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多层集成电路空间电磁辐射的确定方法及装置

文献发布时间:2023-06-19 11:29:13


多层集成电路空间电磁辐射的确定方法及装置

技术领域

本发明涉及集成电路技术领域,特别涉及多层集成电路空间电磁辐射的确定方法及装置。

背景技术

集成电路工作时其多层版图上由于高速信号的传输,会形成高频交变电磁场,这些高频交变电磁场即形成高频辐射源,使其对其他信号层或其他集成电路、芯片形成串扰和电磁辐射,影响其他信号层或其他集成电路、芯片的正常工作,因此有必要针对多层集成电路的空间电磁辐射进行准确的分析,然后基于分析结果提出整改方案。

采用传统方法计算集成电路的空间电磁辐射时,通常将集成电路连同待研究的空间确定为计算区域,然后对整个计算区域进行网格剖分,并计算整个计算区域的电磁场分布,进而计算出集成电路对空间的电磁辐射。然而,集成电路过孔、走线等特征尺寸为纳米级,整个集成电路的尺寸为厘米级,待研究的集成电路辐射空间则为分米级、米级,对这样的多尺度空间进行统一的网格剖分再分析其空间电磁辐射,会产生数亿的网格和未知量,导致计算的硬件(内存)成本和CPU时间成本都过大的问题。为此,可采用有限元法和矩量法相结合的方法计算集成电路对空间的电磁辐射。在产生电磁辐射的源的集成电路区域,采用有限元法;在集成电路之外的空间大范围区域,采用矩量法;有限元法和矩量法在集成电路与外部空间的界面相耦合。由于矩量法只针对界面进行积分,因此就会减少大量的网格单元和未知量,但由于集成电路的尺度范围为纳米级到厘米级,直接对集成电路整体用有限元法求解本身会产生巨大的稀疏矩阵,且由于有限元法和矩量法进行耦合,使得形成的耦合矩阵在界面处为稠密矩阵,大大增加了整个稀疏矩阵的非零元数量和稀疏矩阵求解复杂度,使得计算时间仍然很长。

本发明提出一种多层集成电路空间电磁辐射的确定方法及装置。基于格林函数计算点电流源在空间任意位置产生的场,基于源产生的场的线性叠加性质,利用高斯积分方法计算面电流源在相同位置产生的场,进而计算集成电路多层复杂形状的金属板上的电流在空间不同位置产生的场,最终基于场的线性叠加原理确定多层集成电路对空间的电磁辐射。

发明内容

(一)发明目的

为克服上述现有技术存在的至少一种缺陷,本发明提供了一种多层集成电路空间电磁辐射的确定方法及装置,基于并矢格林函数计算点电流源在空间任意位置产生的场,基于源产生的场的线性叠加性质,利用二维高斯积分的方法计算面电流源在相同位置产生的场,进而计算复杂形状的多层集成电路版图上的电流在空间不同位置产生的场,最终基于场的线性叠加原理确定多层集成电路对空间的电磁辐射。

(二)技术方案

作为本发明的第一方面,本发明公开了多层集成电路空间电磁辐射的确定方法,包括以下步骤:

步骤1,基于并矢格林函数表达的点电流源在任意位置产生的场,得到所述点电流源在场点产生的电场表达式;

步骤2,将所述点电流源在场点产生的电场表达式作为二维高斯积分的被积函数,基于场的线性叠加原理计算简单形状多边形的面电流源在相同位置产生的场;

步骤3,将复杂形状的集成电路版图分割成简单形状的多边形,计算每个所述简单形状多边形的面电流源在相同位置产生的场,基于所述场的线性叠加原理计算所述复杂形状的集成电路版图上的电流在相同位置产生的场;

步骤4,计算所述复杂形状的集成电路版图上的所述电流在空间不同位置产生的场,基于所述场的线性叠加原理确定多层集成电路对所述空间的电磁辐射。

一种可能的实施方式中,所述点电流源在场点产生的电场表达式为根据集成电路分层的特殊结构形成的利用并矢格林函数给出的特殊的解析表达式。

一种可能的实施方式中,所述多层集成电路的电流源为层状分布,即在所述复杂形状的集成电路版图的每个金属层上分布的电流密度只与

一种可能的实施方式中,所述将所述点电流源在场点产生的电场表达式作为二维高斯积分的被积函数,基于场的线性叠加原理计算简单形状多边形的面电流源在相同位置产生的场,包括:二维面S内的电流源在空间任意点产生的场可通过所述二维高斯积分计算:

