容器式宏微位移机构

技术领域

本发明为一种容器式宏微位移机构，属于宏微位移驱动技术领域。

背景技术

现有的绝大部分宏微位移机构采用逆压电陶瓷技术方案，其行程和精度无法兼顾，即精度高的行程小，行程大的精度低。本发明采用液体容器式这种全新的技术方案，在保证大行程的情况下，位移精度可以控制在1纳米以内。

发明内容

本发明的目的是提供一种行程在1000毫米以上，并且精度在0.5纳米以内的宏微位移机构。

本发明的技术方案是：工作端开口容器(2)和操作端封闭容器(4)相互连通，在整体上是一个容器，在容器里面注入液体(3)，工作台(1)漂浮在工作端开口容器(2)里的液面上，活塞(5)安装在操作端封闭容器(4)上，当活塞(5)进入操作端封闭容器(4)时，活塞(5)就排开操作端封闭容器(4)内一定体积的液体(3)，被排开的液体(3)进入工作端开口容器(2)里面，工作端开口容器(2)的液面位置上升一个向上的位移，漂浮在液面上的工作台(1)也随之获得一个向上的位移。

使用时，向下移动活塞(5)一定的位移，活塞(5)就排开操作端封闭容器(4)内一定体积的液体(3)，被排开的液体(3)进入工作端开口容器(2)里面，工作端开口容器(2)的液面位置上升一个向上的位移，漂浮在液面上的工作台(1)也就获得一个向上的位移。保证温度恒定，避免热胀冷缩造成的误差。

附图说明

图1为本发明的整体示意图，图1中各标号为(1)：工作台，(2)：工作端开口容器，(3)：液体，(4)：操作端封闭容器，(5)：活塞。

具体实施方式

活塞(5)的横截面为圆形，直径是0.5毫米，工作端开口容器(2)的横截面面为圆形，直径是0.4米，当活塞(5)向下移动0.32毫米时，工作台(1)就获得一个向上的0.5纳米的位移，保证了位移精度，当活塞(5)向下移动641712730.5毫米时，工作台(1)就获得一个向上的1002.676141毫米的位移，保证了工作台(1)较大的行程。本发明所使用的液体是对苯二甲酸二辛酯。

上面结合附图对本发明的具体实施方式做了详细说明，但是本发明并不限于上述实施方式，在本领域普通技术人员所具备的知识范围内，可以使用横截面积更小的活塞(5)，横截面积更大的工作端开口容器(2)，理论上，工作台(1)可以获得1皮米的位移甚至1飞米的位移精度。也可以使用更长的活塞，从而使工作台(1)获得更大的行程。

工业实用性，本发明各个零部件都可以工业化批量生产，零部件的组装也可以流水线生产，本发明应用于光刻机或者转基因工程等高科技领域。