紫外线照射装置

技术领域

本发明涉及紫外线照射装置。

背景技术

以往，已知DNA在波长260nm附近呈现最高的吸收特性。此外，低压水银灯在波长254nm附近呈现较高的发光波谱。因此，以往广泛地利用照射来自低压水银灯的紫外线来进行杀菌的技术(例如，参照专利文献1)。

但是，波长254nm附近的光如果被向人体照射则有可能带来不良影响。在下述专利文献2中，公开了通过在医疗现场使用波长207nm以上且220nm以下的紫外线、避免了对人体影响的风险并进行杀菌处理的技术。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2011－048968号公报

专利文献2：日本特许第6025756号公报

发明内容

发明要解决的课题

但是，上述专利文献2仅言及了波长207nm以上且220nm以下的紫外线能够用于医疗现场中的杀菌处理，关于在非医疗现场中一般消费者通用地进行杀菌处理并没有进行想定。例如，一般消费者在家庭内为了对卫生间、厨房、浴室、鞋内等的被认为细菌比较容易繁殖的场所进行杀菌处理，需要是能够容易搬运的程度的大小、及对人体的影响被抑制为最小限度这样的条件。

但是，在现时点还没有提出满足上述那样的条件的、适合于杀菌用途的紫外线照射装置是现实情况。

本发明鉴于上述课题，目的是提供一种对于人体带来的影响的程度被抑制的小型的紫外线照射装置。

用来解决课题的手段

有关本发明的紫外线照射装置具备：灯壳体，至少在1个面形成光取出面；准分子灯，在上述灯壳体内被收容在相对于上述光取出面在第一方向上离开的位置，发出主要的发光波长属于190nm以上且225nm以下的第一波长域的紫外线；第一电极，与上述准分子灯的发光管的外表面接触而配置；第二电极，相对于上述第一电极在与上述准分子灯的管轴平行的第二方向上离开的位置，与上述准分子灯的发光管的外表面接触而配置；光学滤波器，被配置在上述光取出面，使上述第一波长域的紫外线实质上透射，使波长240nm以上且300nm以下的紫外线实质上不透射；以及反射面，是从上述第二方向观察时位于上述准分子灯的发光管的外侧并且相对于上述光取出面倾斜的面，对于上述第一波长域的紫外线呈现反射性。

在本说明书中所述的“主要的发光波长”，是指在对于某个波长λ在发光波谱上规定了±10nm的波长区域Z(λ)的情况下、对于发光波谱内的全积分强度呈现40％以上的积分强度的波长区域Z(λi)中的波长λi。例如在被封入了包含KrCl、KrBr、ArF的发光气体的准分子灯等那样，半值宽度很窄并且仅在特定的波长下呈现光强度的光源中，通常因为具有相对强度最高的波长(主峰值波长)从而也可以作为主要的发光波长。

在本说明书中所述的光学滤波器“使紫外线实质上透射”，是指透射过光学滤波器的紫外线的强度相对于入射到光学滤波器的紫外线的强度是60％以上。此外，在本说明书中“使紫外线实质上不透射”，是指透射过光学滤波器的紫外线的强度相对于入射到光学滤波器的紫外线的强度小于20％。

另外，也可以是，光学滤波器是将波长240nm以上且300nm以下的紫外线实质上反射的结构。这里，在本说明书中所述的“将紫外线实质上反射”，是指光学滤波器反射的紫外线的强度相对于入射到光学滤波器的紫外线的强度是80％以上。

实际上，根据相对于光学滤波器入射的紫外线的入射角，光学滤波器的紫外线的透射率及反射率变化。这里，从准分子灯射出的紫外线虽然具有一定的发散角而行进，但行进的全部的光线中的相对于光射出面以0°附近的角度行进的光线的强度最强，随着发散角从0°离开而强度下降。因此，对于以入射角20°以内入射到光学滤波器的紫外线的强度呈现60％以上的透射率的光学滤波器，也可以作为使上述紫外线实质上透射的机构来对待。同样，对于以入射角20°以内入射到光学滤波器的紫外线的强度呈现小于20％的透射率的光学滤波器也可以作为使上述紫外线实质上不透射的机构来对待。同样，对于以入射角20°以内入射到光学滤波器的紫外线的强度呈现90％以上的反射率的光学滤波器也可以作为将上述紫外线实质上反射的机构来对待。

