一种基于RFID标签管理的磁吸贴片光阻管理方法及系统

技术领域

本发明涉及标签管理技术领域，特别涉及一种基于RFID标签管理的磁吸贴片光阻管理方法及系统。

背景技术

在半导体集成电路晶圆制造过程中，光阻通常采用光阻瓶来进行保存。光阻的管理在光刻制造阶段里有着重要的作用，正确无误的对制造过程中的光阻进行信息统计和管理，Barcode和RFID的方式可以作为信息载体承载光阻信息，传统方式采用Barcode标签贴于瓶身，通过扫描枪扫取瓶身的Barcode标签信息读取对应的光阻瓶信息。Barcode标签虽然作为信息载体，但是只能在扫描枪人工操作时候才能实现信息读取。对于已经安装在设备端(安装后的光阻瓶在设备光阻柜与外部由柜门隔开，光阻瓶信息处于黑箱状态)的光阻瓶，采用传统的扫描方式难以及时读取和管理光阻信息，另外，传统扫描枪方式在读取时可能会需要移动或调整光阻瓶使得Barcode标签对准扫描枪，这样会容易导致瓶内光阻剂晃动产生气泡，影响到光阻性能。

发明内容

本发明是为了解决上述问题而进行的，目的在于提供一种基于RFID标签管理的磁吸贴片光阻管理方法及系统。

为实现达到上述目的，本发明采用如下技术方案：

本发明提供一种基于RFID标签管理的磁吸贴片光阻管理方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1，将带有磁性的RFID标签绑定在光阻瓶上；步骤2，获取该光阻瓶的所有Barcode标签信息，并转换成一个RFID标签信息；步骤3，将RFID标签信息写入RFID标签内；步骤4，在光阻柜内安装带有磁性的RFID阅读器，将已写入RFID标签信息的光阻瓶安装至光阻柜中，并将RFID标签磁性吸附在RFID阅读器上；步骤5，通过网络连接的RFID阅读器读取光阻瓶的光阻信息，并将光阻信息在管理终端上进行可视化显示。

进一步地，在本发明提供的基于RFID标签管理的磁吸贴片光阻管理方法中，还可以具有这样的特征：其中，步骤2中按照预定规则对Barcode标签信息进行关键字段提取、字段重新排列并通过RFID编码协议转换形成RFID标签信息。

进一步地，在本发明提供的基于RFID标签管理的磁吸贴片光阻管理方法中，还可以具有这样的特征：其中，关键字段至少包含光阻类型、生产批号、有效期限、光阻瓶编号。

进一步地，在本发明提供的基于RFID标签管理的磁吸贴片光阻管理方法中，还可以具有这样的特征：其中，RFID标签通过绑绳绑定在光阻瓶的瓶颈上，绑绳的长度不小于10cm。

进一步地，在本发明提供的基于RFID标签管理的磁吸贴片光阻管理方法中，还可以具有这样的特征：其中，一个RFID阅读器磁性吸附并读取至少一个RFID标签。

本发明提供一种光阻管理系统，其特征在于，包括：RFID标签，绑定在光阻瓶上，RFID标签写入有作为光阻信息的RFID标签信息，RFID标签内设置有第一磁性部件；条码识别手持终端，用于实现对Barcode标签信息的读取；RFID读写器，用于将RFID标签信息写入RFID标签内；RFID阅读器，用于读取RFID标签信息，RFID阅读器设置有用于与第一磁性部件相磁吸贴合的第二磁性部件；服务器，与条码识别手持终端、RFID读写器、RFID阅读器通信连接，用于分析处理Barcode标签信息及RFID标签信息；管理终端，与服务器通信连接，用于可视化显示光阻信息。

进一步地，在本发明提供的光阻管理系统，还可以具有这样的特征：其中，每个RFID阅读器具有多根天线，每根天线的位置对应一个光阻瓶位置，每根天线上均设置有一个第二磁性部件。

本发明的作用和效果：

1)本发明的光阻管理系统实现将光阻的Barcode信息自动转换为光阻的RFID信息并将RFID信息写入RFID标签，通过RFID阅读器实现对RFID标签的不间断读取，这样实现了对光阻瓶信息，特别是对于已经安装在设备端(安装后的光阻瓶在设备光阻柜与外部由柜门隔开，光阻瓶信息处于黑箱状态)的光阻瓶信息进行读取和管理。RFID标签也会因为位置的不同需要调整RFID阅读器的位置，而设备光阻柜空间有限，给RFID阅读器的安装造成不便。