其中,

一种可能的实施方式中,在所述步骤3中,所述将复杂形状的集成电路版图分割成简单形状的多边形,包括:

步骤3.1:采用Delaunay网格剖分方法,将所述复杂形状的集成电路版图剖分成Delaunay三角形网格;

步骤3.2:将所有剖分的所述三角形网格按面积排序,从面积最小的所述三角形网格出发,找该三角形网格的邻居三角形网格,该三角形网格与所有邻居三角形网格合并为一个四边形,找到所有合并的四边形的最大内角最小的四边形对应的邻居三角形网格,如果这个四边形的最大内角小于180°,该三角形网格即与所述最大内角最小的四边形对应的邻居三角形网格合并,并将这两个合并的三角形网格从Delaunay三角形网格中删除;否则转到下一个未被合并的所述三角形网格,转入步骤3.3;

步骤3.3:返回所述步骤3.2,直到所有三角形网格都处理完毕。

作为本发明的第二方面,本发明公开了多层集成电路空间电磁辐射的确定装置,包括:

第一模块,用于基于并矢格林函数表达的点电流源在任意位置产生的场,得到所述点电流源在场点产生的电场表达式;

第二模块,用于将所述点电流源在场点产生的电场表达式作为二维高斯积分的被积函数,基于场的线性叠加原理计算简单形状多边形的面电流源在相同位置产生的场;

第三模块,用于将复杂形状的集成电路版图分割成简单形状的多边形,计算每个所述简单形状多边形的面电流源在相同位置产生的场,基于所述场的线性叠加原理计算所述复杂形状的集成电路版图上的电流在相同位置产生的场;

第四模块,用于计算所述复杂形状的集成电路版图上的所述电流在空间不同位置产生的场,基于所述场的线性叠加原理确定多层集成电路对所述空间的电磁辐射。

一种可能的实施方式中,所述点电流源在场点产生的电场表达式为根据集成电路分层的特殊结构形成的利用并矢格林函数给出的特殊的解析表达式。

一种可能的实施方式中,所述多层集成电路的电流源为层状分布,即在所述复杂形状的集成电路版图的每个金属层上分布的电流密度只与

一种可能的实施方式中,所述将所述点电流源在场点产生的电场表达式作为二维高斯积分的被积函数,基于场的线性叠加原理计算简单形状多边形的面电流源在相同位置产生的场,包括:二维面S内的电流源在空间任意点产生的场可通过所述二维高斯积分计算:

其中,

一种可能的实施方式中,在所述第三模块中,所述将复杂形状的集成电路版图分割成简单形状的多边形,包括:

第一单元:用于采用Delaunay网格剖分方法,将所述复杂形状的集成电路版图剖分成Delaunay三角形网格;

第二单元:用于将所有剖分的所述三角形网格按面积排序,从面积最小的所述三角形网格出发,找该三角形网格的邻居三角形网格,该三角形网格与所有邻居三角形网格合并为一个四边形,找到所有合并的四边形的最大内角最小的四边形对应的邻居三角形网格,如果这个四边形的最大内角小于180°,该三角形网格即与所述最大内角最小的四边形对应的邻居三角形网格合并,并将这两个合并的三角形网格从Delaunay三角形网格中删除;否则转到下一个未被合并的所述三角形网格,执行第三单元的操作;

第三单元,用于执行所述第二单元的操作,直到所有三角形网格都处理完毕。

(三)有益效果

本发明提供的一种多层集成电路空间电磁辐射的确定方法及装置,通过步骤1,基于并矢格林函数表达的点电流源在任意位置产生的场,得到点电流源在场点产生的电场表达式;步骤2将点电流源在场点产生的电场表达式作为二维高斯积分的被积函数,基于场的线性叠加原理计算简单形状多边形的面电流源在相同位置产生的场;步骤3将复杂形状的集成电路版图分割成简单形状的多边形,计算每个简单形状多边形的面电流源在相同位置产生的场,基于场的线性叠加原理计算复杂形状的集成电路版图上的电流在相同位置产生的场;步骤4计算复杂形状的集成电路版图上的电流在空间不同位置产生的场,基于场的线性叠加原理确定多层集成电路对空间的电磁辐射。实现了基于并矢格林函数计算点电流源在空间任意位置产生的场,基于源产生的场的线性叠加性质,利用二维高斯积分的方法计算面电流源在相同位置产生的场,进而计算复杂形状的多层集成电路版图上的电流在空间不同位置产生的场,最终基于场的线性叠加原理确定多层集成电路对空间的电磁辐射。