上述紫外线照射装置具备与准分子灯的发光管的外表面接触的第一电极和第二电极。这些电极分别在沿准分子灯的管轴方向相离的位置处与准分子灯的发光管的外表面接触。因此，准分子灯能够通过简单的直管型的构造进行放电，所以不需要采用作为以往的准分子灯通常利用的、将管体以同心圆状设置双重而在内侧管与外侧管之间封入发光气体的构造的、所谓“双重管构造”。

作为一例，上述紫外线照射装置所具备的准分子灯的发光管的大小，在管轴方向(第二方向)的长度是15mm以上且200mm以下，外径是2mm以上且16mm以下。

在发出主要的发光波长属于第一波长域的紫外线的准分子灯中，虽然是很小的强度，但能够射出有可能给人体带来影响的波长域(波长240nm以上且300nm以下)的紫外线。图1是表示在发光气体中包含有KrCl的准分子灯(主要的峰值波长为222nm附近)的发光波谱的一例的图。

根据图1，虽然很小，但在240nm以上的波长域中也确认有光输出。另外，并不限于包含KrCl作为发光气体的准分子灯，在作为发光气体而包含KrBr的准分子灯(主要的峰值波长为207nm)或包含ArF作为发光气体的准分子灯(主要的峰值波长为193nm)等发出主要的发光波长属于第一波长域的紫外线的其他的准分子灯中，也同样能够射出波长240nm以上且300nm以下的紫外线。

如上述那样，有关本发明的紫外线照射装置在光取出面侧配置有使第一波长域的紫外线实质上透射、将波长240nm以上且300nm以下的紫外线实质上反射的光学滤波器。因此，对于从准分子灯射出的紫外线中所包含的波长240nm以上且300nm以下的成分，由于在光学滤波器实质上被反射，所以被取出到紫外线照射装置的外部的量下降。即，通过设置该光学滤波器，(虽然是原本光输出较小的波长域的成分)被取出到外部的光量进一步被削减，所以对于人体的影响进一步被抑制。

此外，如上述那样，对应于对光学滤波器入射的紫外线的入射角，光学滤波器的紫外线的透射率及反射率变化。在被设想为被从紫外线照射装置取出的第一波长域的紫外线中，如果相对于光学滤波器的入射角很大，则透射率下降而反射率增加。因此，关于从准分子灯射出的第一波长域的紫外线中的、相对于光学滤波器以比较大的入射角(例如30°以上)入射的紫外线，其一部分被光学滤波器反射而被向准分子灯侧送回。结果，没有被取出到紫外线照射装置的外部，与没有设置光学滤波器的情况相比，光取出效率一定程度下降。

此外，反射光的一部分被照射在灯壳体的箱体(壳)上，灯壳体有可能劣化。

相对于此，有关本发明的紫外线照射装置具备从上述第二方向、即准分子灯的发光管的管轴方向观察时位于该发光管的外侧并且相对于光取出面倾斜的、呈现对于紫外线的反射性的反射面。从准分子灯射出的紫外线具有规定的发散角而朝向光学滤波器行进。这里，如果具有较大的发散角而行进的紫外线被入射到反射面，则被反射面反射而行进方向被变换。反射面由相对于光取出面倾斜的面构成，所以在被反射面反射后向光学滤波器入射时的入射角减小。

结果，透射过光学滤波器的紫外线的比例上升，被从紫外线照射装置取出的第一波长域的紫外线的输出增加，并且能得到抑制灯壳体的劣化的程度的效果。

另外，所述的“光学滤波器被配置在光取出面”，除了光学滤波器相对于光取出面完全一体化而配置的情况以外，还包括光学滤波器被配置在相对于光取出面在第一方向上离开微小的距离(例如几mm～十几mm)的位置的情况。

也可以是，具备构成上述第一电极的第一电极块和构成上述第二电极的第二电极块；上述第一电极块及上述第二电极块的至少一方在与上述第一方向及上述第二方向正交的第三方向上从上述准分子灯离开的位置处具有构成上述反射面的锥面。

