端6发送从压力传感器P、磁传感器获取的动作信息。

此外，在本实施方式中，柔性线缆51和电路基板52使用柔性基板(FPC)，柔性线缆51、电路基板52以及连接器53一体构成。通过对柔性线缆51和电路基板52使用柔性基板，作为布线路径，能够利用构件间的间隙，其结果是，与使用包覆线的情况相比，能够使阀V1本身小型化。

另外，处理模块7既可以与电路基板52分开地存放在阀V1内，也可以构成为压力传感器P或者磁传感器的一部分。

另外，连接器53的种类、形状可以根据各种标准而适当地设计。

另外，作为由上述压力传感器P、磁传感器实现的动作信息获取机构，除此之外，也可以使用检测驱动压力的驱动压力传感器、测量流路内的温度的温度传感器、检测活塞43或者隔膜压件23的动作的限位开关等来实现。

●动作解析系统

接着，对本实施方式所涉及的流体控制装置G的动作解析系统进行说明。

在本实施方式中，构成流体控制装置G的多个流体控制设备A采用与外部终端6并联连接的总线型连接构造。外部终端6汇集从下属的流体控制设备A供给的动作信息，并监控阀V、流量控制装置F的各自的动作。而且，通过识别各流体控制设备A构成哪个流体供给管线L1、L2、L3或者流体控制装置G，也能够以各流体供给管线L1、L2、L3或者流体控制装置G为单位解析动作或检测异常。

在以各流体供给管线L1、L2、L3或者流体控制装置G为单位的异常的检测单元中，例如，也可以与通常的动作分开地设置诊断模式，适当控制各流体控制设备A的开闭，测量给定位置处的压力。根据该压力的测量值，检测如果关闭给定的流体控制设备A则应该检测不到的压力，或者无法检测到如果打开给定的流体控制设备A则应该被检测出的压力，由此能够诊断流体控制设备A的异常。另外，通过将与流体控制设备A的开闭状态的切换相对应的给定位置处的压力下降特性与正常状态下的压力下降特性进行对比，也能够诊断阀座泄漏等流体控制设备A的不良情况。

图8表示使各流体供给管线L1、L2、L3的动作信息汇集到外部终端6并且在该外部终端6可能检测流体控制设备A的异常的有无的情况的功能构成的一例。由此，作为动作解析的处理的一例，对通过流体控制设备A以及与该流体控制设备A以能够通信的方式连接的外部终端6执行异常检测处理的情况进行说明。

在本例中，流体控制设备A所具备的处理模块7具备识别信息存储部71和通信处理部72。此外，在阀V的情况下，处理模块7例如由设置于电路基板52上的运算电路、存储器构成。

识别信息存储部71是存储有按照每个流体控制设备A或处理模块7所发行的自身识别信息的存储部。

自身识别信息是针对每个流体控制设备A或处理模块7唯一的信息，通过参照该信息，能够从多个流体控制设备A识别特定的流体控制设备A。

通信处理部72是用于执行对经由连接器53连接的外部终端6发送数据的处理的功能部。在阀V的情况下，处理模块7构成为能够通过柔性线缆51与作为动作信息获取机构的压力传感器P、磁传感器协作，在从该压力传感器P、磁传感器获取到流体控制设备A的动作信息时，通过通信处理部72，能够将该获取到的动作信息与自身识别信息一起向外部终端6发送。

此外，在本实施方式所涉及的阀V中，外部终端6通过经由连接器53的有线连接执行与阀V的数据的收发，但也能够利用无线LAN、Bluetooth(注册商标)、红外线通信或者Zigbee(注册商标)等构成，并通过无线通信执行数据的收发。另外，关于流量控制装置F也是同样地，也可以具备有线或无线中的任一种通信单元。

另外，通信处理部72能够以1小时或1天等任意设定的给定的周期发送动作信息。

关于这一点，在基于阀V的动作信息的异常检测中，到流体的微量的漏出而言，难以检测出其瞬间，但如果是几天左右的话，由于升压，因此能够进行检测。另一方面，封闭空间S2为气密的空间，因此即使发生微小的漏出，也难以立即成为问题。因此，即使是基于给定的周期的发送也没有障碍。而且，在这样以给定的周期进行信息的发送的情况下，能够抑制消耗电力。

