掌桥专利:专业的专利平台
掌桥专利
首页

PR胶剥离液及其在液晶面板制程再生中的应用

文献发布时间:2023-06-19 11:22:42



技术领域

本发明属于液晶面板剥离液技术领域,具体涉及PR胶剥离液及其在液晶面板制程再生中的应用。

背景技术

在液晶面板生产过程中,Normal制程和COA制程的基板PR胶的剥离基本成熟,随着客户需求的变化,逐渐偏向于一款药液剥离该两种制程的PR胶,但是由于两种制程过程中PR胶种类和烘烤时间不相同,导致COA制程的药液不能将Normal制程的基板剥离干净,而Normal制程的药液对COA制程的基板的线路造成严重的腐蚀,不仅如此,现有的一些药液对这两种制程的PR胶的剥离寿命不长,且溶解效果也不佳或者溶解时间太长,容易出现滤芯堵塞和喷嘴堵塞的情况。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是现有剥离液不能同时满足不同制程基板PR胶的剥离需要,要么线路出现腐蚀,要么PR胶剥离不干净。

为解决上述技术问题,本发明公开了PR胶剥离液,包含酯基季铵氢氧化物、苄基醇、含氧胺、含杂环醇、缓蚀剂、有机溶剂、非离子表面活性剂、去离子水。

其中,PR胶是指涂覆在基板上的光阻,由RGB(红禄蓝)三种有色光阻和/或薄膜保护层组成。

其中,酯基季铵氢氧化物如式1所示,R

优选的,酯基季铵氢氧化物为甲基乙醇胺甲酯基氢氧化物、甲基乙醇胺乙酯基氢氧化物、甲基醇胺甲酯基氢氧化物、甲基乙基醇胺甲酯基氢氧化物、甲基醇胺乙酯基氢氧化物、甲基乙基醇胺乙酯基氢氧化物、甲基丙醇胺甲酯基氢氧化物、甲基丁醇胺甲酯基氢氧化物中的一种或两种。

其中,苄基醇如式2所示,R为羟基或C1-C5的羟基。

优选的,苄基醇为苯甲醇、苯乙醇、苯丙醇、2-苯异丙醇、苄丙醇中的一种或两种。

其中,含氧胺如式3所示,R

R1-O-R2-NH-R3

式3

优选的,含氧胺为乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、甲氧基甲基胺、乙氧基胺、2-乙氧基乙胺、2-甲氧基乙胺中的一种或两种。

其中,含杂环醇如式4所示,R

优选的,含杂环醇为DL-1-(2-呋喃基)乙醇、2-四氢呋喃-2-乙醇、四氢-2-呋喃丙醇、四氢化呋喃-2-甲醇中的一种或两种。

其中,缓蚀剂为苯丙三氮唑、TTA、亚氨基二乙酸、磺化木质素、巯基苯并噻唑中的一种或两种。

其中,有机溶剂为二元醇和/或二元醇醚。

优选的,有机溶剂为三甘醇、乙二醇、丙二醇、乙二醇一甲基醚、乙二醇一乙基醚、乙二醇一丁基醚、乙二醇一甲基醚乙酸酯、乙二醇一乙基醚乙酸酯、二甘醇、二甘醇一甲基醚、二甘醇一乙基醚、二甘醇一丙基醚、二甘醇一丁基醚等中的两种或三种。

其中,非离子活性剂为有机硅消泡剂和/或蔗糖酯。

具体的,以重量百分数计,本发明剥离液中酯基季铵氢氧化物为5-10%,苄基醇为15-20%,含氧胺为5-8%,含杂环醇为10-15%,有机溶剂为40-50%,缓蚀剂为0.5-2%,非离子表面活性剂为1-3%,其余为去离子水。

本发明PR胶剥离液的制备方法是将酯基季铵氢氧化物、苄基醇、含氧胺、含杂环醇、缓蚀剂、有机溶剂、非离子表面活性剂在去离子水中混合均匀。

一种优选的制备方法是控制物料搅拌时间控制在大于2小时,混料完成经过0.22um的滤芯过滤。

进一步,本发明公开了PR胶剥离液在液晶面板制程再生中的应用,将剥离液用于Normal制程和COA制程基板PR胶的剥离。

具体的,剥离温度控制在70~76℃,剥离液25℃下比重为1.2~1.1,剥离液碱度控制在4~5meq/g。

本发明具有如下的优点和有益效果:

本发明可最大程度的减缓COA制程基板在剥离PR胶过程中剥离液对线路的腐蚀情况,同时可加快剥离Normal制程基板的PR胶的速度,剥离时间可控制在≤7min;

本发明中所采用的溶剂都是不易挥发的,可以很好的控制药液的碱度变化幅度,使得药液的使用效果稳定,极大程度的延长了其使用寿命;