2)本发明的光阻管理系统通过RFID阅读器可以全天候连续读取并实现光阻信息管理。

3)本发明的光阻管理系统中，在RFID标签与RFID阅读器贴合过程中可以保持光阻瓶的竖直状态，不会造成光阻瓶倾斜，导致瓶内光阻晃动，避免产生气泡。

4)本发明的光阻管理系统中，本系统的RFID阅读器和RFID标签均有磁性部件，异性磁力吸附，不会排斥。RFID标签与RFID阅读器的天线通过磁吸方式贴合，因此可以调小RFID阅读器的功率，仅仅每个天线仅对应接收到与之贴合的RFID标签，既实现了对光阻瓶信息的精准读取，又避免了相邻光阻瓶的RFID标签信息干扰。

附图说明

图1是本发明实施例中的基于RFID标签4管理的磁吸贴片光阻管理方法及系统。

附图标记：1-光阻瓶1；2-Barcode标签；3-绑绳；4-RFID标签4；5-条码识别手持终端；6-RFID读写器；7-RFID阅读器；8-天线；9-第二磁性部件；10-服务器；虚线箭头表示网络通信。

具体实施方式

为了使本发明实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，以下实施例结合附图对本发明的基于RFID标签管理的磁吸贴片光阻管理方法及系统作具体阐述。

<实施例>

如图1所示，本实施例提供一种基于RFID标签管理的磁吸贴片光阻管理系统，该系统包括：RFID标签4、条码识别手持终端5、RFID读写器6、RFID阅读器7、服务器10、管理终端(图中未示)。

Barcode标签2贴附在光阻瓶1的瓶身，通常一个光阻瓶1的瓶身可能或贴有一个或多个Barcode标签2。条码识别手持终端5用于扫描Barcode标签2以读取Barcode标签信息。

RFID标签4绑定在光阻瓶1上。RFID标签4通过绑绳3绑定在光阻瓶1的瓶颈上，绑绳3的长度不小于10cm，以使得RFID标签4与RFID阅读器7贴合时，不会影响到光阻瓶1位置移动。优选地，光阻瓶1在瓶颈上设有瓶耳，绑绳3绑定瓶耳上。RFID标签4写入有作为光阻信息的RFID标签信息，RFID标签4内设置有第一磁性部件。

RFID读写器6用于将RFID标签信息写入RFID标签4内。

RFID阅读器7用于实时全天候读取RFID标签信息。每个RFID阅读器7读取至少一个光阻瓶的RFID标签4，在本实施例中每个RFID阅读器7读取四个光阻瓶的RFID标签4。如图1所示，每个RFID阅读器7具有四根天线8，每根天线8的位置对应一个光阻瓶1位置(图中仅示意了一个光阻瓶的情况)，每根天线9上均设置有一个第二磁性部件。第一磁性部件与天线9上的第二磁性部件相磁吸贴合，使得RFID标签4可自动磁吸贴合于RFID阅读器7上。

服务器10与条码识别手持终端5、RFID读写器6、RFID阅读器7通信连接，服务器10将RFID读写器6获取的Barcode标签信息转换为RFID标签信息及将对RFID阅读器7读取的RFID标签信息进行处理。

管理终端与服务器通信连接，管理终端可以是计算机也可以是管理人员的手持智能终端，管理终端用于可视化显示光阻信息，以方便管理人随时查看。

服务器10与半导体制造工厂的已有的生产数据管理系统通信连接，将该光阻管理系统的数据实时同步到生产数据管理系统中，以方面管理人员统一自动化管理，可以避免人为失误操作造成的产品报废。

本实施例中还提供一种基于RFID标签管理的磁吸贴片光阻管理方法，该方法采用上述光阻管理系统实现。该方法包括以下步骤：

步骤1，将带有磁性的RFID标签4绑定在光阻瓶1上。

步骤2，通过条码识别手持终端5读取该光阻瓶1的所有Barcode标签信息并上传至服务器进行处理，服务器按照预定规则对该光阻瓶1的所有Barcode标签信息进行关键字段提取、字段重新排列并通过RFID编码协议转换形成RFID标签信息。该关键字段至少包含光阻类型、生产批号、有效期限、光阻瓶编号。RFID标签信息中各关键字段的排列格式可通过用户自定义实现。

步骤3，通过RFID读写器6用于将RFID标签信息写入RFID标签4内。

步骤4，在光阻柜内安装带有磁性的RFID阅读器，将已写入RFID标签信息的光阻瓶1安装至光阻柜中，并将RFID标签4磁性吸附在RFID阅读器上。

步骤5，通过网络连接的RFID阅读器读取光阻瓶1的光阻信息，并将光阻信息同步到生产数据管理系统以及在管理终端上可视化显示光阻信息。

上述实施例仅为本发明的优选实施例，并不用于限定本发明的保护范围。凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换、改进等，均包含在本发明的保护范围内。