即，构成上述反射面的上述锥面也可以为上述第一电极块或上述第二电极块的一部分。在此情况下，优选的是，上述第一电极块及上述第二电极块都由对于第一波长域的紫外线呈现反射性的材料(Al、Al合金、不锈钢等)构成。更优选的是，上述第一电极块及上述第二电极块的双方具有上述锥面。

根据该结构，由于能够由双方的电极块将从准分子灯以具有大的发散角而行进的第一波长域的紫外线反射，所以能够减小相对于光学滤波器的入射角的光量增加。由此，能够使光取出效率进一步提高，并且能提高抑制灯壳体的劣化的程度的效果。

也可以是，上述紫外线照射装置具有在上述第三方向上相离而配置的多个上述准分子灯；上述第一电极块及上述第二电极块与多个上述准分子灯各自的发光管的外表面接触，并且以跨多个上述准分子灯的方式配置；上述锥面在从上述第二方向观察时至少形成在被上述第三方向上相邻的多个上述准分子灯夹着的位置。

也可以是，上述锥面的一部分位于关于上述第一方向比上述准分子灯靠上述光取出面侧。根据该结构，假如不存在锥面则能够进一步提高能够使应该以透射过光学滤波器的比例(透射率)低的入射角向光学滤波器入射的紫外线在锥面上反射而以透射过光学滤波器的比例较高的入射角向光学滤波器入射的光量。

上述锥面在从上述第二方向观察时，与上述第一方向所成的角度优选的是10°以上且50°以下，更优选的是20°以上且40°以下。

发明效果

根据本发明，能实现对于人体带来的影响的程度被抑制的小型的紫外线照射装置。

附图说明

图1是在发光气体中包含KrCl的准分子灯的发光波谱的一例。

图2是示意地表示紫外线照射装置的外观的立体图。

图3是从图2将紫外线照射装置的灯壳体的主体壳部和盖部分解的立体图。

图4是示意地表示紫外线照射装置具备的电极块和准分子灯的构造的立体图。

图5是从图4将视点变更的立体图。

图6是从图5将准分子灯的图示省略而示意地表示电极块的构造的立体图。

图7是将准分子灯在Z方向上观察时的示意性的平面图。

图8是表示光学滤波器的透射波谱的一例的曲线图。

图9是用来说明紫外线对于光学滤波器的入射角的示意性的图。

图10是表示光学滤波器的反射波谱的一例的曲线图。

图11是示意地表示紫外线照射装置具备没有形成锥面的第一电极块的情况下的紫外线的行进的状况的图。

图12是示意地表示紫外线照射装置具备形成有锥面的第一电极块的情况下的紫外线的行进的状况的图。

图13是用来说明锥角的示意性的图。

图14是表示设在电极块上的锥面的锥角φ与被从紫外线照射装置取出的紫外线的照度的关系的曲线图。

图15是用来说明由锥面的锥角φ的大小带来的对紫外线的影响的示意性的图。

图16A是仿照图12而表示其他实施方式的紫外线照射装置的示意性的结构的图。

图16B是示意地表示图16A所示的紫外线照射装置具备的反射部件的构造的立体图。

图17是仿照图12而表示其他实施方式的紫外线照射装置的示意性的结构的图。

具体实施方式

适当参照附图对有关本发明的紫外线照射装置的实施方式进行说明。另外，以下的各图是示意性地图示，图面上的尺寸比例和实际的尺寸比例并不一定一致。此外，在各图间，尺寸比例也并不一定一致。

图2是示意地表示紫外线照射装置的外观的立体图。图3是从图2将紫外线照射装置1的灯壳体2的主体壳部2a和盖部2b分解后的立体图。

在以下的各图中，参照将紫外线L1的取出方向设为X方向、将与X方向正交的平面设为YZ平面的X－Y－Z坐标系进行说明。更详细地讲，如参照图3以下的图后述那样，设准分子灯3的管轴方向为Y方向，设与X方向及Y方向正交的方向为Z方向。X方向对应于“第一方向”，Y方向对应于“第二方向”，Z方向对应于“第三方向”。