附图说明

以下参考附图描述的实施例是示例性的,旨在用于解释和说明本发明,而不能理解为对本发明的保护范围的限制。

图1是本发明提供的多层集成电路结构及集成电路某层的点电流源对空间电磁辐射的示意图。

图2是本发明提供的多层集成电路空间电磁辐射的确定方法及装置的一个带有孔洞的不规则形状的集成电路版图示意图。

图3是本发明提供的多层集成电路空间电磁辐射的确定方法及装置的集成电路版图的分割结果示意图。

图4是本发明提供的多层集成电路空间电磁辐射的确定方法及装置的集成电路版图剖分成Delaunay三角形网格的示意图。

图5是本发明提供的多层集成电路空间电磁辐射的确定方法及装置的

图6是本发明提供的多层集成电路空间电磁辐射的确定方法及装置的

图7是本发明提供的多层集成电路空间电磁辐射的确定方法及装置的将三角形合并形成四边形的最终结果示意图。

图8是本发明提供的多层集成电路空间电磁辐射的确定方法及装置的任意三角形变换成标准三角形的示意图。

图9是本发明提供的多层集成电路空间电磁辐射的确定方法的流程图。

图10是本发明提供的多层集成电路空间电磁辐射的确定装置的结构示意图。

具体实施方式

为使本发明实施的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行更加详细的描述。

需要说明的是:在附图中,自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。所描述的实施例是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例,在不冲突的情况下,本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。

在本发明的描述中,需要理解的是,术语“中心”、“纵向”、“横向”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,均仅是为了便于描述本发明和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本发明保护范围的限制。

下面参考图1-9详细描述本发明提供的多层集成电路空间电磁辐射的确定方法的第一实施例。如图1-9所示,本实施例提供的电磁辐射的确定方法主要包括有:步骤1、步骤2、步骤3和步骤4。

本发明基于源产生的场的线性叠加性质,提出一种利用二维高斯积分的方法高精度求解复杂结构的集成电路版图上的交变电流在任意位置产生的场,该方法首先基于并矢格林函数计算点电流源在空间任意位置产生的场,然后基于源产生的场的线性叠加性质并利用二维高斯积分计算面电流源在相同位置产生的场,进而计算出复杂的不规则形状的集成电路版图形成的面电流源在相同位置产生的场。

步骤1,基于并矢格林函数表达的点电流源在任意位置产生的场,得到所述点电流源在场点产生的电场表达式;

其中,针对多层集成电路版图的频域电磁场,采用并矢格林函数计算点电流源在任意层场点产生的电场强度,可通过下式求解多层集成电路版图任一层的任一点的九个方位的电场强度来表示,所述点电流源在场点产生的电场表达式为根据集成电路分层的特殊结构形成的利用并矢格林函数给出的特殊的解析表达式。

如图1所示,设整个集成电路共有

其中,

上述e表示自然对数的底数;

上述

上述

上述

上述

上述

上述

上述式中,

上述步骤1采用并矢格林函数处理的是点电流源对场点的影响。当源是面源时,可以由点电流源产生的场引出面电流源引起的场,这就需要考虑到面上所有点作为源时的情况。对此,可采用二维高斯积分进行处理,采用所述二维高斯积分进行处理只需求得面上有限个高斯积分点并结合对应的权重,即可求到由面电流源引起的场,通过下述步骤2实现。

步骤2,将所述点电流源在场点产生的电场表达式作为二维高斯积分的被积函数,基于场的线性叠加原理计算简单形状多边形的面电流源在相同位置产生的场;