另外，通信处理部72能够按每个流体控制设备A在不同定时对外部终端6发送自身识别信息和动作信息。对按每个流体控制设备A设为不同定时的方法没有特别限定，但例如能够通过从外部终端6对各流体控制设备A以预先设定好的时间间隔以及顺序请求自身识别信息和动作信息的获取来实现。另外，也可以在根据基于给定的计算式而产生的随机数决定随机的顺序的基础上，按照该顺序向给定的流体控制设备A请求自身识别信息和动作信息的获取，等待从该给定的流体控制设备A获取自身识别信息和动作信息，向下一个流体控制设备A请求自身识别信息和动作信息的获取。另外，也可以是，流体控制设备A自身从预先设定的一定期间中随机地决定给定的日期时间，在该给定的日期时间向外部终端6发送自身识别信息和动作信息。

由此，既能够避免分组冲突的问题，与一起发送的情况相比，也能够防止暂时的处理的过负荷。而且，与一起发送的情况不同，在通过无线确立通信的情况下，由于无需按照每个流体控制设备A改变数据发送中利用的无线的信道，因此无需准备多个信道。另外，在通过Bluetooth(注册商标)实现流体控制设备A与外部终端6的连接单元的情况下，同时连接台数有限(通常为7台)，因此通过改变发送的定时，能够使用超过同时连接台数的数量的流体控制设备A。

此外，自身识别信息和动作信息的发送的定时除了可以按照每个流体控制设备A进行之外，还可以按照每个流体供给管线L1、L2、L3、流体控制装置G进行。

在本实施方式中，外部终端6构成从流体控制设备A获取动作信息，并且基于该动作信息检测流体控制设备A的异常的异常检测装置。具体而言，在阀V的情况下，构成特别是检测从流路向封闭空间S2的流体的漏出等引起的异常的异常检测装置。

该外部终端6是所谓的个人计算机或服务器、能够进行数据的收发、处理的便携式终端等，由CPU、CPU执行的计算机程序、存储计算机程序、给定的数据的RAM(Random AccessMemory，随机存取存储器)、ROM(Read Only Memory，只读存储器)以及硬盘驱动器等外部存储装置等硬件资源构成，由此，具备由设备信息存储部61、判别处理部62、校正处理部63、通信处理部64构成的功能部。

设备信息存储部61是存储有各流体控制设备A的自身识别信息的存储部。在设备信息存储部61中，各流体控制设备A的自身识别信息与构成相同的流体供给管线L1、L2、L3或流体控制装置G的其他的流体控制设备A的自身识别信息相关联。由此，能够将一个流体控制设备A与其他流体控制设备A进行识别，并且能够识别与该一个流体控制设备A构成同一流体供给管线L1、L2、L3或流体控制装置G的流体控制设备A。

判别处理部62基于从流体控制设备A带来的动作信息判别流体控制设备A的动作异常的有无。具体而言，对保持于参照用表等中的给定的阈值和动作信息进行比较。如果为阀V，则通过对保持于参照用表等中的给定的阈值和由压力传感器P检测出的压力的检测值进行比较，这些判别向封闭空间S2的流体的漏出等引起的阀V的异常的处理。即，在通常使用时，将通过阀V的阀的开闭所设想的封闭空间S2内的压力的极限值设为给定的阈值。然后，在封闭空间S2内的压力的检测值超过该阈值的情况下，判别为在阀V发生了异常。这样的判别的合理性基于如下情况，作为因隔膜22的破损等而流体向封闭空间S2漏出，从而封闭空间S2内的压力上升的结果，或者作为因流路内的减压而封闭空间S2内的压力减少的结果，视为封闭空间S2内的压力的检测值超过了阈值。