此外，在以下的说明中，在表现方向时区别正负的朝向的情况下，如“+X方向”“－X方向”那样，赋予正负的符号而记载。此外，在不区别正负的朝向而表现方向的情况下，简单记作“X方向”。即，在本说明书中，在简单记作“X方向”的情况下，包括“+X方向”和“－X方向”的双方。关于Y方向及Z方向也同样。

如图2及图3所示，紫外线照射装置1具备在一个面上形成有光取出面10的灯壳体2。灯壳体2具备主体壳部2a和盖部2b，在主体壳部2a内收容有准分子灯3和电极块(11、12)。另外，在本实施方式中，以在灯壳体2内收容有4盏准分子灯3(3a、3b、3c、3d)的情况为例进行说明(参照图4)，但准分子灯3的数量也可以是1盏，也可以是2盏、3盏或5盏以上。电极块(11、12)构成用来对各准分子灯3供电的电极。

在本实施方式中，如图3所示，在构成盖部2b的光取出面10的区域中设有光学滤波器21。关于光学滤波器21的特性在后面叙述。

图4及图5是从图3省略了主体壳部2a的图示、仅图示了电极块(11、12)和准分子灯3(3a、3b、3c、3d)的立体图。图4和图5仅观察的角度不同。此外，图6是从图5进一步省略了准分子灯3的图示的立体图。

如图4及图5所示，本实施方式的紫外线照射装置1具备在Z方向上相离而配置的4盏准分子灯3(3a、3b、3c、3d)。此外，以与各个准分子灯3的发光管的外表面接触的方式配置有2个电极块(11、12)。以下，适当将电极块11称作“第一电极块11”，将电极块12称作“第二电极块12”。另外，第一电极块11对应于“第一电极”，第二电极块12对应于“第二电极”。

第一电极块11和第二电极块12被配置于在Y方向上相离的位置。如图6所示，第一电极块11具有以下的部分而构成：载置区域11a，呈现沿着准分子灯3的发光管的外表面所呈现的曲面的形状，载置准分子灯3；以及锥面11b，被形成在相对于准分子灯3在Z方向上相离的位置，相对于YZ平面倾斜。同样，关于第二电极块12，也具有载置区域12a和锥面12b。

另外，第一电极块11和第二电极块12由导电性的材料构成，优选的是由呈现针对第一波长域的紫外线L1的反射性的材料构成。作为一例，第一电极块11和第二电极块12都由Al、Al合金、不锈钢等构成。

图7是示意地表示准分子灯3和电极块(11、12)的位置关系的图，与将准分子灯3在+Z方向上观察时的示意性的平面图对应。另外，在图7中，在4盏准分子灯3(3a、3b、3c、3d)中仅图示了位于最靠－Z侧的准分子灯3a，省略了其他准分子灯(3b、3c、3d)的图示，但如上述那样，关于准分子灯(3b、3c、3d)也在+Z方向上排列。

准分子灯3具有以Y方向为管轴方向的发光管，在沿Y方向相离的位置，准分子灯3的发光管的外表面相对于各电极块(11、12)接触。在准分子灯3的发光管中封入了发光气体3G。如果在各电极块(11、12)之间被施加例如10kHz～5MHz程度的高频的交流电压，则经由准分子灯3的发光管对发光气体3G施加上述电压。此时，在被封入了发光气体3G的放电空间内发生放电等离子，发光气体3G的原子被激励而成为准分子状态，在该原子向基础状态转移时产生准分子发光。

发光气体3G由在准分子发光时射出主要的发光波长属于190nm以上且225nm以下的第一波长域的紫外线L1的材料构成。作为一例，作为发光气体3G而包含KrCl、KrBr、ArF。另外，除了上述的气体种类以外，也可以还混合氩(Ar)、氖(Ne)等的惰性气体。

例如，在发光气体3G中包含KrCl的情况下，从准分子灯3射出主要的峰值波长为222nm附近的紫外线L1。在发光气体3G中包含KrBr的情况下，从准分子灯3射出主要的峰值波长为207nm附近的紫外线L1。在发光气体3G中包含ArF的情况下，从准分子灯3射出主要的峰值波长为193nm附近的紫外线L1。关于在发光气体3G中包含KrCl的、从准分子灯3射出的紫外线L1的波谱，如参照图1上述那样。