步骤3,将复杂形状的集成电路版图分割成简单形状的多边形,计算每个所述简单形状多边形的面电流源在相同位置产生的场,基于所述场的线性叠加原理计算所述复杂形状的集成电路版图上的电流在相同位置产生的场;

对于一般有原函数的函数可以直接进行积分求解,但是当被积函数是很复杂的函数或者没有原函数时,则要考虑数值的方法进行求解。二维高斯积分是一种数值方法,本质是用求和代替积分,被积函数可在多个离散点(即积分点)被采样。所述二维高斯积分为:

其中,

多层集成电路版图为各层复杂的不规则形状的版图,可采用分割的方法将复杂的不规则形状的版图分割为简单的不规则形状的多边形,所述多边形可以为凸起的三角形或四边形,图2为一个带有孔洞的不规则形状的集成电路版图示意图,图3为该集成电路版图的分割结果示意图。

将复杂形状的集成电路版图分割成简单形状的多边形的具体过程包括:

步骤3.1:采用Delaunay网格剖分方法,将复杂形状的集成电路版图剖分成Delaunay三角形网格,如图4所示;

步骤3.2:将所有剖分的三角形网格(即三角形)按面积排序,从面积最小的所述三角形网格出发,找该三角形网格的邻居三角形网格,该三角形网格与所有邻居三角形网格都可以合并为一个四边形,找到所有合并的四边形的最大内角最小的四边形对应的邻居三角形网格,如果这个四边形的最大内角小于180°,该三角形网格即与最大内角最小的四边形对应的邻居三角形网格合并,并将这两个合并的三角形网格从Delaunay三角形网格中删除;否则转到下一个未被合并的三角形网格,转入步骤3.3;

图4中,面积最小的三角形为

图5中,面积最小的三角形为

合并的最终结果如图7所示。

步骤3.3:返回步骤3.2,直到所有三角形网格都处理完毕。

通过坐标变换将不规则形状的多边形变换为适用于二维高斯积分的标准单元,从而将对复杂的不规则形状的区域(所述区域即多边形)的积分转换为简单的不规则形状的区域积分和;对每个简单的不规则形状的区域,采用坐标变换转换为标准单元下的积分,最后通过高斯积分公式计算每个简单的不规则形状的区域积分:可以将整个积分分割为多个简单区域的积分和:

对每个三角形进行积分变换,可将三角形变换为适用于二维高斯积分的标准单元,即为:

对于任意的三角形

显然会有:

进行变量替换,

进一步进行变换

则有:

从而使得:

这样就可以将在任意三角形上的积分转化为二重积分;

对于每个四边形进行积分变换,可将所述四边形变换为适用于二维高斯积分的标准单元,即为:

式中

上述所述适用于二维高斯积分的标准单元即可通过高斯积分公式计算得到:

其中,

其中,所述多层集成电路的电流源为层状分布,即在所述复杂形状的集成电路版图的每个金属层上分布的电流密度只与

所述将所述点电流源在场点产生的电场表达式作为二维高斯积分的被积函数,基于场的线性叠加原理计算简单形状多边形的面电流源在相同位置产生的场,包括:二维面S内的面电流源在空间任意点产生的场可通过所述二维高斯积分计算:

其中,

由此可知,可通过上述九个方向的电场分量(即上述九个方向产生的电场表达式),对划分的每个三角形或四边形进行二维高斯积分并叠加,即可得到面电流源对空间任意点(或其它层的任一点)的电场强度。

从而执行步骤4,通过上述方式计算出所述复杂形状的集成电路版图上的所述电流在空间不同位置产生的场,基于所述场的线性叠加原理确定出多层集成电路对所述空间的电磁辐射。

若使用传统高斯积分的方法则要直接针对被积函数采用高斯积分的方法进行积分,而本专利则是结合二维高斯积分和并矢格林函数的方法,对面电流源在空间一点产生的场先分解为多个点电流源在空间相同位置产生的场的叠加,点电流源在空间一点产生的场利用并矢格林函数进行求解,然后利用二维高斯积分计算这种多个点电流源在空间相同位置产生的场的叠加效果,进而实现结合二维高斯积分和并矢格林函数间接求解复杂的不规则形状的版图形成的面电流源在相同位置产生的场。