此外，在本例中，判别处理部62与校正处理部63一起构成解析流体控制设备A的动作的解析处理部。

校正处理部63根据由动作信息获取机构检测出的空气的压力、外部温度等，对判别处理部62为了判别向封闭空间S2的流体的漏出所参照的给定的阈值进行校正。

即，若在阀V的情况下，为了使阀V开闭而使空气的压力发生变化时，由于活塞43的上下移动而导致封闭空间S2内的压力发生变化。故而，校正处理部63校正给定的阈值，以使判别处理部62能够区分该空气的压力引起的封闭空间S2内的压力的变化和由于阀V的异常所引起的封闭空间S2内的压力的变化，从而判别阀V的异常。具体而言，在导入了空气的情况下，由于封闭空间S2内的压力减少，因此将阈值校正为低的值，在空气被排出的情况下，由于封闭空间S2内的压力上升，因此将阈值校正为高的值。其结果是，判别处理部62与伴随着空气的压力变化的封闭空间S2内的压力变化无关地，能够判别流体的漏出等阀V的异常引起的封闭空间S2内的压力的变化。

在此，若作为动作信息获取机构使用驱动压力传感器，则即使在阀V的开闭动作中，也能够判别流体的漏出等引起的封闭空间S2内的压力变化。即，通过根据驱动压力实验性地求出向所需的校正值转换的适当的传递函数，也能够校正活塞43在移动的瞬间的封闭空间S2内的过渡性的压力变化。

同时，在尽管根据驱动压力传感器的检测值预测到封闭空间S2内的压力上升，但压力传感器P的检测值不上升的情况下，能够判断活塞43或者压力传感器P的故障。

另外，根据外部温度，封闭空间S2内的压力也发生变化。故而校正处理部63对给定的阈值进行校正，以使判别处理部62能够区分该外部温度引起的封闭空间S2内的压力的变化和由于阀V的异常引起的封闭空间S2内的压力的变化，从而能够判别阀V的异常。具体而言，响应于外部温度的上升，将阈值校正为高的值，并且响应于外部温度的下降，将阈值校正为低的值。其结果是，判别处理部62与伴随着外部温度的变化的封闭空间S2内的压力变化无关地，能够判别由流体的漏出等阀V的异常引起的封闭空间S2内的压力的变化。

通信处理部64是执行与流体控制设备A的数据的收发的功能部。对通信方法没有特别限定，与本实施方式所涉及的阀V经由连接器53连接，从该连接的阀V接收动作信息。

此外，根据来自流体控制设备A的管理者或者监控者等利用的终端要求，外部终端6从流体控制设备A接收的信息被适当地提供给该监控者等利用的终端。

此外，在本实施方式中，外部终端6与流体控制设备A直接进行数据通信，但不限于此，也能够适当地经由对数据的收发进行中继的中继装置来进行通信。

根据以上的动作解析系统，各流体控制设备A具有自身识别信息的结果是，在密集地集成有多个流体控制设备A的流体控制装置G中，能够在不将流体控制设备A从管线拆下的情况下，单独地进行识别来诊断其动作状态。另外，不仅能够按照每个流体控制设备A解析动作信息，还能够对管线整体进行精密地监控。

另外，由于流体控制设备A的动作信息汇集到外部终端6，因此流体控制设备A的监控者等能够无负担地监控流体控制设备A的动作状况。

而且，对阀V而言，在检测出封闭空间S2内的压力的基础上，通过对给定的阈值和检测值进行比较来检测异常，因此即使在封闭空间S2内存在成为负压的异常的情况下，也能够检测该异常。

此外，管线整体的动作的解析有助于流体供给管线L1、L2、L3的精密的监控的原因使，例如，对构成流体供给管线L1的多个流体控制设备A而言，即使在针对一部分流体控制设备A执行开闭动作，而针对剩余的流体控制设备A不执行开闭动作的情况下，剩余的流体控制设备A也会受到该一部分的流体控制设备A的开闭动作的影响。

另外，这样的管线整体的动作信息的解析结果例如能够进行数据挖掘而用于流体供给管线L1、L2、L3的异常的有无的判别、异常的预测等。具体而言，用于能够掌握管线整体的流体控制设备A的动作时间、给定的流体控制设备A实际进行开闭动作的次数和受到其他流体控制设备A的开闭动作的影响的时间等，因此能够基于管线整体的动作时间判定维护或部件更换的时期，或者能够对同一管线上的每个流体控制设备A的开闭速度进行比较来检测异常。