如图1所示，在发光气体3G中包含KrCl的情况下，在紫外线L1的波谱中，光输出大致集中在作为主要的峰值波长的222nm附近，但是有关有可能对于人体有影响的240nm以上的波长域，尽管很少但也确认有光输出。因此，在构成光取出面10的区域中，以将该波长域的光成分阻断的目的而设有光学滤波器21。

图8是表示光学滤波器21的透射波谱的一例的曲线图，是按每波长测量对于光学滤波器21入射的光的强度和从光学滤波器21射出的光的强度的比率的图。另外，在图8中，按紫外线L1相对于光学滤波器21入射时的入射角θ而表示透射波谱。这里，入射角θ如图9所示，由相对于光学滤波器21的入射面的法线21N与向光学滤波器21的入射面入射的紫外线L1的角度来定义。

具有图8所示的特性的光学滤波器21是设想准分子灯3的发光气体3G包含KrCl的情况、即准分子灯3发出主要的峰值波长222nm的紫外线L1的情况而设计的。即，该光学滤波器21如图8所示，使波长222nm附近、更详细地讲使218nm以上且226nm以下的波长域的紫外线L1实质上透射，并且使240nm以上且300nm以下的紫外线L1实质上不透射。光学滤波器21也可以设计为，使从准分子灯3射出的紫外线L1中的主要的峰值波长附近的波长成分的紫外线L1实质上透射、并且使240nm以上且300nm以下的紫外线L1实质上不透射。

根据图8所示的光学滤波器21，240nm以上的300nm以下的紫外线L1在入射角θ为0°～40°的范围内呈现5％以下的透射率，在入射角θ为50°的情况下也呈现10％以下的透射率。

这样，根据入射的紫外线L1的波长而呈现不同的透射率的光学滤波器21由折射率不同的多个介电体多层膜实现。另一方面，在由这样的折射率不同的多个介电体多层膜构成光学滤波器21的情况下，根据紫外线L1相对于光学滤波器21的入射角θ，透射率不可避免地变化。结果，如图8所示，关于主要的峰值波长(在该例中是222nm)附近的成分，根据紫外线L1相对于光学滤波器21的入射角θ而透射率下降。例如，根据图8，在入射角θ为40°以上的情况下，对于222nm附近的紫外线L1的透射率低于20％。

另外，紫外线L1中的没有透射过光学滤波器21的紫外线L1的一部分被光学滤波器21反射。图10表示光学滤波器21的反射波谱的一例的曲线图，按每波长来测量对于光学滤波器21入射的光的强度与被光学滤波器21反射的光的强度的比率。但是，由于不能将发光部和受光部配置在相同的光轴上，所以在图10的曲线图中没有图示入射角θ为0°的情况的数据。

根据图10所示的光学滤波器21，对于240nm以上的300nm以下的紫外线L1在入射角θ为10°以上且40°以下的范围内呈现95％以上的反射率，在入射角θ为50°的情况下也呈现90％以上的反射率。

接着，参照附图对电极块(11、12)具有锥面(11b、12b)的效果进行说明。图11是示意地表示具备没有形成锥面的第一电极块111来代替第一电极块11的情况下的、从准分子灯3射出并朝向光学滤波器21的紫外线L1的行进的状况的图。在图11中，代表性地图示了从各准分子灯3射出的紫外线L1中的、从准分子灯3c射出的紫外线L1。

从各准分子灯3射出的紫外线L1具有规定的发散角而朝向光学滤波器21行进。因此，关于紫外线L1中的相对于光学滤波器21的入射角比较小的紫外线(L1b、L1c)，主要的峰值波长附近的成分实质上透射过光学滤波器21。但是，关于相对于光学滤波器21的入射角比较大的紫外线L1a，即使是主要的峰值波长附近的成分，一定程度的比例的紫外线L1a也被光学滤波器21反射。因此，发生从各准分子灯3射出的紫外线L1中的作为想要取出的波长域的主要的峰值波长附近的成分的一部分不能取出到外部的现象。