本发明通过步骤1基于并矢格林函数表达的点电流源在任意位置产生的场,得到点电流源在场点产生的电场表达式;步骤2将点电流源在场点产生的电场表达式作为二维高斯积分的被积函数,基于场的线性叠加原理计算简单形状多边形的面电流源在相同位置产生的场;步骤3将复杂形状的集成电路版图分割成简单形状的多边形,计算每个简单形状多边形的面电流源在相同位置产生的场,基于场的线性叠加原理计算复杂形状的集成电路版图上的电流在相同位置产生的场;步骤4计算复杂形状的集成电路版图上的电流在空间不同位置产生的场,基于场的线性叠加原理确定多层集成电路对空间的电磁辐射。实现了基于并矢格林函数计算点电流源在空间任意位置产生的场,基于源产生的场的线性叠加性质,利用二维高斯积分方法计算面电流源在相同位置产生的场,进而计算复杂形状的多层集成电路版图上的电流在空间不同位置产生的场,最终基于场的线性叠加原理确定多层集成电路对空间的电磁辐射。

下面参考图1-8和图10详细描述本发明提供的多层集成电路空间电磁辐射的确定装置的第一实施例。如图1-8和图10所示,本实施例提供的电磁辐射的确定装置主要包括有:第一模块、第二模块、第三模块和第四模块。

本发明基于源产生的场的线性叠加性质,提出一种利用二维高斯积分的方法高精度求解复杂结构的集成电路版图上的交变电流在任意位置产生的场,该方法首先基于并矢格林函数计算点电流源在空间任意位置产生的场,然后基于源产生的场的线性叠加性质并利用二维高斯积分计算面电流源在相同位置产生的场,进而计算出了复杂的不规则形状的集成电路版图形成的面电流源在相同位置产生的场。

第一模块,用于基于并矢格林函数表达的点电流源在任意位置产生的场,得到所述点电流源在场点产生的电场表达式;

其中,针对多层集成电路版图的频域电磁场,采用并矢格林函数计算点电流源在任意层场点产生的电场强度,可通过下式求解多层集成电路版图任一层的任一点的九个方位的电场强度来表示,所述点电流源在场点产生的电场表达式为根据集成电路分层的特殊结构形成的利用并矢格林函数给出的特殊的解析表达式。

如图1所示,设整个集成电路共有

其中,

上述

上述

上述

上述

上述

上述

上述

上述式中,

上述第一模块采用并矢格林函数处理的是点电流源对场点的影响。当源是面源时,可以由点电流源产生的场引出面电流源引起的场,这就需要考虑到面上所有点作为源时的情况。对此,可采用二维高斯积分进行处理,采用所述二维高斯积分进行处理只需求得面上有限个高斯积分点并结合对应的权重,即可求到由面电流源引起的场,通过下述第二模块实现。

第二模块,用于将所述点电流源在场点产生的电场表达式作为二维高斯积分的被积函数,基于场的线性叠加原理计算简单形状多边形的面电流源在相同位置产生的场;

第三模块,用于将复杂形状的集成电路版图分割成简单形状的多边形,计算每个所述简单形状多边形的面电流源在相同位置产生的场,基于所述场的线性叠加原理计算所述复杂形状的集成电路版图上的电流在相同位置产生的场;

对于一般有原函数的函数可以直接进行积分求解,但是当被积函数是很复杂的函数或者没有原函数时,则要考虑数值的方法进行求解。二维高斯积分是一种数值方法,本质是用求和代替积分,被积函数可在多个离散点(即积分点)被采样。

所述二维高斯积分为:

其中,

多层集成电路版图为各层复杂的不规则形状的版图,可采用分割的方法将复杂的不规则形状的版图分割为简单的不规则形状的多边形,所述多边形可以为凸起的三角形或四边形,图2为一个带有孔洞的不规则形状的集成电路版图示意图,图3为该集成电路版图的分割结果示意图。

将复杂形状的集成电路版图分割成简单形状的多边形的具体过程包括:

第一单元:用于采用Delaunay网格剖分方法,将复杂形状的集成电路版图剖分成Delaunay三角形网格,如图4所示;

