一种多腔体等离子处理自动上下料系统的输送机构

技术领域

本发明涉及等离子处理技术领域，特别涉及一种多腔体等离子处理自动上下料系统的输送机构。

背景技术

当前业界普遍使用的等离子体处理设备为单腔多片处理系统，需要人工干预上下料，我们了解等离子处理基板的上板程序是等离子处理流程中重要程序，而且有着严格的工艺要求。在进行上板工艺处理时，因为设备的限制，往往需要人力将每一块基板定位安装到台车上，然后将上了基板的台车人工送至等离子处理系统中进行加工处理。这种单腔体处理系统，需要工作人员比较多，基本要需要一个员工负责一台台车的上板工作，还需要一个员工负责接送等离子处理腔体内的基板，需要支付的人工费用比较多，工作效率低下。

发明内容

为了克服上述缺陷，本发明提供了一种多腔体等离子处理自动上下料系统的输送机构，能够配合现有的单槽台车上下料系统使用，实现等离子处理基板的全程输料的自动化操作。

本发明为了解决其技术问题所采用的技术方案是：一种多腔体等离子处理自动上下料系统的输送机构，设有至少两个等离子处理腔体，每个等离子处理腔体的前端对应设有上下两层输送腔体组成的送料区，每个输送腔体内可容置至少一辆台车，所述两个送料区之间设有供台车转接的转接区，所述转接区同样由上下两层输送腔体组成，所述等离子处理腔体设置在送料区的上层输送腔体后方，由上层输送腔体内的台车推入或拉出等离子处理腔体；所述上下两层输送腔体内设有抬升或下降台车的升降机，所述多个上层输送腔体部分的两侧设有连接的输送台车滚珠滑轨，所述多个下层输送腔体的底部设有连接的输送台车输送滚轮台。

作为本发明的进一步改进，所述升降机上升到上层输送腔体时位于两侧滚珠滑轨的中间，所述升降下降到下层输送腔体时，输送滚轮台内设有供升降机容置的腔体。

作为本发明的进一步改进，所述台车通过滑轨设置于转接板上，转接板的两侧通过滑动卡销卡入两侧的滚珠滑轨滑动。

作为本发明的进一步改进，所述滚珠滑轨的上方设有传动定位销，传动定位销固定在沿滑轨方向传动的皮带传动装置上，通过传动定位销卡入转接板两侧的定位销孔连接转接板，并带动转接板沿滚珠滑轨方向滑动。

本发明的有益效果是：本发明的等离子处理单槽台车的输送系统利用升降机、滚珠滑轨和输送滚轮台的配合，解决现阶段等离子处理全自动输送系统中存在的由于水平输送和垂直输送之间输送机构导致的输送干涉问题，同时可以让台车和升降台之间能够实现自由分离，在台车处于等待期间，升降台可以继续上升或下降，缩短基板处理时台车的等待时间，提高等离子处理系统整体的处理效率。

附图说明

图1为本发明结构示意图；

图2为图1的侧视图。

图中标示：1-等离子处理腔体；2-输送腔体；3-送料区；4-台车；5-转接区；6-升降机；7-滚珠滑轨；8-输送滚轮台；9-转接板；10-传动定位销；11-皮带传动装置。

具体实施方式

为了加深对本发明的理解，下面将结合实施例和附图对本发明作进一步详述，该实施例仅用于解释本发明，并不构成对本发明保护范围的限定。

图1和2出示了本发明一种多腔体等离子处理自动上下料系统的输送机构的一种实施方式，设有至少两个等离子处理腔体1，每个等离子处理腔体1的前端对应设有上下两层输送腔体2组成的送料区3，每个输送腔体2内可容置至少一辆台车4，所述两个送料区3之间设有供台车转接的转接区5，所述转接区5同样由上下两层输送腔体2组成，所述等离子处理腔体1设置在送料区3的上层输送腔体2后方，由上层输送腔体2内的台车推入或拉出等离子处理腔体1；所述上下两层输送腔体2内设有抬升或下降台车4的升降机6，所述多个上层输送腔体2的两侧设有连接的输送台车的滚珠滑轨7，所述多个下层输送腔体2的底部设有连接的输送台车的输送滚轮台8。

所述升降机6上升到上层输送腔体时位于两侧滚珠滑轨7的中间，所述升降机6下降到下层输送腔体2时，输送滚轮台8内设有供升降机6容置的腔体。

所述台车4通过滑轨设置于转接板9上，转接板9的两侧通过滑动卡销卡入两侧的滚珠滑轨7滑动。

所述滚珠滑轨7的上方设有传动定位销10，传动定位销10固定在沿滑轨方向传动的皮带传动装置11上，通过传动定位销卡入转接板9两侧的定位销孔连接转接板9，并带动转接板9沿滚珠滑轨7方向滑动。

本实施例的工作原理如下：台车4由左侧送料区3一侧的上下基板区进入送料区3的上输送腔体2，台车4由滚珠滑轨7输送至右侧的送料区3，台车4内的等离子基板被推入右侧等离子处理腔体1进行加工，此时等待的台车下方的升降台6下降至下输送腔体2，左侧送料区3继续送入装有待处理基板的台车，并由左侧送料区3的升降机6下降至下输送腔体2，并由输送滚轮台输送至右侧送料区3的下输送腔体2，待右侧送料区3的上输送腔体2的台车加工完成后由滚珠滑轨7输送至转接区5，右侧送料区3的升降机6上升将装有待处理基板的台车4再次推入右侧等离子处理腔体进行加工处理。同样道理，左侧送料区内的台车4进行与右侧送料区的台车4同样的操作，台车4在转接区5内进行等待交换，完成循环。