相对于此，如本实施方式那样，第一电极块11具备锥面11b，从而如图12所示，具有比较大的发散角而行进的紫外线L1a被锥面11b反射而变更行进方向。结果，紫外线L1a向光学滤波器21入射时的入射角与图11的情况相比变小，透射过光学滤波器21的光量增加。结果，从各准分子灯3射出的主要的峰值波长附近的紫外线L1被向紫外线照射装置1的外部取出的光量提高。相反，被光学滤波器21反射并向准分子灯3侧行进的返回光的光量减少，灯壳体2的劣化的发展被抑制。

另外，在图12中，以第一电极块11为例进行了说明，基于同样的理由，关于第二电极块12也具有锥面12b，从而能够将主要的峰值波长附近的紫外线L1取出到紫外线照射装置1的外部的光量增加。即，锥面(11b、12b)对应于“反射面”。

[实施例]

验证了电极块(11、12)的锥面(11a、11b)的锥角对于从紫外线照射装置1取出的紫外线L1的照度带来的影响。

(共通条件)

准备4盏在管轴方向(Y方向)的长度70mm、外径φ6mm的管体中封入了Kr、Cl

在上述条件下，向电极块(11、12)间施加峰值约4kV、频率70kHz的交流电压，使各准分子灯3产生电介质阻挡放电，用照度计测量从光取出面10向+X方向离开了20mm的4盏准分子灯3的中央的位置处的照度。另外，在光取出面10设置了具有图8所示的透射波谱的光学滤波器21。

准备使图13所示的锥角φ不同的多个种类的电极块(11、12)，使用各个电极块(11、12)同样地测量照度。另外，当使锥角φ不同时，通过调整锥面(11b、12b)相对于准分子灯3的X方向的突出距离，使各准分子灯3间的相离距离以7mm为一定。

另外，为了进行比较，通过同样的方法测量锥角φ为0°、即与图11所示的电极块111同样、以不具备锥面(11b、12b)的电极块代替电极块(11、12)而配置的情况下的照度。

将其结果表示在表1及图14中。另外，在表1及图14中，按每锥角φ而表示相对于使用了不具备锥面(11b、12b)的电极块的情况下的照度的相对照度的值。此外，锥角φ是锥面(11b、12b)相对于XY平面的倾斜角度，在表1及图14中，将向逆时针方向倾斜的情况(正的锥角)和向顺时针方向倾斜的情况(负的锥角)设为相同的值。

[表1]

根据表1及图14可知，在锥角φ为70°以下的情况下，不论锥角φ如何，都是使用具备锥面(11b、12b)的电极块(11、12)与使用不具备锥面(11b、12b)的电极块的情况相比实现了高的照度。

特别是，在锥角φ是10°以上且50°以下的情况下，与使用不具备锥面(11b、12b)的电极块的情况相比，实现了3％以上的照度。进而，在锥角φ是20°以上且40°以下的情况下，与使用不具备锥面(11b、12b)的电极块的情况相比实现了10％以上的照度。

图15是用来说明由锥面11b的锥角φ的大小带来的对紫外线L1的影响的示意性的图，将锥角φ为20°以上40°以下的锥面11b1、锥角φ为50°以上的锥面11b2、锥角φ为10°以下的锥面11b3全部一起记述在相同的图中。

在锥面11b的锥角φ是50°以上的情况下(锥面11b2)，从准分子灯3射出的紫外线L1中，被锥面(11b、12b)反射而行进方向变化的紫外线L1被限定于发散角度很大的紫外线L1。即，可以想到，在没有入射到锥面(11b、12b)而直线前进、原样被向光学滤波器21入射的紫外线L1中，依然存在入射角θ比较大的成分(紫外线L1a)，结果，通过该紫外线L1a不透射过光学滤波器21而不被取出，从而在锥面11b的锥角φ是50°以上的情况下，与锥角φ小于50°的情况相比，照度没有被充分地提高。

根据图15，如果第一电极块11具有锥面11b1，则紫外线L1a被该锥面11b1反射而行进方向变化，相对于光学滤波器21以比较小的入射角θ入射。由此，紫外线L1a透射过光学滤波器21而被向外部取出。相对于此，如果第一电极块11具有锥面11b2，则紫外线L1a不向该锥面11b2入射，所以原样直线前进，结果，相对于光学滤波器21以比较大的入射角θ入射，如上述那样，在光学滤波器21被反射。