第二单元:用于将所有剖分的三角形网格(即三角形)按面积排序,从面积最小的所述三角形网格出发,找该三角形网格的邻居三角形网格,该三角形网格与所有邻居三角形网格都可以合并为一个四边形,找到所有合并的四边形的最大内角最小的四边形对应的邻居三角形网格,如果这个四边形的最大内角小于180°,该三角形网格即与最大内角最小的四边形对应的邻居三角形网格合并,并将这两个合并的三角形网格从Delaunay三角形网格中删除;否则转到下一个未被合并的三角形网格,执行第三单元的操作;

图4中,面积最小的三角形为

图5中,面积最小的三角形为

合并的最终结果如图7所示。

第三单元:用于执行所述第二单元的操作,直到所有三角形网格都处理完毕。

通过坐标变换将不规则形状的多边形变换为适用于二维高斯积分的标准单元,从而将对复杂的不规则形状的区域(所述区域即多边形)的积分转换为简单的不规则形状的区域积分和;对每个简单的不规则形状的区域,采用坐标变换转换为标准单元下的积分,最后通过高斯积分公式计算每个简单的不规则形状的区域积分:可以将整个积分分割为多个简单区域的积分和:

对每个三角形进行积分变换,可将三角形变换为适用于二维高斯积分的标准单元,即为:

对于任意的三角形

显然会有:

进行变量替换,

进一步进行变换

则有:

从而使得:

这样就可以将在任意三角形上的积分转化为二重积分;

对于每个四边形进行积分变换,可将所述四边形变换为适用于二维高斯积分的标准单元,即为:

式中

上述所述适用于二维高斯积分的标准单元即可通过高斯积分公式计算得到:

其中,

其中,所述多层集成电路的电流源为层状分布,即在所述复杂形状的集成电路版图的每个金属层上分布的电流密度只与

所述将所述点电流源在场点产生的电场表达式作为二维高斯积分的被积函数,基于场的线性叠加原理计算简单形状多边形的面电流源在相同位置产生的场,包括:二维面S内的面电流源在空间任意点产生的场可通过所述二维高斯积分计算:

其中,

由此可知,可通过上述九个方向的电场分量(即上述九个方向产生的电场表达式),对划分的每个三角形或四边形进行二维高斯积分并叠加,即可得到面电流源对空间任意点(或其它层的任一点)的电场强度。

从而执行第四模块的操作,通过上述方式计算出所述复杂形状的集成电路版图上的所述电流在空间不同位置产生的场,基于所述场的线性叠加原理确定出多层集成电路对所述空间的电磁辐射。

若使用传统高斯积分的方法则要直接针对被积函数采用高斯积分的方法进行积分,而本专利则是结合二维高斯积分和并矢格林函数的方法,对面电流源在空间一点产生的场先分解为多个点电流源在空间相同位置产生的场的叠加,点电流源在空间一点产生的场利用并矢格林函数进行求解,然后利用二维高斯积分计算这种多个点电流源在空间相同位置产生的场的叠加效果,进而实现结合二维高斯积分和并矢格林函数间接求解复杂的不规则形状的版图形成的面电流源在相同位置产生的场。

本发明通过第一模块基于并矢格林函数表达的点电流源在任意位置产生的场,得到点电流源在场点产生的电场表达式;第二模块将点电流源在场点产生的电场表达式作为二维高斯积分的被积函数,基于场的线性叠加原理计算简单形状多边形的面电流源在相同位置产生的场;第三模块将复杂形状的集成电路版图分割成简单形状的多边形,计算每个简单形状多边形的面电流源在相同位置产生的场,基于场的线性叠加原理计算复杂形状的集成电路版图上的电流在相同位置产生的场;第四模块计算复杂形状的集成电路版图上的电流在空间不同位置产生的场,基于场的线性叠加原理确定多层集成电路对空间的电磁辐射。实现了基于并矢格林函数计算点电流源在空间任意位置产生的场,基于源产生的场的线性叠加性质,利用二维高斯积分的方法计算面电流源在相同位置产生的场,进而计算复杂形状的多层集成电路版图上的电流在空间不同位置产生的场,最终基于场的线性叠加原理确定多层集成电路对空间的电磁辐射。

以上所述,仅为本发明的具体实施方式,但本发明的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内,可轻易想到的变化或替换,都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此,本发明的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。

相关技术
  • 多层集成电路空间电磁辐射的确定方法及装置
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技术分类

06120112940799