另外，在其他示例中，如图9所示，也可以是，使流体控制设备A执行异常的检测，并使异常判别的结果汇集到外部终端6，进行基于结果的动作解析。

即，流体控制设备A所具备的处理模块8具有由识别信息存储部81、判别处理部82、校正处理部83以及通信处理部84构成的功能部，是具有分别与上述识别信息存储部71、判别处理部62、校正处理部63、通信处理部74相同的功能的功能部。

另一方面，外部终端6具有设备信息存储部61、通信处理部64以及解析处理部65。

与上述判别处理部62和校正处理部63同样地，判别处理部82、校正处理部83基于由动作信息获取机构获取的动作信息，判别异常的有无，并将判别结果与自身识别信息一起向外部终端6发送。此外，流体控制设备A不仅能够发送异常的判别结果，还能够与动作信息一并向外部终端6发送。

接收到信息的外部终端6能够基于自身识别信息识别流体控制设备A而掌握异常的有无的判别结果。另外，通过解析处理部65，也能够基于从各流体控制设备A接收到的异常的判别结果、动作信息，参照存储于设备信息存储部61的各流体控制设备A的自身识别信息，按照每个流体供给管线L1、L2、L3或者以流体控制装置G为单位解析动作。

此外，在以上的本实施方式中，也可以在流体控制设备A设置有用于在判别为流体控制设备A中存在异常时发出该消息的警告的单元。具体而言，例如，能够由能够视觉辨认的灯等构成。这一点关于后述的其他实施方式也是同样的。

另外，作为动作信息获取机构，除此之外，也可以安装温度传感器(图示省略)、限位开关(图示省略)等。温度传感器例如是测量流体的温度的传感器，通过在流路的附近设置而测量该部的温度，能够将该设置部位的温度视为在流路内流通的流体的温度。另外，在阀V的情况下，限位开关例如固定于活塞43的附近，并根据活塞43的上下移动而切换开关。由此，能够检测阀V的开闭次数或开闭频度、开闭速度等。

另外，对动作信息获取机构的安装位置没有限制，考虑到其功能，有时安装于驱动压力供给路径上或电气布线上等的流体控制设备A之外。

另外，在以上的本实施方式中，也可以是，在将构成同一流体供给管线L1、L2、L3的阀V、流量控制装置F连接而使得能够进行信息的收发的基础上，将由构成该同一流体供给管线L1、L2、L3的阀V内的动作信息获取机构获取的信息汇集到流量控制装置F，并与流量控制装置F的动作信息一并发送到设于管线外的给定的信息处理装置。

另外，外部终端6不仅与传感器、运算装置连接而收集流量控制装置F的动作信息，还可以主动地发出给定的指示信号来控制各流体控制设备A。

此外，在上述的本实施方式中，设为流体控制装置G利用3个流体供给管线L1、L2、L3而构成，但本发明的应用不受管线的数量限制。

另外，本发明的实施方式不限于上述实施方式，对本领域技术人员而言，在不脱离本发明的范围的范围内，能够进行各种结构、单元、或者功能的变更或追加等。

(标号说明)

1 阀主体

11 基台部

12 圆筒部

2 阀盖部

21 片材

22 隔膜

23 隔膜压件

24 阀盖

25 阀盖壁

3 罩部

31 罩

32 板

33 板

4 致动器部

41 致动器主体

42 致动器盖

43 活塞

44 弹簧

51 柔性线缆

52 电路基板

53 连接器

6 外部终端

61 设备信息存储部

62 判别处理部

63 校正处理部

64 通信处理部

65 解析处理部

7 处理模块

71 识别信息存储部

72 通信处理部

8 处理模块

81 识别信息存储部

82 判别处理部

83 校正处理部

84 通信处理部

A 流体控制设备

F(F1、F2、F3) 流量控制装置

G 流体控制装置

L1、L2、L3 流体供给管线

V(V11～V14、V21～24、V31～34) 阀。