另一方面，在锥面11b的锥角φ小于10°的情况下(锥面11b3)，即使不存在锥面11b3而以直线前进并以透射过光学滤波器21之程度的小的入射角相对于光学滤波器21入射的紫外线L1b也有可能被向锥面11b3入射。根据图15，如果第一电极块11具有锥面11b1，则紫外线L1b不入射到该锥面11b1而直线前进，原样相对于光学滤波器21以比较小的入射角θ入射。相对于此，如果第一电极块11具有锥面11b3，则紫外线L1b在该锥面11b3上反射而行进方向变化。由于该紫外线L1b相对于光学滤波器21以比较小的入射角θ入射，所以原样被向外部取出，但如上述那样，将原本不需要由锥面11b1反射的紫外线L1反射，结果，由锥面11b3将一部分的紫外线L1吸收，结果，与不具备锥面11b1的情况相比光取出效率下降。

[其他实施方式]

以下，对其他实施方式进行说明。

<1>在上述实施方式中，对第一电极块11具有相对于XY平面向逆时针方向倾斜的锥面11b和向顺时针方向倾斜的锥面11b的双方的情况进行了说明(参照图13)。但是，本发明不排除第一电极块11相对于XY平面仅向逆时针方向或顺时针方向的某一方倾斜的锥面11b的情况。关于第二电极块12也同样。

<2>在紫外线照射装置1具备多盏准分子灯3的情况下，2盏以上的准分子灯3的关于X方向的配置位置也可以移位。

<3>在上述的实施方式中，对于第一电极块11和第二电极块12在Y方向上相离地配置进行了说明。但是，第一电极块11和第二电极块12也可以隔着绝缘性部件而连结。

<4>在上述实施方式中，对于锥面(11b、12b)分别是电极块(11、12)的一部分进行了说明。但是，锥面(11b、12b)也可以由与电极块(11、12)的构成材料不同的、呈现对属于第一波长域的紫外线L1的反射性的反射部件构成。

<5>在上述实施方式中，对锥面(11b、12b)的一部分比准分子灯3向+X方向突出的情况进行了说明。但是，在锥面(11b、12b)的有关+X方向的端部与准分子灯3的有关+X侧的端部相比位于更靠－X侧的情况下，与不具有锥面(11b、12b)的电极块相比也能够提高光取出效率。

<6>在上述实施方式中，对构成反射面的锥面(11b、12b)是电极块(11、12)的一部分的情况进行了说明。但是，如参照图12上述那样，反射面只要起到使从各准分子灯3射出、以具有比较大的发散角行进的紫外线L1a反射、使得向光学滤波器21入射时的入射角变小的功能，并不需要一定是电极块(11、12)的一部分。

例如，如图16A所示，也可以具备与电极块11分体的反射部件30，该反射部件30的一部分的面构成为反射面31。图16B是示意地表示反射部件30的一例的立体图。反射部件30在一部分上具有开口32，在该开口32的－X侧的位置处形成有反射面31。通过在相对于开口32在－X方向对置的位置处配置准分子灯3，来自准分子灯3的紫外线L1经由开口32被向外部取出。此时，关于发散角比较大的紫外线L1a，通过被反射部件30的反射面31反射而行进方向被变更，与参照图12所上述的同样，向光学滤波器21入射时的入射角变小。

进而在此情况下，各电极也可以不是块形状。即，如图17所示，也可以由在准分子灯3的发光管的外侧面上通过丝网印刷等形成的金属膜来形成电极(11、12)。另外，在图17中，为了图示的方便而仅图示了电极11。另外，为了将设在各准分子灯(3a、3b、3c、3d)的发光管的外侧面的电极11彼此、以及电极12彼此分别电连接，也可以将各电极11彼此、以及各电极12彼此通过导电部件61连接。

附图标号说明

1：紫外线照射装置；2：灯壳体；2a：主体壳部；2b：盖部；3：准分子灯；3a、3b、3c、3d：准分子灯；3G：发光气体；10：光取出面；11：第一电极块；11a：载置区域；11b：锥面；12：第二电极块；12a：载置区域；12b：锥面；21：光学滤波器；30：反射部件；31：反射面；32：开口；61：导电部件；111：没有锥面的电极块；L1：紫外线。