采用本发明剥离液剥离下来的PR胶很快溶解成细小颗粒,不会堵塞滤芯和喷嘴。

具体实施方式

现有的两种制程的剥离液都是采用高含量的TMAH或者KOH等有机或无机强碱,但都不能满足两种制程的剥离需要,要么COA制程的线路出现腐蚀,要么Normal制程的PR胶剥离不干净,从而无法更好的实现相应制程的再生。

不同于现有Normal制程和COA制程的PR胶剥离液,本发明在PR胶剥离液中采用一种有机碱酯基季铵氢氧化物,并控制碱含量在较低水平,同时添加了缓蚀剂,可最大程度的减缓COA制程的基板在剥离PR胶过程中对线路的腐蚀情况,同时,本发明还加入了含氧胺、苄基醇和含杂环醇,可加快剥离Normal制程的基板的PR胶的速度。

本发明在有机溶剂的选择上,在不对基板有任何腐蚀作用的条件下,可有效的溶胀PR胶,使其更容易被剥离,且溶解剥离下来的光阻,不造成Filter堵塞,同时,非离子活性剂中蔗糖酯可增加剥离液的亲水性,是基板更易被清洗干净,无光阻回粘和药液残留,而有机硅消泡剂可控制药液再生产、运输、使用过程中的起泡,增加药液使用寿命。

另外,本发明中在溶剂选择上都是不易挥发的,可以很好的控制药液的碱度变化幅度,使得药液的使用效果稳定,极大程度的延长了其使用寿命,同时,本发明采用的各溶剂与PR胶成分相似,根据相似相溶的原理,PR胶能很好的溶解于药液中,剥离下来的PR胶很快溶解成细小颗粒,不会堵塞滤芯和喷嘴。

为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚明白,下面结合实施例对本发明作进一步的详细说明,本发明的示意性实施方式及其说明仅用于解释本发明,并不作为对本发明的限定。实施例中除了有机碱为自己合成以外,其余原料均直接从常规渠道进行购买。

实施例1

甲基乙醇胺甲酯基氢氧化物5份

苯甲醇15份

乙醇胺5份

2-四氢呋喃-2-乙醇10份

乙二醇一甲基醚和乙二醇一甲基醚乙酸酯45份

苯丙三氮唑0.5份

有机硅消泡剂1份

去离子水18.5份

实施例2

甲基乙醇胺乙酯基氢氧化物5份

苯乙醇15份

甲氧基甲基胺7份

2-四氢呋喃-2-乙醇10份

乙二醇一甲基醚和乙二醇一甲基醚乙酸酯40份

亚氨基二乙酸0.5份

有机硅消泡剂1份

去离子水21.5份

实施例3

甲基乙基醇胺甲酯基氢氧化物5份

苯丙醇15份

2-乙氧基乙胺7份

2-四氢呋喃-2-乙醇10份

乙二醇一甲基醚和乙二醇一甲基醚乙酸酯45份

磺化木质素1份

蔗糖酯2份

去离子水15份

实施例4

甲基乙基醇胺乙酯基氢氧化物10份

2-苯异丙醇15份

2-甲氧基乙胺8份

2-四氢呋喃-2-乙醇13份

乙二醇一甲基醚和乙二醇一甲基醚乙酸酯45份

巯基苯并噻唑2份

蔗糖酯3份

去离子水4份

对比例1

KOH 10份,乙二醇65份,非离子表面活性剂2份,不同于实施例的现有缓蚀剂1份,去离子水22份。

对比例2

TMAH 10份,乙二醇65份,非离子表面活性剂2份,不同于实施例的现有缓蚀剂1份,去离子水22份。

剥离液性能测试

按照上述实施例1-4、对比例1、对比例2的组分制备剥离液并考察剥离液性能,具体实验方法如下:将COA制程基板和Normal制程基板分别放入70℃的剥离液中,测试基板的线路出现腐蚀的时间、剥离完成时间以及剥离液的蒸发速度,并测定浸泡12h后剥离液的碱度变化,实验结果如表1-3所示。

表1 COA制程基板线路腐蚀速率实验

表2 Normal制程基板剥离速率实验

表3 碱度变化实验

由表1可以看出,浸泡本发明剥离液的COA制程基板出现腐蚀的时间在5-6h,而对比例1在2h就出现明显腐蚀;浸泡本发明剥离液的Normal制程基板剥离时间在5-5.5min剥离完成,而对比例2在15min才剥离完成;本发明实施例1-4的剥离液在12h内碱度变化仅在0.2-0.4之间,而对比例1、对比例2的碱度变化是1.88和1.58,变化很大。

以上所述的具体实施方式,对本发明的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明,所应理解的是,以上所述仅为本发明的具体实施方式而已,并不用于限定本发明的保护范围,凡在本发明的精神和原则之内,所做的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。

相关技术
  • PR胶剥离液及其在液晶面板制程再生中的应用
  • 一种应用于多种金属制程的兼容、环保型水系光刻胶剥离液及其制备方法
技术分类

06120112902599