一种氮化镓材料的外延结构

技术领域

本发明涉及氮化镓技术领域，具体为一种氮化镓材料的外延结构。

背景技术

氮化镓是一种无机物，化学式GaN，是氮和镓的化合物，是一种直接能隙的半导体，常用在发光二极管中，此化合物结构类似纤锌矿，硬度很高，氮化镓的能隙很宽，为3.4电子伏特，可以用在高功率、高速的光电元件中，在灯具中使用该材料时，由于灯具的灯点结构大小平整类似，因此在氮化镓成型后，需要安装一定形状分割，分割过程和电极植入比较麻烦，鉴于以上问题，特提出一种氮化镓材料的外延结构。

发明内容

本发明的目的在于提供一种氮化镓材料的外延结构，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种氮化镓材料的外延结构，包括外延底座，所述外延底座包括衬底板，的上表面均匀光刻有图形结构，所述图形结构呈正六边形，每个所述图形结构外围处成型有隔离槽，所述隔离槽的横向间距等于图形结构的边缘垂直壁厚，所述衬底板的上表面纵向贴合有电极隔离条，所述衬底板的上表面横向贴合有分割隔离条。

优选的，所述图形结构的上表面开设有成型槽。

优选的，所述成型槽的垂直厚度等于图形结构的边缘垂直壁厚的二分之一。

优选的，所述电极隔离条的侧表面与分割隔离条的侧表面相啮合。

优选的，所述电极隔离条由下至上分别一体成型有第一遮挡条、第二遮挡条和第三遮挡条，所述第一遮挡条的侧边与下表面夹角为110°-125°之间，所述第二遮挡条的侧边延长线与下表面之间的夹角为100°-115°之间，所述第三遮挡条的侧边为竖直状态。

优选的，所述分割隔离条由下至上分别一体成型有第一隔离条、第二隔离条和第三隔离条，所述第一隔离条、第二隔离条和第三隔离条的侧面边缘角度与第一遮挡条、第二遮挡条和第三遮挡条为180°互补关系。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：本发明设置了一种带有电极隔离条和分割隔离条的氮化镓材料外延底座，在生产氮化镓元件时，氮化镓在图形结构的上表面以及衬底板的上表面生长外延，并且在电极隔离条和分割隔离条的内壁之间生长，在隔离为器件大小的同时，还能够预留隔离出电极槽，有效的解决了现有的氮化镓材料在外延生长生产时为一体结构，因此后期切割、蚀刻槽位时比较麻烦的问题。

附图说明

图1为本发明结构示意图。

图2为本发明俯视图。

图3为本发明图形结构立体示意图。

图4为本发明图形结构俯视图。

图5为本发明电极隔离条剖面示意图。

图6为本发明分割隔离条主视图。

图中：1、外延底座，11、衬底板，12、图形结构，13、成型槽，14、电极隔离条，15、分割隔离条，16、第一遮挡条，17、第二遮挡条，18、第三遮挡条，19、第一隔离条，110、第二隔离条，111、第三隔离条，112、隔离槽。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

请参阅图1-6，本发明提供一种技术方案：一种氮化镓材料的外延结构，包括外延底座1，外延底座1包括衬底板11，的上表面均匀光刻有图形结构12，图形结构12呈正六边形，每个图形结构12外围处成型有隔离槽112，隔离槽112的横向间距等于图形结构12的边缘垂直壁厚，衬底板11的上表面纵向贴合有电极隔离条14，衬底板11的上表面横向贴合有分割隔离条15；

本发明设置了一种带有电极隔离条14和分割隔离条15的氮化镓材料外延底座1，在生产氮化镓元件时，氮化镓在图形结构12的上表面以及衬底板11的上表面生长外延，并且在电极隔离条14和分割隔离条15的内壁之间生长，在隔离为器件大小的同时，还能够预留隔离出电极槽，有效的解决了现有的氮化镓材料在外延生长生产时为一体结构，因此后期切割、蚀刻槽位时比较麻烦的问题。

具体而言，图形结构12的上表面开设有成型槽13，图形结构12为光刻生产，其具体大小需要根据产品生产大小确定。

具体而言，成型槽13的垂直厚度等于图形结构12的边缘垂直壁厚的二分之一，利用该结构深度的限定，在氮化镓生长的过程中能够均匀生长，并且生长后的材料与隔离槽112内部的氮化镓材料的连接强度，使用起来电子分布均匀。

具体而言，电极隔离条14的侧表面与分割隔离条15的侧表面相啮合，电极隔离条14与分割隔离条15的长度和间距需要根据实际生产的元件材料大小确定。

具体而言，电极隔离条14由下至上分别一体成型有第一遮挡条16、第二遮挡条17和第三遮挡条18，第一遮挡条16的侧边与下表面夹角为110°-125°之间，第二遮挡条17的侧边延长线与下表面之间的夹角为100°-115°之间，第三遮挡条18的侧边为竖直状态，电极隔离条14采用耐高温材料制成，能够耐1200℃左右高温，并且能够重复使用，在电极隔离条14的外围处一体成型有环状结构，因此能够稳定的定位使用。

具体而言，分割隔离条15由下至上分别一体成型有第一隔离条19、第二隔离条110和第三隔离条111，第一隔离条19、第二隔离条110和第三隔离条111的侧面边缘角度与第一遮挡条16、第二遮挡条17和第三遮挡条18为180°互补关系，分割隔离条15采用耐高温材质制成，在蚀刻时能够与电极隔离条14分离后的凹槽同时被溶解，进而能够分割为小块，由于以上材料均为现有技术材料因此其具体的材料需要根据生产大小和实际生产温度确定。

对于本领域技术人员而言，显然本发明不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本发明。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。